JP2014211591A - ペリクルおよびこのペリクルを装着するフォトマスク - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献2には、マスクに貼付されるペリクルの粘着剤の厚さと弾性率とを所望値に規定することで、ペリクルフレーム端面の凹凸を粘着剤層に吸収して、マスク面の平滑度を十分に保つことができると記載されている。
特許文献3には、ペリクル粘着層として柔軟なゲル組成物からなるものを用いることで、ペリクルをマスク等に貼り付けた場合のマスク等の歪みを低減することができると記載されている。
さらに、特許文献4には、粘着剤層の粘着力を1N/mから100N/mの範囲に低く抑えることで、ペリクル貼り付けによるマスクの変形が抑制されると記載されている。
また、ペリクルフレーム10の平坦度は、本発明の目的を達成するためには、少なくとも30μm以下であるのが好ましく、より好ましくは15μm以下である。ペリクルフレーム10の側面には、ハンドリングのための治具孔12および通気孔13を設けてもよい。
また、フォトマスク基板70の平坦度を確認したところ、0.28μmであったので、ペリクル40の装着前の平坦度0.27μmと比べれば、わずか0.01μm程度の小さな歪に抑制できることが確認された。
11 雌ネジ
12 治具孔
13 通気孔
14 段差
40 ペリクル
41 ペリクル膜接着層
42 ペリクル膜
43 弾性体層
44 フィルタ
70 フォトマスク基板
71 貫通孔
101 締結手段
111 雄ネジ
112 段付き部
113 大径部
114 円筒部
Claims (9)
- 少なくとも4つの辺を有するペリクルフレームを用いて構成されたペリクルであって、前記ペリクルフレームの少なくとも4箇所の角部には、フォトマスク側となる端面からペリクル膜が設けられる端面に向かって雌ネジが設けられ、フォトマスク側となる前記端面には、弾性体層が設けられていることを特徴とするペリクル。
- 前記弾性体層は、前記ペリクルがフォトマスクに装着された場合に、該フォトマスク表面との接触幅が0.3〜1.0mmの範囲となるような形状であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。
- 前記弾性体層の形状は、その断面形状がペリクルフレームの幅方向について見た場合に中央を頂点とする略半円形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル。
- 前記弾性体層は、デュロメータ硬度Aで50°以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のペリクル。
- 前記弾性体層は、シリコーン樹脂、フッ素変性シリコーン樹脂、EPM樹脂、EPDM樹脂、SBS樹脂およびSEBS樹脂からなる群より選択されることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のペリクル。
- 前記弾性体層は、その表面が接着性を有さないことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のペリクル。
- 前記雌ネジに対応した位置に貫通孔が設けられていることを特徴とする前記請求項1〜6の何れかに記載のペリクルを装着するフォトマスク。
- 前記貫通孔は、パターン面の反対側が大径となったテーパ形状又は段差のある形状であることを特徴とする請求項7に記載のフォトマスク。
- 前記貫通孔に先端部に雄ネジを有する締結手段を挿入し、該雄ネジと前記雌ネジとを締結して前記ペリクルが装着されることを特徴とする請求項7又は8に記載のフォトマスク。
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