JP5999843B2 - リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 - Google Patents
リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5999843B2 JP5999843B2 JP2013127225A JP2013127225A JP5999843B2 JP 5999843 B2 JP5999843 B2 JP 5999843B2 JP 2013127225 A JP2013127225 A JP 2013127225A JP 2013127225 A JP2013127225 A JP 2013127225A JP 5999843 B2 JP5999843 B2 JP 5999843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flatness
- pellicle
- pellicle frame
- frame
- sides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
そして、本発明の場合、好ましくは、矩形のペリクルフレームの平坦度は、5〜15μmであり、ペリクルフレーム直線部の平坦度は、3〜10μmである。
ここで、本発明のフレーム形状の平坦度とは、図1に示すように、実際のフレーム形状1から仮想平面2を求め、この仮想平面2からの乖離を測定してその範囲のフレーム平坦度と定義するものである。そして、本発明の1つ目の規定のフレーム平坦度とは、フレームの全ての範囲で求めるものであり、また、2つ目の規定のフレーム直線部の平坦度とは、それぞれの直線部の範囲だけで求めるものである。
実施例1では、ペリクルフレームとして、フレーム外寸149mm×115mm×3.15mmで、フレーム厚さが2mmであり、その4つのコーナー部分の形状が外R5、内R3の形状に黒色アルマイトを施したフレームを用意した。このフレームのフレーム平坦度が14μmであり、フレーム直線部の平坦度が10μmのフレームを用いて、高平坦ペリクルを作成した。
った。
実施例1と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線部の平坦度を測定したところ、それぞれ14μmと8μmであった。また、準備した平坦度296nmのマスク基板に実施例1と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、32nmであった。
実施例1、2と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ15μmと5μmであった。また、準備した平坦度301nmのマスク基板に実施例1、2と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、平坦度は37μmであり、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、29nmであった。
実施例1−3と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ10μmと10μmであった。また、準備した平坦度311nmのマスク基板に実施例1−3と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、37nmであった。
実施例1−4と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ10μmと5μmであった。また、準備した平坦度303nmのマスク基板に実施例1−4と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、27nmであった。
実施例1−5と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ6μmと3μmであった。また、準備した平坦度299nmのマスク基板に実施例1−5と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、24nmであった。
実施例1−6と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ14μmと14μmであった。また、準備した平坦度307nmのマスク基板に実施例1−6と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、51nmであった。
実施例1−6と同じ形状のフレームを準備し、このフレーム平坦度とフレーム直線平坦度を測定したところ、それぞれ19μmと12μmであった。また、準備した平坦度305nmのマスク基板に実施例1−6と同様に、5kg30秒でペリクルを貼り付けて再びマスク基板の平坦度を測定したところ、貼り付け前後のマスク基板の歪み差は、48nmであった。
2 仮想平面
Claims (5)
- 矩形のペリクルフレームの4つのコーナー部と4つの辺の中央部からなる8カ所の測定部からペリクルフレームの平均仮想平面を作成するとともに、それぞれ8カ所の測定部における高さ方向の歪みを測定し、それぞれ8カ所の測定部における測定値の前記仮想平面から乖離しているペリクルフレームの平坦度が15μm以下に、また、前記矩形のペリクルフレームのそれぞれ4つの辺ごとにほぼ均等間隔に測定カ所を最低5個以上設けて、前記4つの辺ごとの仮想直線を作成するとともに、それぞれ4つの辺ごとの測定カ所の高さ方向の歪みを測定し、前記4つの辺ごとのそれぞれの前記測定カ所における測定値の前記仮想直線から乖離しているペリクルフレーム直線部の平坦度が10μm以下に、それぞれ加工されていることを特徴とするリソグラフィ用ペリクル。
- 前記矩形のペリクルフレームの平坦度が5〜15μmであることを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ用ペリクル。
- 前記ペリクルフレーム直線部の平坦度が3〜10μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載のリソグラフィ用ペリクル。
- 矩形のペリクルフレームの4つのコーナー部と4つの辺の中央部からなる8カ所の測定部からペリクルフレームの平均仮想平面を作成するとともに、それぞれ8カ所の測定部における高さ方向の歪みを測定し、それぞれ8カ所の測定部における測定値の前記仮想平面から乖離しているペリクルフレームの平坦度を15μm以下に、また、前記矩形のペリクルフレームのそれぞれ4つの辺ごとにほぼ均等間隔に測定カ所を最低5個以上設けて、前記4つの辺ごとの仮想直線を作成するとともに、それぞれ4つの辺ごとの測定カ所の高さ方向の歪みを測定し、前記4つの辺ごとのそれぞれの前記測定カ所における測定値の前記仮想直線から乖離しているペリクルフレーム直線部の平坦度を10μm以下に、それぞれ加工することを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの製造方法。
