KR101166460B1 - 펠리클 프레임, 및 이 프레임을 사용한 포토리소그래피용 펠리클 - Google Patents

Abstract

펠리클막의 장력에 의한 프레임의 내측으로의 휘어짐을 방지하여 노광영역의 감소를 방지함과 아울러, 치수정밀도 및 포토마스크 상에의 부착위치 정밀도가 뛰어난 펠리클을 얻을 수 있는 프레임, 및 상기 프레임을 사용한 포토리소그래피용 펠리클을 제공한다.

본 발명의 프레임은, 프레임체의 적어도 한쌍의 변에 있어서, 그 중앙부가 외측볼록의 원호형상부, 그 양측에 외측오목의 원호형상부, 또한 그 외측에 직선형상부를 갖는 것을 특징으로 한다. 외측오목의 원호형상부의 반경은, 외측볼록의 원호형상부의 반경의 1/3이상의 크기로 하는 것이 바람직하다.

본 발명은, 프레임체의 적어도 한쌍의 변길이가, 400㎜ 이상인 대형의 프레임에 적용하면 보다 효과적이다.

Description

펠리클 프레임, 및 이 프레임을 사용한 포토리소그래피용 펠리클{PELLICLE FRAME AND PELLICLE FOR PHOTOLITHOGRAPHY USING THIS FRAME}

도 1은 본 발명에 의한 프레임의 일실시예를 나타내는 개략도이다.

도 2는 본 발명의 프레임을 사용해서 제작한 펠리클의 일실시예를 나타내는 개략도이다.

도 3(a)는, 종래의 프레임의 형상을 나타내고, (b)는 이것에 펠리클막을 접착해서 얻어진 종래의 펠리클을 나타내는 개략도이다.

도 4(a)는, 장변을 외측으로 만곡시킨 프레임이며, (b)는 이것에 펠리클막을 접착해서 얻어진 펠리클을 나타내는 개략도이다.

도 5는 펠리클막을 박리지그에 텐션설치 유지했을 때의, 장력의 방향을 나타내는 도이다.

[부호의 설명]

10:프레임

11:외측볼록의 원호형상부(장변측의 범위)

12:외측오목의 원호형상부(장변측의 범위)

13:직선형상부(장변측의 범위)

14:외측볼록의 원호형상부(단변측의 범위)

15:외측오목의 원호형상부(단변측의 범위)

16:직선형상부(단변측의 범위)

20:프레임

21:펠리클막

22:펠리클막 접착제층

23:마스크 점착제층

30:(종래의 직선형상으로 이루어지는)프레임

31:펠리클막

41:장변을 만곡돌출시킨 프레임의 장변

42:프레임의 단변

43:펠리클막

44:장변의 코너부 근방

51:펠리클막 박리지그

52:펠리클막

53:장력을 나타내는 화살표(직교방향)

54:장력을 나타내는 화살표(대각방향)

55:펠리클막 접착전의 프레임

본 발명은, 반도체 디바이스, 프린트 기판 혹은 액정 모니터 등을 제조할 때의 방진용으로서 사용되는, 포토리소그래피용 펠리클에 관한 것이다.

LSI 등의 반도체 디바이스 혹은 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 반도체 웨이퍼 혹 액정용 유리 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크 혹은 레티클(이하, 단순히 포토마스크라고 총칭한다)에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 빛을 차단하거나, 굴절시키거나 해버리기 때문에, 전사된 패턴이 손상된다고 하는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들의 패턴 제작작업은, 보통 클린룸 내에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정으로 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지방지로서, 펠리클을 부착하는 방법이 채용되고 있다.

이 경우, 이물은 포토마스크의 표면상에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에, 조사광의 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰서 행하면, 펠리클막 상의 이물은 전사에 무관계가 된다.

펠리클에는, 통상, 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰로오스 혹은 불소계 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스텐레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임(이하, 단순히 프레임이라고 칭한다)의 상단면에 펠리클막의 용매를 도포하고, 바람건조해서 해서 접착하거나(특허문헌1 참조), 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제로 접착하고(특허문헌2, 특허문헌3 참조), 또한, 프레임의 하단면에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리 초산비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 이 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다

또, 펠리클을 포토마스크에 붙였을 때에, 펠리클막으로 둘러싸여진 펠리클의 내부공간과 외부의 기압차를 없애기 위해서, 프레임의 일부에 기압조정용의 소공을 형성하고, 이 소공을 통해서 이동하는 공기로부터의 이물침입을 막기 위해, 이것에 필터가 설치되는 경우도 있다(특허문헌4 참조).

