JP2011197125A

JP2011197125A - 大型ペリクル

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Publication number: JP2011197125A
Application number: JP2010061304A
Authority: JP
Inventors: Yoshimasa Kuriyama; 芳真栗山
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei Corp
Priority date: 2010-03-17
Filing date: 2010-03-17
Publication date: 2011-10-06
Anticipated expiration: 2030-03-17
Also published as: JP5512340B2

Abstract

【課題】治具に装着させる際のこすれが少なく、且つ、ハンドリング時の落下の可能性が少ない大型ペリクルを提供する。
【解決手段】大型ペリクル１は、開口部４を有するペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように展張されたペリクル膜３とを備え、ペリクル枠体２の少なくとも一辺が、１４００ｍｍ以上の長さで且つ当該一辺の内側への撓み量と長さとの比が０％よりも大きく０．３％未満である。
【選択図】図５

Description

本発明は、ＩＣ（IntegratedCircuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（Thin Film Transistor，LiquidCrystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いる大型ペリクルに関する。

従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。

ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、またはポリマー製の枠体の片側に、ポリマーまたはガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロースまたはセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つ枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。

フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。

また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質、高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが要望されている。例えば、下記のような文献によって、大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが提案されている。

特許文献１や特許文献２には、ペリクル膜が貼着される前の一対の長辺の枠体が外側に向かって突出した形状を有し、ペリクル膜が貼着される膜の張力により略直線状に遷移する枠体を用いた大型ペリクルが提案されている。

また、特許文献３には、ペリクル膜が貼着される前の枠体が仮想直線より外側に向かって突出した形状を有し、ペリクル膜が貼着される膜の張力により仮想直線より内側に突出した形状に遷移する枠体を用いた大型ペリクルが提案されている。

更に、特許文献４には、ペリクル膜を貼着した後に、ペリクル膜の張力により枠体の各辺が直線状になるように、貼着前の枠体の辺の円弧形状部及び直線形状部の大きさを規定した大型ペリクルが提案されている。

特開２００１−１０９１３５号公報特開２００１−０４２５０７号公報特開２００５−１２８５１２号公報特開２００６−０５６５４４号公報

ところで、上述のペリクルは、フォトマスク等に装着する前に不具合がないか検査される。そして検査の際は、人体由来の異物がペリクルに付着してしまうことを防ぐため、通常は治具を用いてペリクルを操作する。治具は、通常、ペリクル枠体の各辺が直線であると仮定して設計されており、クリーンで剛性の高いＳＵＳ等の素材で作製される。ペリクルへの治具の装着は、その装着のし易さから、ペリクル膜を地面と平行にした状態でペリクルを台上に静置して、地面と平行な方向から行われることが多く、ペリクルに治具を装着させる際は、ペリクルと治具がこすれて粉塵が出ないように装着させることが好ましい。

ところが、上記特許文献１、特許文献２及び特許文献４においては、少なくとも一辺が１４００ｍｍ以上のペリクル枠体となると、ペリクル膜を貼付けた後の枠体がほぼ直線になるが、少し凸形状を有している場合もあり、治具を装着させる際にペリクル枠体の凸形状部分と治具がこすれて粉塵が出るおそれある。また特許文献３においても、少なくとも一辺が１４００ｍｍ以上のペリクル枠体となると、中央の撓み量が規定値を満たしても枠体の端部の凸形状が大きくなる傾向があり、そのため、治具を装着させる際にペリクル枠体の凸形状部分と治具がこすれて粉塵が出るおそれがある。このように、少なくとも一辺が１４００ｍｍ以上のペリクル枠体になると、辺の長さが長いので、ペリクルと治具とのこすれを避けながらペリクルを治具に挿入するのはかなり大変な作業となる。

また、このような作業が行われるクリーンルームでは、ペリクルに異物が付着することを防止するために、クリーンな空気が上方から吹き出しダウンフロー状態となっている。このような環境においては、ペリクルが大きくなるほどダウンフローの影響を受け易くなり、ペリクル膜が受ける風圧が大きくなる。そのため、大型ペリクルにあっては、検査の際に異物が付着しないように用いる治具からダウンフローによってペリクル枠体が外れ、落下するといった問題が生じるおそれがある。

