CN111948902A

CN111948902A - 防尘薄膜组件

Info

Publication number: CN111948902A
Application number: CN202010862483.1A
Authority: CN
Inventors: 堀越淳
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2013-09-24
Filing date: 2014-09-23
Publication date: 2020-11-17
Also published as: KR102251928B1; CN104460225A; JP5950467B2; HK1203637A1; US20150085265A1; TWI522730B; EP2860583A3; TW201518858A; EP2860583B1; US9594300B2; KR20150033532A; KR102322399B1; KR20210056298A; EP2860583A2; JP2015064416A

Abstract

本发明公开了一种防尘薄膜组件。本发明的目的在于提供一种具有通过轻微的剥离力即可剥离的离型性衬片的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件包括：防尘薄膜、在一侧的端面上粘贴有该防尘薄膜的防尘薄膜组件框架、设置于该防尘薄膜组件框架的另一侧的端面上的用于将防尘薄膜组件粘贴在玻璃基板的粘合剂、以及用于保护该粘合剂的离型性衬片。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，所述离型性衬片的离型侧的表面粗糙度为5μm～30μm。因此，对于防尘薄膜组件的粘合剂层具有稳定良好的剥离性，故非常适合于自动安装机，即使在手动操作剥离衬片时也不需要对防尘薄膜组件施于过大的力。

Description

防尘薄膜组件

本申请是2014年9月23日提交的申请号为201410490285.1、发明名称为“防尘薄膜组件”的专利申请的分案申请。

【技术领域】

本发明涉及在制造LSI(大规模集成电路)、超LSI(超大规模集成电路)等的半导体器件、印刷电路板、液晶显示器等时，作为防尘器使用的光刻技术用防尘薄膜组件，尤其涉及具有用于保护防尘薄膜组件框架的粘合层的离型性衬片的防尘薄膜组件。

【背景技术】

在LSI、超LSI等的半导体制造或液晶显示器等的制造过程中，需要向半导体晶片或液晶用原板上照射光来形成电路图案，不过，此时存在如下问题，当所使用的光掩模或高级光罩(以下，仅记为光掩模)上附着了灰尘时，除了导致毛边之外，还会造成基底脏污，使尺寸、品质、外观等受损。

由于这个缘故，这些作业通常是在无尘室里进行，但尽管如此，也能难保持光掩模的时常清洁。因此，通常是在光掩模的表面作为防尘器贴附防尘薄膜组件后进行曝光，在这种情况下，由于异物不直接附着于光掩模的表面，而是附着在防尘薄膜组件上，所以在光刻时只要把焦距对准光掩模上的图案，防尘薄膜组件上的异物便与转印无关。

通常，防尘薄膜组件构成如下：往由铝、不锈钢、聚乙烯等构成的防尘薄膜组件框架的上端表面上涂布防尘薄膜的易溶溶剂后，通过风干将由透光性良好的硝化纤维、醋酸纤维或氟树脂等构成的透明防尘薄膜粘贴上去(参照日本专利特开昭58-219023号)；或者使用丙烯酸树脂、环氧树脂等胶粘剂进行粘贴(参照美国专利第4861402号说明书、日本专利特公昭63-27707号公报)，并且，在防尘薄膜组件框架的底面设置用于向光掩模粘贴的由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯树脂、丙烯酸树脂、有机硅树脂构成的粘合剂以及以粘合剂的保护为目的的衬片(离型片)。

对于上述衬片，在片状基材的的至少一侧表面涂布离型剂，对于防尘薄膜组件的粘着层而言，要求离型性足够良好。另外，就离型剂而言，可根据用于防尘薄膜组件的粘合剂的种类选择适当的离型剂。例如，对于耐光性优良的有机硅类合剂，优选采用氟改质有机硅类离型剂，而对于丙烯酸类粘合剂，优选采用有机硅类离型剂。

专利文献1中，作为剥离性优良的衬片，记载了一种在片状基材的至少一侧的表面上，涂布0.1～1.0g/m²的氟改质有机硅作为离型剂而形成的防尘薄膜组件用衬片。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1日本特开平11-160854号公报

【发明内容】

发明要解决的课题

然而，即使使用基于上述专利文献1的衬片，剥离所需要的力量也有时过大，当采用自动安装机将防尘薄膜组件向光掩模基板粘贴时时常引起衬片的剥离错误的问题。虽然可以取代自动安装机而通过手动操作强制地将衬片剥离，但此种情况下，可能导致防尘薄膜组件粘合剂和防尘薄膜组件框架的变形、破损，进而导致防尘薄膜组件的落下。该剥离力过大的倾向，即使使用其他化学构造的氟改质有机硅离型剂情况下也未能改善，另外，即使改变向基材的涂布量，也未见改善。

