JP2007292995A - ペリクル用のハンドリング器具 - Google Patents

Abstract

【課題】大型のペリクルの取り扱いを容易にするペリクル用ハンドリング器具を提供する。
【解決手段】ペリクル用ハンドリング器具は、把手部１６を有するフレーム体１２と、該フレーム体１２に取り付けられる一対の保持体１３とを備える。保持体１３は、矩形状のペリクルの対向する２辺の外側面に形成した溝３３に係合する保持爪２４と、ペリクルの他の１辺の外側面に当接する受け部材２７とを有する。好ましくは、フレーム体１２を、一対の保持体１３の間隔を拡縮可能とするように伸縮自在に構成する。また、保持爪１３を、溝３３を形成したペリクルの外側面に対して接近離反移動可能に設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、ペリクルの取り扱いの際に用いるペリクル用ハンドリング器具に関する。ペリクルは、ＴＦＴ液晶基板等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）の回路基板を形成するために、フォトマスクに貼り付けられるものである。

ＴＦＴ液晶基板等を製造する際、フォトマスクにはペリクルと呼ばれる防塵手段が貼り付けられる。このペリクルは、長方形枠形状のペリクル枠体と、ペリクル枠体の正面に貼着されたペリクル膜とからなり、ペリクル枠体の背面が粘着剤によりフォトマスクに貼り付けられるようになっている。

ペリクルは、通常、所定のケース（例えば、特許文献１参照）に収納された状態で製品として流通しており、フォトマスクの製造メーカーでは、ペリクルをケースから取り出してフォトマスクに貼り付ける作業が行われている。この貼り付け作業には、例えば、特許文献２に記載されているような貼付装置が用いられる。また、通常、フォトマスクへの貼り付けに先立って、塵等の有無を検査する工程も行われる。
特開２００５−４９７６５号公報 特開２００５−１６５１７０号公報

近年、ＴＦＴ液晶基板の生産ラインでは基板の大型化が進み、その液晶基板の製造に用いるフォトマスクやペリクルも大型化している。例えば、最近では、２メートルを超えるような液晶基板も登場し、その製造に用いるフォトマスクやペリクルも、最大で約１．２×１．４メートル程のサイズになっている。

しかしながら、大型化されたペリクルの取り扱いは小型のものとほとんど変わっていない。すなわち、ケースからペリクルを取り出し、その後、検査工程に運搬し、検査後貼付装置に供給するまでの作業は、ほとんど作業者がペリクルを直接手に持って行っているのが現状である。

大型のペリクルは、小型のものと比較して取り扱い時に破損や汚染の可能性が高く、また、非常に高価であるため、作業者は、より慎重にペリクルを取り扱わなければならない。そのため、作業者にかかる負担は極めて高くなっている。

本発明は、特に大型ペリクルの運搬等の取り扱いを容易にする、ペリクル用のハンドリング器具を提供することを目的とする。

本発明のペリクル用ハンドリング器具は、把手部を有するフレーム体と、該フレーム体に取り付けられ且つ矩形状のペリクルを保持する一対の保持体とを備え、該保持体が、矩形状のペリクルの対向する２辺の外側面に形成された溝に係合する保持爪と、ペリクルの他の１辺の外側面に当接する受け部材とを有していることを特徴とするものである。

フレーム体は、一対の保持体の間隔を拡縮可能とするように、伸縮自在に構成されていることが好ましい。

保持爪は、溝を形成したペリクルの外側面に対して接近離反移動可能に設けられていることが好ましい。

保持体は、フレーム体に着脱自在に取り付けられることが推奨され、この場合、フレーム体は、保持体の正面又は背面のいずれかを選択して取付可能であることが好ましい。

また、本発明のペリクル用ハンドリング器具は、テーブル上に載置された所定のケースに収容されたペリクルの溝に対応するように、前記保持爪の前記テーブルからの高さを設定する高さ設定具を備えていることが好ましい。

さらに、保持体に保持されたペリクルと把手部との間に配置されるカバー部材を備えていることが好ましい。

本発明のペリクル用ハンドリング器具は、マスクの下辺を保持するマスクホルダーを備えたペリクル貼付装置にペリクルを装着するときに、マスクホルダーに保持体を載せることによってペリクル貼付装置に対するペリクルの上下方向の位置が位置決めされるように、保持体に対するペリクルの上下方向の保持位置が設定されていることが推奨される。