本発明は、上記課題解決のためになされたものであり、治具に装着させる際のこすれが少なく、且つ、ハンドリング時の落下の可能性が少ない大型ペリクルを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る大型ペリクルは、開口部を有するペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張されたペリクル膜とを備え、ペリクル枠体の少なくとも一辺が、１４００ｍｍ以上の長さで且つ当該一辺の内側への撓み量と長さとの比が０％よりも大きく０．３％未満であることを特徴としている。

この大型ペリクルでは、ペリクル枠体の一辺における撓み量と長さとの比が０％よりも大きく０．３％未満となっている。このように、辺が予めペリクル枠体の内側に撓んでいるため、治具を大型ペリクルに装着させる際に、一人で作業しても治具とペリクルのこすれが少なく、また治具を装着させてハンドリングした際にも落下の可能性が少ない大型ペリクルを提供できる。

この大型ペリクルにおいて、撓み量と長さとの比、つまり（撓み量）／（長さ）はその定義方法から明らかな通り、特定の辺が、ペリクル角部からどのような角度でペリクル内側方向へ進入するか、という角度のパラメータである。本発明は、後述するハンドリング治具を用いてペリクルをハンドリングする際、上記角度が、ハンドリング時の安定性に寄与し、装着時にこすれを抑制し得ることを見出した。つまり、この大型ペリクルにおいては、撓み量と長さの比を一定範囲に設定することにより、治具からペリクル枠体が外れることを抑制し、治具に装着させた際のこすれを少なくすることができる。

特に、大型ペリクルにおいては、治具装着時のこすれによる異物の発生、及びペリクル枠体が治具から外れるという課題が顕著になるが、撓み量と長さとの比を一定範囲に設定することで、一辺が１４００ｍｍ以上という大型ペリクルにおいても、ハンドリング時の操作性の向上を図ると共に、こすれによる異物発生を抑制することができる。

ところで、ペリクルをフォトマスクに貼付する際には、貼付装置が用いられる。そして、ペリクルの貼付の際は、ペリクル枠体の各辺は貼付装置によって各辺の角部の頂部同士をつないだ直線に沿ってペリクル枠体の幅分だけ加圧される。そのため、ペリクル枠体の撓みが大きすぎると未加圧部分が発生し、マスクへの均一な貼り付けができないために貼り付け不良が生じるといった問題や膜面への加圧により膜が傷つくといった問題が生じ得る。

上記の課題を解決するため、ペリクル枠体の内側への撓み量と辺の幅との比を０％よりも大きく３０％未満とすることが好ましい。ペリクル枠体の内側への撓み量と辺の幅との比、つまり（撓み量）／（幅）はその定義方法から明らかな通り、幅に対する撓み量、つまり未加圧となり得る部分の割合を示すパラメータである。一辺の長さが１４００ｍｍ以上となる大型ペリクルにおいて、撓み量と幅との比を一定範囲に設定することにより、マスクへの均一な貼り付けと、加圧時の膜の傷つきを抑制し得る。

また、上記一対の辺の側面には、長手方向に沿った溝部が設けられており、溝部の深さは、ペリクル枠体の辺の幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下であることが好ましい。溝部には、異物が混入することがある。そのため、溝部の深さを枠体の幅に対して０．７倍以下とすることは、異物を容易に発見し得るという観点から好適である。一方、溝部の深さを枠体の幅に対して０．０５倍以上とすることは、ペリクル枠体が治具から外れ難くなるようにする観点から好適である。なお、ここで言う溝部の深さとは、辺側面の表面から溝の最深部までの距離を意味し、通常は、辺の長さ方向に沿ってほぼ一定である。

また、ペリクル枠体は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、短辺の平面視における幅は、長辺の幅よりも広いことが好ましい。このような構成により、短辺におけるペリクル枠体の内側への撓み量と短辺の長さと比を、０％よりも大きく０．３％未満に好適に設定することができる。

本発明によれば、治具をペリクルに装着させる際の治具とペリクルのこすれを抑制し、治具からペリクルが落下することを抑制することができる。

本発明の一実施形態に係る大型ペリクルを示す斜視図である。図１の大型ペリクルを上から見た図である。ペリクル枠体へのペリクル膜の展張を説明する図である。ペリクル枠体における辺の撓み量を説明する図である。大型ペリクルをハンドリング治具に装着した状態を示す図である。図５におけるＡ−Ａ，Ｂ−Ｂ線断面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係る大型ペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示す大型ペリクルを上から見た図である。各図に示すように、大型ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着されたペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、大型ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。

ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ_２Ｏ_３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ_２Ｏ_３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ等からなり、略矩形状を呈している。このペリクル枠体２は、一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い一対の短辺２ｃ，２ｄとから構成されており、矩形状の開口部４を有している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１８０００ｃｍ^２以上、より好ましくは２３０００ｃｍ^２以上、３５０００ｃｍ^２以下である。

一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば１６．５ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば１７５０ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば１８．５ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば１５５０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも広くなっている。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、Ｒ＝２０ｍｍとなっている。また、ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。この溝部７の詳細については後述する。

ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、またはシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましく、より好ましくは８μｍ以下２μｍ以上、特に好ましくは６μｍ以下４μｍ以下である。

このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。

ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、または含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。

また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、または発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さはペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が、規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、８ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。また、粘着材層の厚さとペリクル枠体の厚さとの合計は、６ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは、７ｍｍ以上８．５ｍｍ以下が好ましく、更に好ましくは、７．５ｍｍ以上８．３ｍｍ以下が好ましい。

また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、大型ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．７倍であることが好ましく、より好ましくは０．３〜０．６倍であり、ペリクル枠体２各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。

粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、またはポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、またはフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。

続いて、ペリクル枠体２へのペリクル膜３の展張について、図３を参照しながら説明する。

図３（ａ）に示すように、ペリクル枠体２は、ペリクル膜３が展張される前の状態において、各辺２ａ〜２ｄが所定の曲率を有して外側に湾曲して突出している。具体的には、ペリクル膜の貼着前に外側に湾曲した形状（特開２００１−４２５０７号公報参照）や、枠体の中央部が外側凸の円弧形状部、その両側に外側凹の円弧形状部、さらにその外側に直線形状部を有する枠体（特開２００６−５６５４４号公報参照）等が挙げられる。このペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着剤を塗布し、ペリクル膜３の周辺部が所定の引張応力を伴うように展張して貼着する。これにより、ペリクル膜３の張力がペリクル枠体２の内側に向かって作用する。このペリクル膜３の張力により、図３（ｂ）に示すように、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄは、ペリクル枠体２の内側に湾曲して突出する。より具体的には、図４を参照しながら説明する。

図４に示すように、例えば短辺２ｃにおいては、ペリクル膜３が展張されると、仮想の基準線Ｓよりも内側に所定の曲率を有して湾曲する。基準線Ｓは、ペリクル枠体２の角部５の頂部同士をつないだ直線である。各辺２ａ〜２ｄが湾曲した湾曲部の撓み量Ｄは、基準線Ｓと各辺２ａ〜２ｄの湾曲部の中央部分との間の距離であり、所定の範囲内となるように設定されている。この所定の範囲は、各辺２ａ〜２ｄにおける基準線Ｓと湾曲部との間の公差（撓み量）として規定されている。なお、基準線Ｓは、撓み量Ｄが０ｍｍの状態を示す。

一対の長辺２ａ，２ｂは、一対の短辺２ｃ，２ｄよりも幅が狭く且つ長さが長いため、ペリクル膜３の張力によりペリクル枠体２の内側に撓みやすい。そのため、長辺２ａ，２ｂの公差は、例えば４ｍｍ〜０ｍｍとなっている。一方、短辺２ｃ，２ｄは、一対の長辺２ａ，２ｂよりも幅が広く且つ長さが短いため、長辺２ａ，２ｂに比べて撓み難い。そのため、短辺２ｃ，２ｄの公差は、例えば２ｍｍ〜０ｍｍとなっている。なお、この公差は、各辺２ａ〜２ｄが基準線Ｓよりもペリクル枠体２における外側に変位した場合には「マイナス（−）」、各辺２ａ〜２ｄが基準線Ｓよりもペリクル枠体２における内側に変位した場合には「プラス（＋）」として示している。

そして、短辺２ｃ，２ｄの撓み量Ｄと短辺２ｃ，２ｄの長さとの比（撓み量Ｄ／長さ）は、０％よりも大きく０．３％未満となるように設定されている。具体的には、例えばペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄにおいては、撓み量Ｄが２ｍｍの場合、撓み量Ｄと長さ（１５５０ｍｍ）との比が０．１３％となっている。

