JPH06301199A - ペリクル - Google Patents
ペリクルInfo
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- JPH06301199A JPH06301199A JP10995293A JP10995293A JPH06301199A JP H06301199 A JPH06301199 A JP H06301199A JP 10995293 A JP10995293 A JP 10995293A JP 10995293 A JP10995293 A JP 10995293A JP H06301199 A JPH06301199 A JP H06301199A
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- JP
- Japan
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- pellicle
- pellicle frame
- dust generation
- organic polymer
- dust
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明はペリクル枠からの発塵を防止した
発塵の少ないペリクルの提供を目的とするものである。 【構成】 本発明のペリクルは、ペリクル枠の全面を
平滑処理して発塵防止性としてなることを特徴とするも
のである。
発塵の少ないペリクルの提供を目的とするものである。 【構成】 本発明のペリクルは、ペリクル枠の全面を
平滑処理して発塵防止性としてなることを特徴とするも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル、特にはＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製
造する際のゴミよけとして使用される、実質的に 500nm
以下の光を用いる露光式方式におけるペリクルに関する
ものである。
Ｉ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製
造する際のゴミよけとして使用される、実質的に 500nm
以下の光を用いる露光式方式におけるペリクルに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという
問題があった。このため、これらの作業は通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、図１に示し
たように露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光
をよく通過させるペリクルを貼着する方式が行なわれて
いる。
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという
問題があった。このため、これらの作業は通常クリーン
ルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露
光原版を常に清浄に保つことが難しいので、図１に示し
たように露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光
をよく通過させるペリクルを貼着する方式が行なわれて
いる。
【０００３】この場合、ゴミは露光原版の表面上には直
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上のゴミは転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は通常図２に示されているように、光を良
く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、変成
ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどからなる
透明なペリクル膜をアルミニウム合金、ステンレス、ポ
リエチレンなどからなるペリクル枠の上部にペリクル膜
の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特開昭 58-2190
23号公報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの
接着剤で接着し（米国特許第 4,861,402号明細書、特公
昭63-27,707 号公報参照）、さらにはペリクル枠の下部
には露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、ポ