- 矩形のペリクルフレームの4つのコーナー部と4つの辺の中央部からなる8カ所の測定部からペリクルフレームの平均仮想平面を作成するとともに、それぞれ8カ所の測定部における高さ方向の歪みを測定し、それぞれ8カ所の測定部における測定値の前記仮想平面から乖離しているペリクルフレームの平坦度を15μm以下に、また、前記矩形のペリクルフレームのそれぞれ4つの辺ごとにほぼ均等間隔に測定カ所を最低5個以上設けて、前記4つの辺ごとの仮想直線を作成するとともに、それぞれ4つの辺ごとの測定カ所の高さ方向の歪みを測定し、前記4つの辺ごとのそれぞれの前記測定カ所における測定値の前記仮想直線から乖離しているペリクルフレーム直線部の平坦度を10μm以下に、それぞれ管理して、リソグラフィ用ペリクルに張り付けるマスク基板の貼付け前・後の歪さ差を20〜40nmの範囲内に抑えることを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127225A JP5999843B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127225A JP5999843B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015001683A JP2015001683A (ja) | 2015-01-05 |
JP5999843B2 true JP5999843B2 (ja) | 2016-09-28 |
Family
ID=52296222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013127225A Active JP5999843B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5999843B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017090719A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
JP2020160466A (ja) * | 2020-06-12 | 2020-10-01 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
CN117916663A (zh) * | 2021-09-13 | 2024-04-19 | 三井化学株式会社 | 防护膜组件框、防护膜组件、防护膜组件的制造方法和防护膜组件框的评价方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003222990A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-08-08 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクルのフォトマスクへの装着構造 |
JP2003307832A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-31 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクル及びペリクル装着フォトマスク |
JP2004012597A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクル |
JP2005070191A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Asahi Glass Co Ltd | フレームとペリクル板の貼り合せ装置 |
JP2008256925A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル |
JP2009025559A (ja) * | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレーム |
JP5481106B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-04-23 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル |
JP2011164259A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP2012093518A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP5411200B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | リソグラフィ用ペリクル |
-
2013
- 2013-06-18 JP JP2013127225A patent/JP5999843B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015001683A (ja) | 2015-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5481106B2 (ja) | ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル | |
KR101864171B1 (ko) | 리소그래피용 펠리클 | |
JP5411596B2 (ja) | ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル | |
JP5411595B2 (ja) | ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル | |
JP4889778B2 (ja) | ペリクルの製造方法及びリソグラフィ用ペリクル | |
TWI409581B (zh) | 防塵薄膜組件之製造方法、微影用防塵薄膜組件框架及微影用防塵薄膜組件 | |
KR20110089071A (ko) | 리소그래피용 펠리클 및 그 제조 방법 | |
JP2008256925A (ja) | ペリクル | |
JP4974389B2 (ja) | リソグラフィ用ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル | |
JP4286194B2 (ja) | ペリクルフレーム、および該フレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル | |
JP5999843B2 (ja) | リソグラフィ用ペリクルとその製造方法及び管理方法 | |
JP2011095593A (ja) | ペリクルフレーム及びペリクル | |
JP2016062055A (ja) | ペリクルフレームおよびペリクル | |
JP6632057B2 (ja) | ペリクル | |
KR102619269B1 (ko) | 리소그래피용 펠리클 용기 | |
JP5521464B2 (ja) | ペリクル、フォトマスク、および半導体デバイス | |
JP5619436B2 (ja) | 大型ペリクル用枠体、及び大型ペリクル | |
JP4343775B2 (ja) | ペリクルフレーム及びフォトリソグラフィー用ペリクル | |
JP5649134B2 (ja) | ペリクルフレーム | |
JP6975702B2 (ja) | ペリクルフレームおよびペリクル | |
JP2021012336A (ja) | ペリクル枠体及びペリクル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150625 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160328 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160829 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5999843 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |