JP5411596B2 - ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル - Google Patents
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Description
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置又は液晶表示板を製造する際のリソグラフィ用マスクのゴミよけとして使用される、リソグラフィ用ペリクル及びペリクルフレームに関する。
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造又は液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハ又は液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。なお、本発明において、「露光原版」とは、リソグラフィ用マスク（単に「マスク」ともいう。）及びレチクルの総称である。以下、マスクを例にして説明する。
これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリクルを貼り付ける方法が採られている。
ペリクルの基本的な構成は、ペリクルフレーム及びこれに張設したペリクル膜からなる。ペリクル膜は、露光に用いる光（ｇ線、ｉ線、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ等）を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、フッ素系ポリマーなどからなる。ペリクルフレームの上辺部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して接着するか、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤で接着する。さらに、ペリクルフレームの下辺部には露光原版を装着するために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂及びシリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的としたレチクル粘着剤保護用ライナーを設ける。
ペリクルは、露光原版の表面に形成されたパターン領域を囲むように設置される。ペリクルは、露光原版上にゴミが付着することを防止するために設けられるものであるから、このパターン領域とペリクル外部とはペリクル外部の塵埃がパターン面に付着しないように隔離されている。
ペリクルは、露光原版の表面に形成されたパターン領域を囲むように設置される。ペリクルは、露光原版上にゴミが付着することを防止するために設けられるものであるから、このパターン領域とペリクル外部とはペリクル外部の塵埃がパターン面に付着しないように隔離されている。
近年、ＬＳＩのデザインルールはサブクオーターミクロンへと微細化が進んでおり、それに伴い、露光光源の短波長化が進んでいる、すなわち、これまで主流であった、水銀ランプによるｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）から、ＫｒＦエキシマレーザー（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）などに移行しつつある。微細化が進むとマスク及びシリコンウエハに要求される平坦性もますます厳しくなってきている。
ペリクルは、マスクが完成した後でパターンのゴミよけのためにマスクに貼り付けられる。ペリクルをマスクに貼り付けるとマスクの平坦度が変化することがある。マスクの平坦度が悪くなると、上記で述べたように、焦点ズレ等の問題が発生する可能性がある。また、平坦度が変化すると、マスク上に描かれたパターンの形状が変化し、マスクの重ね合わせ精度に問題がでるという支障もきたす。
ペリクル貼り付けによるマスク平坦度の変化の要因は、幾つかあるが、一番大きな要因は、ペリクルフレームの平坦度であることが分かってきた。
ペリクル貼り付けによるマスク平坦度の変化の要因は、幾つかあるが、一番大きな要因は、ペリクルフレームの平坦度であることが分かってきた。
このペリクルフレームの変形に起因するマスクの変形を防止するために、特許文献１は、ペリクルフレームの断面積を６ｍｍ2以下にする、又は、ペリクルフレームにヤング率が５０ＧＰａ以下である材料を用いることを開示している。
ペリクルフレームとしては、その断面形状が長方形のものが多いが、特許文献２には、ペリクルフレームの断面が、内周面の上端側が下端側より内方に突出している形状を有するペリクルフレームが開示されている。
近年、マスクに要求される平坦性も、パターン面で平坦度２μｍの要求から徐々に厳しくなっており、６５ｎｍノード以降では０．５μｍ以下、好ましくは０．２５μｍという要求が出てきている。
一般に、ペリクルフレームの平坦度は２０〜８０μｍ程度であるが、このように平坦度が劣るフレームを用いたペリクルをマスクに貼り付けると、フレームの形状がマスクに転写されマスクの変形を生じてしまう。ペリクルは、貼り付けの時、約２００〜４００Ｎ（２０〜４０ｋｇ重）の大きな力でマスクに押し付けられる。マスク表面の平坦度は、ペリクルフレームに比べて平らであるから、ペリクルのマスクへの押し付けが終わると、ペリクルフレームは元の形状に戻ろうとするために、ペリクルフレームがマスクを変形させてしまう。
