JP5755859B2 - 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法 - Google Patents
大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（ThinFilm Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いる大型ペリクル用枠体に関する。
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、またはポリマー製の枠体の片側に、ポリマーまたはガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロースまたはセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つ枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質、高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが要望されている。
このような大型のペリクルにあっては、展張されたペリクル膜の張力により枠体が内側に撓みやすくなり、露光有効面積が小さくなるという問題がある。そこで、特許文献１及び２では、大型ペリクル用枠体の長辺を外側に湾曲した太鼓状としておき、展張したペリクル膜の張力により大型ペリクル用枠体の辺が直線状になるようにすることが提案されている。
しかしながら、特許文献１及び２のように、大型ペリクル用枠体の辺全体を曲線状に湾曲させるのは技術的に難しいため、大型ペリクル用枠体の製造容易性が大きく低下するという問題がある。
そこで、本発明は、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる少なくとも接合部を１つ有する大型ペリクル用枠体及び大型ペリクルを提供することを目的とする。
本発明に係る大型ペリクル用枠体は、開口部を備える略矩形状の大型ペリクル用枠体であって、開口部の周縁部は枠部材によって形成されていると共に、枠部材は少なくとも１つの接合部によって接合されており、当該大型ペリクル用枠体を構成する辺の一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部が形成されていることを特徴とする。
本発明に係る大型ペリクル用枠体によれば、辺の一部を外側に向けて屈曲させ、枠体の少なくとも１つの辺に存在する接合部を接合するという簡易な方法により屈曲部を形成することができる。そして、この屈曲部により辺の直線連続性が切られるため、大型ペリクル用枠体に大型ペリクル膜を展張した際に、大型ペリクル膜の張力により大型ペリクル用枠体の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができる。これにより、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。
そして、辺（枠部材）に１以上の接合部を有することで、屈曲部を形成する際に生じる残留応力が接合部において開放されるため、当該残留応力の影響が大型ペリクル用枠体全体に波及して大型ペリクル用枠体が大きく撓むのを防止することができる。しかも、通常、大型ペリクル用枠体はシート状の母材から切り出すことにより製造されるが、その際に発生した残留応力も、接合部において開放させることができる。このように、大型ペリクル用枠体の寸法安定性が向上することから、通常は、大型ペリクルの製造工程において残留応力を開放するための加熱工程を行うが、このような加熱工程を行う必要が低下するため、例えば、このような加熱工程を削減することで、大型ペリクルの製造工程数を削減することもできる。
この場合、複数の分割枠体に分割されており、当該複数の分割枠体が接合部で接合されていることが好ましい。このように、大型ペリクル用枠体を複数の分割枠体に分割することで、屈曲部を形成する際に生じる残留応力の影響が他の分割枠体に波及するのを防止することができる。そして、母材から大型ペリクル用枠体を分割して切り出せるため、母材からの切り出しの際に生じる残留応力を小さくすることができ、また、各分割枠体の切り出し位置を調整することで大型ペリクル用枠体全体としての素材の異方性を小さくすることができる。しかも、応力歪は経時的に開放方向に向かうため、大型ペリクル用枠体を残留応力の小さい分割枠体に分割することで、長期的に保管しても寸法安定性を向上させることができる。
そして、接合部は、嵌合により接合していることが好ましい。これにより、補強材、接着剤、特殊な溶接技術などを用いなくても分割枠体を接合させることができる。しかも、嵌合構造を調整することで、接合部の接合強度を調整することができる。
