JP2009151335A - リソグラフィ用ペリクル - Google Patents
リソグラフィ用ペリクル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009151335A JP2009151335A JP2009089894A JP2009089894A JP2009151335A JP 2009151335 A JP2009151335 A JP 2009151335A JP 2009089894 A JP2009089894 A JP 2009089894A JP 2009089894 A JP2009089894 A JP 2009089894A JP 2009151335 A JP2009151335 A JP 2009151335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- fluorine
- film
- doped silica
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【解決手段】 少なくとも、ペリクル膜と、該ペリクル膜を張設するペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられた粘着層を有するリソグラフィ用ペリクルであって、前記ペリクルフレームが、シリコン単結晶からなるものであることを特徴とするリソグラフィ用ペリクル。
【選択図】図1
Description
そのため、フッ素ドープシリカと熱膨張係数が同じ石英ガラスをペリクルフレームとして使用せざるを得ず、仮に実用化できても非常に高価な物となるため、コスト面で問題があった。
本発明者らは、鋭意検討努力を重ねた結果、ペリクル膜をフッ素ドープシリカとフッ素樹脂の複合構造とすることにより、フッ素ドープシリカ層とフッ素樹脂層をそれぞれ薄膜とすることができ、これにより、それぞれの短所を補い、かつ長所を生かしたペリクル膜とすることが出来ることを見出し、本発明を完成させたものである。
この点を更に詳述すると、ペリクル膜の種類については、例えば200〜300nmの遠紫外光や、特には200nm以下の真空紫外光といった短波長の光に対して極力高い透過率を持ち、また耐光性を備えているものである必要がある。
非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ(旭硝子(株)製商品名)、テフロンAF(デュポン(株)製商品名)等が挙げられる。これらのポリマーは、ペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用しても良く、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解し得る。
通気口を設ける場合、通気口のサイズ、形状、個数、場所については特に制限されないが、通気口に設置するフィルターのメッシュサイズ、濾過面積またはこれらから求められる通気量によってそのサイズ、形状、個数、場所を選択するのが望ましい。好ましくは、必要以上に大きな通気口を形成せず、必要最低量の通気口を設けるのが良い。
ウェットエッチングによって、最終的にシリコン単結晶からなるペリクルフレーム2となる部分を残してシリコンが溶解除去され、ペリクルフレーム2にシリコン薄膜6を介してフッ素ドープシリカ3aとフッ素樹脂3bの複合構造からなるペリクル膜3が張設されたペリクル1が得られる。
(実施例)
初めに、ペリクルフレーム用として、結晶面方位(100)面のシリコン単結晶を外寸149mm×122mm×6.0mmの板に加工した(図3(A))。それから、このペリクルフレーム用板の一方の面を深さ5.0mmまで周囲5mmを残してザグリ加工した。ザグリ加工後、ザグリ加工を行わなかったもう一方の面を研磨し、鏡面に加工した(図3(B))。
次に、この溶液により、フッ素ドープシリカの研磨面にスピンコーターを用いて膜の厚みが0.8μmの透明のフッ素樹脂膜を形成させた(図3(G))。
Claims (3)
- 少なくとも、ペリクル膜と、該ペリクル膜を張設するペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられた粘着層を有するリソグラフィ用ペリクルであって、前記ペリクルフレームが、シリコン単結晶からなるものであることを特徴とするリソグラフィ用ペリクル。
- 前記ペリクル膜と前記ペリクルフレームは、シリコン薄膜を介して接合されたものであることを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ用ペリクル。
- 前記ペリクルフレームを構成するシリコン単結晶の結晶面方位が(100)面であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のリソグラフィ用ペリクル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009089894A JP4903829B2 (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | リソグラフィ用ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009089894A JP4903829B2 (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | リソグラフィ用ペリクル |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003208948A Division JP2005070120A (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | リソグラフィ用ペリクル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009151335A true JP2009151335A (ja) | 2009-07-09 |
JP4903829B2 JP4903829B2 (ja) | 2012-03-28 |
Family
ID=40920463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009089894A Expired - Fee Related JP4903829B2 (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | リソグラフィ用ペリクル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4903829B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009282298A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびペリクルの製造方法 |
CN102591136A (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-18 | 信越化学工业株式会社 | Euv用防尘薄膜及防尘薄膜组件,以及该膜的制造方法 |
EP3185074A1 (en) * | 2015-12-24 | 2017-06-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A pellicle for euv exposure |
US10488751B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-11-26 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, production method thereof, exposure method |
KR20200024117A (ko) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 한양대학교 에리카산학협력단 | Euv 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치 |
US10585348B2 (en) * | 2014-09-19 | 2020-03-10 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
JP2021105730A (ja) * | 2015-12-14 | 2021-07-26 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euvリソグラフィのための膜 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917711A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Nec Corp | X線露光マスクの製造方法 |
JPH10321495A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-12-04 | Toppan Printing Co Ltd | X線露光用マスクとその製造方法 |