一般に、ペリクルフレームの平坦度は２０〜８０μｍ程度であるが、このように平坦度が劣るフレームを用いたペリクルをマスクに貼り付けると、フレームの形状がマスクに転写されマスクの変形を生じてしまう。ペリクルは、貼り付けの時、約２００〜４００Ｎ（２０〜４０ｋｇ重）の大きな力でマスクに押し付けられる。マスク表面の平坦度は、ペリクルフレームに比べて平らであるから、ペリクルのマスクへの押し付けが終わると、ペリクルフレームは元の形状に戻ろうとするために、ペリクルフレームがマスクを変形させてしまう。
本発明が解決しようとする課題は、第１に、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるようなペリクルフレームを提供することである。本発明が解決しようとする課題は、第２に、このようなペリクルフレームを有するリソグラフィ用ペリクルを提供することである。
本発明の上記課題は、以下の手段（１）及び（１０）により達成された。好ましい実施態様である（２）〜（９）と共に列記する。
（１）ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の四辺形の少なくとも片方の側辺に、曲線を含む窪みを有する形状であることを特徴とするペリクルフレーム、
（２）前記曲線が、円、楕円、双曲線及び放物線よりなる凸状曲線から選ばれた、（１）に記載のペリクルフレーム、
（３）前記窪みが凸状曲線のみよりなる、（１）又は（２）に記載のペリクルフレーム、
（４）前記窪みが少なくとも一本の直線を含む、（１）又は（２）に記載のペリクルフレーム、
（５）前記窪みが少なくとも一本の前記上辺に平行な直線を含む、（４）に記載のペリクルフレーム、
（６）前記ペリクルフレームバーの断面積が６ｍｍ2以下である、（１）〜（５）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（７）ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成された、（１）〜（６）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（８）アルミニウム合金で構成された、（１）〜（７）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（９）ペリクルフレームの平坦度が２０μｍ以下である、（１）〜（８）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（１０）（１）〜（９）いずれか１つに記載のペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。
（１）ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の四辺形の少なくとも片方の側辺に、曲線を含む窪みを有する形状であることを特徴とするペリクルフレーム、
（２）前記曲線が、円、楕円、双曲線及び放物線よりなる凸状曲線から選ばれた、（１）に記載のペリクルフレーム、
（３）前記窪みが凸状曲線のみよりなる、（１）又は（２）に記載のペリクルフレーム、
（４）前記窪みが少なくとも一本の直線を含む、（１）又は（２）に記載のペリクルフレーム、
（５）前記窪みが少なくとも一本の前記上辺に平行な直線を含む、（４）に記載のペリクルフレーム、
（６）前記ペリクルフレームバーの断面積が６ｍｍ2以下である、（１）〜（５）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（７）ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成された、（１）〜（６）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（８）アルミニウム合金で構成された、（１）〜（７）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（９）ペリクルフレームの平坦度が２０μｍ以下である、（１）〜（８）いずれか１つに記載のペリクルフレーム、
（１０）（１）〜（９）いずれか１つに記載のペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。
本発明によれば、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクルを提供することができた。
本発明のペリクルフレームは、ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の四辺形の少なくとも片方の側辺に、曲線を含む窪みを有する形状であることを特徴とする。
以下に図面も参照しながら本発明を説明する。
図１に断面図として示したように、本発明のリソグラフィ用のペリクル１０は、ペリクルフレーム３の上端面にペリクル膜貼り付け用接着層２を介してペリクル膜１を張設したもので、この場合、リソグラフィ用のペリクル１０を露光原版（マスク又はレチクル）５に粘着させるための接着用粘着層４が通常ペリクルフレーム３の下端面に形成され、該接着用粘着層４の下端面にライナー（不図示）を剥離可能に貼着してなるものである。また、ペリクルフレーム３には不図示の気圧調整用穴（通気口）が設置されていてもよく、さらにパーティクル除去の目的でこの通気口に除塵用フィルター（不図示）が設けられていてもよい。
ペリクルフレームには、ジグ穴を設けてもよい。ジグ穴の深さ方向の形状は、特定されず、貫通さえしなければ、円柱の先にテーパーを有する凹みであってもよい。
