JPH0968792A - フィルター付ペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 外部の気圧変化によるペリクルの膨らみやへ
こみを解消するための気圧調節孔、この気圧調節孔から
の異物の侵入を防止するフィルターを設けたフィルター
付ペリクルにおいて、異物の侵入を防止し、フィルター
内部の異物のペリクル内部への侵入を防止したフィルタ
ー付ペリクルを提供する。 【解決手段】 本発明のフィルター付ペリクルは、ペリ
クルフレームに気圧調整用の通気孔を少なくとも１つ設
けてなるペリクルにおいて、該通気孔を覆うようにペリ
クルフレームの貼り付けられるフィルターの少なくとも
一部が、前記貼り付けに用いられる粘着剤とは別に用い
られた粘着剤により湿潤されていることを特徴とするも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフィルター付ペリク
ル、特には外部の気圧変化によるペリクルの膨らみやへ
こみを解消するために、ペリクルフレームの側面に設け
た気圧調節孔からの異物の侵入を防止するためのフィル
ターを設けてなるフィルター付ペリクルに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版に異物が付
着していると、この異物が光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという
問題があった。このため、これらの作業は通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の
表面に異物よけのための露光用の光をよく通過させるペ
リクルを貼着する方式が行なわれている。

【０００３】この場合、異物は露光原版の表面上には直
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上の異物は転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセルロー
ス、酢酸セルロースなどからなる透明なペリクル膜をア
ルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペ
リクル枠の上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾し
て接着する（特開昭 58-219023号公報参照）か、アクリ
ル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許
第 4・861・402号明細書、特公昭 63-27,707号公報参
照）、さらにはペリクル枠の下部には露光原版に装着さ
れるための、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、ア
クリル樹脂などからなる粘着層、および粘着層の保護を
目的とした離型層（セパレーター）で構成されている。
また、これについては、ペリクルを露光原版に貼り付け
た状態においてペリクル枠内部と露光原版に囲まれた空
間と外部の気圧差をなくすことを目的として、ペリクル
枠の一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動
する空気からの異物進入を防ぐためのフィルターを設置
するなどの工夫がされている（実公昭 63-393703号公報
参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかして、このフィル
ターは異物を捕獲して清浄な空気を通過させるために、
通常は想定される異物径と同等か、これより小さな通孔
を多数個開けた樹脂、または金属が使用されるが、これ
をペリクル枠に貼布するときに屈曲、こすれなどが生
じ、フィルターの表面や内部が破損することによって異
物が発生するおそれがあり、また同様にフィルターの内
部に存在する異物が内外の気圧差による空気の流れによ
ってペリクル内部に放出されるおそれもある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したフィルター付ペリクルに関するも
ので、これはペリクルフレームに気圧調整用の通気孔を
少なくとも１つ設けてなるペリクルにおいて、該通気孔
を覆うようにペリクルフレームに貼り付けられるフィル
ターの少なくとも一部が、前記貼り付けに用いられる粘
着剤とは別に用いられた粘着剤により浸潤されているこ
とを特徴とするものである。

【０００６】本発明はフォトマスクに貼り付けたペリク
ルが航空機輸送や高所での使用時などによる気圧の変化
によって膜の膨らみやへこみが生じ、ここにゴミが発生
するのを防ぐ目的で、ペリクルフレームの側面に設けた
空気調節孔からの異物の侵入を防止するためのフィルタ
ーに関するものである。通常、このフィルターは通気性
と異物の捕獲を両立させるために、多孔質の樹脂により
構成されているが、これをペリクルフレームに貼付する
ときには、気圧調節孔を隙間なく覆うようにこれをフレ
ーム面に十分に密着させる。

【０００７】しかし、このためにフィルターは治具など
に押しつけられ、フィルターが屈曲すると異物の発生す
ることがあるし、また、もともとフィルター内部に存在
する異物も使用時における空気の流通に伴なってフィル
ター内で遊離する。なお、このような微細な異物がフィ
ルターからペリクル内部に侵入したときには、これがフ
ォトマスク上に付着するため、このペリクルにはペリク
ル本来の性能を発揮することが困難になる。本発明はこ
の点を改良したもので、具体的にはフィルターをコーテ
ィングなどの方法で粘着剤により湿潤することによっ
て、従来のフィルターによる異物捕獲に加えて、フィル
ター内部に発生または潜在する異物のペリクル内部への
侵入を防ぐものである。

【０００８】本発明のフィルター付ペリクルは図１、図
２に示されたものである。図１はその斜視図、図２はそ
のＡ−Ａ’線における縦断面図を示したものであり、こ
れはフォトマスク上に粘着剤層を介してペリクルを設け
たものであるが、このペリクルフレームには外部の気圧
変化によるペリクル膜の膨らみやへこみを解消するため
の気圧調節孔（通気孔）が設けられており、これにはそ
の通気孔に異物の侵入を防止するためのフィルターが設
けられている。

