JP2016062055A - ペリクルフレームおよびペリクル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクルフレームは、枠状をなすペリクルフレーム本体と、このペリクルフレーム本体のペリクル膜が張設される面の対面から、ペリクルフレーム本体の内面に沿って、ペリクルフレーム本体の幅の5〜30%の厚さの垂直な張り出し部を有し、また、この垂直な張り出し部の終端から外側に向かって、ペリクル膜の張設される面と水平になるような厚さ0.3〜1mmの水平な張り出し部を有する。
【選択図】図6
Description
したがって、製造および取り扱いが容易であると共に、装着後のフォトマスクに与える歪が極めて小さいペリクルフレームおよびペリクルを提供することができる。
比較例1では、上記実施例と全く同様にして、外寸149x115mm、内寸145.2x111.2mm、高さ5.5mmのペリクルフレームを機械切削加工により製作した。ペリクルフレームの長辺中央には直径0.5mmの通気孔、さらに、各辺のコーナー部付近にハンドリング用に非貫通の治具孔を設けた。また、稜部にはC0.1〜0.2程度に糸面取りを行い、表面は全面をRa0.6程度にサンドブラストしたのち、黒色アルマイト処理を施した。
比較例2では、上記特許文献2に示すようなI(アイ)字形状のペリクルフレームを用いた。先ず、上記実施例と全く同様にして、外寸149x115mm、高さ3.2mmのペリクルフレームを機械切削加工により製作した。このペリクルフレームの断面形状は、高さ3.2mm、幅1.9m m の矩形の両側面から、高さ2.2mm、幅0.6mmの矩形をその中央部で取り除いた形状を有するI字形状であり、その上辺部および下辺部の厚さは0.5mmであり、中央部の幅は0.7mmである。
11 ペリクルフレーム本体
12 垂直な張り出し部
13 水平な張り出し部
14 水平な張り出し部と本体の間隙
a 内面
b 外面
c ペリクル膜接着面
d ペリクルフレーム本体の下側の面
e 垂直張り出し部の内側の面
f 水平張り出し部の内側の面
g マスク粘着面
50 ペリクル
51 マスク粘着層
52 ペリクル膜接着層
53 ペリクル膜
54 セパレータ
55 通気孔
56 フィルタ
57 治具孔
58 掘り込み部
81 ペリクルフレーム
82 ペリクル膜接着層
83 ペリクル膜
84 マスク粘着層
85 加圧手段
86 フォトマスク
91 加圧手段
92 フォトマスク
Claims (7)
- 枠状をなすペリクルフレーム本体と、該ペリクルフレーム本体のペリクル膜が張設される面の対面から、前記ペリクルフレーム本体の内面に沿って、前記ペリクルフレーム本体の幅の5〜30%の厚さの垂直な張り出し部を有し、該垂直な張り出し部の終端から外側に向かって、ペリクル膜の張設される面と水平になるような厚さ0.3〜1mmの水平な張り出し部を有することを特徴とするペリクルフレーム。
- 前記ペリクルフレーム本体の内面と、該内面に沿った前記垂直な張り出し部および前記水平な張り出し部の各面とが、それぞれ前記ペリクルフレーム本体のペリクル膜が張設される面と垂直であることを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム。
- 前記水平な張り出し部と前記ペリクルフレーム本体の下側の面との間隙が0.3〜3mmの範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルフレーム。
- 前記垂直な張り出し部および前記水平な張り出し部は、ペリクルフレーム本体と連続一体で構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のペリクルフレーム。
- 前記請求項1〜4の何れかに記載のペリクルフレームを有するペリクルであって、前記水平な張り出し部の面上に、マスク粘着層が設けられたことを特徴とするペリクル。
- 前記マスク粘着層の平面度は、1〜30μmであることを特徴とする請求項5に記載のペリクル。
- 前記水平な張り出し部と前記ペリクルフレーム本体との前記間隙に加圧手段を挿入し、該加圧手段により前記水平な張り出し部を加圧してフォトマスクへ貼付けてなることを特徴とする請求項5又は6に記載のペリクル。
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