JP4889778B2 - ペリクルの製造方法及びリソグラフィ用ペリクル - Google Patents
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Description
(1)ペリクルの製造方法であって、平坦面上に設置したペリクルフレームに、荷重をかけた状態で加熱処理する工程を含むことを特徴とするペリクルの製造方法。
(2)前記平坦面の平坦度が5μm以下である、(1)に記載のペリクルの製造方法。
(3)前記加熱処理の温度が140〜250 ℃である、(1)に記載のペリクルの製造方法。
(4)前記荷重が約4.90〜約196N(0.5〜20kg重)である、(1)に記載のペリクルの製造方法。
(5)ヤング率が1〜80GPaである材料で構成されたペリクルフレームを用いる、(1)〜(4)のいずれか1つに記載のペリクルの製造方法。
(6)アルミニウム合金で構成されたペリクルフレームを用いる、(1)〜(5)のいずれか1つに記載のペリクルの製造方法。
(7)ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けた、(1)〜(6)いずれか1つに記載のペリクルの製造方法によって製造されたリソグラフィ用ペリクル。
図1に示したように、本発明のリソグラフィ用のペリクルは、ペリクルフレーム3の上端面にペリクル膜貼り付け用接着層2を介してペリクル膜1を張設したもので、この場合、リソグラフィ用のペリクルを露光原版(マスク又はレチクル)5に粘着させるための接着用粘着層4が、通常、ペリクルフレーム3の下端面に形成され、該接着用粘着層の下端面にライナー(不図示)を剥離可能に貼着してなるものである。また、ペリクルフレームには不図示の気圧調整用穴(通気口)が設置されていて、さらにパーティクル除去の目的でこの通気口に除塵用フィルター(不図示)が設けられていてもよい。
前記気圧調整用穴を設ける箇所の断面形状は、気圧調整用フィルターを貼り付ける外側面が平面であることが好ましい。
図2に示すように、例えば石英板からなる基盤7にペリクルフレーム3のマスク貼り付け接着層側が接するように載置し、ペリクルフレーム3のペリクル膜貼り付け用接着層側に、例えば石英板からなる押圧盤8を介して荷重9を作用させる。そして、本発明の特徴たる、加熱処理を施す。
加熱処理は、ペリクルフレームを所定温度に加熱すること、例えばペリクルフレームに通電加熱体を巻き付けるとか、赤外線を照射することも可能であり、系全体を所要温度雰囲気に供することでも良い。
ペリクルフレームの加熱処理の温度は、140℃未満では処理に長時間を要し、また250℃を越えるとフレーム表面に亀裂が生じたり変色することがある。
ペリクルフレームにかける荷重は約196N(20kg重)を超えてもよいが、平坦性の改善効果はさほど大きくならない。また荷重無しでも、押圧盤だけである程度の効果は得られるが処理に長時間を要するため、実用上は約4.90〜約196N(0.5〜20kg重)が好ましい。
荷重には、鉛板、分銅、重り等、適宜のものが利用できる。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いて荷重をかけた(図2)。この状態で、185℃のオーブン中で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いて荷重をかけた。この状態で、140℃のオーブン中で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いて荷重をかけた。この状態で、250℃のオーブン中で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いての荷重をかけた。この状態で、185℃のオーブン中で20分間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いての荷重をかけた。この状態で、185℃のオーブン中で15時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量0.5kgの重りを用いて荷重をかけた。この状態で、185℃のオーブン中で15時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量20kgの重りを用いて荷重をかけた。この状態で、185℃のオーブン中で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度3μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いて荷重をかけ室温で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
平坦度15μmの石英板上に、上記ペリクルフレームのマスク粘着剤を塗布する側が接するように置き、質量2kgの重りを用いて荷重をかけ185℃オーブン中で2時間静置した。このフレームのマスク粘着剤塗布面の平坦度を測定した。
2:接着層
3:ペリクルフレーム
4:接着用粘着層
5:露光原版
6:ペリクル
7:基盤(石英板)
8:押圧盤(石英板)
9:荷重
Claims (7)
- ペリクルの製造方法であって、平坦面上に設置したペリクルフレームに、荷重をかけた状態で加熱処理する工程を含むことを特徴とするペリクルの製造方法。
- 前記平坦面の平坦度が5μm以下である請求項1に記載のペリクルの製造方法。
- 前記加熱処理の温度が140〜250℃である請求項1に記載のペリクルの製造方法。
- 前記荷重が約4.90〜約196N(0.5〜20kg重)である請求項1に記載のペリクルの製造方法。
- ヤング率が1〜80GPaである材料で構成されたペリクルフレームを用いたる、請求項1〜4のいずれか1つに記載のペリクルの製造方法。
- アルミニウム合金で構成されたペリクルフレームを用いる、請求項1〜5のいずれか1つに記載のペリクルの製造方法。
- ペリクルフレームの一端面にペリクル膜接着剤を介してペリクル膜が張設され、他端面に露光原版接着剤を設けた、請求項1〜6いずれか1つに記載のペリクルの製造方法によって製造されたリソグラフィ用ペリクル。
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