【０００９】しかして、このフィルターにはその縦断面
図としての図３に示したように、その表面にペリクルフ
レーム貼り付け用の粘着剤層が設けられており、この粘
着剤とは別個に用いられた粘着剤によりフィルターの少
なくとも一部がフィルターの十分な通気性を損なわない
程度に湿潤させてあり、その外側にフィルター本体を保
護するための保護材層が設けられている。なお、本発明
の目的で用いられる粘着剤は、本発明の効果が得られる
ものであれば、ペリクルフレーム貼り付け用に用いられ
る粘着剤と同種であってもかまわない。なお、このフィ
ルターはその通気孔の孔径を小さくして異物を捕獲し、
物理的に異物の侵入を防止するようにされており、これ
はまた静電力による付着によって清浄な空気を得るよう
にされているが、これには本発明によって粘着剤が湿潤
されているので、この粘着力による異物捕獲が加わり、
より強力な異物捕獲効果を得ることができる。

【００１０】本発明でフィルターの湿潤に使用される粘
着剤はペリクルフレームに貼りつけるための粘着剤と同
種のものでも、異種のものでもよいが、この粘着剤のフ
ィルターへの湿潤は通常よく知られているスプレー法で
代表される方法でフィルターの表面のみに粘着剤層を形
成するか、あるいは溶剤で希釈した粘着剤溶液中にフィ
ルターを含浸させて、フィルターの内部まで粘着剤を含
浸させる方法のいずれかとすればよいが、この粘着剤層
の形成方法は特に制限を設けるものではない。

【００１１】また、本発明のフィルター付ペリクルは前
記したように、このフィルターに粘着剤を湿潤させたも
のであるが、この粘着剤溶液による含浸はフィルター本
体のほかに表面の保護材層を含めたフィルターの構成物
全体に行なってもよく、この場合には構成物の各接着
部、構成物それぞれの発塵も効果的に抑えることができ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施の形態を実施
例、比較例で説明する。 実施例 表面をアルマイト処理した、高さが 6.3mmで端面の外周
が 120mm角、内周は 110mm角で、一辺の側面中央部に
0.5mmφの貫通穴のあるアルミフレームをペリクルフレ
ームとして用意した。このフレームの下端面にシリコー
ン粘着剤・ＫＲ−１２０［信越化学工業（株）製商品
名］を厚みが 0.6mmのテープ状となるように塗布して 1
20℃、30分でキュアし、さらにフレームの上端面には、
フッ素変性シリコーン接着剤によって透明な非晶質フッ
素樹脂製の厚さ1.62μｍのペリクル膜を接着した。

【００１３】ついで孔径３μｍ、大きさ10mm×２mmのポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製のフィルター
をシリコーン粘着剤・ＫＲ−１２０（前出）の３％トル
エン溶液中に浸漬し、20分間の風乾を行なったのち、フ
ィルターに図３のようにペリクルフレーム貼り付け用粘
着層を塗布して上記したペリクルフレームの 0.5mmφの
貫通孔を塞ぐように、フィルターを貫通孔にとりつけ
た。

【００１４】このようにして仕上げたペリクルを30kgの
荷重で石英基板に貼り付け、減圧容器中に設置した後、
常圧から 2/3気圧まで30秒間で減圧し、５分後に再び常
圧まで30秒間で加圧、５分間保持という減圧−加圧サイ
クルを５回繰り返した。この実験前後におけるペリクル
膜に付着した異物について、30万ルクスの集光ランプを
用いて目視で計測したところ、異物の増加は見られなか
った。なお、減圧−加圧のサイクルを繰り返す前に、こ
れを減圧容器中に設置し、常圧から 2/3気圧まで30秒間
で減圧し、その後気圧を保持したままペリクル膜の膨ら
みを観察したところ、減圧完了直後には通常時に比べ６
mmの膨らみがあったが、20分後に膜の膨らみは解消され
て０mmとなり、フィルターの通気性は実用上問題のない
ことを確認した。

【００１５】比較例 ＰＴＦＥ製のフィルターをシリコーン粘着剤溶液中に浸
漬させなかったほかは実施例と同様に処理してペリクル
を仕上げ、この実験前後におけるペリクル膜に付着した
異物について、実施例と同様の方法によってしらべたと
ころ、この場合には 0.3μｍ以上の異物が30ヶ検出され
た。また、減圧完了直後には通常時に比べてペリクル膜
には６mmの膨らみがあったが、この膨らみは20分後には
解消された。

【００１６】

【発明の効果】本発明はフィルター付ペリクルに関する
ものであり、このフィルターが粘着剤により湿潤されて
いるが、この湿潤は通気性が損わない程度とされている
ので、これによればここを通過する異物が捕獲されるほ
か、フィルター内部に発生または潜在する異物のペリク
ル内部への侵入が防止されるという効果が与えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフィルター付ペリクルをフォトマスク
上に設置した時の斜視図を示したものである。

【図２】本発明のフィルター付ペリクルの図１における
Ａ−Ａ’線による縦断面図を示したものである。

【図３】本発明のフィルター付ペリクルにおけるフィル
ターの縦断面図を示したものでる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペリクルフレームに気圧調整用の通気孔
   を少なくとも１つ設けてなるペリクルにおいて、該通気
   孔を覆うようにペリクルフレームが貼り付けられるフィ
   ルターの少なくとも一部が、前記貼り付けに用いられる
   粘着剤とは別に用いられた粘着剤により湿潤されている
   ことを特徴とするフィルター付ペリクル。