さらに、本発明のペリクル用ハンドリング器具は、マスクの左右側辺に当接するマスクガイドを備えたペリクル貼付装置に対してペリクルを装着するとき、マスクガイドに保持体を当接することによってペリクル貼付装置に対するペリクルの左右方向位置が位置決めされるように、保持体に対するペリクルの左右方向の保持位置が設定されていることが推奨される。

（１）本発明によれば、保持体の保持爪をペリクルの対向する２辺の溝に係合し、保持体の受け部材をペリクルの他の１辺に当接することによって、ハンドリング器具によってペリクルを保持することができ、フレーム体の把手部を手に持った状態でペリクルの運搬等を行うことができる。これにより、ペリクルを直接手で持たなくてもよくなるので、汚染や破損の可能性を低くすることができるとともに、作業者に対する負担を軽減することができる。

（２）フレーム体は、一対の保持体の間隔を拡縮可能とするように、伸縮自在に構成されているので、異なるサイズのペリクルにも対応することができる。

（３）保持爪は、ペリクルの溝に対して接近離反移動可能に設けられているので、該溝に対する保持爪の係合及び離脱を容易に行うことができる。

（４）保持体は、フレーム体に着脱自在に取り付けられるので、例えば、サイズの異なるペリクルを取り扱う場合に、それぞれに対応した保持体をフレーム体に付け替えて用いることができる。

（５）フレーム体は、保持体の正面と背面とのいずれにも取付可能であるので、ペリクルを、正面又は背面のいずれの側からもハンドリング器具によって保持することができる。

（６）ペリクル用ハンドリング器具は、テーブル上に載置された所定のケースに収容されたペリクルの溝に対応するように、保持爪のテーブルからの高さ設定する高さ設定具を備えているので、ケースに収納された状態からペリクルを好適に保持してケースから取り出すことができる。

（７）ペリクル用ハンドリング器具は、保持体に保持されたペリクルと把手部との間に配置されるカバー部材を備えているので、把持部を持つ作業者の衣服等の埃や塵がペリクルに付着してしまうことを防止することができ、また、作業者の身体が直接ペリクルに触れてしまうことを防止することができる。

（８）本発明によれば、マスクの下辺を保持するマスクホルダーを備えたペリクル貼付装置にペリクルを装着するとき、前記マスクホルダーに前記保持体を載せることによってペリクル貼付装置に対するペリクルの上下方向の位置が位置決めされるように、前記保持体に対するペリクルの上下方向の保持位置が設定されているので、ペリクル貼付装置へのペリクルの装着作業を容易に行うことができる。

（９）本発明によれば、マスクの左右側辺に当接するマスクガイドを備えたペリクル貼付装置に対してペリクルを装着するときは、前記マスクガイドに前記保持体を当接することによってペリクル貼付装置に対するペリクルの左右方向位置が位置決めされるように、前記保持体に対するペリクルの左右方向の保持位置が設定されているので、ペリクル貼付装置へのペリクル装着作業を容易に行うことができる。

図１は、本発明の実施形態にかかるペリクル用ハンドリング器具１１の斜視図である。該ハンドリング器具１１は、フレーム体１２と、保持体１３とを備えている。フレーム体１２は、主にパイプ材を組み合わせて枠形状に形成されている。具体的には、左右方向に延びる上下一対の横枠１４と、上下横枠１４の左右両端部を連結する左右一対の縦枠１５と、上下横枠１４の左右方向中央部を連結する左右一対の把手部１６とを備えている。作業者は、把手部１６を手に持ってハンドリング器具１１を使用することができる。

上下横枠１４の両端部には前方に突出する連結枠１８を介して取付部材１９が設けられている。この取付部材１９は、上下に細長い板材の前面に、縦長の嵌合突起２０を形成してなる。

前記把手部１６の前側には、連結枠２１を介してカバー部材２２が設けられている。このカバー部材２２は、上下両端縁がやや後側に湾曲した板材により構成され、把手部１６を前側から覆っている。

保持体１３は、保持爪２４と、支持具２５とを備えている。支持具２５は、正面視略Ｌ字形状の板材であり、上下方向に長い連結部材２６と、連結部材２６の下端部から左右方向内方に延びる受け部材２７とを有している。保持爪２４は、上下に長い長方形状の板材よりなり、左右方向外側の長辺が連結部材２６に連結されている。受け部材２７は、先端に、低発塵性のプラスチック等により形成されたストッパー（当接部材）２８を有している。

