JP2000258896A - ペリクル粘着層保護用ライナーおよびこれを具備するペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うこ
とができ、かつペリクルの粘着層に高い貼り付け位置精
度でライナーを貼り付けることができ、さらにライナー
を貼り付けた後の粘着層上の異物等の検査も可能なペリ
クル粘着層保護用ライナーおよびこのライナーを具備す
るペリクルを提供することを主目的とするものである。 【解決手段】 光線透過率が、１．０％〜８５％である
ことを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩな
どの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造
においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれ
た露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィ
ー用のペリクルの粘着層保護用に用いられるライナーお
よびこのライナーを具備するペリクルに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイ
スまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコ
ンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に
露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を
総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を
照射してこれを透過した光によりパターンを転写するこ
と、すなわちリソグラフィーが行われている。

【０００３】しかしながら、このような工程において露
光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光
を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや
液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導
体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留り
の低下をもたらすといった問題が生じる。

【０００４】このような問題を回避するため、通常、リ
ソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかし
ながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に
保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物
等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペ
リクルを装着する方法が採られている。

【０００５】このようなペリクルについて、図３を用い
て簡単に説明する。このペリクル１は、ペリクル枠２
と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜
３とから概略構成されてなるものである。このペリクル
膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して
接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリク
ル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けら
れ、その表面には粘着層５を保護するためのライナー６
が貼り付けられている。

【０００６】上記ペリクル１は、上述したように半導体
リソグラフィーの工程で使用されるものであることか
ら、ペリクル枠２、ペリクル膜３、粘着層５等に高い清
浄性が要求される。特にペリクル膜３上の異物は直接露
光にかかわる部分であることから、０．５μｍ程度の異
物が付着していても問題となる。したがって、このよう
な異物がペリクル膜３上に存在しないことを製造工程に
おいて検査・確認する必要があり、厳密な検査が必要と
されている。

【０００７】このようなペリクル膜の検査方法として
は、ペリクル枠を、ハンドリング用治具に取り付け、そ
の治具を手で持ち、検査用の暗室に入り、集光ランプで
スポットライトをペリクル膜の表面に当て、ペリクル膜
に付着している異物等を目視で検査する方法等がある。
しかし、この方法では、ペリクル膜の表面やペリクル枠
で反射した集光ランプのスポットライトが作業者の目に
当たるため、眩しくて目に負担がかかり、目自体の健康
にも悪く、長時間の検査が続けられず、作業能率が低下
するとともに、異物の見落としなどが発生し、検出精度
が低下する恐れがある。

【０００８】一方、目視によらない透明体の検査方法と
しては、レーザー光を照射し透明体表面あるいは内部に
存在する異物等からの散乱光をホトマルチプライヤーに
より検出する方法、または顕微鏡を備えた電荷結合素子
カメラ（以下、ＣＣＤ(Charge Coupled Device) カメラ
とする場合がある。）により拡大された異物そのものを
検出する方法などが行われていた。

【０００９】しかしながら、第１の方法では、測定の再
現性は極めて高いが、例えばペリクルフレーム近傍（数
ｍｍ巾）部分については、フレームによるレーザー光の
干渉、レーザー光の強度分布（一般にガウス分布）によ
る分布の裾野部分のフレームによる散乱、レーザー光の
回折効果等により測定が不可能であるという問題点があ
る。また、第２の方法、すなわち顕微鏡を備えたＣＣＤ
カメラによる方法では、小さな粒子径の異物を検出する
ためには、顕微鏡の倍率を上げる必要があり、したがっ
て検査に膨大な時間を要するため実用性に乏しいという
問題点がある。

【００１０】このような問題点のない方法として、高輝
度ハロゲンランプ等の光源を用い、この光源からの光を
ペリクル膜に照射して、その透過光を高感度の電荷結合
素子カメラ（以下、ＣＣＤ(Charge Coupled Device) カ
メラとする場合がある。）を用いて検査する方法があ
る。しかしながら、この検査方法では、ペリクル枠近傍
のペリクル膜を検査しようとした場合、以下のような問
題点がある。

【００１１】すなわち、図３に示すように、ペリクル枠
２の下端面には露光原版に接着するための粘着層５およ
びこの粘着層５を保護するためのライナー６が設けられ
ている。このライナー６の内側の端部は、例えばペリク
ル収納容器内にペリクルを収納する際の位置決め等のた
め、ペリクル枠２の内側から突出している。したがっ
て、このライナー６の突出部分に検査用の光が照射され
た場合に散乱光が発生し、この散乱光のため、ペリクル
枠近傍のペリクル膜の検査が困難となるというものであ
る。これは、透過光を目視で検査しようとする場合にお
いても同様の問題となるものである。このような問題を
解決するために、検査用の光を透過しないライナーを用
いることが検討され、実際に光を透過しないライナーも
使用されてきた。

