JPH0772617A - ペリクル - Google Patents

ペリクル

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JPH0772617A
JPH0772617A JP24205393A JP24205393A JPH0772617A JP H0772617 A JPH0772617 A JP H0772617A JP 24205393 A JP24205393 A JP 24205393A JP 24205393 A JP24205393 A JP 24205393A JP H0772617 A JPH0772617 A JP H0772617A
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pellicle
pellicle frame
plating
dust
corrosion resistance
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JP24205393A
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Sakae Kawaguchi
栄 川口
Yuichi Hamada
裕一 浜田
Susumu Shirasaki
享 白崎
Akihiko Nagata
愛彦 永田
Shu Kashida
周 樫田
Yoshihiro Kubota
芳宏 久保田
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 本発明はペリクル収納容器中での保管、輸
送、移動時にもペリクル枠からの発塵で異物の付着しな
いようにした発塵防止されたペリクルの提供を目的とす
るものである。 【構成】 本発明による発塵防止されたペリクルは、
ペリクル枠の全面をその表面をメッキ処理などで平滑に
なるように処理して、ペリクル表面からの発塵を防止す
るようにしてなることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル、特にはＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板製造
時に使用される、実質的に 500nm以下の波長の光を用い
る露光方式におけるペリクルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体あるいは
液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハーある
いは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成する
のであるが、この場合に用いられる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、あるいは光
を曲げてしまうために転写したパターニングが変形した
り、エッジががさついたものとなり、さらには下地が黒
く汚れたりして、寸法、品質ならびに外観が損なわれる
という不利が生じる。そのため、この種の作業は通常ク
リーンルームで行なわれるのであるが、このクリーンル
ーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいの
で、これには図１に示したように露光原版の表面にゴミ
よけのために露光用の光を良く通過させるペリクルを装
着する方法が採られている。
【０００３】この場合、ゴミは露光原版の表面上には直
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上のゴミは転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は図２に示されているように、光を良く通
過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、変性ポバ
ール、フッ素ポリマーなどからなる透明なペリクル膜を
アルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどから
なるペリクル枠の上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、
風乾して接着する（特開昭58-219023 号公報参照）か、
アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し、
（米国特許第4・861・402 号明細）さらにはペリクル枠の
下部に露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、
ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着
層、および粘着層の保護を目的とした離型層（セパレー
ター）で構成されている。