일반적으로, 펠리클막은 극히 엷은 수지막으로 형성되어 있기 때문에, 이것을 느슨함 없이 프레임 상에 부착설치하기 위해서는, 모든 방향에 적절한 크기의 장력이 균등하게 가해진 상태로, 프레임에 접착되지 않고 있으면 안된다.

따라서, 보통 사용되고 있는 각형의 펠리클에서는, 펠리클막을 붙인 후의 프레임에, 막의 장력에 의해 다소 내측을 향해서 휘어짐이 발생하고 있는 것이 확인된다. 이 현상은, 예를 들면, 프린트 기판이나 액정 디스플레이 제조에 이용되는 대형의 펠리클 등, 프레임의 변 길이가 큰 것에서는, 현저하게 나타난다.

한편, 포토마스크는, 저비용화를 위해 될 수 있는 한 큰 노광영역을 확보하고 싶다고 하는 요구가 있다. 이 때문에, 프레임의 내측으로의 휘어짐을 될 수 있는한 작게 하지 않으면, 이용할 수 있는 노광 영역(면적)이 그만큼 감소한다는 문제가 있다. 물론, 프레임의 단면적을 크게 하는 등의 수단으로, 프레임의 강성을 높이는 방법으로도, 이 문제를 해결할 수 있지만, 실제로는, 프레임의 내측은 상기와 같이 노광영역의 문제가 있고, 외측에 대해서도 포토마스크의 고정이나 반송시에 필요로 하는 핸들링용의 클리어런스를 확보할 필요가 있다. 이 때문에, 프레임의 단면적의 크기에는 제한이 있다. 그 때문에, 통상, 프레임의 각 변은, 이들의 제약에서 결정된 직선형상으로 형성되어 있다.

또, 이 문제에 대하여, 예를 들면, 미리 외측으로 부풀어 오르게 해 둔 프레임의 장변을 막의 장력으로 휘어지게 해서 대략 직선상의 형상을 얻는 방법이 시험되어 지고 있다(특허문헌5 참조).

이 방법은, 가공형상이 비교적 간단하기 때문에 제작하기 쉽다는 이점이 있고, 또한, 목적으로 하는 노광영역의 확보도 달성되지만, 치수 정밀도의 점에서 문제가 있다. 예를 들면, 도4(a)에 나타낸 바와 같이, 프레임의 장변(41)이 외측으로 만곡하고 있을 경우, 이것에 펠리클막을 부착하면, 도4(b)와 같은 형상이 되고, 코너에 가까운 부분(44)에 만곡이 남겨지고, 프레임내의 영역을 모두 노광영역으로서 이용할 수는 없다. 즉, 노광영역으로서 이용할 수 있는 것은, 직선으로 둘러싸여진 음영부(43)의 영역이다.

이처럼 프레임의 코너부 부근에 만곡부가 남는 것은, 펠리클막의 장력과 부풀어 오르게 한 프레임의 볼록형상이 잘 균형을 이루지 않기 때문이다. 또한, 이 방법에는, 프레임의 외형 변형에 의해, 펠리클을 포토마스크 상에 붙일 때의 위치결정이 곤란해 지고, 포토마스크 상에의 펠리클 부착위치의 정밀도가 저하한다는 문제가 있다.

또, 프레임의 외측으로 부풀어 오르게 한 돌출변은, 기준위치가 잘 정해지지 않기 때문에, 가공후의 정확한 치수계측이 곤란하다. 그 때문에, 프레임 제작시의 정밀도 관리가 어렵고, 가공 정밀도가 저하하기 쉽다는 문제가 있다.

이러한 프레임의 휘어짐 대책은, 변 길이가 길어지면 단변측에서도 필요하게 되지만, 이 방법에서는, 장변측은 물론 단변측도 돌출형상으로 하면, 치수계측에서 기준이 되어야 할 부분이 완전히 없어져 가공후의 정확한 치수계측이 매우 곤란해진다. 그 때문에, 한층 더 치수 정밀도의 저하를 초래한다.