一方、接合部は、接着により接合してもよく、嵌合と合わせて接着していることが好ましい。これにより、接合部をより簡易かつ確実に分割枠体を接合させることができる。しかも、使用する接着剤により接合部の接合強度を調整することができる。
また、対向する一対の長辺と対向する一対の短辺とを有しており、屈曲部は、一対の長辺に形成されていることが好ましい。このように、長辺に屈曲部を形成することで、露光有効面積の縮小を効果的に抑制することができる。
本発明に係る大型ペリクルは、上記の何れかに記載の大型ペリクル用枠体と、大型ペリクル用枠体に展張支持された大型ペリクル膜と、を有することを特徴とする。
本発明に係る大型ペリクルによれば、上述した大型ペリクル用枠体を有することで、大型ペリクル用枠体の製造容易性を確保しつつ、大型ペリクル用枠体に大型ペリクル膜を展張しても露光有効面積の縮小を抑制することができる。
本発明に係る大型ペリクル用枠体の製造方法は、略矩形状に形成されて大型ペリクル膜を展張支持する大型ペリクル用枠体の製造方法であって、１以上の箇所で分断された大型ペリクル用枠体の辺の一部を外側に向けて屈曲した屈曲部を形成した後、当該分断された部分を接合することを特徴とする。
本発明に係る大型ペリクル用枠体の製造方法によれば、辺の一部を外側に向けて屈曲させるという簡易な方法により屈曲部を形成することができる。このとき、大型ペリクル用枠体が１以上の箇所で分断されているため、屈曲部の形成により生じる残留応力の影響が大型ペリクル用枠体全体に波及して大型ペリクル用枠体が大きく撓むのを防止することができる。そして、この製造方法により製造された大型ペリクル用枠体は、屈曲部により辺の直線連続性が切られるため、大型ペリクル用枠体に大型ペリクル膜を展張した際に、大型ペリクル膜の張力により大型ペリクル用枠体の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができる。これにより、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。
この場合、大型ペリクル用枠体が複数に分割された分割枠体に屈曲部を形成した後、書く分割枠体を接合することが好ましい。このように、大型ペリクル用枠体が分割された分割枠体に屈曲部を形成することで、屈曲部を形成する際に生じる残留応力の影響が他の分割枠体に波及するのを防止することができる。そして、母材から大型ペリクル用枠体を分割して切り出せるため、母材からの切り出しの際に生じる残留応力を小さくすることができ、また、各分割枠体の切り出し位置を調整することで大型ペリクル用枠体全体としての素材の異方性を小さくすることができる。しかも、応力歪は経時的に開放方向に向かうため、大型ペリクル用枠体を残留応力の小さい分割枠体に分割することで、長期的に保管しても寸法安定性を向上させることができる。
さらに、枠体作成後に分割枠体の辺を湾曲状に形成する場合、枠体の残留応力を懸念して十分な力を加えず、弾性変形の領域内の力を掛けた場合であれば直ぐに真っ直ぐに戻ろうとする力が強く働き、理想的な湾曲状態を維持したまま接合することができない。そのため、分割枠体に屈曲部を形成した後に、分割枠体を接合して枠体を成形することで、屈曲部を維持したまま接合することができて好ましい。
本発明によれば、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
図１は、大型ペリクルの実施形態を示す斜視図であり、図２は、大型ペリクル用枠体を上から見た概略平面図である。図１及び図２に示すように、大型ペリクル１は、略矩形環状の大型ペリクル用枠体２と、大型ペリクル用枠体２の上縁面２ｅに接着された大型ペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、大型ペリクル１は、大型ペリクル用枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。
大型ペリクル用枠体２は、後述する複数の分割枠体が接合されることにより、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺２ｃ，２ｄと、が構成されている。そして、一対の長辺２ａ，２ｂと一対の短辺２ｃ，２ｄとにより囲まれる内側に略矩形状の開口部４が形成される。このため、一対の長辺２ａ，２ｂ及び一対の短辺２ｃ，２ｄが開口部４の周縁部を構成する。なお、大型ペリクル用枠体２には、短辺２ｃ，２ｄ側の側面６に、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ２以上、より好ましくは３０００ｃｍ２以上、より好ましくは５０００ｃｍ２以上であり、上限として好ましくは３５０００ｃｍ２以下である。