また、短辺２ｃ，２ｄの撓み量Ｄと短辺２ｃ，２ｄの幅との比（撓み量Ｄ／幅）は、０％よりも大きく３０％未満となるように設定されている。具体的には、例えばペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄにおいては、撓み量Ｄが２ｍｍの場合、撓み量Ｄと幅（１８．５ｍｍ）との比が１０．８％となっている。

撓み量Ｄ／長さの値が０％より大きければ、治具をペリクルに装着させる際のこすれを抑制することができる。これは、治具は、ペリクル枠体が直線であるという仮定のもと作製され、直線方向に挿入されることが想定されているからである。撓み量Ｄ／長さの比が０％より大きいと治具との間に隙間ができてこすれにくくなる。一方、一辺の長さが１４００ｍｍ以上の辺２ａ〜２ｄの場合、撓み量Ｄ／長さの値が０．３％以上になると、中央部分のハンドリング治具との接触面積が角部の接触面積よりも相対的に小さくなる傾向となる。つまり、後述するハンドリング治具１０を用いてのペリクル操作時に、中央部分がハンドリング治具１０から外れ、ペリクルが落下する可能性が大きくなる傾向となる。そのため、長さ１４００ｍｍ以上の辺２ａ〜２ｄにおいては、撓み量Ｄ／長さの値を０％より大きく０．３％未満とする必要がある。一辺の長さが１４００ｍｍ〜２４００ｍｍ、より好ましくは１６５０ｍｍ〜２３００ｍｍ、更に好ましくは１８００ｍｍ〜２２００ｍｍ、特に好ましくは１８００ｍｍ〜２０００ｍｍであると、本願発明の効果が顕著となる。

ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さが１４００ｍｍ以上のフレームの場合、両者のバランスから、各辺２ａ〜２ｄの幅は好ましくは１３ｍｍ〜３０ｍｍ、より好ましくは１５ｍｍ〜２７ｍｍ、特に好ましくは１９．５ｍｍ〜２５ｍｍとすることが好ましい。

また、ペリクル枠体２の厚みに関しても薄ければ薄いほど軽くて扱いやすい大型ペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さが１４００ｍｍ以上のペリクル枠体２の場合、両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは好ましくは４．５ｍｍ〜１２ｍｍ、より好ましくは６．０ｍｍ〜１０ｍｍ、特に好ましくは７．２ｍｍ〜９ｍｍとすることが好ましい。

上述の構成を有する大型ペリクル１は、フォトマスク等に装着する前に不具合がないか検査が行われる。この検査の際、図５に示すように、ペリクル膜３に異物が付着することを防止するため、大型ペリクル１を保持するハンドリング治具１０を用いる。図５に示されるように、ハンドリング治具１０は、作業者に把持される把手部１１と、把手部１１に連結され、大型ペリクル１を保持する保持部１２とから構成されている。保持部１２は、大型ペリクル１に対応する寸法を有している。このようなハンドリング治具１０は、軽量で且つ剛性の高い材料から形成されており、特に保持部１２は、摩擦係数の高い材料であることが好ましい。

ハンドリング治具１０の保持部１２は、大型ペリクル１が収納トレイ（図示しない）に載置された状態において、ペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄに形成された溝部７に挿入されることにより大型ペリクル１を保持する。つまり、ハンドリング治具１０は、大型ペリクル１のペリクル枠体２における短辺２ｃ，２ｄを保持する。そこで、短辺２ｃ，２ｄの溝部７について説明する。

図１に示すように、溝部７は、短辺２ｃ，２ｄの側面６おいて長手方向に沿って設けられている。より具体的には、図６（ａ）に示すように、溝部７は、断面が略矩形状を呈しており、その深さＨは、ペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄの幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下となっており、０．０５倍以上０．５倍以下が好ましく、０．１倍以上０．４倍以下がより好ましい。また、図６（ｂ）に示すように、溝部７の幅Ｈは、ハンドリング治具１０の保持部１２の厚さと同等となっており、例えば枠体の幅に対して０．２倍である。また、溝部７の高さはペリクル枠体の厚みの０．１倍以上０．５倍以下が好ましく、より好ましくは０．２倍以上０．４倍以下である。