[특허문헌 1] 일본 특허공개 소58-219023호 공보

[특허문헌 2] 미국 특허 제 4861402호 명세서

[특허문헌 3] 일본 특허공고 소63-27707호 공보

[특허문헌 4] 일본 실용신안 공개 소 63-39703호 공보

[특허문헌 5] 일본 특허공개 2001-42507호 공보

본 발명은, 펠리클막의 장력에 의한 프레임의 내측으로의 휘어짐을 방지해서 노광영역의 감소를 방지함과 아울러, 치수정밀도 및 포토마스크 상에의 부착위치 정밀도가 뛰어난 펠리클을 얻을 수 있는 프레임, 및 상기 프레임을 사용한 포토리소그래피용 펠리클을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은, 상기 문제을 감안하여 이루어진 것이며, 본 발명의 프레임은 프레임체의 적어도 한쌍의 변에 있어서, 그 중앙부가 외측볼록의 원호형상부, 그 양측에 외측오목의 원호형상부, 또한 그 외측에 직선형상부를 갖는 것을 특징으로 하고 있다. 또한, 외측오목의 원호형상부의 반경은, 외측볼록의 원호형상부의 반경의 1/3 이상의 크기로 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 프레임은, 펠리클막을 접착해서 펠리클을 구성할 때에, 접착한 펠 리클막의 장력에 의해 펠리클 프레임의 각 변이 직선상으로 되도록, 변의 원호형상부 및 직선형상부의 크기, 범위가 설정되어 있다.

본 발명은, 프레임의 적어도 한쌍의 변 길이가 400㎜ 이상인 것에 사용했을 때에, 특히 유효하다.

상기 구성으로 이루어지는 프레임에 펠리클막을 접착하는 것에 의해, 치수정밀도가 높은 포토리소그래피용 펠리클을 얻을 수 있다.

일반적으로, 펠리클막의 성막에는, 프레임보다 한단계 큰 원형 혹은 각형의 평활기판이 이용되지만, 특히 프레임의 휘어짐이 문제가 되는 듯한 대형의 펠리클을 제작할 경우에는, 기판 가공 비용 등의 점에서, 주로 각형의 성막 기판이 이용된다.

각형의 성막 기판을 사용했을 경우, 스핀 코트법 등에 의해 기판상에 성막된 펠리클막은, 도5에 나타내는 바와 같은 프레임상의 박리지그(51)에 의해 박리되어,부착설치 유지된다. 이 때, 펠리클막(52)을 프레임에 부착했을 경우, 프레임의 각변의 중앙부에서는, 변에 직교하는 방향의 장력(53)에 의한 휘어짐이 생긴다.

그러나, 코너 대각방향의 장력(54)은, 프레임을 코너부로부터 중심을 향해서 누르는 방향으로 작용하지만, 프레임 각부의 강성에 의해 프레임을 휘게하는 방향의 성분이 작아지고 또한 각각의 방향의 힘이 서로 균형을 이루기 때문에 코너부 근방에서는 프레임의 휘어짐량은 극히 적어진다.

따라서, 형상 정밀도가 좋은 펠리클을 얻기 위해서는, 이들의 점을 고려해서 프레임의 형상을 결정할 필요가 있다. 본 발명자는 예의 검토한 결과, 이러한 현상 을 발견해내고, 본 발명을 완성시킨 것이다.

즉, 상기 과제를 해결한 본 발명의 프레임은, 프레임체의 적어도 한쌍의 변에 있어서, 그 중앙부가 외측볼록의 원호 형상부, 그 양측에 외측오목의 원호형상부, 또한 그 외측에 직선형상부를 갖고 있고, 이것에 의해, 펠리클막의 장력에 의한 프레임의 내측으로의 휘어짐을 방지하고, 노광 영역의 감소를 방지하고 있다.

또한, 외측오목의 원호형상부의 반경을 외측볼록의 원호형상부의 반경의 1/3이상의 크기로 함으로써, 외측볼록과 오목의 형상부를 연속적으로 원활하게 접속할 수 있다. 또한, 이 때의 변의 원호형상부 및 직선형상부의 크기, 범위를 접착한 펠리클막의 장력에 의해 프레임의 각 변이 직선상이 되도록, 미리 설계해 두는 것이 중요하다.