長辺２ａ，２ｂの幅Ａ及び短辺２ｃ，２ｄの幅Ｂは、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎると大型ペリクル膜３の展張時に大型ペリクル膜３の張力で大型ペリクル用枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さになるため、長辺２ａ，２ｂの幅Ａ及び短辺２ｃ，２ｄの幅Ｂは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
大型ペリクル用枠体２の厚みＣは、関しても薄ければ薄いほど軽くて扱いやすい大型ペリクル１となるが、薄すぎると大型ペリクル膜３の展張時に大型ペリクル膜３の張力で大型ペリクル用枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じて両者のバランスから、大型ペリクル用枠体２の厚みＣは、好ましくは３．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
具体的に説明すると、一対の長辺２ａ，２ｂは、それぞれ同一寸法で形成されており、例えば、幅Ａが９．０ｍｍの柱部材により長さが８００ｍｍに形成されている。一対の短辺２ｃ，２ｄは、それぞれ同一寸法で形成されており、例えば、幅Ｂが７．０ｍｍの柱部材により長さが４８０ｍｍに形成されている。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅Ｂは、長辺２ａ，２ｂの幅Ａよりも狭い。大型ペリクル用枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。
そして、一対の長辺２ａ，２ｂには、外側に向けて屈曲した屈曲部１０ａ，１０ｂが形成されている。この屈曲部１０ａ，１０ｂは、例えば、一対の長辺２ａ，２ｂの中央部に形成されている。
屈曲部１０ａ，１０ｂは、外側に向けて屈曲していれば如何なる形状であってもよく、製造容易性の観点からは、屈曲部１０ａ，１０ｂの形状を三角状とすることが好ましい。また、屈曲部１０ａ，１０ｂは、各長辺２ａ，２ｂを角状に屈曲して形成してもよく、各長辺２ａ，２ｂをＲ状に屈曲して形成してもよい。なお、屈曲部１０ａ，１０ｂは、例えば、直線状に形成された各長辺２ａ，２ｂの中央部に外側に向かって外力を加えることによって形成することができ、例えば、打ち出しによって形成することができる。また、切り出す際にあらかじめ屈曲状に切り出してもよい。
ここで、外側に向かって外力を加えることによって形成する方法が、屈曲状を切り出すよりも製造簡易性がよくなるため好ましい。屈曲状を切り出す場合は、大型ペリクル枠体の処理工程において、枠体は弾性変形領域であり寸法精度が若干悪くなることがあるため、枠体を作製する最終段階で、寸法精度を出すために何らかの修正工程が入る場合が多い。一方で、外力を加えることによって形成する場合は、塑性変形領域となるため寸法精度が湾曲寸法精度より良くなり、そのような修正工程が不要になる。
長辺２ａ，２ｂに対する屈曲部１０ａ，１０ｂの突出幅Ｅは、好ましくは長辺２ａ，２ｂの長さＡの０．０１〜５．００％、より好ましくは長辺２ａ，２ｂの長さＡの０．０１〜３．００％であり、更に好ましくは長辺２ａ，２ｂの長さＡの０．０２％〜１．００％である。
このような形状に形成される大型ペリクル用枠体２は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ２Ｏ３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、マグネシウム合金、または、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂等の樹脂からなり、平面視、略矩形状を呈している。ペリクルは、貼着剤層を介してマスクに張り付くため、剛性が高くて比較的重量が小さいものが好ましいため、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金、樹脂等がより好ましい素材となる。
大型ペリクル用枠体２の表面処理としては、アルマイト処理、塗装、塗料コーティング、めっき処理、低融点ガラスフリット処理、ＣＶＤ処理、スパッタ法などによるＰＶＤ処理などが考えられる。
ここで、図２及び図３を参照して、大型ペリクル用枠体２を構成する分割枠体の接合構造について説明する。図３は、大型ペリクル用枠体の角部を示す概略斜視図である。
上述したように、大型ペリクル用枠体２は、複数の分割枠体２１に分割されており、これらの各分割枠体２１が接合されることで、略矩形環状の大型ペリクル用枠体２が形成されている。
図２に示す大型ペリクル用枠体２は、大型ペリクル用枠体２が８つの分割枠体２１ａ〜２１ｈに分割されている。具体的に説明すると、大型ペリクル用枠体２は、一対の長辺２ａ，２ｂをそれぞれ構成する分割枠体２１ａ，２１ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄをそれぞれ構成する分割枠体２１ｃ，２１ｄと、大型ペリクル用枠体２の四隅の角部５をそれぞれ構成する分割枠体２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈとで構成される。