前記気圧調整用穴及びジグ穴を設ける箇所は、その断面形状が凸状曲線を含む窪みを設ける前の四辺形であることが好ましく、矩形であることがより好ましい。
以下に図面も参照しながら本発明を説明する。
図１に断面図として示したように、本発明のリソグラフィ用のペリクル１０は、ペリクルフレーム３の上端面にペリクル膜貼り付け用接着層２を介してペリクル膜１を張設したもので、この場合、リソグラフィ用のペリクル１０を露光原版（マスク又はレチクル）５に粘着させるための接着用粘着層４が通常ペリクルフレーム３の下端面に形成され、該接着用粘着層４の下端面にライナー（不図示）を剥離可能に貼着してなるものである。また、ペリクルフレーム３には不図示の気圧調整用穴（通気口）が設置されていてもよく、さらにパーティクル除去の目的でこの通気口に除塵用フィルター（不図示）が設けられていてもよい。
ペリクルフレームには、ジグ穴を設けてもよい。ジグ穴の深さ方向の形状は、特定されず、貫通さえしなければ、円柱の先にテーパーを有する凹みであってもよい。
前記気圧調整用穴及びジグ穴を設ける箇所は、その断面形状が凸状曲線を含む窪みを設ける前の四辺形であることが好ましく、矩形であることがより好ましい。
図２に示したように、本発明のペリクルフレームは、ペリクルフレームの断面が、上辺１２及び下辺１４が平行で面積が２０ｍｍ2以下の、基本となる四辺形（「基本四辺形」；１２、１７、１４及び１９の四辺により囲まれている。）の対向する両側辺１７、１９の少なくとも片方の側辺に、曲線を含む窪みを有する形状である。このペリクルフレームの断面は、基本四辺形において、凸状曲線を含む窪みにより形成される中間部１６により、上辺１２を含む上辺部１３及び下辺１４を含む下辺部１５が接続された形状を有する。
上述したように、ペリクルをマスクに貼り付けることによるマスクの歪みは、ペリクルのペリクルフレームの歪みに起因することが大きいと考えられる。貼付時にペリクルフレームが変形し、それが元に戻ろうとする変形応力がマスクを変形させている。この変形応力は、ペリクルフレームを構成する材料のヤング率及びその変形量に依存する。本発明によれば、ペリクルフレームの断面積を基本四辺形よりも縮小することにより変形応力の小さいペリクルフレームにすることが可能となった。すなわち、ペリクルフレームの上辺は、ペリクル膜を張設するため、また下辺は粘着剤を設けてマスクに接着することから、上辺も下辺もある程度の幅が必要である。しかしながら、上辺と下辺を接続する中間部は上下両辺よりも狭い幅とすることが可能である。
このようなペリクルフレームバーは、断面が基本四辺形の形状を有するフレームにおいて、四辺形の対向する側辺の少なくとも片方から、曲線を含む窪みを有する形状を削り取ることにより製造できる。なお、前記気圧調整用穴及びジグ穴を設けるペリクルフレームバーの箇所は窪みをなくすることができ、非貫通のジグ穴とすることが好ましい。
また、別方法として、上述のペリクルフレームは、所定の断面形状を有する金型中にエンジニアリングプラスチックを射出成形することにより製造することも可能である。
また、別方法として、上述のペリクルフレームは、所定の断面形状を有する金型中にエンジニアリングプラスチックを射出成形することにより製造することも可能である。
本発明において、窪みは、凹凸のある曲線を含む形状でもよいが、一方向に凸状又は凹状の曲線を含む形状であることが好ましく、さらにこの曲線が、円、楕円、双曲線及び放物線よりなる凸状曲線から選ばれることが好ましい。
凸状曲線を含む窪みは、凸状曲線のみよりなることが好ましい。凸状曲線のみよりなる形状としては、半円、部分円、半楕円、部分楕円、部分双曲線及び部分放物線が例示できる。楕円、双曲線及び放物線の円錐曲線の部分形状においては、その頂点近傍を含む部分曲線であることが好ましい。窪みに含まれる凸状曲線は、側辺から内側に向かって凸状でも凹状でもよい。
本発明において、窪みは、前記凸状曲線及び少なくとも一本の直線を含むこともまた好ましい。この窪み形状としては、前記凸状曲線とこれと交差する直線を弦として囲まれた弓形形状、前記凸状曲線と少なくとも一本の直線を含む形状が例示できる。後者の例には、四半円、四半楕円が含まれる。前記窪みが少なくとも一本の前記上辺に平行な直線を含むことも好ましい。二本の前記上辺に平行な直線と側辺側に凸状の窪みであってもよい。
基本四辺形の形状は、上辺及び下辺が平行である。この四辺形としては、正方形を含む矩形、台形、平行四辺形が含まれ、矩形が好ましい。台形としては上辺が下辺よりも短くても長くてもよい。
本発明のペリクルフレームは、上辺部及び下辺部の両側において上下方向に所定の厚さを有することが好ましい。
凸状曲線を含む窪みは、凸状曲線のみよりなることが好ましい。凸状曲線のみよりなる形状としては、半円、部分円、半楕円、部分楕円、部分双曲線及び部分放物線が例示できる。楕円、双曲線及び放物線の円錐曲線の部分形状においては、その頂点近傍を含む部分曲線であることが好ましい。窪みに含まれる凸状曲線は、側辺から内側に向かって凸状でも凹状でもよい。
本発明において、窪みは、前記凸状曲線及び少なくとも一本の直線を含むこともまた好ましい。この窪み形状としては、前記凸状曲線とこれと交差する直線を弦として囲まれた弓形形状、前記凸状曲線と少なくとも一本の直線を含む形状が例示できる。後者の例には、四半円、四半楕円が含まれる。前記窪みが少なくとも一本の前記上辺に平行な直線を含むことも好ましい。二本の前記上辺に平行な直線と側辺側に凸状の窪みであってもよい。