リ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層、
および粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）で構成されている。
接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ
ー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、
ペリクル上のゴミは転写に無関係となるのであるが、こ
のペリクル膜は通常図２に示されているように、光を良
く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、変成
ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどからなる
透明なペリクル膜をアルミニウム合金、ステンレス、ポ
リエチレンなどからなるペリクル枠の上部にペリクル膜
の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特開昭 58-2190
23号公報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの
接着剤で接着し（米国特許第 4,861,402号明細書、特公
昭63-27,707 号公報参照）、さらにはペリクル枠の下部
には露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、ポ
リ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層、
および粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）で構成されている。
【０００４】しかして、このペリクルについてはその利
用目的から、当然ペリクル膜の内外表面やペリクル枠、
セパレーターなどに塵埃が存在したり、そこから発塵す
ることは回避されることが必要とされるので、このペリ
クル製造に当ってその原材料は充分な注意のものに洗浄
されるのであるが、それでもここに存在する塵埃の除去
や発塵を防止することができず、特にペリクル枠からの
発塵が大きな原因となって現在でもペリクル貼着の効果
が著しく低減している。なお、このペリクル枠としては
前記したようにアルミニウム合金、ステンレス、ポリエ
チレンなどが使用されており、このペリクル枠について
はその特性上、１）迷光防止のために黒色であること、
２）軽量で高強度であること、３）表面硬度が高いこと
などが不可欠であることから、通常はアルマイト処理を
した黒色アルミニウム合金が使用されている。
用目的から、当然ペリクル膜の内外表面やペリクル枠、
セパレーターなどに塵埃が存在したり、そこから発塵す
ることは回避されることが必要とされるので、このペリ
クル製造に当ってその原材料は充分な注意のものに洗浄
されるのであるが、それでもここに存在する塵埃の除去
や発塵を防止することができず、特にペリクル枠からの
発塵が大きな原因となって現在でもペリクル貼着の効果
が著しく低減している。なお、このペリクル枠としては
前記したようにアルミニウム合金、ステンレス、ポリエ
チレンなどが使用されており、このペリクル枠について
はその特性上、１）迷光防止のために黒色であること、
２）軽量で高強度であること、３）表面硬度が高いこと
などが不可欠であることから、通常はアルマイト処理を
した黒色アルミニウム合金が使用されている。
【０００５】しかし、このアルマイト処理した黒色アル
ミニウム合金はアルミニウム合金を黒色アルマイト処理
すると、必然的にアルミニウム合金の表面の黒色アルマ
イト層が図３に示したように凹凸が多く、多孔質で硬く
脆い状態のものとなるため、ペリクルの製造時に加わる
各種の力や振動あるいは収納ケースとペリクル枠との摩
擦などによって、この黒色アルマイト層の凹凸部や多孔
質部内に存在していた塵埃や黒色顔料などが飛散した
り、脆いアルマイト層表面の破壊により発塵するという
欠点がある。そのため、このペリクル枠については、こ
のような不利を防止するためにペリクル枠の内側に粘着
剤層を設けるか、内側に塗料をコーティングするという
方法も提案されている（特公昭63-777号公報、特開昭64
-48062号公報参照）。
ミニウム合金はアルミニウム合金を黒色アルマイト処理
すると、必然的にアルミニウム合金の表面の黒色アルマ
イト層が図３に示したように凹凸が多く、多孔質で硬く
脆い状態のものとなるため、ペリクルの製造時に加わる
各種の力や振動あるいは収納ケースとペリクル枠との摩
擦などによって、この黒色アルマイト層の凹凸部や多孔
質部内に存在していた塵埃や黒色顔料などが飛散した