一対の長辺２ａ，２ｂを構成する分割枠体２１ａ，２１ｂは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されたその中央部に屈曲部１０ａ，１０ｂが形成されている。一対の短辺２ｃ，２ｄを構成する分割枠体２１ｃ，２１ｄは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されている。角部５を構成する分割枠体２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈは、それぞれ同一の寸法となっている。例えば、分割枠体２１ａ，２１ｂの長さが７００ｍｍであり、分割枠体２１ｃ，２１ｄの長さが３８０ｍｍである。なお、分割枠体２１ａ，２１ｂの長さは直線長さを示しているため、この場合、分割枠体２１ａ，２１ｂの線長、すなわち屈曲部１０ａ，１０ｂを直線状に延ばした分割枠体２１ａ，２１ｂの長さは７００ｍｍ以上となる。
そして、分割枠体２１ａは、その軸方向両端部において分割枠体２１ｈ及び２１ｅと接合され、分割枠体２１ｃは、その軸方向両端部において分割枠体２１ｅ及び２１ｆと接合され、分割枠体２１ｂは、その軸方向両端部において分割枠体２１ｆ及び２１ｇと接合され、分割枠体２１ｄは、その軸方向両端部において分割枠体２１ｇ及び２１ｈと接合される。すなわち、大型ペリクル用枠体２は、各分割枠体２１ａ〜２１ｈが接合される接合部が周方向に沿って８箇所形成され、分割枠体２１ａを基点とすると、開口部４の開口軸を基準とした時計回り方向に、分割枠体２１ｅ、分割枠体２１ｃ、分割枠体２１ｆ、分割枠体２１ｂ、分割枠体２１ｇ、分割枠体２１ｄ、分割枠体２１ｈ、分割枠体２１ａの順に接合される。そして、図３に示すように、大型ペリクル用枠体２の角部５において、これらの分割枠体２１ａ〜２１ｈが接合される。なお、このように各接合部を角部５付近に設ける場合は、分割枠体２１同士を軸方向に接合する以外にも、分割枠体２１同士を軸方向に対して垂直な方向や軸方向に対して斜めの方向に接合してもよい。
ここで、接合部は、１箇所以上あればよく、好ましくは２〜３０箇所、より好ましくは２〜２０箇所、更に好ましくは３〜１５箇所である。なお、接合部の数は、大型ペリクル用枠体２の分割数であって、分割された分割枠体２１の個数となる。
図４及び図５は、大型ペリクル用枠体の分割例を示す概略平面図である。
図４に示す大型ペリクル用枠体２は、大型ペリクル用枠体２が４つの分割枠体２２ａ〜２２ｄに分割されている。具体的に説明すると、大型ペリクル用枠体２は、一対の長辺２ａ，２ｂをそれぞれ構成する分割枠体２２ａ，２２ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄをそれぞれ構成する分割枠体２２ｃ，２２ｄとで構成される。
一対の長辺２ａ，２ｂを構成する分割枠体２２ａ，２２ｂは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されたその中央部に屈曲部１０ａ，１０ｂが形成されている。一対の短辺２ｃ，２ｄを構成する分割枠体２２ｃ，２２ｄは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されている。
そして、これらの分割枠体２２ａ〜２２ｄが接合されることで、大型ペリクル用枠体２には４つの接合部が形成される。
図５に示す大型ペリクル用枠体２は、大型ペリクル用枠体２が８つの分割枠体２３ａ〜２３ｈに分割されている。具体的に説明すると、大型ペリクル用枠体２は、一対の長辺２ａ，２ｂをそれぞれ構成する分割枠体２３ａ，２３ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄをそれぞれ構成する分割枠体２３ｃ，２３ｄと、大型ペリクル用枠体２の四隅の角部５をそれぞれ構成する分割枠体２３ｅ，２３ｆ，２３ｇ，２３ｈと、で構成される。
一対の長辺２ａ，２ｂを構成する分割枠体２３ａ，２３ｂは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されるその中央部に屈曲部１０ａ，１０ｂが形成されている。一対の短辺２ｃ，２ｄを構成する分割枠体２３ｃ，２３ｄは、それぞれ同一の寸法であって、直線状に形成されている。角部５を構成する分割枠体２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈは、それぞれ同一の寸法であって、屈曲部１０ａ，１０ｂを含まない範囲で、長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄの一部を含む略Ｌ字状に形成されている。
そして、これらの分割枠体２２ａ〜２２ｄが接合されることで、大型ペリクル用枠体２には８つの接合部が形成される。