また、保持部１２の差込長さはペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄの幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下となっており、０．０５倍以上０．５倍以下が好ましく、０．１倍以上０．４倍以下がより好ましい。

保持部１２の先端が溝部７に突き当たることを防ぐためにも、保持部１２の差込長さは溝部７の幅Ｈの０．０５倍以上０．７倍以下となっており、０．０５倍以上０．５倍以下が好ましく、０．１倍以上０．４倍以下がより好ましい。

また、撓み量Ｄと短辺２ｃ，２ｄの長さとの比を上記範囲に設定することにより、ハンドリング治具１０の保持部１２に短辺２ｃ，２ｄが保持された際、保持部１２と短辺２ｃ，２ｄとの接触（引っ掛かり）を確保できるため、ハンドリング治具１０からペリクル枠体２が外れることを防止できる。以上のように、１４００ｍｍ以上の長さの辺２ａ〜２ｄを有する大型ペリクル１であっても、治具を装着時こすれによる異物発生を低減すると共に、ハンドリング等の操作性の向上を図ることができる。なお、上記撓み量Ｄは、公差の範囲内となっており、前述の治具とのこすれによる異物抑制とハンドリング治具１０によるペリクル枠体２の把持の観点から、撓み量Ｄ／長さの値は０．０３％以上０．２％以下が好ましい。

また、短辺２ｃ，２ｄの側面６には、長手方向に沿った溝部７が設けられており、溝部７の深さは、ペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄの幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下となっている。溝部７には、異物が侵入することがある。この場合、溝部７の深さが深すぎると、異物を発見することが困難となる。一方、溝部７の深さが浅すぎると、大型ペリクル１がねじれた際等に、ハンドリング治具１０からペリクル枠体２が容易に外れてしまう。そこで、溝部７の深さをペリクル枠体２の短辺２ｃ，２ｄの幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下とすることにより、異物の侵入の発見を容易にすると共に、ハンドリング治具１０から大型ペリクル１が落下することを防止できる。同様に、溝部７の高さが高すぎると異物が進入しやすくなり、低すぎるとハンドリング治具１０からペリクル枠体２が容易に外れてしまう。そこで、溝部７の高さはペリクル枠体の厚みの０．１倍以上０．５倍以下とするのが好ましく、より好ましくは０．２倍以上０．４倍以下である。

取り扱いの観点から、ハンドリング治具１０は、作業者に把持される把手部１１と、把手部１１に連結され、大型ペリクル１を保持する保持部１２とから構成することが好ましく、保持部１２をコ字状に構成することが好ましい。具体的には保持部１２は、ペリクル枠体２の対向する一対の辺（ここでは仮に短辺２ｃ，２ｄとする。）に形成された溝部７に挿入されて係合する一対の係合部と、把手部１１が連結されると共に係合部に支持されていない他の一辺（ここでは仮に長辺とする。）を支持する支持部とから構成することが好ましい。係合部は、溝部７の幅と同等の厚みを有する長尺状の部材であり、係合部の長さは係合部が支持する辺の長さの０．１倍以上１．０倍以下とすることが好ましい。係合部の長さが短すぎると十分な支持ができなくなるおそれがあり、長すぎると取り扱いが不便になるおそれがあるため、係合部の長さは支持する辺の長さの０．１５倍以上０．６倍以下とすることが好ましく、より好ましくは０．１５倍以上０．４５倍以下である。係合部の幅や材質は辺が支持できる程度の強度となるものであれば特に限定は無い。

コ字状型のハンドリング治具１０をペリクルに装着させる場合、取り扱い易さの観点から、ペリクル枠体２の短辺２ｃ,２ｄと係合部が平行（長辺と支持部が平行）となるようにハンドリング治具１０をペリクルに装着させることが好ましく、短辺２ｃ，２ｄ側を治具で保持させることが好ましい。この際、短辺２ｃ，２ｄの幅を長辺２ａ，２ｂの幅よりも幅広にすると、短辺２ｃ，２ｄの剛性を高めることができ、コ字状型のハンドリング治具１０でハンドリングする際にペリクル枠体２の撓みを少なくすることができるため好ましい。