り、脆いアルマイト層表面の破壊により発塵するという
欠点がある。そのため、このペリクル枠については、こ
のような不利を防止するためにペリクル枠の内側に粘着
剤層を設けるか、内側に塗料をコーティングするという
方法も提案されている（特公昭63-777号公報、特開昭64
-48062号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このペリクル枠の内側
に粘着剤層を設けたり、塗料を塗布する方法は内側の塵
埃の固定や塵埃の発生を防止するという点では確しかに
効果を与えるけれども、これだけではペリクル枠の内側
以外の部分での塵埃の固化、発塵を防止することができ
ないし、事実ペリクルは通常使用前に１個毎に収納ケー
スに納められるために、ペリクル枠の上下面や外側面と
の摩擦などで、ペリクル枠の内側以外からの塵埃の落下
や発塵がしばしば発生する。なお、この公知の方法によ
ってペリクル枠の内側に粘着剤や塗料を塗布する方法に
はこれらを均一に塗布することが工業的に難しく、塗膜
の不均一による外観不良が発生してペリクル製造の歩留
りを低下させるし、粘着剤を設けるときには粘着剤がペ
リクル枠の外側にも付着してペリクルが露光原版に装置
する際にベタついてハンドリングが難しくなるという欠
点もあり、さらに塗料を塗布する場合には塗料中の着色
物質や伝熱性あるいは導電性物質、例えば着色顔料、染
料、金属粉、カーボン粉などが振動、衝撃や摩擦などで
塗料から欠落し、これが発塵の原因になるという不利も
ある。
に粘着剤層を設けたり、塗料を塗布する方法は内側の塵
埃の固定や塵埃の発生を防止するという点では確しかに
効果を与えるけれども、これだけではペリクル枠の内側
以外の部分での塵埃の固化、発塵を防止することができ
ないし、事実ペリクルは通常使用前に１個毎に収納ケー
スに納められるために、ペリクル枠の上下面や外側面と
の摩擦などで、ペリクル枠の内側以外からの塵埃の落下
や発塵がしばしば発生する。なお、この公知の方法によ
ってペリクル枠の内側に粘着剤や塗料を塗布する方法に
はこれらを均一に塗布することが工業的に難しく、塗膜
の不均一による外観不良が発生してペリクル製造の歩留
りを低下させるし、粘着剤を設けるときには粘着剤がペ
リクル枠の外側にも付着してペリクルが露光原版に装置
する際にベタついてハンドリングが難しくなるという欠
点もあり、さらに塗料を塗布する場合には塗料中の着色
物質や伝熱性あるいは導電性物質、例えば着色顔料、染
料、金属粉、カーボン粉などが振動、衝撃や摩擦などで
塗料から欠落し、これが発塵の原因になるという不利も
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、欠点を解決したペリクルに関するものであり、これ
はペリクル枠の全面を平滑に処理して発塵防止性として
なることを特徴とするものである。
利、欠点を解決したペリクルに関するものであり、これ
はペリクル枠の全面を平滑に処理して発塵防止性として
なることを特徴とするものである。
【０００８】すなわち、本発明者らは塵埃の除去、発塵
を防止したペリクルを開発すべく種々検討した結果、こ
れについてはペリクル枠からの発塵の大部分はペリクル
枠の内側からの発塵よりも、むしろペリクル枠の上下面
や外側面とケースとの摩擦やこれらの面からの振動によ
るアルマイト層に存在している塵埃の発散、さらには脆
い表面層の破壊による発塵にあるということを見出し、
この発塵防止方法について研究を進めたところ、これに
はペリクル枠の内面ばかりではなく、その全面を平滑に
処理することが極めて有効であることを確認し、この平
滑処理方法についての研究を進めて本発明を完成させ
た。以下にこれをさらに詳述する。
を防止したペリクルを開発すべく種々検討した結果、こ
れについてはペリクル枠からの発塵の大部分はペリクル
枠の内側からの発塵よりも、むしろペリクル枠の上下面
や外側面とケースとの摩擦やこれらの面からの振動によ
るアルマイト層に存在している塵埃の発散、さらには脆
い表面層の破壊による発塵にあるということを見出し、
この発塵防止方法について研究を進めたところ、これに
はペリクル枠の内面ばかりではなく、その全面を平滑に
処理することが極めて有効であることを確認し、この平
滑処理方法についての研究を進めて本発明を完成させ
た。以下にこれをさらに詳述する。
【０００９】
【作用】本発明はペリクルに関するものであり、これは
前記したようにペリクル枠の全面を平滑に処理して発塵
防止性としてなることを特徴とするものであるが、これ
によればペリクル枠からの発塵が防止されるのでペリク
ルの貼着効果が顕著に上昇するし、このペリクルの半導
体装置、液晶表示板を製造するときのゴミよけがより確
実に行なわれるようになるという有利性が与えられる。