次に、各分割枠体を接合する接合構造について説明する。
分割枠体の接合は、嵌合、接着、嵌合と接着の併用などがある。図６〜図８は、嵌合により接合する接合部の形状例を示す概略平面図であり、図９〜図１１は、接着により接合する接合部の形状例を示す概略平面図である。
図６〜図８に示すように、嵌合を採用する場合は、蟻継ぎのように、一方の分割枠体の端部にほぞ（蟻）を形成し、他方の分割枠体の端部にほぞ溝（蟻溝）を形成する。そして、ほぞ溝にほぞを嵌め込むことで、分割枠体を接合する。このとき、ほぞ溝の内径よりもほぞの外形を僅かに大きくすることで、接合部の接合強度が向上する。なお、ほぞ及びほぞ溝の形状、数、配置は如何なるものであってもよく、例えば、図６に示すように、円状のほぞ及びほぞ溝を１セット形成してもよく、図７に示すように、円状のほぞ及びほぞ溝を２セット形成してもよく、図８に示すように、楔状のほぞ及びほぞ溝を３セット形成してもよい。また、図７（ａ）及び図８（ａ）に示すように、ほぞ及びほぞ溝の各セットを全て同じ方向に形成してもよく、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すように、ほぞ及びほぞ溝の各セットを互いに異なる方向に形成してもよい。なお、このような嵌合によっても接合部の接合強度が足りない場合は、接着剤を用いてもよい。
図９〜図１１に示すように、接着を採用する場合は、一方の分割枠体の端面と他方の分割枠体の端面とを接着剤で接着することで、分割枠体を接合する。なお、接合部の端面は、如何なる形状であってもよく、例えば、図９に示すように、単一平面の単純形状としてもよく、図１０及び図１１に示すように、複数平面が組み合わさった複雑形状としてもよい。但し、接合部の接合強度の観点からは、単純形状よりも複雑形状の方が好ましい。図１０に示す接合部は、分割枠体の端面が山状に突出した形状となっており、図１２に示す接合部は、分割枠体の端面が階段状に突出した形状となっている。ここで、単純形状より複雑形状の方が、接着剤の塗布面積が大きくなるので、接着強度が強くなり好ましい。
なお、接合部の接合は、上記の嵌合や接着に限定されるものではなく、例えば、レーザー溶接、焼きバメ、冷しバメ、カシメなどであってもよい。
図１に戻り、大型ペリクル１を構成する大型ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、またはシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。
この大型ペリクル膜３は、大型ペリクル用枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、大型ペリクル用枠体２に貼着支持されている。
大型ペリクル膜３を大型ペリクル用枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、または含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、または発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは大型ペリクル用枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が、規定された大型ペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
また、大型ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、大型ペリクル用枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、大型ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度に大型ペリクル用枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅は大型ペリクル用枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、大型ペリクル用枠体２各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、またはポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、またはフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
次に、大型ペリクル１の製造方法について説明する。
図１２及び図１３は、大型ペリクルの製造工程を説明するための図である。図１２及び図１３では、図２に示す大型ペリクル用枠体２を用いて大型ペリクル１を製造する方法を示している。