また、撓み量Ｄと辺２ａ〜２ｄの幅との比が０％よりも大きく３０％未満であると、貼付装置によるペリクル貼り付けの際の加圧ムラが低減され、貼り付け不良の発生を抑制し、加圧時に膜面に接触することも抑制できるため好ましい。また、前述の膜面接触の観点から、撓み量Ｄと幅との比は３％よりも大きく２５％未満であることが好ましい。

（取り出し試験）
以下、大型ペリクルのハンドリング治具による大型ペリクルの取り出し試験について説明する。取り出し試験は、クリーンルームにおいて、ハンドリング治具を用いて大型ペリクルをペリクルケースのトレイから取り出す試験であり、比較例の大型ペリクルと本実施形態の大型ペリクルとについて実施した。

（貼付試験）
また、貼付装置による大型ペリクルの貼付試験について説明する。貼付試験は、クリーンルームにおいて、フォトマスクの替わりに青板ガラスに貼り付けた。ペリクルのフォトマスクへの貼り付けは貼付装置を用いて各辺の角部の頂部同士をつないだ直線に沿ってペリクル枠体の幅分だけ加圧した。

最初に、実施例の大型ペリクルについて説明する。本実施形態に係る大型ペリクルの材質はアルミニウム合金、厚みは６．５ｍｍであり、長辺は、幅が１６．５ｍｍ、長さが１７５０ｍｍである。また、短辺は、幅が１８．５ｍｍ、長さが１５５０ｍｍで、短辺側全長に渡って溝が設けられており、溝の深さは５ｍｍ、溝の高さは２ｍｍであった。

これらの各辺から構成されるペリクル枠体において、短辺の撓み量Ｄは４ｍｍ、長辺の撓み量Ｄは４．６ｍｍとなっている。したがって、本実施形態の大型ペリクルにおいては、短辺の撓み量Ｄと短辺の長さとの比、長辺の撓み量Ｄと長辺の長さとの比は共に０．２６％となっている。また、短辺の撓み量Ｄと短辺の幅との比は２１．６％、長辺の撓み量Ｄと長辺の幅との比は２７．９％、となっている。粘着剤はスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤を使用し、厚み１．８ｍｍ、塗布幅６ｍｍで且つ開口部から２ｍｍの間隔を有するようにペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。

この本実施形態の大型ペリクルをペリクル枠体が地面と平行になるように設置し、水平方向にハンドリング治具を装着させた。ハンドリング治具は、作業者に把持される把手部と、把手部に連結され、大型ペリクルを保持する保持部とから構成されており、保持部はコ字状を成している。この保持部は、ペリクル枠体の短辺に形成された溝部に挿入されて係合する一対の係合部と、把手部が連結されると共に長辺を支持する支持部とから構成されている。係合部は、短辺に形成された溝部の幅と同等の厚みを有する長尺状の部材であり、部材係合部の長さを７００ｍｍ、係合部の幅を３３ｍｍとした。そして、一対の係合部間の間隔は１７４２ｍｍとなっている。また、支持部は、ペリクル枠体の長辺と同等の厚みを有する長尺状の部材であり、支持部の長さは１７５２ｍｍとなっている。装着時にこすれの有無を集光灯を当てて目視検査を行ったところ、こすれは確認されなかった。

次に、ペリクルケースのトレイからハンドリング治具を用いて取り出す作業を１０回行った。その結果、本実施形態の大型ペリクルにおいては、取り出しの際にハンドリング治具から外れないといった結果が得られた。また、貼付試験を行った結果、貼着剤層全面を押圧でき、均一に貼着剤層を押圧できた。更に、そのままペリクルを貼り付けた後１ヶ月放置したが、貼り付け不良等の発生もなかった。

次に、比較例の大型ペリクルについて説明する。比較例の大型ペリクルの材質はアルミニウム合金、厚みは６．５ｍｍであり、長辺は、幅が１２ｍｍ、長さが１７５０ｍｍである。また、短辺は、幅が１２ｍｍ、長さが１５５０ｍｍである。これらの各辺から構成されるペリクル枠体において、短辺の撓み量Ｄは５．２ｍｍ、長辺の撓み量Ｄは５．３ｍｍとなっている。したがって、比較例の大型ペリクルにおいては、短辺の撓み量Ｄと短辺の長さとの比は０．３４％、長辺の撓み量Ｄと長辺の長さとの比は０．３０％となっている。また、短辺の撓み量Ｄと短辺の幅との比は４３．３％、長辺の撓み量Ｄと長辺の幅との比は４４．２％、となっている。粘着剤はスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤を使用し、厚み１．８ｍｍ、塗布幅６ｍｍで且つ開口部から２ｍｍの間隔を有するようにペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。