基本四辺形の形状は、上辺及び下辺が平行である。この四辺形としては、正方形を含む矩形、台形、平行四辺形が含まれ、矩形が好ましい。台形としては上辺が下辺よりも短くても長くてもよい。
本発明のペリクルフレームは、上辺部及び下辺部の両側において上下方向に所定の厚さを有することが好ましい。
また、本発明のペリクルフレームバーの断面は、凸状曲線を含む窪みを有するが、所定の曲線部分を、この曲線に近似した６角形以上の多角形により代替した形状も均等物として同様に使用することができる。
図３を参照してペルクルフレームバーの断面形状を説明する。
（ａ）の形状は本発明に係るペリクルフレームの断面一形状であり、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の基本四辺形である、縦長の矩形の両側辺にそれらの略中央において部分円状の窪みを有し、中狭の中間部１６により上辺部１３及び下辺部１５が接続された形状である。
（ｂ）の形状は、基本四辺形である矩形の側辺の片方にのみに半円状の窪みを有する。
（ｃ）の形状は、矩形の片方の側辺に四半円の窪みを有し、直線部分は上辺と平行である。
（ｄ）の形状は、矩形の両方の側辺に部分円の窪みを有し、直線部分はいずれも上辺と平行である。
（ｅ）の形状は、矩形の片方の側辺から２本の直線とやや凹状の曲線からなる窪みを有する。
上記の断面形状例の中では、変形応力が小さい点から、（ａ）、及び（ｄ）が好ましく、（ｄ）がより好ましい。
なお、基本四辺形を平行四辺形又は台形として、その両側辺又は片方の側辺から、凸状曲線を含む窪みを有する形状に変形することもできる。
中間部は、上辺部と下辺部の中間部において幅の狭い領域を有するが、上記（ｃ）に例示するように、上辺部又は下辺部寄りにおいて中間部が幅広であってもよい。
（ａ）の形状は本発明に係るペリクルフレームの断面一形状であり、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の基本四辺形である、縦長の矩形の両側辺にそれらの略中央において部分円状の窪みを有し、中狭の中間部１６により上辺部１３及び下辺部１５が接続された形状である。
（ｂ）の形状は、基本四辺形である矩形の側辺の片方にのみに半円状の窪みを有する。
（ｃ）の形状は、矩形の片方の側辺に四半円の窪みを有し、直線部分は上辺と平行である。
（ｄ）の形状は、矩形の両方の側辺に部分円の窪みを有し、直線部分はいずれも上辺と平行である。
（ｅ）の形状は、矩形の片方の側辺から２本の直線とやや凹状の曲線からなる窪みを有する。
上記の断面形状例の中では、変形応力が小さい点から、（ａ）、及び（ｄ）が好ましく、（ｄ）がより好ましい。
なお、基本四辺形を平行四辺形又は台形として、その両側辺又は片方の側辺から、凸状曲線を含む窪みを有する形状に変形することもできる。
中間部は、上辺部と下辺部の中間部において幅の狭い領域を有するが、上記（ｃ）に例示するように、上辺部又は下辺部寄りにおいて中間部が幅広であってもよい。
本発明のペリクルフレームは、マスクの形状に応じて適宜設計されるものであるが、通常ペリクル枠の平面形状はリング状あるいは矩形状、正方形状であり、マスクに設けられた回路パターン部を覆う大きさと形状とを備えている。矩形状（正方形状を含む。）のペリクル枠の角は丸みがついていても構わない。ペリクル枠の高さは、好ましくは約１〜１０ｍｍであり、より好ましくは約２〜７ｍｍであり、特に好ましくは約３〜６ｍｍである。ペリクルフレームの上辺及び下辺は、幅が約２ｍｍであることが好ましい。
また、上辺部及び／又は下辺部の厚さは、少なくとも０．４ｍｍ以上であることが好ましく、０．４〜０．８ｍｍとすることがより好ましい。
本発明のペリクルフレームの断面積が６ｍｍ2以下であることが好ましく、１〜６ｍｍ2であることがより好ましい。本発明のようにペリクルフレームの中間部を幅狭くすることにより、この小さな断面積が達成しやすくなる。このように断面積を小さくすると、一定材質では変形応力を小さくして、その結果、マスクの変形も小さくすることができる。
また、上辺部及び／又は下辺部の厚さは、少なくとも０．４ｍｍ以上であることが好ましく、０．４〜０．８ｍｍとすることがより好ましい。
本発明のペリクルフレームの断面積が６ｍｍ2以下であることが好ましく、１〜６ｍｍ2であることがより好ましい。本発明のようにペリクルフレームの中間部を幅狭くすることにより、この小さな断面積が達成しやすくなる。このように断面積を小さくすると、一定材質では変形応力を小さくして、その結果、マスクの変形も小さくすることができる。
本発明のペリクルフレームは、ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成することが好ましい。
ペリクルフレームを構成する上記材料としては、アルミニウム、マグネシウム合金、合成樹脂等が例示でき、アルミニウムが好ましく使用できる。
アルミニウムとしては、従来使用されているアルミニウム合金材が使用でき、好ましくは、ＪＩＳ Ａ７０７５、ＪＩＳ Ａ６０６１、ＪＩＳ Ａ５０５２材等が用いられるが、上述した断面形状を有し、ペリクルフレームとしての強度が確保される限り特に制限はない。ペリクルフレーム表面は、ポリマー被膜を設ける前に、サンドブラストや化学研磨によって粗化することが好ましい。本発明において、このフレーム表面の粗化の方法については、従来公知の方法を採用できる。アルミニウム合金材に対して、ステンレス、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行い、表面を粗化する方法が好ましい。