まず、図１２（ａ）に示すように、大型ペリクル用枠体２の基材となる母材から分割枠体２１ａ〜２１ｈを切り抜く。例えば、押出し材にて分割枠体２１ａ〜２１ｈを切り出す。このとき、分割枠体２１ａ，２１ｂは同一形状の直線部材、分割枠体２１ｃ，２１ｄは同一形状の直線部材、分割枠体２１ｅ〜２１ｈは同一形状のＬ字状部材であるため、母材からの切り出しを効率的に行うことができる。これにより、４本の直線状の分割枠体２１ａ〜２１ｄと、４本のＬ字状の分割枠体２１ｅ〜２１ｈが形成される。なお、後述するように分割枠体２１ａ，２１ｂは、屈曲部１０ａ，１０ｂの形成により屈曲されるため、この屈曲により短くなる分を加味して、分割枠体２１ａ，２１ｂの切り出し長さを算出する。
次に、図１２（ｂ）に示すように、分割枠体２１ａ，２１ｂの中央部を屈曲させて屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する。このとき、分割枠体を接合するほぞ及びほぞ溝が形成されている場合は、このほぞ及びほぞ溝の位置関係に基づいて他の分割枠体との接合関係を特定し、屈曲部１０ａ，１０ｂが大型ペリクル用枠体２の外側に向けて屈曲するように屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する。ここで、屈曲部に接合部を設けても良く、この場合、屈曲する工程が省けて製造効率を向上できる。
次に、図１３（ａ）に示すように、屈曲部１０ａ，１０ｂが外側に向けて屈曲するように分割枠体２１ａ，２１ｂを配置して、分割枠体２１ａ〜２１ｈを接合する。これにより、一対の対向する長辺２ａ，２ｂと一対の対向する短辺２ｃ，２ｄとを有するとともに、長辺２ａ，２ｂの中央部に屈曲部１０ａ，１０ｂが形成された略矩形環状の大型ペリクル用枠体２が完成する。
次に、図１３（ｂ）に示すように、大型ペリクル用枠体２に大型ペリクル膜３を展張して接着する。すると、展張した大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の長辺２ａ，２ｂが内側に撓み、露光有効面積が縮小する。
ここで、図１４を参照して、露光有効面積の縮小度合いについて、屈曲部が形成されていない従来の大型ペリクル用枠体に大型ペリクル膜を展張した場合と、本実施形態に係る大型ペリクル用枠体に大型ペリクル膜を展張した場合とを比較する。なお、図１４において、一点鎖線は従来の大型ペリクル用枠体２’を示しており、実線は本実施形態に係る大型ペリクル用枠体２を示している。
図１４に示すように、従来の大型ペリクル用枠体２’は、長辺２ａ，２ｂが直線状に形成されているため、展張された大型ペリクル膜３の張力による長辺２ａ，２ｂの最大変位点は、長辺２ａ，２ｂの中央部となる。このため、従来の大型ペリクル用枠体２’に大型ペリクル膜３が展張されると、その張力により長辺２ａ，２ｂの中央部が内側に大きく撓み、露光有効面積が大幅に縮小される。
これに対し、本実施形態に係る大型ペリクル用枠体２は、このような最大変位点となる長辺２ａ，２ｂの中央部が屈曲部１０ａ，１０ｂにより外側に向けて屈曲しているため、展張された大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の長辺２ａ，２ｂが内側に撓んだとしても、露光有効面積の縮小が抑制される。
このように、本実施形態によれば、長辺２ａ，２ｂの一部を外側に向けて屈曲させるという簡易な方法により屈曲部１０ａ，１０ｂを形成することができる。そして、この屈曲部１０ａ，１０ｂにより長辺２ａ，２ｂの直線連続性が切られるため、大型ペリクル用枠体２に大型ペリクル膜３を展張した際に、大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の長辺２ａ，２ｂが内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体２の内側に入り込む長辺２ａ，２ｂの最大変位量を小さくすることができる。これにより、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。
しかも、通常、大型ペリクル用枠体２はシート状の母材から切り出すことにより製造されるが、その際に発生した残留応力も、接合部において開放させることができる。このように、大型ペリクル用枠体２の寸法安定性が向上することから、通常は、大型ペリクルの製造工程において残留応力を開放するための加熱工程を行うが、このような加熱工程を行う必要が低下するため、例えば、このような加熱工程を削減することで、大型ペリクル１の製造工程数を削減することもできる。