JP2000182947A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-06-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線露光用マスクおよびその製造方法 |
JP2000292908A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP2000305255A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | フッ素エキシマレーザーリソグラフィー用ペリクル |
JP2001255644A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
JP2003222990A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-08-08 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクルのフォトマスクへの装着構造 |
-
2009
- 2009-04-02 JP JP2009089894A patent/JP4903829B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917711A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Nec Corp | X線露光マスクの製造方法 |
JPH10321495A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-12-04 | Toppan Printing Co Ltd | X線露光用マスクとその製造方法 |
JP2000182947A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-06-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線露光用マスクおよびその製造方法 |
JP2000292908A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP2000305255A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | フッ素エキシマレーザーリソグラフィー用ペリクル |
JP2001255644A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
JP2003222990A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-08-08 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクルのフォトマスクへの装着構造 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009282298A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびペリクルの製造方法 |
CN102591136A (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-18 | 信越化学工业株式会社 | Euv用防尘薄膜及防尘薄膜组件,以及该膜的制造方法 |
JP2012151158A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Euv用ペリクル膜及びペリクル、並びに該膜の製造方法 |
US10488751B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-11-26 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, production method thereof, exposure method |
US10585348B2 (en) * | 2014-09-19 | 2020-03-10 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
JP2021105730A (ja) * | 2015-12-14 | 2021-07-26 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euvリソグラフィのための膜 |
US11320731B2 (en) | 2015-12-14 | 2022-05-03 | Asml Netherlands B.V. | Membrane for EUV lithography |
JP7258068B2 (ja) | 2015-12-14 | 2023-04-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euvリソグラフィのための膜 |
EP3185074A1 (en) * | 2015-12-24 | 2017-06-28 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | A pellicle for euv exposure |
US10088745B2 (en) | 2015-12-24 | 2018-10-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle for EUV exposure |
KR20200024117A (ko) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 한양대학교 에리카산학협력단 | Euv 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치 |
KR102312385B1 (ko) | 2018-08-27 | 2021-10-13 | 한양대학교 에리카산학협력단 | Euv 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4903829B2 (ja) | 2012-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4903829B2 (ja) | リソグラフィ用ペリクル | |
US8551675B2 (en) | Mounting a pellicle to a frame | |
JP5189614B2 (ja) | ペリクル及びその取り付け方法、並びにペリクル付マスク及びマスク | |
JP4889778B2 (ja) | ペリクルの製造方法及びリソグラフィ用ペリクル | |
TWI815825B (zh) | 防護薄膜框架及防護薄膜組件 | |
JP2005070120A (ja) | リソグラフィ用ペリクル | |
TW202321834A (zh) | 防塵薄膜組件框架、防塵薄膜組件、附防塵薄膜組件的光阻、曝光方法、圖案的製造方法以及半導體裝置的製造方法 | |
TWI409581B (zh) | 防塵薄膜組件之製造方法、微影用防塵薄膜組件框架及微影用防塵薄膜組件 | |
KR20130024878A (ko) | 포토 마스크 유닛 및 그 제조 방법 | |
JP5279862B2 (ja) | ペリクル膜、その製造方法及び該膜を張ったペリクル | |
US7264853B2 (en) | Attaching a pellicle frame to a reticle | |
CN111324005A (zh) | 光蚀刻用防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件 | |
JP4974389B2 (ja) | リソグラフィ用ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル | |
JP5304622B2 (ja) | リソグラフィ用ペリクル | |
JP2011164259A (ja) | リソグラフィー用ペリクル | |
JP2002323752A (ja) | ペリクル | |
JP3265137B2 (ja) | ペリクルおよびその接着方法 | |
JP4345882B2 (ja) | 大型ペリクル | |
JP2007293036A (ja) | リソグラフィー用ペリクル | |
JP4307968B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
JP2001022052A (ja) | リソグラフィ用ペリクル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111220 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4903829 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150113 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |