JP5767505B2 - 大型ペリクル用枠体及び大型ペリクル - Google Patents
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Description
前記接着剤としては例えばアクリル系接着剤及びエポキシ系接着剤からなる群から選択されるものであって、かつUV硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気性硬化型接着剤、シアノアクリレート型瞬間接着剤からなる群から選択される接着剤などが適切である。
また、段部を有する大型ペリクル用枠体を用いることで、従来の大型ペリクルよりも容易にマスクから剥離することができる。ここで、剥離性の評価は、以下のように定義される。まず、大型ペリクル用枠体から、段部を有さない長さ10cmの部分をサンプルとして切り出す。そして、FPDペリクルマウンターM515L−IIIを用い、6.0N/cm2(FPDペリクルマウンターによる貼付荷重/マスク粘着材の接着面積)の力により、エキシマー照射した石英ガラスに切り出したサンプルの端から5cmの長さの範囲を10分間貼り付ける。その後、引張り試験機(SIMAZU オートグラフ AGS−50G)を用いて、初期状態において粘着剤と剥離台との角度が90°になるようにサンプルをセットし、50mm/分の速度にて剥離試験を行うことで剥離する力を測定する。この測定を3回行い、最大の剥離力(最大剥離力/マスク接着幅)の平均が80kgf/mm2以上180kgf/mm2以下の値をとるものを剥離性○と定義した。また、剥離力が80kgf/mm2よりも小さい場合は、マスクとの密着性が悪く、マスクから大型ペリクルが剥がれてしまう可能性がある。一方、剥離力が180kgf/mm2よりも大きい場合は、大型ペリクルをマスクから剥離することが困難であり、高価なマスクを傷つける恐れがある。以上の観点から、剥離力が80kgf/mm2よりも小さく180kgf/mm2よりも大きい場合を、製品として扱えないという観点から剥離性×と定義した。
[実施例1]
[実施例2]
[実施例3]
[比較例1]
[比較例2]
Claims (4)
- 開口部を有する矩形状の大型ペリクル用枠体であって、
当該大型ペリクル用枠体に厚みの変化する1以上の段部を有し、
前記大型ペリクル用枠体の厚みに対する前記段部の割合が0.3%以上7%以下であり、
前記大型ペリクル用枠体は、1以上の接合部を有し、
前記接合部は、少なくとも前記大型ペリクル用枠体の頂部に有することを特徴とする大型ペリクル用枠体。 - 前記大型ペリクル用枠体の平面度が300μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の大型ペリクル用枠体。
- 前記大型ペリクル用枠体の全体の厚みの標準偏差が50μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の大型ペリクル用枠体。
- 請求項1〜3の何れか1項に記載の大型ペリクル用枠体と、前記開口部を覆うように前記大型ペリクル用枠体の上縁面に展張支持されたペリクル膜、とを備えることを特徴とする大型ペリクル。
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