そして、大型ペリクル用枠体２を複数の分割枠体２１に分割することで、屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する際に生じる残留応力の影響が他の分割枠体２１に波及するのを防止することができる。そして、母材から大型ペリクル用枠体２を分割して切り出せるため、母材からの切り出しの際に生じる残留応力を小さくすることができ、また、各分割枠体２１の切り出し位置を調整することで大型ペリクル用枠体２全体としての素材の異方性を小さくすることができる。しかも、応力歪は経時的に開放方向に向かうため、大型ペリクル用枠体２を残留応力の小さい分割枠体２１に分割することで、長期的に保管しても寸法安定性を向上させることができる。
これらの場合、接合部を嵌合接合とすることで、補強材、接着剤、特殊な溶接技術などを用いなくても分割枠体を２１接合させることができる。しかも、嵌合構造を調整することで、接合部の接合強度を調整することができる。
一方、接合部を接着接合とすることで、接合部をより簡易かつ確実に分割枠体２１を接合させることができる。しかも、使用する接着剤により接合部の接合強度を調整することができる。
そして、最大変位点となる長辺２ａ，２ｂの中央部に屈曲部１０ａ、１０ｂを形成することで、作業工数を最小限に抑えた上で、露光有効面積の縮小を効果的に抑制することができる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態において、大型ペリクル用枠体を分割して２以上の接合部を形成するものとして説明したが、大型ペリクル用枠体に１以上の接合部が形成された枠部材により開口部を備える略矩形状に形成されていればよく、例えば、大型ペリクル用枠体が分割されておらず、接合部が１箇所のみ形成された枠部材により構成されているものとしてもよい。この場合、１箇所で分断された大型ペリクル用枠体の辺の一部を外側に向けて屈曲した屈曲部を形成した後、当該分断された部分を接合することで、大型ペリクル用枠体を製造することができる。このように、１箇所でも接合部が形成されていれば、屈曲部を形成する際に生じる残留応力が接合部において開放されるため、当該残留応力の影響が大型ペリクル用枠体全体に波及して大型ペリクル用枠体が大きく撓むのを防止することができる。
また、上記実施形態では、接合部が形成されているものとして説明したが、屈曲部が形成されていれば、大型ペリクル用枠体に接合部が形成されていなくてもよい。
また、上記実施形態では、屈曲部を長辺にのみ形成するものとして説明したが、短辺に形成する溝に図示しないハンドリング冶具で保持が可能である限りにおいて、短辺に形成してもよい。
また、上記実施形態では、長辺の中央部に屈曲部が１つ形成されるものとして説明したが、屈曲部の形成位置及び数に制限はなく、例えば、長辺の中央部や両端部に屈曲部を２つ形成してもよい。
なお、長辺の中央部に屈曲部を１つ形成する場合は、屈曲部１０ａ，１０ｂの長さＤは、好ましくは長辺２ａ，２ｂの長さＡの２０〜１００％、より好ましくは長辺２ａ，２ｂの長さＡの３０〜１００％である。
１…大型ペリクル、２…大型ペリクル用枠体、２ａ，２ｂ…長辺、２ｃ，２ｄ…短辺、２ｅ…上縁面、３…大型ペリクル膜、４…開口部、５…角部、６…側面、７…溝部、１０ａ，１０ｂ…屈曲部、２１ａ〜２１ｈ…分割枠体、２２ａ〜２２ｄ…分割枠体、２３ａ〜２３ｈ…分割枠体。
Claims (8)
- 開口部を備える略矩形状の大型ペリクル用枠体であって、
前記開口部の周縁部は枠部材によって形成されていると共に、前記枠部材は少なくとも１つの接合部によって接合されており、
当該大型ペリクル用枠体を構成する辺の一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部が形成され、前記屈曲部の形状が三角状であることを特徴とする、大型ペリクル用枠体。 - 複数の分割枠体に分割されており、当該複数の分割枠体が前記接合部で接合されていることを特徴とする、請求項１に記載の大型ペリクル用枠体。
- 前記接合部は、嵌合により接合していることを特徴とする、請求項１又は２に記載の大型ペリクル用枠体。
- 前記接合部は、接着により接合していることを特徴とする、請求項１〜３の何れか１項に記載の大型ペリクル用枠体。
- 対向する一対の長辺と対向する一対の短辺とを有しており、
前記屈曲部は、前記一対の長辺に形成されていることを特徴とする、請求項１〜４の何れか１項に記載の大型ペリクル用枠体。 - 請求項１〜５の何れか１項に記載の大型ペリクル用枠体と、
前記大型ペリクル用枠体に展張支持された大型ペリクル膜と、
を有することを特徴とする大型ペリクル。 - 略矩形状に形成されて大型ペリクル膜を展張支持する大型ペリクル用枠体の製造方法であって、
１以上の箇所で分断された前記大型ペリクル用枠体の辺の一部を外側に向けて屈曲した三角状の屈曲部を形成した後、当該分断された部分を接合することを特徴とする、大型ペリクル用枠体の製造方法。 - 前記大型ペリクル用枠体が複数に分割された分割枠体に前記屈曲部を形成した後、前記各分割枠体を接合することを特徴とする請求項７に記載の大型ペリクル用枠体の製造方法。
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