본 발명의 프레임은, 상기 구성으로 함으로써, 프레임의 중앙부 뿐만 아니라, 코너부 부근에 있어서도 펠리클막의 장력과의 밸런스를 잘 취할 수 있기 때문에, 변의 직선성이 뛰어난 극히 치수정밀도가 좋은 펠리클을 얻을 수 있다. 또한, 코너부 부근에는 직선부가 있기 때문에, 가공후의 치수 계측시에 위치 기준을 정확하게 취할 수 있고, 프레임의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다. 그 결과, 포토마스크 상에 펠리클을 붙일 때에도 위치 어긋남이 생기지 않아 펠리클의 부착위치 정밀도가 향상한다.

또한, 코너부 부근은 반드시 직선상이 되기 때문에, 가공후의 치수 계측시에 정확한 기준을 취할 수 있어서 가공 정밀도가 향상하는데다가, 같은 이유에서, 장단변 양쪽에 이 형상을 형성할 수 있다.

그리고, 이러한 펠리클 프레임을 사용해서 펠리클을 구성하면(청구항 4), 지극히 치수정밀도가 뛰어난 펠리클을 얻을 수 있다.

본 발명의 프레임의 구성은, 어떠한 크기의 프레임에 대해서도 유효하지만, 적어도 한쌍의 변길이가 400㎜ 이상인 대형 펠리클 프레임에 대하여 적용하면 특히 유효하다.

이하, 본 발명의 실시형태를 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

도 1에 본 발명의 일실시 형태를 나타낸다. 이것은 직사각형 형태의 프레임 에 적용한 예이며, 장변의 중앙부를 중심선 대칭으로 외측볼록의 원호형상부(11)로 하고, 그 양측은 외측오목(내측볼록)의 원호형상부(12,12), 또한, 이 외측에서 코너부까지를 직선형상부(13,13)로 하고 있다. 마찬가지로, 단변측에 대해서는, 그 중앙부를 중심선 대칭으로 외측볼록의 원호형상부(14), 그 양측을 외측오목의 원호형상부(15,15)로 하고, 또한 이 외측에서 코너부까지를 직선형상부(16,16)로 하고 있다.

이 때, 프레임의 외측볼록의 원호형상부와 외측오목의 원호형상부의 원호의 크기, 및 이들 각 원호형상부와 직선형상부의 범위의 배분은, 프레임에 펠리클막을 접착 및 절단했을 때에, 각 변이 직선형상이 되도록, 프레임의 형상과 사용하는 성막기판(박리지그)의 조합에 따라서 적당히 설계할 필요가 있다.

또한, 외측오목의 원호형상부의 크기는, 중앙부의 외측볼록의 원호형상부의 반경의 1/3이상의 크기로 하지만, 외측볼록으로부터 외측오목에의 변곡점을 평활하 게 할 수 있어, 특히 적절하다.

이렇게 하여 설계ㆍ제작한 직사각형 형태 펠리클의 일례를 도2에 나타냈다. 이 형태예에서는, 각 변의 프레임 폭은 모두 동일하게 하고, 프레임의 내측형상부는 외측형상부에 맞춰서 형성되어 있지만, 반드시 모두 동일폭이 아니더라도 좋고, 필요에 따라서 변화시켜도 좋다. 예를 들면, 프레임 폭을 미묘하게 변화시켜서 강성을 조정하고, 또한 정확하게 막장력과의 균형을 잡도록 해도 좋다.

또, 이 실시의 형태에서는, 프레임의 각 변을 원호와 직선으로 형성하고 있지만, 물론, 원호형상부를 복수의 단직선 형상부로 형성하고, 변이 전체로서 외측볼록형상부, 외측오목 형상부 및 직선형상부로 이루어지도록 할 수도 있고, 이러한 형태도 본 발명의 범주에 속한다.

이처럼 프레임의 변을 원호형상부와 직선형상부로 형성하는 것은, 펠리클막의 장력에 의한 프레임의 휘어짐이 문제가 되는 변에 대해서 행하면 좋다. 즉, 이 실시형태와 같이, 반드시 장변과 단변의 양쪽이 아닌, 장변측에만, 혹은 단변측에만 적용해도 좋다.