前記したようにペリクル枠の全面を平滑に処理して発塵
防止性としてなることを特徴とするものであるが、これ
によればペリクル枠からの発塵が防止されるのでペリク
ルの貼着効果が顕著に上昇するし、このペリクルの半導
体装置、液晶表示板を製造するときのゴミよけがより確
実に行なわれるようになるという有利性が与えられる。
【００１０】本発明のペリクルはペリクル枠の全面を平
滑処理してこれを発塵防止性をもつものとするものであ
るが、このペリクル枠の全面を平滑処理する方法として
は、ペリクル枠の全面をメッキ処理、低融点ガラスフリ
ット処理、ＣＶＤ処理、スパッター法などによるＰＶＤ
処理するか、または有機ポリマー単独または各種の塗料
コーティング処理などを施すようにすればよいが、これ
については加工の容易さ、効果が大きいことから有機ポ
リマーによる処理が最適とされる。この有機ポリマーは
非粘着性で透明なポリマーの中から任意に選べるが、例
えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フ
ッ素樹脂などがあげられる。これらの有機ポリマーによ
る処理方法はスプレー法、ディッピング法、静電塗装
法、電着塗装法などによって行なわれる。
滑処理してこれを発塵防止性をもつものとするものであ
るが、このペリクル枠の全面を平滑処理する方法として
は、ペリクル枠の全面をメッキ処理、低融点ガラスフリ
ット処理、ＣＶＤ処理、スパッター法などによるＰＶＤ
処理するか、または有機ポリマー単独または各種の塗料
コーティング処理などを施すようにすればよいが、これ
については加工の容易さ、効果が大きいことから有機ポ
リマーによる処理が最適とされる。この有機ポリマーは
非粘着性で透明なポリマーの中から任意に選べるが、例
えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フ
ッ素樹脂などがあげられる。これらの有機ポリマーによ
る処理方法はスプレー法、ディッピング法、静電塗装
法、電着塗装法などによって行なわれる。
【００１１】これらの中でも非粘着性でベタ付かず、透
明でさらに塗膜強度も大きく、ハンドリングも容易であ
ることから非晶質のフッ素系重合体で処理することがよ
い。この非晶質のフッ素系重合体は透明性であることか
ら着色しなくても迷光に対してもペリクル枠本体の黒色
がそのまま活用されるので、この処理によって余分な発
塵が起るおそれはないし、このものは低融点ガラスフリ
ット処理などの他の処理法に比べて機械的な衝撃に強い
皮膜を与えるので、ペリクル枠表面層の脆さの保護も万
全になるという有利性を与える。
明でさらに塗膜強度も大きく、ハンドリングも容易であ
ることから非晶質のフッ素系重合体で処理することがよ
い。この非晶質のフッ素系重合体は透明性であることか
ら着色しなくても迷光に対してもペリクル枠本体の黒色
がそのまま活用されるので、この処理によって余分な発
塵が起るおそれはないし、このものは低融点ガラスフリ
ット処理などの他の処理法に比べて機械的な衝撃に強い
皮膜を与えるので、ペリクル枠表面層の脆さの保護も万
全になるという有利性を与える。
【００１２】また、このフッ素系重合体で作られた塗膜
は滑性が高いという特性を有しているので、収納ケース
に納められて客先に輸送される際のケースとペリクル枠
の上下面や外側面との摩擦と摩耗が大幅に減少し、ペリ
クルでの発塵の主要因となっている摩擦、摩耗による発
塵が著しく減少するという有利性も与えられる。
は滑性が高いという特性を有しているので、収納ケース
に納められて客先に輸送される際のケースとペリクル枠
の上下面や外側面との摩擦と摩耗が大幅に減少し、ペリ
クルでの発塵の主要因となっている摩擦、摩耗による発
塵が著しく減少するという有利性も与えられる。
【００１３】この非晶質のフッ素系重合体としては例え
ばテトラフルオロエチレンと環状パーフルオロエーテル
基を有する含フッ素モノマーとを主体として共重合して
得られるものとすればよいが、これには溶剤に可溶で平
滑処理が容易であるということからは市販されているテ
フロンＡＦ（米国デュポン社製商品名）またはサイトッ
プ［旭ガラス（株）製商品名］などを用いればよい。こ
の平滑処理はこれらのフッ素系重合体を主成分パーフル
オロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）であるフッ素系
溶剤などに溶かして、スプレー法、ディッピング法など
で処理すればよいが、このフッ素系重合体はペリクル枠
によく接着するようにその一部を変性したり、塵埃を発
生するおそれのない液状の添加剤を添加して用いてもよ
い。
ばテトラフルオロエチレンと環状パーフルオロエーテル
基を有する含フッ素モノマーとを主体として共重合して
