JP7063962B2 - ペリクルフレーム及びペリクル - Google Patents
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Description
(1)枠状のペリクルフレームであって、ペリクル膜が設置される面について、内縁側から外縁側に向けて下がった傾斜面が設けられ、この傾斜面の外縁側終端からペリクル膜が設置される面の外縁にかけて平坦面が設けられていることを特徴とするペリクルフレーム。
(2)前記傾斜面は、前記ペリクル膜が設置される面の全周にわたって設けられていることを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム。
(3)前記傾斜面の幅は、前記ペリクル膜が設置される面の幅の50%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルフレーム。
(4)前記傾斜面と前記平坦面に対して垂直な面とのなす角度が、60~89°であることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のペリクルフレーム。
(5)前記傾斜面の内縁側始端は、前記ペリクル膜が設置される面の内縁から0.2mm以内に位置することを特徴とする請求項1から4の何れかに記載のペリクルフレーム。
(6)前記傾斜面の内縁側始端は、前記ペリクル膜が設置される面の内縁であることを特徴とする請求項1から5の何れかに記載のペリクルフレーム。
(7)前記傾斜面の幅は、0.3~3mmであることを特徴とする請求項1から6の何れかに記載のペリクルフレーム。
(8)前記傾斜面の高さは、0.03~0.3mmであることを特徴とする請求項1から7の何れかに記載のペリクルフレーム。
(9)前記傾斜面は、平面から構成されていることを特徴とする請求項1から8の何れかに記載のペリクルフレーム。
(10)前記傾斜面は、曲面から構成されていることを特徴とする請求項1から8の何れかに記載のペリクルフレーム。
(11)請求項1から10の何れかに記載のペリクルフレームを含んで構成されるペリクルであって、前記ペリクルフレームの前記ペリクル膜が設置される面について、前記傾斜面上及び前記平坦面上に接着層が設けられ、接着層を介して前記ペリクル膜が設置されていることを特徴とするペリクル。
(12)枠状のペリクルフレームに接着層を介してペリクル膜が設置されているペリクルであって、前記接着層のペリクル膜接着面について、該ペリクル膜接着面の内縁側から外縁側に向けて下がった傾斜面が設けられ、該傾斜面の内縁側始端における前記接着層の厚みは、前記傾斜面の外縁側終端における前記接着層の厚みよりも小さいことを特徴とするペリクル。
なお、傾斜面を曲面で構成した場合、傾斜角αは、内縁側始端aにおける傾斜面(曲面)51の接線54と平坦面に対して垂直な面とのなす角度である。また、傾斜面を二つ以上の平面で構成した場合、傾斜角αは、内縁側始端aを含む面52と平坦面に対して垂直な面とのなす角度である。
なお、傾斜面の内縁側始端aは、ペリクル膜が設置される面の内縁から0.2mm以内に位置するようにすることが好ましい。
以下、実施例を示して本発明をより具体的に説明する。
比較例1として、前記実施例1と同一寸法であり、断面形状だけが異なるペリクルフレーム111を用いて図11に示すペリクル110を作製した。使用したペリクルフレーム111を除き、製造工程、条件は全て実施例1と同一とした。このとき用いたペリクルフレーム111の断面形状は図14に示すようになっており、前記実施例1にあるようなペリクルフレーム11の内縁付近の突起はなく、矩形断面となっている。
12 膜接着面
12a 傾斜面
12b 平坦面
13 マスク粘着面
14 平坦面に対して垂直な面
51 曲面
52 傾斜面
53 傾斜面
61 平面部
62 逆傾斜面
80 ペリクル
81 ペリクル膜
82 膜接着層
83 マスク粘着層
84 通気孔
85 治具孔
86 溝
87 フィルタ
88 セパレータ
92 膜接着層の膜接着面
92a 膜接着面の傾斜面
92b 膜接着面の平坦面
110 ペリクル
111 ペリクルフレーム
112 膜接着層
112a 曲面部
113 マスク粘着層
114 通気孔
115 治具孔
116 溝
117 フィルタ
118 セパレータ
119 ペリクル膜
120 引き攣れ部
a 傾斜面の内縁側始端
b 傾斜面の外縁側終端
w 傾斜面の幅
w´平坦面の幅
h 傾斜面の高さ
α 傾斜面の角度
W ペリクルフレームの膜接着面の幅
H ペリクルフレーム本体部の高さ
Claims (8)
- ペリクルフレームの片側端面に設けられた接着層によりペリクル膜が接着されたペリクルであって、
前記ペリクル膜と前記接着層の実際に接着されている部分より前記接着層の内縁側に、前記接着層の凸状曲面部を有さないペリクル(ただし、光透過性を有するペリクル膜と、開口が形成され該ペリクル膜が接着剤で貼付けられているペリクルフレームと、を備えているペリクルであって、前記ペリクルフレームの該ペリクル膜と対向する面は、前記開口の外周側に沿って、前記ペリクル膜に接触して該ペリクル膜の平坦性を確保する接触面と、該接触面の外周側に沿い且つ該接触面に対して鈍角を成し該ペリクル膜に対向する接着面とからなり、前記接着剤は、前記ペリクルフレームの前記接着面と、該接着面に対向している前記ペリクル膜の部分との間に施されているペリクルを除く。)。 - 前記ペリクル膜と前記接着層が引き攣れを起こす隙間がなく接着されている請求項1に記載のペリクル。
- 前記接着層が、その内縁側から外縁側に向けて下がった傾斜面を有する請求項1又は2に記載のペリクル。
- 前記傾斜面の内縁側始端における前記接着層の厚みが、前記傾斜面の外縁側終端における前記接着層の厚みよりも小さい請求項3に記載のペリクル。
- 請求項1から4の何れかに記載のペリクルをフォトマスクに装着してなるペリクル付フォトマスク。
- 請求項5記載のペリクル付フォトマスクを用いて露光することを特徴とする露光方法。
- 請求項5記載のペリクル付フォトマスクを用いて露光する工程を有する半導体の製造方法。
- 請求項5記載のペリクル付フォトマスクを用いて露光する工程を有するディスプレイの製造方法。
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JPH05281710A (ja) * | 1992-04-03 | 1993-10-29 | Tosoh Corp | ペリクルの製造方法 |
JP3928190B2 (ja) * | 1996-05-29 | 2007-06-13 | 株式会社ニコン | ペリクル光学素子、及びその製造方法 |
KR101287700B1 (ko) * | 2008-09-12 | 2013-07-24 | 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 | 펠리클 프레임, 펠리클 및 펠리클 프레임의 사용 방법 |
JP2011164259A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP5411200B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | リソグラフィ用ペリクル |
-
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---|---|---|---|---|
JP2005338722A (ja) | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレーム及びフォトリソグラフィー用ペリクル |
JP2016218162A (ja) | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル及びその装着方法 |
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