【０００４】このペリクルはその利用目的から当然、ペ
リクル膜の内外表面やペリクル枠、セパレーターなどに
塵埃が存在したり、そこから発塵することは回避されな
ければならないので、このペリクルの製造に当ってはそ
の原材料が充分な注意のものに洗浄されるが、それでも
完全に塵埃の存在と発塵を防止することはできず、特に
ペリクル枠からの発塵が大きな原因となってペリクル貼
着の効率が著しく低減している。
【０００５】このペリクル枠材料としては前記したよう
にアルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどが
挙げられるが、このペリクル枠については特性上、1)ペ
リクル異物検査における迷光防止には黒色が好ましいこ
と、2)軽量で高強度であること、3)表面硬度が高いこ
と、が要求されることから、通常は表面がアルマイト処
理で黒色とされた黒色アルマイト合金が使用されている
が、この黒色アルマイト合金にはその表面の黒色アルマ
イト層が図３に示したように凹凸が多く、多孔質で硬く
脆いものになるという問題点がある。そして、このペリ
クル枠については、ペリクル製造時に加わる各種の力や
振動あるいは容器とペリクル枠との摩擦などで、この黒
色アルマイト層の凹凸部や多孔質部内に存在していた塵
埃や黒色染料などが飛散したり、また脆いアルマイト表
面の破壊により発塵したりするので、これを防ぐために
ペリクル枠の内側に粘着剤層を設けるか、あるいは塗料
をコーティングする方法が提案されている（特公昭63-7
77号、特公昭64-48062号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ペリクル枠の内側に粘
着剤層、塗料層を設けることは確かに塵埃の固定や発塵
の防止に効果はあるけれども、使用前に１個づつ収納容
器に納めたペリクルは保管時や輸送、移送時における容
器内の振動あるいはペリクル枠の上下面や外側との摩擦
によってペリクル枠の内側以外からの塵埃の落下、発塵
がしばしば発生するために、上記の方法だけでは塵埃の
付着を防止することができない。また、このペリクル枠
の内側のみ粘着剤層や塗料層を設けることは工業的に難
しく、塗膜の不均一による外観不良も発生するためにペ
リクル製造の歩留りが低下するという不利があり、ペリ
クル枠の内側に粘着剤層を設ける場合には粘着剤がペリ
クル枠内側だけでなく外側にももれて付着するためにペ
リクル露光原版に装着するときにベタつき、ハンドリン
グが難しくなるし、ペリクル枠内側に塗料をコーティン
グする方法には塗料中の着色物質や伝熱性物質、導電性
物質、例えば着色顔料、染料、金属粉、カーボン粉など
の粒子が振動、衝撃、摩擦などで塗料から欠落し、これ
が発塵の原因になるという不利もある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、欠点を解決した発塵防止されたペリクルに関するも
のであり、これはペリクル枠の全面を表面が平滑になる
ように処理して、ペリクル枠表面からの発塵を防止して
なることを特徴とするものである。
【０００８】すなわち、本発明者らは前記したペリクル
についての課題の解決策について種々検討した結果、ペ
リクルに対する異物の付着は、ペリクル枠の上下面や外
側面とケースとの摩擦やこれらの面からの振動によるア
ルマイト層に存在している塵埃の飛散、脆い表面層の破
壊による塵埃に基づくものであることを見出し、これに
ついてはペリクル枠全面の表面を平滑処理すればこの発
塵を防止することができることを確認し、この平滑処理
方法などについての研究を進めて本発明を完成させた。
以下にこれをさらに詳述する。
【０００９】
【作用】本発明はペリクル、特には発塵防止されたペリ
クルに関するものであり、これはペリクル枠の全面をそ
の表面が平滑になるように処理して、ペリクル枠表面か
らの発塵を防止したペリクル枠にペリクル膜を接着した
ものである。
【００１０】このペリクル枠自体は公知のアルミニウム
合金から作られたものとすればよく、これは黒色、軽量
で高強度であり、表面硬度も高いものとするということ
から表面をアルマイト処理した黒色アルマイト合金から
なるものとされるが、このものは発塵の原因となるペリ
クル枠の全面にある凹凸の度合、すなわち表面粗さが下
地としてのアルミニウム合金の２倍以上であるし、表面
に形成されているアルマイト層が脆く、この種の金属材
料の表面洗浄に有効とされる超音波洗浄で洗浄すると、
孔中の異物除去と共に表面アルマイト層が破壊されて着
色顔料、黒色カーボンが脱落するため、孔中の塵埃の除
去が必ずしも充分に行なわれないという不利がある。
【００１１】しかし、このペリクル枠も本発明にしたが
ってこの全面の表面を平滑処理するとこの発塵が防止さ
れるので、これに張りつけたペリクルへの異物の付着の
防止されることが見出された。この平滑処理はどのよう
な方法で行なってもよいが、工業的にはこれを例えばア
ルミニウムよりも耐食性の優れた金属でメッキ処理すれ
ばよい。