この比較例の大型ペリクルをペリクル枠体が地面と水平方向となるよう設置した後、水平方向からハンドリング治具（実施例で使用したものと同じ）を装着させた。装着時のこすれの有無を集光灯を当てて目視検査で確認したところ、こすれは確認されなかった。

次に、ペリクルケースのトレイからハンドリング治具を用いて取り出す作業を１０回行った。上記ハンドリング治具を用いて取り出し試験を行った結果、１０回のうち２回はハンドリング治具から大型ペリクルが外れるといった結果が得られた。また、貼付試験を行った結果、貼着剤層全面を押圧できない部分があり、均一な貼付状態ではなかった。更に、そのままペリクルを貼り付けた後１ヶ月放置した結果、貼り付け不良が発生した。

もう一つの比較例の大型ペリクルについて説明する。比較例の大型ペリクルの材質はアルミニウム合金、厚みは６．５ｍｍであり、長辺は、幅が１２ｍｍ、長さが１７５０ｍｍである。また、短辺は、幅が１２ｍｍ、長さが１５５０ｍｍである。これらの各辺から構成されるペリクル枠体において、短辺の撓み量Ｄは−１．０ｍｍ、長辺の撓み量Ｄは５．５ｍｍとなっている。したがって、比較例の大型ペリクルにおいては、短辺の撓み量Ｄと短辺の長さとの比は−０．０６％、長辺の撓み量Ｄと長辺の長さとの比は０．３１％となっている。また、短辺の撓み量Ｄと短辺の幅との比は−８．３３％、長辺の撓み量Ｄと長辺の幅との比は４５．８％、となっている。粘着剤はスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤を使用し、厚み１．８ｍｍ、塗布幅６ｍｍで且つ開口部から２ｍｍの間隔を有するようにペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。

この比較例の大型ペリクルをペリクル枠体が地面と水平方向となるよう設置した後、水平方向からハンドリング治具（実施例で使用したものと同じ）を装着させた。装着時のこすれの有無を集光灯を当てて目視検査で確認したところ、こすれが確認され、こすれによる異物も確認された。

次に、ペリクルケースのトレイからハンドリング治具を用いて取り出す作業を１０回行った。上記ハンドリング治具を用いて取り出し試験を行った結果、ハンドリング治具から大型ペリクルが外れることはなかったが、ペリクル枠体が強く押圧され、膜しわが発生するといった結果になった。また、貼付試験を行った結果、長辺側では貼着剤層全面を押圧できない部分があり、短辺側では膜面を押圧した部分が発生した。ペリクルとしては使用できない状況であった。

本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、溝部７の形状を断面矩形状としているが、溝部７の形状はこれに限定されない。溝部７は、例えば、断面円形状、断面Ｌ字状、断面台形状、断面Ｔ字状等であってもよく、要は、ハンドリング治具１０からペリクル枠体２が外れ難い形状であればよい。なお、溝部７の形状に対応して、ハンドリング治具１０の保持部１２の形状も変更される。また、溝部７の幅は、狭い方が好適である。

１…大型ペリクル、２…ペリクル枠体、２ａ，２ｂ…長辺、２ｃ，２ｄ…短辺、３…ペリクル膜、４…開口部、６…側面、７…溝部、Ｄ…撓み量。

Claims

開口部を有するペリクル枠体と、
前記ペリクル枠体の前記開口部を覆うように展張されたペリクル膜とを備え、
前記ペリクル枠体の少なくとも一辺が、１４００ｍｍ以上の長さで且つ当該一辺の内側への撓み量と長さとの比が０％よりも大きく０．３％未満であることを特徴とする大型ペリクル。
前記一辺の内側への撓み量と辺の幅との比が０％よりも大きく３０％未満であることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクル。
前記一辺の側面には、長手方向に沿った溝部が設けられており、
前記溝部の深さは、辺の幅に対して０．０５倍以上０．７倍以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の大型ペリクル。
前記ペリクル枠体は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、
前記短辺の平面視における幅は、前記長辺の幅よりも広いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の大型ペリクル。