得られるものとすればよいが、これには溶剤に可溶で平
滑処理が容易であるということからは市販されているテ
フロンＡＦ（米国デュポン社製商品名）またはサイトッ
プ［旭ガラス（株）製商品名］などを用いればよい。こ
の平滑処理はこれらのフッ素系重合体を主成分パーフル
オロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）であるフッ素系
溶剤などに溶かして、スプレー法、ディッピング法など
で処理すればよいが、このフッ素系重合体はペリクル枠
によく接着するようにその一部を変性したり、塵埃を発
生するおそれのない液状の添加剤を添加して用いてもよ
い。
【００１４】なお、このペリクル枠は前記したように迷
光防止のために黒色化することが必要であるが、これは
軽量で高強度であることが要求され、かつは経済的であ
るということからアルマイト処理された黒色アルミニウ
ム合金で作られたものとすればよいが、これには保険的
な意味で上記したような平滑処理した上に、さらに収納
ケースからの万一の塵埃落下に備えてペリクル枠内面に
粘着性物質を塗布しておくこともよい。
光防止のために黒色化することが必要であるが、これは
軽量で高強度であることが要求され、かつは経済的であ
るということからアルマイト処理された黒色アルミニウ
ム合金で作られたものとすればよいが、これには保険的
な意味で上記したような平滑処理した上に、さらに収納
ケースからの万一の塵埃落下に備えてペリクル枠内面に
粘着性物質を塗布しておくこともよい。
【００１５】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。実
施例１、比較例１洗浄した黒色のアルマイト処理アルミ
ニウム合金枠を下記の式
施例１、比較例１洗浄した黒色のアルマイト処理アルミ
ニウム合金枠を下記の式
【化１】 で示され、ｍ／ｎ＋ｍ＝0.66であるテトラフルオロエチ
レンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モ
ノマーとの共重合で作られた非晶質フッ素重合体として
のテフロンＡＦ（前出）を、主成分がパーフルオロ（２
−ブチルテトラヒドロフラン）であるフッ素系溶剤・フ
ロリナートＦＣ−75（米国スリーエム社製商品名）に溶
解させて濃度 8.0％の溶液を調整した中にディッピング
したのち、150℃で乾燥して、ペリクル枠の全面を平滑
処理した。
レンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モ
ノマーとの共重合で作られた非晶質フッ素重合体として
のテフロンＡＦ（前出）を、主成分がパーフルオロ（２
−ブチルテトラヒドロフラン）であるフッ素系溶剤・フ
ロリナートＦＣ−75（米国スリーエム社製商品名）に溶
解させて濃度 8.0％の溶液を調整した中にディッピング
したのち、150℃で乾燥して、ペリクル枠の全面を平滑
処理した。
【００１６】ついで、このペリクル枠にニトロセルロー
ス製のペリクル膜をエポキシ樹脂で接着し、シリコーン
樹脂の粘着剤にフッ素樹脂を塗布したセパレーターを貼
付し、このようにして作成したペリクルを充分に洗浄し
たポリエチレン製の収納ケースに入れて福岡と東京のト
ラック輸送テストを行ない、この輸送テストの評価はＨ
ｅレーザーによる異物検査機によりペリクル上に付着し
た 0.3μｍ以上の塵埃の数で判定するようにしたとこ
ろ、本発明によるペリクル枠を用いたものには輸送テス
ト後も塵埃の数には何らの増加も見られなかった。
ス製のペリクル膜をエポキシ樹脂で接着し、シリコーン
樹脂の粘着剤にフッ素樹脂を塗布したセパレーターを貼
付し、このようにして作成したペリクルを充分に洗浄し
たポリエチレン製の収納ケースに入れて福岡と東京のト
ラック輸送テストを行ない、この輸送テストの評価はＨ
ｅレーザーによる異物検査機によりペリクル上に付着し
た 0.3μｍ以上の塵埃の数で判定するようにしたとこ
ろ、本発明によるペリクル枠を用いたものには輸送テス
ト後も塵埃の数には何らの増加も見られなかった。
【００１７】しかし、比較のためにこのペリクル枠に上
記したフッ素系重合体による全面の平滑処理は行なわ
ず、その内側のみを粘着剤で塗布したものとし、同様の
トラック輸送テストを行なったところ、この場合には塵
埃としての異物が32個も増加していた。
記したフッ素系重合体による全面の平滑処理は行なわ
ず、その内側のみを粘着剤で塗布したものとし、同様の
トラック輸送テストを行なったところ、この場合には塵
埃としての異物が32個も増加していた。
【００１８】実施例２、比較例２洗浄した黒色のアルマ
イト処理アルミニウム合金枠を下記の式
イト処理アルミニウム合金枠を下記の式
【化２】 で示され、ｍ／ｎ＋ｍ＝0.7 であるテトラフルオロエチ
レンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モ
ノマーとの共重合で作られた非晶質フッ素重合体として
のサイトップＡ［旭ガラス（株）製商品名］を、フッ素
系溶剤・フロリナートＦＣ−75（前出）に溶解した濃度
5.0％の溶液にディッピングしたのち、 150℃で乾燥し
て、ペリクル枠の全面を平滑処理した。
レンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モ
ノマーとの共重合で作られた非晶質フッ素重合体として
のサイトップＡ［旭ガラス（株）製商品名］を、フッ素
系溶剤・フロリナートＦＣ−75（前出）に溶解した濃度
5.0％の溶液にディッピングしたのち、 150℃で乾燥し
て、ペリクル枠の全面を平滑処理した。
【００１９】ついで、このペリクル枠に上記した構造式
をもつ非晶質フッ素重合体サイトップＳ［旭ガラス
（株）製商品名］から作られたペリクル膜をエポキシ樹
脂で接着し、ジオルガノポリシロキサン組成物で接着し
たポリブテン樹脂の粘着剤にシリコーンを塗布したセパ
レーターを貼着し、このようにして作成したペリクルに
ついて実施例１と同様の方法で、輸送テストを行なった
ところ、このものはテスト後も異物の増加はゼロであっ
た。
をもつ非晶質フッ素重合体サイトップＳ［旭ガラス
（株）製商品名］から作られたペリクル膜をエポキシ樹
脂で接着し、ジオルガノポリシロキサン組成物で接着し
たポリブテン樹脂の粘着剤にシリコーンを塗布したセパ
レーターを貼着し、このようにして作成したペリクルに
ついて実施例１と同様の方法で、輸送テストを行なった
ところ、このものはテスト後も異物の増加はゼロであっ
た。
【００２０】しかし、比較のためにこのペリクル枠に上
記したフッ素重合体による全面の平滑処理は行なわず、
その内側のみをカーボン粉末を入れたアクリル樹脂製導
電性塗料をコーティングしたものとし、実施例と同じ輸
送テストを行なったところ、この場合には塵埃としての
異物が16個も増えていた。
記したフッ素重合体による全面の平滑処理は行なわず、
その内側のみをカーボン粉末を入れたアクリル樹脂製導
電性塗料をコーティングしたものとし、実施例と同じ輸
送テストを行なったところ、この場合には塵埃としての
異物が16個も増えていた。
【００２１】
【発明の効果】本発明はペリクルに関するものであり、
これは前記したようにペリクル枠の全面を平滑に処理し
て発塵防止性としてなることを特徴とするものである
が、このペリクルはそのペリクル枠の全面が平滑処理さ
れているので、このペリクル枠が凹凸が多く、多孔質で
硬く脆いものであってもこれからの発塵が防止され、こ
れを用いたペリクルは長期輸送しても発塵で異物の付着
が増加することはないという有利性が与えられる。
これは前記したようにペリクル枠の全面を平滑に処理し
て発塵防止性としてなることを特徴とするものである
が、このペリクルはそのペリクル枠の全面が平滑処理さ
れているので、このペリクル枠が凹凸が多く、多孔質で
硬く脆いものであってもこれからの発塵が防止され、こ
れを用いたペリクルは長期輸送しても発塵で異物の付着
が増加することはないという有利性が与えられる。
【図１】従来例によるペリクルの縦断面図を示したもの
である。
である。
【図２】従来例によるペリクル膜の接着方法の縦断面図
を示したものである。
を示したものである。
【図３】従来例から使用されているアルマイト処理アル
ミニウム合金製ペリクル枠の顕微鏡写真図を示したもの
である。
ミニウム合金製ペリクル枠の顕微鏡写真図を示したもの
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永田 愛彦 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 浜田 裕一 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 白崎 享 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】ペリクル枠の全面を平滑に処理して発塵防
止性としてなることを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】平滑処理が非粘着性で透明な有機ポリマー
で行なわれる請求項１に記載したペリクル。 - 【請求項３】有機ポリマーが溶媒可溶な非晶質フッ素系
重合体である請求項２に記載したペリクル。 - 【請求項４】ペリクル枠がアルマイト処理されたアルミ
ニウム合金である請求項１に記載したペリクル。
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