【００１２】このメッキ処理はアルミニウムより耐食性
のすぐれた金属で行なうことから金メッキ、銀メッキあ
るいは他のメッキ技術であるクロメート処理などの化成
処理とすればよいが、経済的見地からはニッケルメッ
キ、クロムメッキとすればよく、これによれば表１に示
したように、表面粗さＲａ（μｍ）が 0.351、 0.597で
あり、ＲＭＳ（μｍ）が 0.413、0.741 であるアルミニ
ウム合金、アルマイト処理品が、これにニッケルメッ
キ、クロムメッキするとＲａ（μｍ）が 0.134、 0.19
6、ＲＭＳ（μｍ）が 0.197、 0.275と小さくなること
が確認された。
【００１３】
【表１】
【００１４】すなわち、このメッキ処理によると、この
平滑化によってペリクル枠を構成するアルミニウム合金
の表面粗さが未処理のものの 1/2以下となり、超音波洗
浄によりこのペリクル枠表面が容易に清浄化されるの
で、このペリクル枠からの発塵が防止され、したがって
これを用いたペリクルに異物が付着されることが防止さ
れるという有利性が与えられる。
【００１５】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例 ニッケルおよびクロムによるメッキ処理を施したアルミ
ニウム合金を使用してそれぞれ４個づつのペリクル枠を
作り、この８個のペリクル枠を30〜44MHz 超音波洗浄機
を用いて純水洗浄槽で洗浄し、乾燥後、これにニトロセ
ルロース製のペリクル膜をエポキシ系接着剤で接着し、
シリコーン樹脂系粘着剤にフッ素樹脂を塗布したセパレ
ータを貼布した。
【００１６】ついで、このようにして作成したペリクル
を充分に洗浄したポリエチレン製の収納容器に入れ、こ
れについて福岡−東京間のトラック輸送テストを実施
し、そのペリクルの異物の増減をしらべたところ、表２
に示したとおりの結果が得られ、これらのペリクルには
いずれも異物の増加は認められなかった。
【００１７】比較例 アルマイト処理をした黒色アルマイト合金を使用して４
個のペリクル枠を作り、これらを30〜44MHz 超音波洗浄
機を用いて純水洗浄槽で洗浄し、乾燥後、これにニトロ
セルロース製のペリクル膜をエポキシ樹脂で接着し、シ
リコーン系粘着剤にフッ素樹脂を塗布したセパレータを
貼布した。
【００１８】ついで、このようにして作成したペリクル
を充分に洗浄したポリエチレン製の収納容器に入れ、こ
れについて福岡−東京間のトラック輸送テストを実施
し、そのペリクルの異物の増減をしらべたところ、表２
に示したとおりの結果が得られ、これらのペリクルには
いずれも表２に示したように平均６個の異物増加が認め
られた。
【００１９】
【表２】
【００２０】
【発明の効果】本発明はペリクル、特には発塵防止され
たペリクルに関するもので、これは前記したようにペリ
クル枠の全面を表面が平滑になるように処理してペリク
ル枠表面からの発塵を防止してなることを特徴とするも
のであるが、これによればペリクル枠の上下面や外側面
とケースとの摩擦、さらにはこれらの面からの振動によ
るペリクル枠から塵埃の飛散、脆い表面層の破壊による
発塵が防止されるので、このペリクル枠に接着されてい
るペリクル膜への異物の付着が防止されるという有利性
が与えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来法によるペリクル膜のペリクル枠への接着
状態およびペリクルのフォトマスクへの接着状態の縦断
面図を示したものである。
【図２】従来例によるペリクル膜をペリクル枠に接着
層、セパレータを用いて接着する方法の縦断面図を示し
たものである。
【図３】従来公知のペリクル枠を構成する黒色アルマイ
ト合金層の表面の顕微鏡写真図を示したものである。
フロントページの続き (72)発明者 永田 愛彦 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 樫田 周 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 久保田 芳宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ペリクル枠の全面を表面が平滑になるよう
    に処理して、ペリクル枠表面からの発塵を防止してなる
    ことを特徴とするペリクル。
  2. 【請求項２】ペリクル枠の全面表面が下地の金属より耐
    食性の優れた金属でメッキ処理されている請求項１に記
    載したペリクル。
  3. 【請求項３】ペリクル枠の下地がアルミニウム合金であ
    る請求項１に記載したペリクル。
  4. 【請求項４】下地の金属より耐食性の優れた金属がニッ
    ケルまたはクロムである請求項１に記載したペリクル。
JP24205393A 1993-09-02 1993-09-02 ペリクル Pending JPH0772617A (ja)

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