ペリクルフレームを構成する上記材料としては、アルミニウム、マグネシウム合金、合成樹脂等が例示でき、アルミニウムが好ましく使用できる。
アルミニウムとしては、従来使用されているアルミニウム合金材が使用でき、好ましくは、ＪＩＳ Ａ７０７５、ＪＩＳ Ａ６０６１、ＪＩＳ Ａ５０５２材等が用いられるが、上述した断面形状を有し、ペリクルフレームとしての強度が確保される限り特に制限はない。ペリクルフレーム表面は、ポリマー被膜を設ける前に、サンドブラストや化学研磨によって粗化することが好ましい。本発明において、このフレーム表面の粗化の方法については、従来公知の方法を採用できる。アルミニウム合金材に対して、ステンレス、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行い、表面を粗化する方法が好ましい。
本発明のペリクルフレームは、従来からの慣用されているアルミニウム合金材などヤング率が６９ＧＰａの材料を使用する代わりに、ヤング率が１以上５０ＧＰａ以下である材料で構成することも好ましい。ヤング率が上記の範囲内である材料としては、マグネシウム合金の４４ＧＰａ、アクリル樹脂の３ＧＰａ、ポリカーボネート樹脂の２．５ＧＰａが例示できる。
このような低いヤング率の材料を使用すると、断面積が６ｍｍ2を超え１２ｍｍ2の断面積でも、変形応力を小さくして、マスクの変形も小さくすることができる。
本発明のペリクルフレームバーの断面積は、１２ｍｍ2以下であることが好ましい。
ペリクルフレームの断面積を１〜６ｍｍ2にした場合、低いヤング率の材料を使用する程、相乗効果によりマスクの変形も小さくすることができる。
このような低いヤング率の材料を使用すると、断面積が６ｍｍ2を超え１２ｍｍ2の断面積でも、変形応力を小さくして、マスクの変形も小さくすることができる。
本発明のペリクルフレームバーの断面積は、１２ｍｍ2以下であることが好ましい。
ペリクルフレームの断面積を１〜６ｍｍ2にした場合、低いヤング率の材料を使用する程、相乗効果によりマスクの変形も小さくすることができる。
本発明において、ペリクルフレームの露光原版接着面及び／又はペリクル膜接着面において、露光原版接着面及び／又はペリクル膜接着面とペリクルフレーム内外側面とのなす角部にＣ面取りをすることが好ましい。
本発明において、ペリクルフレームは、迷光を吸収するために、黒色酸化被膜及び／又は黒色ポリマー被膜を有することが好ましい。また、ペリクルフレームがアルミニウム合金製である場合には、黒色アルマイト被膜及び／又はポリマーの電着塗装膜を有するアルミニウム合金製ペリクルフレームであることが特に好ましい。
ペリクルフレーム表面の黒色アルマイト被膜の形成方法としては、一般的にＮａＯＨなどのアルカリ処理浴で数十秒処理した後、希硫酸水溶液中で陽極酸化を行い、次いで黒色染色、封孔処理することで、表面に黒色の酸化被膜を設けることができる。
ペリクルフレーム表面の黒色アルマイト被膜の形成方法としては、一般的にＮａＯＨなどのアルカリ処理浴で数十秒処理した後、希硫酸水溶液中で陽極酸化を行い、次いで黒色染色、封孔処理することで、表面に黒色の酸化被膜を設けることができる。
また、ポリマー被膜（ポリマーコーティング）は様々な方法によって設けることができるが、一般にスプレー塗装、静電塗装、電着塗装などが挙げられる。本発明では電着塗装によってポリマー被膜を設けることが好ましい。
電着塗装については、熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂のいずれも使用できる。また、それぞれに対してアニオン電着塗装、カチオン電着塗装のいずれをも使用することができる。本発明では耐紫外線性能も求められるため、熱硬化型樹脂のアニオン電着塗装が、コーティングの安定性、外観、強度の点から好ましい。
電着塗装については、熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂のいずれも使用できる。また、それぞれに対してアニオン電着塗装、カチオン電着塗装のいずれをも使用することができる。本発明では耐紫外線性能も求められるため、熱硬化型樹脂のアニオン電着塗装が、コーティングの安定性、外観、強度の点から好ましい。
本発明のリソグラフィ用ペリクルは、上記のペリクルフレームのいずれかに、上辺である一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、下辺である他端面に露光原版接着剤を設けることにより製造することができる。
ペリクル膜の種類については特に制限はなく、例えば従来エキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ（旭硝子（株）製商品名）、テフロン（登録商標）ＡＦ（デュポン社製商品名）等が挙げられる。これらのポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解し得る。
以下に実施例により具体的に本発明を例示して説明する。なお、実施例及び比較例における「マスク」は「露光原版」の例として記載したものであり、レチクルに対しても同様に適用できることはいうまでもない。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例のみに限定されるものではない。
（実施例１）
サイトップＣＴＸ−Ｓ（旭硝子（株）製商品名）をパーフルオロトリブチルアミンに溶解させた５％溶液をシリコンウエハ上に滴下し、スピンコート法により８３０ｒｐｍでウエハを回転させ、ウエハ上に広げた。その後、室温で３０分間乾燥後、さらに１８０℃で乾燥し、均一な膜とした。これに接着剤を塗布したアルミニウム枠を貼り付け、膜だけを剥離しペリクル膜とした。上記のサイトップＣＴＸ−Ｓ膜を必要枚数作製して、実施例１〜８及び比較例で使用した。
