JP2012022129A - ペリクルのフォトマスクへの取り付け構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクルフレーム4は矩形の筒状を呈し、4つの平坦な側面を有しており、係止用突起5は、各側面のペリクル膜1寄りの箇所に設けられている。掛け止め部材6の装着は、第2腕部6Cを係止用突起5に係止させ、第1腕部6Bを、ペリクルフレーム4の延長上に位置するフォトマスク20(石英基板21)の背面箇所に係止させることで行なわれる。これにより、第1腕部6Bと脚部6Aとが交わる部分や第2腕部6Cと脚部6Aとが交わる部分が撓み、ペリクルフレーム4の軸方向の他端をフォトマスク20の表面に押圧する。
【選択図】図1
Description
このようなフォトマスク表面に付着する異物による解像不良を防ぐため、フォトマスクは、その表面に透光性を有する防塵カバーとしてペリクルを装着している。
近年、ペリクルを構成する部材から発せられるガスがフォトマスクの曇りの要因の一つとして懸念されている。ペリクルは様々な形状があり、例えば特許文献1に示されているように接着剤を減らす目的で端面等に溝を作るなど様々な加工がされている。
このため、フォトマスク洗浄の際にフォトマスクからペリクルを剥離しても、フォトマスク上には接着剤が残り、このフォトマスク上に残る接着剤は容易に落とせず、強アルカリによる洗浄でパターンへのダメージが問題とされている。
本発明の目的は、ペリクルからの発ガスを抑制し、フォトマスクからペリクルを簡単に剥がせるペリクルのフォトマスクへの取り付け構造を提供することにある。
また、請求項5の発明は、前記第2腕部が前記係止用突起に係止した状態を保持する保持手段をさらに備える請求項4記載のペリクルのフォトマスクへの取り付け構造である。
なお、後述する実施形態は、本発明の具体的な構成例であり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
ペリクルはフォトマスク20上に設置する透光性を有する防塵カバーである。
本発明のペリクル10は、筒状のペリクルフレーム4と、ペリクルフレーム4の軸方向の一端開口を覆うように設けられたペリクル膜1とを備える。
本発明のペリクル10は、塵埃から保護すべきフォトマスク20の表面をペリクルフレーム4の内側に位置させペリクルフレーム4の軸方向の他端をフォトマスク20の表面に載置して係止用突起5と掛け止め部材6によりフォトマスク20上に設置される。
フォトマスク20の表面に載置されるペリクルフレーム4の軸方向の他端にパッキン3が設けられ、フォトマスク20の表面への密着度が高められている。
パッキン3は、弾性を有しガスの発生の少ない材料で形成されている。このような材料としてガスの発生の少ないフッ素系樹脂などを用いることができる。
ペリクルフレーム4の軸方向の一端には、接着層2を介してペリクル膜1が固着されている。
ペリクル膜1は、透光性を有し、異物をトラップするものであり、透明な薄膜で構成されている。以下詳細に説明する。
また、形状は露光部に影響を与えない形で作成され、ペリクルフレーム4には、フォトマスク20への装着時に封入した塵埃をトラップし露光部に存在させないことを目的として、内壁部に粘着物を加える事もある。
ペリクルフレーム4の材料は、紫外光に対する耐性があり、アウトガスの発生が少なければ、何れの材料でも構わない。通常、金属や金属酸化物が用いられる。例としては、Cr、Ti、Mo、Si、Al、Zrまたはそれらの合金などの酸化物が挙げられる。
また、ペリクルフレーム4には、ペリクルフレーム4内外の圧力差を調節するための不図示のフィルターが設けられている。
このため、ペリクル膜1は露光によるエネルギーを遮断させない様、透光性を有する。
また、シワなどによりフォトマスク20表面に影を作らせ無い様、ペリクルフレーム4と均一の力がかかる様貼られている。
フィルターとしては、HEPAフィルターやULPAフィルターに用いられるポリプロピレン(PP)やパーテトラフルオロフラン(PTFE)などを用いることが出来る。
掛け止め部材6は、係止用突起5と、フォトマスク20の表面に載置されたペリクルフレーム4の延長上に位置するフォトマスク20(石英基板21)の背面箇所とに係止可能で、それら係止用突起5と背面箇所とに係止した状態でペリクルフレーム4の軸方向の他端をフォトマスク20(石英基板21)の表面に押圧し、本発明のペリクル10を着脱可能にフォトマスク20に取り付けるものである。
掛け止め部材6は、弾性変形可能に構成されていればよく、金属製であってもよく、合成樹脂製であってもよい。
掛け止め部材6は、細長形状の脚部6Aと、脚部6Aの長手方向の一端から突出しフォトマスク20の背面箇所に係止可能な第1腕部6Bと、脚部6Aの長手方向の他端から突出し係止用突起5に係止可能な第2腕部6Cとを備えている。
さらに、第2腕部6Cが係止用突起5に係止した状態を保持する保持手段7をさらに備える。
本実施の形態では、係止用突起5の幅方向の両側に対向するように、第2腕部6Cに壁部が設けられ、この壁部にねじ孔が形成されている。そして、このねじ孔に螺合する雄ねじを締め付け、係止用突起5の幅方向の両側を雄ねじで挟みつけることにより、第2腕部6Cが係止用突起5に係止した状態を保持するようにしている。
なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
まず、本発明の実施の形態に係るペリクルフレーム4を用いた本発明のペリクル10をフォトマスク20に掛け止め部材6を用いて固定した。
また、従来のフレームを具備するペリクルを用いてフォトマスク20にマスク接着剤11を用いて貼付した。
また、従来のフレームを具備するペリクルを用いて石英基板21にマスク接着剤11を用いて貼付した。
2……接着層
3……パッキン
4……ペリクルフレーム
5……係止用突起
6……掛け止め部材
7……螺子
10……本発明のペリクル
11……マスク接着剤
20……フォトマスク
21……石英基板
22……遮光膜
Claims (5)
- 筒状のペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの軸方向の一端開口を覆うように設けられたペリクル膜とを備えるペリクルを、塵埃から保護すべきフォトマスクの表面を前記ペリクルフレームの内側に位置させ前記ペリクルフレームの軸方向の他端をフォトマスクの表面に載置してフォトマスクに取り付ける構造であって、
前記ペリクルフレームの外側面で周方向に間隔をおいた箇所に突設された複数の係止用突起と、
前記係止用突起と、前記フォトマスクの表面に載置された前記ペリクルフレームの延長上に位置する前記フォトマスクの背面箇所とに係止可能でそれら係止用突起と背面箇所とに係止した状態で前記ペリクルフレームの軸方向の他端を前記フォトマスクの表面に押圧する掛け止め部材と、
を備えるペリクルのフォトマスクへの取り付け構造。 - フォトマスクの表面に載置される前記ペリクルフレームの軸方向の他端に、弾性を有しガスの発生の少ない材料からなるパッキンが取着されている、
請求項1記載のペリクルのフォトマスクへの取り付け構造。 - 前記材料はフッ素系樹脂である、
請求項2記載のペリクルのフォトマスクへの取り付け構造。 - 前記掛け止め部材は、細長形状の脚部と、前記脚部の長手方向の一端から突出し前記フォトマスクの背面箇所に係止可能な第1腕部と、前記脚部の長手方向の他端から突出し前記係止用突起に係止可能な第2腕部と、
を備える請求項1乃至3に何れか1項記載のペリクルのフォトマスクへの取り付け構造。 - 前記第2腕部が前記係止用突起に係止した状態を保持する保持手段をさらに備える請求項4記載のペリクルのフォトマスクへの取り付け構造。
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