[실시예]

[실시예 1]

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니고, 여러가지 형태가 가능하다.

도 1에 나타내는 바와 같은 형상의 알루미늄 합금제 프레임(10)을 기계가공에 의해 제작했다. 이 프레임(10)의 사이즈는, 코너부 간의 바깥치수1136×783㎜, 동 안쪽치수1116×761㎜이며, 직사각형을 이루고 있다. 여기서, 장변은 외측볼록으로 반경100353㎜의 원호형상부(11), 외측오목으로 반경50000㎜의 원호형상부(12, 12), 및 외측오목의 원호형상부로부터 코너부에 걸쳐지는 직선형상부(13,13)로 연속적으로 형성했다. 또한, 외측볼록의 원호형상부(11)의 정점위치(즉, 중앙부)는, 코너부보다 외측으로 1㎜ 돌출되어 있다.

프레임(10)의 단변측은, 외측볼록에서 반경63253㎜의 원호형상부(14), 외측오목에서 반경50000㎜의 원호형상부(15,15), 및 외측오목의 원호형상부로부터 코너부에 걸쳐지는 직선형상부(16,16)로 연속적으로 형성했다. 또한, 외측볼록의 원호형상부(14)의 정점(중앙부)은, 코너부보다 외측으로 0.5㎜ 돌출되어 있다.

프레임의 폭은, 장변측 11㎜, 단변측 10㎜이며, 프레임의 내측은, 외측과 동형상으로 형성했다. 프레임의 높이는 6㎜, 각 코너의 각부는, 외측을 R(반경) 11㎜, 내측의 R(반경) 2㎜로 형성했다.

얻어진 프레임(10)을 세정, 건조후, 한쪽의 끝면에 펠리클막 접착제층(22)으로서, 다른쪽의 끝면에 마스크 점착제층(23)으로서, 각각 실리콘 점착제; KR120(상품명, 신에츠 가가쿠 고교(주)제품)을 도포하고, 가열에 의해 큐어시켰다.

또한, 바깥치수 900×1,250㎜, 두께 10㎜의 직사각형 석영기판 상에, 스핀 코트법에 의해 불소계 폴리머; 사이톱(상품명, 아사히가라스(주)제품)을 성막하고, 이것을 기판외형과 동형상의 프레임체에 접착, 박리하고, 두께 약4㎛의 펠리클막을 프레임에 부착하고, 프레임 주위의 불필요한 막을 컷터로 절단제거해서 펠리클로 했다.

이 완성된 펠리클의 형상은, 외측볼록의 원호형상부 및 외측오목의 원호형상부를 갖는 프레임(10)의 외측, 내측형상이, 도2에 나타낸 바와 같이, 펠리클막(21)의 장력에 의해 외측볼록 및 외측오목의 원호형상부가 휘어지고, 딱, 직선상이 되었다.

이 펠리클을 주철제의 정반상에 두고, 다이얼 게이지((주)미쯔토요제품)를 장착한 홀더를 금속제(S45C)의 바를 따라서 이동시키고, 50㎜ 간격으로 프레임 형상의 측정을 행했다. 또한, 이 다이얼 게이지의 기준이 되는 바의 접촉면은, 평면도 및 진직도 0.03㎜ 이하로 연마 가공이 되어 있다. 그 결과, 4변의 내측, 외측 모두의 측정점에 있어서, 코너부로부터의 편차가 ±0.05㎜ 이하였다.

또한, 볼록 원호형상부, 오목 원호형상부 및 직선형상부의 접속부에 부자연스러운 변곡형상이나 컷팅툴 흔적은 전혀 보여지지 않고, 외관상도 양호했다.

[비교예 1]

도3(a)에 나타내는 바와 같은, 각 변이 직선 형상이고 일반적인 형상을 갖는 알루미늄 합금제 펠리클 프레임(30)을 기계가공에 의해 제작했다. 이 프레임(30)의 사이즈는, 코너 일부간 바깥치수 1136×783㎜, 동 안쪽치수 1116×761㎜로, 직사각형 형태이며, 프레임 높이는 6㎜이다. 각 코너부는 외측 R11㎜, 내측 R2㎜로 매끄러운 모양으로 형성했다. 이 프레임에, 실시예 1과 동일한 공정으로 펠리클막(31)을 접착해 펠리클을 제작했다. 이 펠리클의 외관형상을 도3(b)에 나타냈다.