（実施例１）
サイトップＣＴＸ−Ｓ（旭硝子（株）製商品名）をパーフルオロトリブチルアミンに溶解させた５％溶液をシリコンウエハ上に滴下し、スピンコート法により８３０ｒｐｍでウエハを回転させ、ウエハ上に広げた。その後、室温で３０分間乾燥後、さらに１８０℃で乾燥し、均一な膜とした。これに接着剤を塗布したアルミニウム枠を貼り付け、膜だけを剥離しペリクル膜とした。上記のサイトップＣＴＸ−Ｓ膜を必要枚数作製して、実施例１〜８及び比較例で使用した。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状は図３（ａ）に示し、断面積４．３３ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の両側面から、半径1.４２ｍｍの円弧を高さ２．５ｍｍ、奥行き０．７５ｍｍの寸法でその中央部で取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの端部で０．５ｍｍであり、中央帯部の幅も０．５ｍｍであった。なお、ペリクルフレームの４つの角にＣ面取りを施した。
このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度ペリクル付きマスクの平坦度を測定したところ、０．２７μｍとなった。また、マスクの最大変形レンジは４８ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ低い値に抑えることができた。なお、平坦度および最大変形レンジの測定結果を表１にまとめた。
なお、マスクの平坦度は、Ｔｒｏｐｅｌ社のＵｌｔｒａＦｌａｔを使用して測定した。またフレームの平坦度はＸＹ軸プログラムステージを有するレーザー変位計で測定した。
また、「マスクの最大変形レンジ」とは、マスクの形状を２回測定し、マスク各点の高さの差のうち、＋／−側それぞれの最大変化量の絶対値の和と定義される。なおペリクル貼り付けによりマスクが変形した場合には、平坦度が変化していない場合でも最大変形レンジは大きな値となることがあるので、マスクの変形／歪みの指標として最大変形レンジは平坦度よりも有効である。
なお、マスクの平坦度は、Ｔｒｏｐｅｌ社のＵｌｔｒａＦｌａｔを使用して測定した。またフレームの平坦度はＸＹ軸プログラムステージを有するレーザー変位計で測定した。
また、「マスクの最大変形レンジ」とは、マスクの形状を２回測定し、マスク各点の高さの差のうち、＋／−側それぞれの最大変化量の絶対値の和と定義される。なおペリクル貼り付けによりマスクが変形した場合には、平坦度が変化していない場合でも最大変形レンジは大きな値となることがあるので、マスクの変形／歪みの指標として最大変形レンジは平坦度よりも有効である。
（実施例２）
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×３．０ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状は図３（ａ）に示し、断面積３．７９ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．０ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の両側面から、半径1.０４２ｍｍの円弧を高さ２．０ｍｍ、奥行き０．７５ｍｍの寸法でその中央部で取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの端部で０．５ｍｍであり、中央帯部の幅も０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、１０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×３．０ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状は図３（ａ）に示し、断面積３．７９ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．０ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の両側面から、半径1.０４２ｍｍの円弧を高さ２．０ｍｍ、奥行き０．７５ｍｍの寸法でその中央部で取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの端部で０．５ｍｍであり、中央帯部の幅も０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、１０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度ペリクル付きマスクの平坦度を測定したところ、０．２６μｍとなった。また最大変形レンジは３６ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ非常に低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（実施例３）
マグネシウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ａ）であり、断面積が４．３３ｍｍ2）の断面形状が実施例１と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をマグネシウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
マグネシウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ａ）であり、断面積が４．３３ｍｍ2）の断面形状が実施例１と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をマグネシウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに、荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２４μｍとなった。また最大変形レンジは３８ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ非常に低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（実施例４）
ポリカーボネート樹脂製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ａ）であり、断面積４．３３ｍｍ2）の断面形状が実施例１と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をポリカーボネート樹脂製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
ポリカーボネート樹脂製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ａ）であり、断面積４．３３ｍｍ2）の断面形状が実施例１と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をポリカーボネート樹脂製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２５μｍと変化しなかった。また最大変形レンジは２７ｎｍ変化したものの、比較例に比べ非常に低い値に抑えることができた。なお、平坦度の測定結果を表１にまとめた。
（実施例５）
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｂ）であり、断面積４．５５ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径1.２５ｍｍの円弧を高さ２．５ｍｍ、奥行き１．２５ｍｍの寸法でその中央部で取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの片端部で０．５ｍｍであり、中央帯部の幅は０．７５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｂ）であり、断面積４．５５ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径1.２５ｍｍの円弧を高さ２．５ｍｍ、奥行き１．２５ｍｍの寸法でその中央部で取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの片端部で０．５ｍｍであり、中央帯部の幅は０．７５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２７μｍとなった。また最大変形レンジは５２ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（実施例６）
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｃ）であり、断面積５．２３ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径１．５ｍｍの１／４円弧を高さ１．５ｍｍ、奥行き１．５ｍｍの寸法で取り除いた形状とした。上辺部の厚さは片端部で０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度を、マスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｃ）であり、断面積５．２３ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径１．５ｍｍの１／４円弧を高さ１．５ｍｍ、奥行き１．５ｍｍの寸法で取り除いた形状とした。上辺部の厚さは片端部で０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度を、マスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２８μｍとなった。また最大変形レンジは６３ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（実施例７）
