JP5950467B2 - ペリクル - Google Patents
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Description
ここで、「最大剥離力」とは、オートグラフAGS−500G(島津製作所株式会社製)を用いて、引っ張り方向がフレームと90°方向で、引っ張り速度が500mm/minである場合に、離型性ライナーをペリクルの粘着剤から剥離するときの最大剥離力をいう。また、この離型性ライナーは、その基材が可撓性の樹脂フィルムであることが好ましい。
<実施例1>
はじめに、外寸149×113mm、内寸145×109mm、高さ4.5mmの大きさで、上端面及び下端面の各々の外内両辺縁部がR加工された長方形のアルミニウム合金製ペリクルフレーム12を機械加工により製作し、その表面に黒色アルマイト処理を施した。その後、このペリクルフレーム12をクリーンルームに搬入し、中性洗剤と純水により、十分に洗浄し乾燥させた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにシリカ粉末を添加し、表面粗さが5μmであるライナーを使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにシリカ粉末を添加し、表面粗さが30μmであるライナーを使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
粘着剤13としてアクリル粘着剤SK−1495(綜研化学株式会社製)を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムに何も処理せず、表面粗さが1.5μmである離型性ライナー14を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
離型性ライナー14として基材となるPETフィルムにブラスト処理を施し、表面粗さが55μmである離型性ライナー14を使用した他は実施例1と同様にペリクル1を作製し、離型性ライナー14を貼り付けた。
前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14の離型側の表面粗さをLEXT_OLS4000(オリンパス株式会社製)により測定した。測定条件は、JIS_B_0601に準じて行い、測定長は2570μmにて測定を行った。
また、前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14をペリクル1の粘着剤13から剥離するときの剥離力を測定した。測定は、ペリクル1を固定し、オートグラフAGS−500G(島津製作所株式会社製)にて、離型性ライナー14がペリクル1から完全に剥離するまで離型性ライナー14を引っ張り、その間の最大剥離力を測定した。引っ張り方向はフレームと90°方向であり、引っ張り速度は500mm/minである。
さらに、前記実施例1〜4及び比較例1、2について、その離型性ライナー14をペリクル1から剥離した後、ペリクル1の粘着剤13の表面を目視にて観察した。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 粘着剤
14 離型性ライナー(離型シート)
Claims (2)
- ペリクル膜と、該ペリクル膜が一方の端面に貼り付けられたペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられたペリクルをガラス基盤に貼り付けるためのシリコーン系粘着剤又はアクリル系粘着剤と、該粘着剤を保護するためのフッ素変性シリコーン離型剤を塗布した離型性ライナーを有するペリクルであって、前記離型性ライナーは、基材にシリカ粉末を添加した離型側の表面粗さが凸凹の算術平均粗さ(Ra)で5μm〜30μmであり、前記粘着剤から剥離するときの最大剥離力が5〜8gであることを特徴とするペリクル。
ここで、「最大剥離力」とは、オートグラフAGS−500G(島津製作所株式会社製)を用いて、引っ張り方向がフレームと90°方向で、引っ張り速度が500mm/minである場合に、離型性ライナーをペリクルの粘着剤から剥離するときの最大剥離力をいう。 - 前記離型性ライナーは、前記基材が可撓性の樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。
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