因此，本发明的目的在于，提供一种具有在通过自动安装机或手动操剥离衬片时，用轻微的剥离力即可剥离的离型性衬片的防尘薄膜组件。

为了达到上述目的，本发明人进行了深入的研究，结果发现，当使衬片的剥离侧的表面粗糙度为5μm～30μm时，则以轻微的剥离力即可剥离，从而促成的本发明的完成。

解决问题的技术方案

即，本发明是一种防尘薄膜组件，其包括：防尘薄膜；防尘薄膜组件框架，在其一侧的端面上粘贴有所述防尘薄膜；粘合剂，设置于所述防尘薄膜组件框架的另一侧的端面，用于将防尘薄膜组件粘贴在玻璃基板；以及，离型性衬片，用于保护所述粘合剂，所述防尘薄膜组件的特征在于，所述离型性衬片的离型侧的表面粗糙度为5μm～30μm。并且，所述离型性衬片的基材优选为挠性树脂膜。

发明的效果

根据本发明，通过将离型性衬片的离型侧的表面粗糙度制成5μm～30μm，使其对防尘薄膜组件的粘合剂层具有稳定良好的剥离性，因此，采用该离型性衬片的本发明的防尘薄膜组件，非常适合于自动安装机，而且，即使在手动操作剥离衬片时也不需要对防尘薄膜组件施于过大的力，故能够改善半导体器件、液晶显示器等的制造成品率。

【附图说明】

图1是本发明的防尘薄膜组件的纵向剖视图。

【实施的具体实施方式】

以下，参照附图具体说明本发明的实施方式，不过，本发明并不限定于这些实施方式。

图1是表示本发明的防尘薄膜组件的一个实施方式的纵向剖视图。在该防尘薄膜组件1中，在与粘贴防尘薄膜组件1的基板(光掩模或其玻璃基板部分)的形状相对应的通常为四角形框状(长方形框状或正方形框状)的防尘薄膜组件框架12的上端面上，借助粘合剂绷贴有防尘薄膜11。并且，在防尘薄膜组件框架12的下端面，形成有用于将防尘薄膜组件1粘贴到基板的粘合剂13，该粘合剂13的下端面上，以可以剥离的方式粘贴有用于保护粘合剂13的衬片14。

这里，对于防尘薄膜11的材质，没有特别的限制，可以使用透光性好的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等公知的材料。另外，对于防尘薄膜组件框架12的材质也没有特别限制，可以使用铝、不锈钢等的金属、聚乙烯等的合成树脂等公知的材料。此外，作为粘合剂13，可以使用公知的产品，可以使用聚丁烯类粘合剂、聚醋酸乙烯类粘合剂、有机硅类粘合剂、丙烯酸类粘合剂等。

向防尘薄膜组件框架12上涂布粘合剂13时，可根据需要用溶剂将粘合剂13稀释后涂布在防尘薄膜组件框架12的下端面，并通过加热干燥使其固化来形成。此时，作为粘合剂13的涂布方法，能够列举刷涂、喷涂、自动涂布器等方法。

离型性衬片14通过在片状基材的至少一侧表面上涂布离型剂而制成，其基材可以从公知的无发尘性的片状基材中适当选择，优选树脂制的薄膜。这是因为树脂制薄膜便于使用，并且具有以可剥离的方式贴付于粘合剂13时所需要的挠性。作为优选的树脂制的薄膜，例如，可以列举：聚乙烯对苯二甲酸(PET)、聚四氯乙烯(PTFE)、苯酚-甲醛树脂(PFA)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)等。

另外，对于离型剂，可根据防尘薄膜组件所使用的粘合剂的种类恰当选择，例如，对于耐候性优良的有机硅类粘合剂来讲，可选择氟改质有机硅离型剂，而对于丙烯酸类粘合剂来讲，可选择有机硅离型剂，各自从公知的产品中适当选择离型性良好的产品，并采用公知的方法涂布即可。

为了改变本发明的离型性衬片14的离型侧的表面粗糙度，有向离型性衬片14的基材中添加添加剂的方法、喷砂法、基材凹凸成形法等，哪种方法均可，不拘泥其方法。对于使用添加剂的情况，其形状有球状、柱状、棒状、板状、不定形、中实、中空等，哪种形状均可，不拘泥于其形状。关于其材质，可以为金属、玻璃、结晶性二氧化硅、氮化硅、氮化硼、碳化硅、金刚石等公知的加添物质，并无特别限制。