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｄ）であり、断面積３．９２ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径３．９２ｍｍの片円弧を高さ２．５ｍｍ、奥行き０．９ｍｍの寸法で取り除き、相対する側面からは同様の３．９２ｍｍの片円弧を同様の寸法で上下逆になるように取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの端部で０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｄ）であり、断面積３．９２ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。なお、断面形状は、高さ３．５ｍｍ、幅２．０ｍｍの矩形の片側面から、半径３．９２ｍｍの片円弧を高さ２．５ｍｍ、奥行き０．９ｍｍの寸法で取り除き、相対する側面からは同様の３．９２ｍｍの片円弧を同様の寸法で上下逆になるように取り除いた形状とした。上辺部及び下辺部の厚さは、それらの端部で０．５ｍｍであった。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２６μｍとなった。また最大変形レンジは３７ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（実施例８）
ポリカーボネート樹脂製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｄ）であり、断面積３．９２ｍｍ2）の断面形状が実施例７と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をポリカーボネート樹脂製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
ポリカーボネート樹脂製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、上辺及び下辺の幅が２ｍｍ（断面形状が図３（ｄ）であり、断面積３．９２ｍｍ2）の断面形状が実施例７と同じペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をポリカーボネート樹脂製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断しペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度マスクの平坦度を測定したところ、０．２５μｍと変化しなかった。また最大変形レンジは２６ｎｍ変化したものの、後述の比較例に比べ低い値に抑えることができた。なお、平坦度等の測定結果を表１にまとめた。
（比較例）
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、幅が２ｍｍ（断面形状は長方形であり、断面積７．００ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
アルミニウム合金製で、外寸が１４９ｍｍ×１２２ｍｍ×３．５ｍｍ、幅が２ｍｍ（断面形状は長方形であり、断面積７．００ｍｍ2）のペリクルフレームを製作した。このフレームの平坦度をマスク粘着剤を塗布する側から測定したところ、２０μｍであった。このフレームの片端面にマスク粘着剤を塗布し、もう一方の片端面に膜接着剤を塗布した。その後、先に剥離したペリクル膜をアルミニウム合金製フレームの膜接着剤側に貼り付け、フレームの外周の膜を切断し、ペリクルを完成させた。
完成したペリクルを、１４２ｍｍ角で平坦度が０．２５μｍであるマスクに、荷重２０ｋｇで貼り付けた。その後、再度ペリクル付きマスクの平坦度を測定したところ、０．２９μｍと変化してしまった。また最大変形レンジは１００ｎｍと大きく変化した。
以上の結果をまとめると、以下の表１に示すようになった。
１：ペリクル膜
２：接着層
３：ペリクルフレーム
４：接着用粘着層
５：露光原版
１０：ペリクル
１２：上辺
１３：上辺部
１４：下辺
１５：下辺部
１６：中間部
１７：側辺
１８：曲線形状を含む窪み
１９：側辺
２：接着層
３：ペリクルフレーム
４：接着用粘着層
５：露光原版
１０：ペリクル
１２：上辺
１３：上辺部
１４：下辺
１５：下辺部
１６：中間部
１７：側辺
１８：曲線形状を含む窪み
１９：側辺
Claims (10)
- ペリクルフレームバーの断面が、上辺及び下辺が平行で面積が２０ｍｍ2以下の四辺形の対向する両側辺に窪みを有する形状を有し、
前記上辺を含む上辺部及び前記下辺を含む下辺部は中間部により接続され、
前記中間部は上下両辺よりも狭い幅を有し、
前記窪みが曲線を含む形状であることを特徴とする
ペリクルフレーム。 - 前記曲線が、円、楕円、双曲線及び放物線よりなる凸状曲線から選ばれた、請求項１に記載のペリクルフレーム。
- 前記窪みが凸状曲線のみよりなる、請求項１又は２に記載のペリクルフレーム。
- 前記窪みが少なくとも一本の直線を含む、請求項１又は２に記載のペリクルフレーム。
- 前記窪みが少なくとも一本の前記上辺に平行な直線を含む、請求項４に記載のペリクルフレーム。
- 前記ペリクルフレームバーの断面積が６ｍｍ2以下である、請求項１〜５いずれか１つに記載のペリクルフレーム。
- ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成された、請求項１〜６いずれか１つに記載のペリクルフレーム。
- アルミニウム合金で構成された、請求項１〜７いずれか１つに記載のペリクルフレーム。
- ペリクルフレームの平坦度が２０μｍ以下である、請求項１〜８いずれか１つに記載のペリクルフレーム。
- 請求項１〜９いずれか１つに記載のペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けたリソグラフィ用ペリクル。
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