連結部材２６には、上下方向に長い長孔３０が前後に貫通して形成されている。この長孔３０には、フレーム体１２の取付部材１９に形成した嵌合突起２０が嵌脱自在に嵌合可能となっている。長孔３０に嵌合した嵌合突起２０は、連結部材２６の側面に設けられた固定ネジ３１を締め付けることによって連結部材２６に固定されるようになっている。また、連結部材２６の上下両端部には、後述する高さ設定脚３２（高さ設定具）が設けられている。

保持爪２４の左右方向内側の端縁は、やや薄肉に形成されており、ペリクル３５の左右外側面に形成した溝３３に係合可能となっている。また、保持爪２４は、連結部材２６の側面に設けた調整ネジ３４によって、左右方向（矢印ａ方向）に位置調整可能となっている。

なお、ペリクル３５は、矩形（長方形）枠形状のペリクル枠体３６と、ペリクル枠体３６の正面に貼着されたペリクル膜３７とからなるものである。ペリクル枠体３６の短辺３６ａの外側面には、該短辺３６ａの長手方向に沿って溝３３が形成してある。

図２〜図４は、ハンドリング器具１１を用いてケース３９からペリクル３５を取り出す工程を説明する斜視図である。ペリクル３５はケース３９に収納されており、ハンドリング器具１１は、ケース３９内のペリクル３５に対して装着し、そのままペリクル３５をケース３９から取り出すことができるようになっている。

図２において、ケース３９は、蓋を外した状態で水平なテーブル４０上に載置されている。ケース３９内には、長方枠形状の凸条４１が形成されており、ペリクル膜３７を上側にした状態でペリクル枠体３６が凸条４１の上面に載置されている。凸条４１の上面の所定カ所には、凸条４１の上面に載せたペリクル枠体３６のズレ止め突起４２が一体に形成されている。

ハンドリング器具１１をケース３９内のペリクル３５に装着するには、まず、ハンドリング器具１１全体を下向き（把手部１６側を上にし、保持体１３側を下にした姿勢）にし、ペリクル３５の上方に対向させ、矢印ｂのようにそのまま下方に降ろして図３に示す状態にする。

図５は、図３のＶ−Ｖ矢視図であり、図３及び図５に示すように、連結部材２６に設けた高さ設定脚３２は、ケース３９の外側でテーブル４０の上面に当接している。これによって、保持爪２４の先端が、ペリクル３５の溝３３と同じ高さに設定されるようになっている。この状態で調整ネジ３４を回すと、保持爪２４が矢印ｃ方向に移動してペリクル３５に接近し、溝３３に係合する。図６は、保持爪２４が溝３３に係合した状態を示す拡大図である。なお、図６において、ペリクル３５は、ペリクル枠体３６の一方の面（上面）にペリクル膜３７を備え、他方の面（下面）には、フィルム等で保護した状態の粘着剤３８が設けられている。

図３に示すように、ハンドリング器具１１をセットすると、把手部１６を持った作業者は、上半身がペリクル３５上に覆い被さるように前屈みになることがあるが、把手部１６とペリクル３５との間にはカバー部材２２が設けられているので、作業者の衣服等から埃や塵が落ちたとしてもペリクル３５に付着してしまうことはほとんどない。したがって、ペリクル３５の品質低下や汚染を防止することができる。

図４に示すように、保持爪２４をペリクル３５の溝３３に係合した状態で、矢印ｄのようにハンドリング器具１１を持ち上げると、ペリクル３５も一緒に持ち上げられ、ペリクル３５をケース３９から取り出すことができる。この際、ペリクル３５は、所定の間隔に保持された左右の保持爪２４に係合されているので、左右方向に無理な力がかかることなく保持され、歪みも生じがたくなっている。

ケース３９から取り外したペリクル３５を持ち運ぶとき、ペリクル３５が縦向きとなるように姿勢を変える。図７に示すように、支持具２５の受け部材２７のストッパー２８は、ペリクル３５の下面に当接し、ペリクル３５を下側から受け持ち支持している。したがって、ペリクル３５がハンドリング器具１１から下方に抜け落ちてしまうことが無く、確実に保持することができる。なお、受け部材２７に、ペリクル３５に当接するストッパー２８を備えることで、ペリクル３５に対する接触面積を可及的に小さくすることができ、また、ストッパー２８を低発塵性の材質とすることで、ペリクル３５に対する塵等の付着を防止することができる。