이 펠리클은, 장변의 중앙부에서 약 1㎜, 단변의 중앙부에서는 약 0.5㎜의 내측방향으로의 현저한 휘어짐이 발생되고 있었다. 그 때문에, 노광영역은, 장변 방향에서 약 1㎜, 단변방향에서 약 2㎜의 감소가 되었다.

도4(a)에 나타내는 바와 같은, 장변(41)이 외측으로 볼록한 만곡 형상, 단변(42)이 직선형상으로 이루어지는 펠리클 프레임을 기계가공으로 제작했다. 사이즈는, 코너부간의 바깥치수 1136×783㎜, 안쪽치수 1116×761㎜이며, 비교예 1과 같지만, 장변은 코너의 종단끼리를 반경 215083㎜의 외측볼록의 원호로 접속시킨 형상으로 했다. 프레임의 폭은, 장변측은 11㎜, 단변측 10㎜이며, 프레임의 내측은, 외측과 동 형상으로 형성했다. 프레임의 높이는 6㎜, 각 코너의 각부는 외측이 R11㎜, 내측은 R2㎜로 했다. 이 프레임에, 실시예 1 및 비교예 1과 동일한 공정으로 펠리클막(43)을 접착하고, 펠리클을 제작했다.

얻어진 펠리클의 외관형상을 도4(b)에 나타냈다. 이 펠리클의 장변(41)은 대략 직선상이 되지만, 코너부의 근방(44)에서는 길이 대략 120㎜에 걸쳐 외측으로의 볼록형상이 남아있었다. 또한, 단변(42)에서는 중앙부에서 약 0.5㎜의 내측으로의 휘어짐이 생기고 있었다. 그 때문에, 노광영역으로서는, 단변방향에서는 감소는 없지만, 장변방향에서 약 1㎜의 감소가 되었다. 또한, 외형은 장변측이 볼록형상, 단변측이 오목형상이 되었다. 이러한 형상에서는 기준위치를 잡을 수 없어 포토마스크 상에의 펠리클 부착시의 위치결정이 극히 곤란했다.

본 발명에 의하면, 펠리클막의 장력에 의한 프레임의 내측으로의 휘어짐이 방지되어, 노광영역의 감소를 방지할 수 있는 동시에, 지극히 치수 정밀도가 좋고, 포토마스크 상에의 부착위치 정밀도가 뛰어난 펠리클을 얻을 수 있다.

또한, 변의 코너부 부근에 직선부가 있기 때문에, 위치 기준을 정확하게 잡을 수 있고, 정밀도 좋게 치수를 계측할 수 있기 때문에, 프레임의 가공 정밀도 자체를 향상시킬 수 있다. 그 결과, 펠리클의 치수정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

1. 사각형의 프레임체의 한쌍 이상의 변에 있어서, 중앙부가 외측볼록의 원호형상부, 그 양측에 외측오목의 원호형상부, 또한 그 외측에 직선형상부를 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
2. 제 1항에 있어서, 외측오목의 원호형상부의 반경이, 외측볼록의 원호형상부의 반경의 1/3 이상의 크기인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 펠리클막을 접착해서 펠리클을 구성할 시에, 접착한 펠리클막의 장력에 의해 펠리클 프레임 각 변이 직선상이 되도록, 변의 원호형상부 및 직선형상부의 크기, 범위가 설계되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 프레임체의 한쌍 이상의 변길이가 400㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
5. 제 1항 또는 제 2항에 기재된 펠리클 프레임을 이용하여, 이것에 펠리클막을 접착해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피용 펠리클.
6. 제 3항에 있어서, 프레임체의 한쌍 이상의 변길이가 400㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
7. 제 3항에 기재된 펠리클 프레임을 이용하여, 이것에 펠리클막을 접착해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피용 펠리클.
8. 제 4항에 기재된 펠리클 프레임을 이용하여, 이것에 펠리클막을 접착해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피용 펠리클.
9. 제 6항에 기재된 펠리클 프레임을 이용하여, 이것에 펠리클막을 접착해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피용 펠리클.

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