JP2007293036A - リソグラフィー用ペリクル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ArFエキシマレーザー光を用いたリソグラフィーに使用されるリソグラフィー用ペリクルであって、そのペリクル膜厚が垂直入射のArFレーザー光に対して極大透過率を示す膜厚に対し、1.7〜2.8%厚いことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この場合、ゴミは露光原版の表面には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル上のゴミは転写に無関係となる利点がある。
具体的には紫外光(g線(436nm)、I線(365nm)、KrFエキシマレーザー(248nm))と移行しており、近年ではArFエキシマレーザー(193nm)が使用され始めた。
リソグラフィーに使用される光の短波長化により、光のエネルギーが大きくなってきていることから、KrF、ArFレーザーに対してはペリクル膜の材料はよりレーザー光耐性が大きい透明フッ素樹脂が使用されるようになってきている(特許文献3、特許文献4参照)。
対物レンズとシリコンウエハ間の液体が純水の場合、NAの理論限界は1.44程度であるが、実際にはレンズ等の制約から実用上のNAの限界は1.3程度になると考えられている。
このように露光装置が高NA化すると、ペリクルを透過する光も周辺部は斜入射の角度が大きくなり、露光装置によっても多少異なるが、NAが1の場合で最大斜入射角は約15度、NAが1.3の場合で約19度まで大きくなる。
ペリクル膜厚を薄くすることにより入射角依存性は小さくなる。垂直入射光に対して極大透過率を示す膜厚にした場合でも、例えば膜厚を約277nmにすると15度の斜入射光線に対しては約99.3%、19度の斜入射光に対して98.6%の透過率を示す。
一方上記に記述した液浸露光装置で高度な微細化を行う場合に、入射するレーザー光の斜入射成分のみを選択的に使用することがあり、この場合従来のペリクルを用いると透過率が低い領域で使用することになり、低透過率、高反射率から種種の問題が生じる可能性がある。
特許文献3では、「フォトマスク用防塵カバー」の「平均光線透過率」が検討されているが、そこで検討される光線の波長は「240〜500nm」の範囲であり、かつ、斜入射光線の光透過率に関しては検討されていない。
この場合ペリクル膜の膜厚は従来の膜厚と比較して少しだけ厚くなるので、入射角依存性を高める為に膜厚を薄くする場合に発生する膜の機械的強度の低下といった問題は発生しない。またこの場合垂直入射光に対する透過率は非常に低くなってしまうが、このペリクルは入射光のうち斜入射成分のみを選択的に使用するので、透過率が低い範囲では実際には使用されず問題にならない。
「実施例1」
環状構造を有するパーフルオロエーテル重合体、サイトップCTX−S(旭硝子(株)製商品名)をパーフルオロトリブチルアミンに溶解させた5%溶液をシリコンウエハ上に滴下し、スピンコート法により830rpmでウエハを回転させウエハ上に広げた。その後室温で30分間乾燥後、180℃で乾燥し均一な膜とした。これに接着剤を塗布したアルミ枠を貼り付け、膜だけを剥離しペリクル膜とした。
完成したペリクルの膜厚を測定したところ850nmであった。この膜厚はArFレーザー(波長193nm)の垂直入射光に対して極大透過率を示す膜厚に対し2.3%厚い。またこの膜厚はArFレーザー(波長193nm)の17度の斜入射光に対して極大透過率となる膜厚であった。
このペリクルの透過率の入射角依存性を測定したところ、垂直入射(入射角0度)で93.5%と低いものの、斜入射の15度で99.3%、17度で99.7%、19度で99.3%と15度〜19度の斜入射光に対しては99%以上の高い透過率を示した。この場合の透過率の角度依存性を図1に示す。
環状構造を有するパーフルオロエーテル重合体、サイトップCTX−S(旭硝子(株)製商品名)をパーフルオロトリブチルアミンに溶解させた5%溶液をシリコンウエハ上に滴下し、スピンコート法により850rpmでウエハを回転させウエハ上に広げた。その後室温で30分間乾燥後、180℃で乾燥し均一な膜とした。これに接着剤を塗布したアルミ枠を貼り付け、膜だけを剥離しペリクル膜とした。
完成したペリクルの膜厚を測定したところ830nmであった。この膜厚はArFレーザー(波長193nm)の垂直入射光に対して極大透過率となる膜厚であった。
Claims (1)
- ArFエキシマレーザー光を用いたリソグラフィーに使用されるリソグラフィー用ペリクルであって、そのペリクル膜厚が垂直入射のArFレーザー光に対して極大透過率を示す膜厚に対し、1.7〜2.8%厚いことを特徴とするリソグラフィー用ペリクル。
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