このようにハンドリング器具１１を用いることによって、作業者はペリクル３５に直接手を触れずケース３９から取り出すことができるので、破損や汚染を防止することができ、作業者の負担も軽減する。また、ハンドリング器具１１のフレーム体１２は、パイプ材を組み合わせた枠形状に形成されているので、軽量化を図ることができ、持ち運びの負担を少なくすることができる。また、フレーム体１２の構成部材（強度部材）を把手部１６として構成しているので、部品兼用による構造の簡素化、部品点数減、軽量化を図ることができる。

次に、ケース３９から取り出されたペリクル３５は検査工程に移される。図８は、検査台４５を示す斜視図であり、検査台４５は、脚部４６と、脚部４６上に垂直軸心Ｏ１回りに回転自在に連結された支持部４７とを備え、支持部４７の両端部には、保持体１３を介してペリクル３５を間接的に保持するクランプ具４８が設けられている。

この検査台４５にペリクル３５をセッティングするには、ハンドリング器具１１で保持したペリクル３５を検査台４５の上方から矢印ｅで示すように下方に降ろし、クランプ具４８の間にハンドリング器具１１の保持体１３（支持具２５）を挿入する。そして、クランプネジ４８ａを締め付けて保持体１３を固定するとともに、保持体１３からフレーム体１２を取り外す。これによって、図９に示すようなセッティング状態となる。この際、ペリクル３５は、検査台４５に直接触れることはないので、破損を防止することができる。

検査は、支持部４７を垂直軸心Ｏ１回りに回転しながら、ペリクル３５の表裏両面に対して行われる。検査を終えた後は、再度保持体１３にフレーム体１２を取り付ける。図１０にその状態を示す。フレーム体１２は、元々取り付けられていた面とは反対側の保持体１３の面に取り付けられる。図８において、フレーム体１２は、元々保持体１３の正面に取り付けられていたので、今度は、図１０に示すように、保持体１３の背面（高さ設定脚３２が突出する側）に取り付けるようにする。このようにフレーム体１２を保持体１３の反対の面に取り付けることによって、ペリクル３５の向きが、後述のペリクル貼付装置５０へのペリクル３５の装着に適した向きに設定される。

なお、保持体１３にフレーム体１２を再取付する場合、図１０では、フレーム体１２を保持体１３の背面側に移動させているが、実際は、検査台４５を反転させることによって、フレーム体１２を取り外した側から、再度取り付けることができる。

保持体１３にフレーム体１２を取り付けた後、クランプ具４８を緩めるともに、把手部１６を手に持って検査台４５からペリクル３５を取り外す。

検査を終えた後、ペリクル３５は、ペリクル貼付装置５０に運搬される。この貼付装置５０としては、例えば、本願出願人の先願である特開２００５−１６５１７０号公報に開示されたものが用いられる。その概要を簡単に説明すると、図１１に示すように、貼付装置５０は、マスク加圧板５１と、マスクステージ５２と、ペリクル加圧板５３と、ベースステージ５４と、油圧シリンダ５５とを備えている。マスク加圧板５１は、ヒンジ５６を介して開閉する前面扉５７の内面に設けられ、ペリクル加圧板５３は、ベースステージ５４上に設けられ、ベースステージ５４は、油圧シリンダ５５によって前後方向（矢印ｆ方向）に移動可能である。

ペリクル加圧板５３には、外周の複数箇所に小さい板片からなるペリクルガイド５８が設けてあり、ペリクル３５は、ペリクルガイド５８の間に嵌め込むようにして装着される。この際、ペリクル３５は、ペリクル膜３７がペリクル加圧板５３側にくる。また、ペリクル３５は、図示しないチャック機構によってペリクル加圧板５３に当接した状態に保持されるようになっている。