另外，采用喷砂法的情况下，有机器式、空气式、湿式等方式，其喷射材料也有砂系、金属系、陶瓷系、树脂系，这些喷射方式和喷射材料中无论哪一种均可。再者，采用基材凹凸成形法的情况下，可利用冲压成形等公知的方法加工成凹凸，对其方法没有限制。

关于本发明的离型性衬片14的离型侧的表面粗糙度，需要加工成5μm～30μm。若表面粗糙度小于5μm，则不能发挥表面粗糙度的效果，离型性变得不稳定。而当为超过30μm的大小时，由于衬片表面的凹凸会被转印到防尘薄膜组件的粘合剂上，使粘合剂的表面变得凹凸不平影响外观，故不优选。另外，在不妨碍本发明的效果的范围内，也可以在离型性衬片上层叠一层防止衬片带电的带电防止层或防止衬片重叠时粘贴的阻挡层。

【实施例】

以下，对本发明的实施例及比较例进行更详细的说明。

<实施例1>

首先，通过机械加工制作了大小为外尺寸149×113mm、内尺寸145×109mm、高度4.5mm，上端面及下端面各自的内外两边缘部被施以R加工的长方形铝合金制防尘薄膜组件框架12，并对其表面实施了黑色耐酸铝处理。然后，将该防尘薄膜组件框架12搬入无尘室内，利用中性洗涤剂和纯水进行洗净并进行干燥。

使用有机硅粘合剂X-40-3122(信越化学工业株式会社制造)作为粘合剂13，通过自动涂布器(岩下工程株式会社制造，未图示)，向防尘薄膜组件框架12的下端面进行了涂布。此后，风干至粘合剂13不流动为止，然后，再利用高频感应加热装置(未图示)将到防尘薄膜组件框架12加热至130℃，使粘合剂固化。

并且，在上述防尘薄膜组件框架12的上端面涂布了用含氟类溶剂稀释的含氟类高分子聚合物，使之加热干燥形成胶粘层，粘贴防尘薄膜11，并用刀具切除外侧多余的膜，从而完成了防尘薄膜组件1。

另外，对于离型性衬片14，向作为基材的PET薄膜中添加二氧化硅粉末，作为离型剂，涂布0.2g/m²的氟改质有机硅离型剂X-70-220(信越化学工业株式会社制造)。在该实施例1中，采用离型侧的表面粗糙度为15μm的离型性衬片14，作为保护膜粘贴于防尘薄膜组件1的粘合剂13上。

<实施例2>

作为离型性衬片14，使用向作为基材的PET薄膜中添加二氧化硅粉末，表面粗糙度为5μm的衬片，除此之外，以与实施例1同样的方法制作了防尘薄膜组件1，并粘贴了离型性衬片14。

<实施例3>

作为离型性衬片14，使用向作为基材的PET薄膜中添加二氧化硅粉末，表面粗糙度为30μm的衬片，除此之外，以与实施例1同样的方法制作了防尘薄膜组件1，并粘贴了离型性衬片14。

<实施例4>

除使用丙烯酸粘合剂SK-1495(综研化学株式会社制造)作为粘合剂13之外，与实施例1同样地制作了防尘薄膜组件1，并粘贴了离型性衬片14。

<比较例1>

作为离型性衬片14，使用对作为基材的PET薄膜不做任何处理，表面粗糙度为1.5μm的离型性衬片14，除此之外，与实施例1同样地制作了防尘薄膜组件1，并粘贴了离型性衬片14。

<比较例2>

作为离型性衬片14，使用对作为基材的PET薄膜实施喷砂处理，表面粗糙度为55μm的离型性衬片14，除此之外，与实施例1同样地制作了防尘薄膜组件1，并粘贴了离型性衬片14。

[离型性衬片的表面粗糙度(Ra)]

对于上述实施例1～4及比较例1、2，利用LEXT_OLS4000(奥林巴斯株式会社制造)测量其离型性衬片14的离型侧的表面粗糙度。测量是依据JIS_B_0601的条件、在测量长度2570μm下进行的。

[离型性衬片的剥离力]

并且，对于上述实施例1～4及比较例1、2，测量了从防尘薄膜组件1的粘合剂13上将该离型性衬片14剥离时的剥离力。测量是按如下进行的：固定防尘薄膜组件1，直到离型性衬片14从防尘薄膜组件1上完全剥离为止对离型性衬片14进行拉伸，使用Autograph AGSAGS-500G(岛津制作所株式会社制造)，测量其间的最大剥离力。拉伸方向为与框架呈90°的方向，拉伸速度是500mm/分钟。

[离型性衬片剥离后的粘合剂的外观]

另外，对于上述实施例1～4及比较例1、2，在将该离型性衬片14从防尘薄膜组件1上剥离之后，通过目视对防尘薄膜组件1的粘合剂13的表面进行了观察。

表1给表示以上的测量结果和评价结果。

【表1】

从表1的结果可以确认到，通过采用本发明那样的表面粗糙度的离型性衬片14，从防尘薄膜组件1上剥离离型性衬片14时的剥离力变得微弱，并且，也并不影响粘合剂的外观。

【标号说明】

1 防尘薄膜组件

11 防尘薄膜

12 防尘薄膜组件框架

13 粘合剂

14 离型性衬片(离型片)

Claims

1.一种防尘薄膜组件，包括：防尘薄膜；防尘薄膜组件框架，在其一侧的端面上粘贴有所述防尘薄膜；粘合层，设置于所述防尘薄膜组件框架的另一侧的端面，用于将防尘薄膜组件粘贴在基板上；以及离型性衬片，用于保护所述粘合层，所述防尘薄膜组件的特征在于，所述粘合层通过粘合剂形成在所述防尘薄膜组件框架的另一侧的端面，在形成的所述粘合层粘贴有所述离型性衬片，所述离型性衬片的粘合层侧的表面粗糙度为5μm～30μm。

2.如权利要求1所述的防尘薄膜组件，其特征在于，所述离型性衬片的基材为挠性树脂膜。

3.根据权利要求2所述的防尘薄膜组件，所述树脂膜是选自由聚乙烯对苯二甲酸、聚四氯乙烯、苯酚-甲醛树脂、聚乙烯、聚氯乙烯、聚丙烯构成的组的材质。

4.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，所述粘合剂选自由聚丁烯类粘合剂、聚醋酸乙烯类粘合剂、有机硅类粘合剂、丙烯酸类粘合剂构成的组。

5.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，

所述离型性衬片在片状基材的至少一侧的表面上涂布离型剂，所述离型剂是氟改质有机硅类离型剂，

所述粘合剂是有机硅类粘合剂。

6.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，

所述离型性衬片在片状基材的至少一侧的表面上涂布离型剂，所述离型剂是有机硅离型剂，

所述粘合剂是丙烯酸类粘合剂。

7.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，在所述离型性衬片上层叠带电防止层或阻挡层。

8.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，所述基板是光掩模或玻璃基板。

9.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件，所述粘合层是通过将所述粘合剂涂布在所述防尘薄膜组件框架的另一侧的端面并进行加热干燥及固化而得到的。

10.一种附有防尘薄膜组件的基板，其通过将根据权利要求1-9中的任一项所述的防尘薄膜组件的离型性衬片剥离并且将所述粘合层粘贴在基板上而形成。

11.一种附有防尘薄膜组件的基板的制造方法，包括使用自动安装机将根据权利要求1-9中的任一项所述的防尘薄膜组件的离型性衬片剥离并且将所述粘合层粘贴在基板上的工序。

12.用于使用自动安装机将根据权利要求1-9中的任一项所述的防尘薄膜组件粘贴到基板上的应用。

13.一种曝光方法，其特征在于，使用权利要求10所述的附有防尘薄膜组件的基板进行曝光。

14.一种半导体的制造方法，包括使用权利要求10所述的附有防尘薄膜组件的基板进行曝光的工序。

15.一种液晶显示器的制造方法，包括使用权利要求10所述的附有防尘薄膜组件的基板进行曝光的工序。

16.粘合层侧的表面粗糙度为5μm～30μm的离型性衬片在使用自动安装机的粘贴用防尘薄膜组件的制造中的应用。

17.根据权利要求16所述的应用，其特征在于，所述离型性衬片的基材为挠性树脂膜。

18.根据权利要求17所述的应用，所述树脂膜是选自由聚乙烯对苯二甲酸、聚四氯乙烯、苯酚-甲醛树脂、聚乙烯、聚氯乙烯、聚丙烯构成的组的材质。

19.根据权利要求16所述的应用，所述粘合层通过选自由聚丁烯类粘合剂、聚醋酸乙烯类粘合剂、有机硅类粘合剂、丙烯酸类粘合剂构成的组的粘合剂而形成。

20.根据权利要求16所述的应用，

所述粘合层通过有机硅类粘合剂而形成。

21.根据权利要求16所述的应用，

所述粘合层通过丙烯酸类粘合剂而形成。

22.根据权利要求16所述的应用，在所述离型性衬片上层叠带电防止层或阻挡层。