図１３はマスクステージ５２の正面図である。マスクステージ５２は、上下移動可能な上辺フレーム６０及び下辺フレーム６１と、左右移動可能な左辺フレーム６２及び右辺フレーム６３とを備えている。上辺フレーム６０及び下辺フレーム６１には、それぞれマスク７０を保持する上マスクホルダー６４、下マスクホルダー６５が設けられている。左辺フレーム６２及び右辺フレーム６３には、それぞれマスク７０に左右側辺に当接して左右方向の位置決めをする左マスクガイド６６、右マスクガイド６７が設けられている。更に、上辺フレーム６０及び下辺フレーム６１には上ストッパ６８及び下ストッパ６９が設けられている。マスク７０は、各マスクホルダー６４，６５、マスクガイド６６，６７及びストッパ６８，６９によってマスクステージ５２に固定されるようになっている。また、上下辺フレーム６０，６１を上下に移動し、左右辺フレーム６２，６３を左右に移動することによって、マスク７０のサイズに応じてマスクホルダー６４，６５、マスクガイド６６，６７及びストッパ６８，６９の位置を変更できるようになっている。

図１２に示すように、ペリクル３５及びマスク７０を装着したのちに扉５７を閉じ、油圧シリンダ５５を駆動することによって、ペリクル加圧板５３とマスク加圧板５１との間でマスク７０とペリクル３５とに所定の圧をかける。これによって、ペリクル枠体３６に予め塗られた粘着剤３８を介してマスク７０にペリクル３５が貼着される。

以上のように構成された貼付装置５０に対して、ハンドリング器具１１で保持したペリクル３５を装着する作業について説明する。図１４及び図１６は、ペリクル装着作業を示す斜視図であり、図１５は、同側面図である。まず、図１４に示すように、ハンドリング器具１１で保持したペリクル３５をペリクル加圧板５３に対向させた状態にする。その後、矢印ｇで示すように、ハンドリング器具１１の保持体１３の下面を下辺フレーム６１に設けた両端の下マスクホルダー６５Ａの上に載せる。そして、図１５に示すように、ペリクル３５を、矢印ｈで示すようにペリクル加圧板５３側に倒し、図１６に示すように、ペリクル３５をマスクステージ５２に沿わせた姿勢とする。加圧装置５０は、ペリクル３５を装着する際に、マスクステージ５２やペリクル加圧板５３等がやや上向きとなるように、支軸７４（図１５）を支点に傾斜されるようになっている。なお、図１５では、ペリクル加圧板５３とマスクステージ５２とを前後方向にずれた配置で示してあるが、実際は、ペリクル３５を装着する際に互いに前後方向に重複した配置となり、ペリクル３５をマスクステージ５２に沿わせることによって、ペリクル３５をペリクル加圧板５３に当接させることができるようになっている。

図１７は、片側（右側）の保持体１３を拡大して示す斜視図であり、左右辺フレーム６２，６３（左辺フレーム６２については図１４参照）に設けた左右マスクガイド６６，６７の下部には、切欠け部７２が形成されている。保持体１３は、上端の肩部をマスクガイド６６，６７の切欠け部７２に嵌め込むことによって左右方向の位置決めがなされている。すなわち、このマスクガイド６６，６７によってペリクル３５の左右位置が適正に設定されるようになっている。

また、保持体１３は、下マスクホルダー６５Ａの上に載せることによって上下方向の位置決めがなされ、これによりペリクル３５の上下方向位置が適正に設定されるようになっている。

図１６及び図１７に示す状態にしたあと、ペリクル３５は、図示しないチャック機構によって保持されるとともに、ペリクル加圧板５３に装着されるようになっている。なお、保持体１３の保持爪２４には、ペリクルガイド５８を避けるための回避凹部７３が形成されている。

上記ハンドリング器具１１は、１サイズのペリクル３５だけでなく、幾つかのサイズにも適応できるようになっている。図１に示すように、ハンドリング器具１１のフレーム体１２は、左右方向に伸縮自在に構成されており、ペリクル３５のサイズに応じて左右保持体１３の間隔を可変設定可能である。フレーム体１２の伸縮構造は、例えば、上下の横枠１４を、入れ子構造（テレスコピック構造）により摺動自在に連結する２部材１４Ａ，１４Ｂで構成することによって、実現することができる。また、フレーム体１２の伸縮構造は、各ペリクル３５の各サイズに応じて多段階に調整可能としてもよいし、無段階に調整可能としてもよい。

ペリクルのサイズが変わると、図１７に示したように、下マスクホルダー６５Ａとペリクル３５との上下方向の距離が変わるので、保持体１３の受け部材２７の位置やサイズを対応させる必要が生じる。また、ペリクル加圧板５３に設けたペリクルガイド５８の位置も、ペリクル３５のサイズ等によって変わるので、保持爪２４の回避凹部７３の位置を対応させる必要がある。更に、図５に示すように、ペリクル３５を収納するケース３９は、ペリクル３５のサイズやメーカーごとに異なるので、高さ設定脚３２についても対応させる必要がある。したがって、保持体１３は、ペリクル３５のサイズ等に応じて複数種類用意しておき、これらをフレーム体１２に付け替えて用いるのが好ましい。

ただし、保持体１３を取り替える必要がないように、受け部材２７の高さを可変調整可能にし、回避凹部７３を大きく形成し、また、高さ設定脚３２を高さ調整自在に構成することによって、複数サイズのペリクル３５に適応させることも勿論可能である。

本発明は、上記実施形態に限定されることなく適宜設計変更可能である。
例えば、保持体１３は、フレーム体１２に対して着脱不能に固着することができる。または、保持体１３は、１つの保持爪２４を備えているが、溝３３の長手方向に複数の保持爪２４を備えることができる。

本発明は、ＴＦＴ液晶基板等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用のフォトマスクに貼り付けるペリクルの運搬等に用いることができる。特に、大型（第６世代〜第８世代）の液晶基板に対応するペリクルに対して好適に適用することができる。

本発明の実施形態にかかるペリクル用ハンドリング器具の斜視図である。 ハンドリング器具を用いてケースからペリクルを取り出す工程を説明する斜視図である。 ハンドリング器具を用いてケースからペリクルを取り出す工程を説明する斜視図である。 ハンドリング器具を用いてケースからペリクルを取り出す工程を説明する斜視図である。 図３のＶ−Ｖ矢視図である。 保持爪がペリクルの溝に係合した状態を示す拡大図である。 保持体でペリクルを保持した状態を示す拡大正面図である。 検査台を示す斜視図である。 検査代にペリクルをセッティングした状態を示す斜視図である。 保持体にフレーム体を再取付する状態を示す斜視図である。 貼付装置の概略構成図である。 貼付装置によりマスクにペリクルを貼り付ける状態を示す概略構成図である。 貼付装置のマスクステージの正面図である。 ペリクル装着作業を示す斜視図である。 ペリクル装着作業を示す同側面図である。 ペリクル装着作業を示す斜視図である。 片側の保持体を拡大して示す斜視図である。

符号の説明

１１ ハンドリング器具
１２ フレーム体
１３ 保持体
１６ 把手部
２４ 保持爪
２７ 受け部材
３２ 高さ設定脚
３３ 溝
３５ ペリクル
３９ ケース
４０ テーブル
５０ 貼付装置
５８ ペリクルガイド
６６ 左マスクホルダー
６７ 右マスクホルダー

Claims (9)

1. 把手部を有するフレーム体と、該フレーム体に取り付けられ且つ矩形状のペリクルを保持する一対の保持体とを備え、
   該保持体が、前記ペリクルの対向する２辺の外側面に形成された溝に係合する保持爪と、前記ペリクルの他の１辺の外側面に当接する受け部材とを有していることを特徴とする、ペリクル用のハンドリング器具。
2. 前記フレーム体が、一対の保持体の間隔を拡縮可能とするように、伸縮自在に構成されていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
3. 前記保持爪が、溝を形成したペリクルの外側面に対して接近離反移動可能に設けられていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
4. 前記保持体が、前記フレーム体に着脱自在に取り付けられることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
5. 前記フレーム体が、前記保持体の正面又は背面のいずれかを選択して取付可能であることを特徴とする請求項４記載のペリクル用のハンドリング器具。
6. テーブル上に載置された所定のケースに収容されたペリクルの、前記溝に対応するように、前記保持爪の前記テーブルからの高さを設定する高さ設定具を備えていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
7. 前記保持体に保持されたペリクルと前記把手部との間に配置される、カバー部材を備えていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
8. マスクの下辺を保持するマスクホルダーを備えたペリクル貼付装置にペリクルを装着するとき、前記マスクホルダーに前記保持体を載せることによってペリクル貼付装置に対するペリクルの上下方向の位置が位置決めされるように、前記保持体に対するペリクルの上下方向の保持位置が設定されていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
9. マスクの左右側辺に当接するマスクガイドを備えたペリクル貼付装置に対してペリクルを装着するとき、前記マスクガイドに前記保持体を当接することによってペリクル貼付装置に対するペリクルの左右方向位置が位置決めされるように、前記保持体に対するペリクルの左右方向の保持位置が設定されていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル用のハンドリング器具。
   
   

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