【００１２】一方、近年この粘着層保護用のライナーに
関しては、粘着層へ貼り付ける際に高い貼り付け位置精
度が要求されるようになってきた。これは、ペリクルを
露光原版に貼り付ける際、近年オートマウンターが用い
られるようになってきたことがその理由の一つとなって
いる。すなわち、このオートマウンターはペリクルを収
納しているペリクル収納容器内からペリクルを把持し、
所定の位置まで搬送した後、露光原版に貼り付けるので
あるが、ペリクルはペリクル収納容器内で上記ライナー
の内側に突出した端部により位置決めされている場合が
ある。したがって、この場合ライナーの粘着層上の貼り
付け位置がずれていると、ペリクル収納容器内でのペリ
クルの位置がずれてしまい、オートマウンターがペリク
ルを把持することができないという問題が生じる場合が
ある。したがって、ライナーは、高い貼り付け位置精度
で粘着層へ貼り付ける必要がある。

【００１３】このようなライナーの粘着層への高い貼り
付け位置精度を得るために、例えば図１および図２に示
すような画像処理を利用したＣＣＤカメラによる画像処
理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置
が用いられている。このライナー位置決め貼り付け装置
は、複数の光源１１と、この光源１１から照射される光
を検知するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２によ
り検知された画像によりペリクル１を移動させるステー
ジ１３とから概略構成されてなるものである。

【００１４】上記ライナー位置決め貼り付け装置におい
ては、まずＣＣＤカメラ１２がペリクル枠２からはみ出
しているライナー６の幅を、例えばペリクル枠２の異な
る６カ所の位置で計測し、それぞれの位置において均等
なはみ出し幅（突出幅）となるようにステージ１３によ
りペリクル１を移動する。そして、ライナー６を、粘着
層５上の位置決めされた位置に貼り付ける。ここで、図
１に示すように、ライナー６のはみ出し幅を均等とする
ためには、ペリクル枠２の外周部とライナー６の端部の
位置をＣＣＤカメラ１２により検知する必要があるが、
ペリクル枠２の外周部の位置を検知する場合は、光源１
１から照射され、ライナー６を透過した光をＣＣＤカメ
ラ１２により検知する必要がある。

【００１５】このような場合に上述したような光を全く
透過させないライナーを用いた場合は、上記装置による
位置決めが全くできず、したがってライナーを高い貼り
付け位置精度で粘着層に貼り付けることができない。さ
らに、このような光を全く透過させないライナーでは、
粘着層上に異物が付着したとしても、ライナーが不透明
のためにライナー貼り付け後は粘着層上の異物や傷等の
検査ができず、異物などが付着したまま製品として出荷
されてしまうおそれがあった。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題点に鑑みなされたもので、ペリクル膜上の異物等の
検査を容易に行うことができ、かつペリクルの粘着層に
高い貼り付け位置精度でライナーを貼り付けることがで
き、さらにライナーを貼り付けた後の粘着層上の異物等
の検査も可能なペリクル粘着層保護用ライナーおよびこ
のライナーを具備するペリクルを提供することを主目的
とするものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１にお
いて、光線透過率が１．０％〜８５％であることを特徴
とするペリクル粘着層保護用ライナーにより上記目的を
達成するようにしたものである。このように、ペリクル
粘着層保護用ライナーの光線透過率を１．０％〜８５％
とすることにより、光線透過率が１．０％以上であるの
で、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り
付け装置を用いた場合に、ライナーを透過する光をＣＣ
Ｄカメラが検知することが可能であり、ライナーを高い
貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けること
ができる。また、光線透過率が８５％以下であるので、
ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光をライナー
が強く散乱することがないので、ペリクル膜上の異物等
の検査を容易に行うことができる。

【００１８】この場合、上記ライナーが染料を含有する
樹脂製であること（請求項２）、もしくは、表面にコー
ティング層を有する樹脂製であること（請求項３）が好
ましい。ここで、樹脂製が好ましいのは、樹脂製であれ
ば取り扱いが容易であり、かつ粘着層から剥離可能に貼
着する際に必要な可撓性を有するためである。また、樹
脂に染料を含有させるか、もしくは樹脂表面のコーティ
ング層の厚み等を調整することにより、光線透過率を容
易に１．０％〜８５％に制御することが可能であるから
である。

【００１９】さらに、請求項４に記載した発明は、上述
したペリクル粘着層保護用ライナーを具備するペリクル
である。本発明のペリクルは、上述したペリクル粘着層
保護用ライナーを具備するペリクルであるので、ライナ
ーが高い取り付け位置精度で粘着層に貼り付けられてお
り、さらにペリクル膜上の異物等の検査も容易に行うこ
とができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本
発明のペリクル粘着層保護用ライナーは、光線透過率が
１．０％〜８５％であるところに特徴を有するものであ
る。ここで、光線透過率を１．０％以上としたのは、光
線透過率が１．０％未満では、上述した画像処理を利用
したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合に、ラ
イナーを透過する光がＣＣＤカメラで検知することがで
きず、このためペリクル枠からはみ出すライナーの幅を
測定することができないことから、ライナーを高い貼り
付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることがで
きないからである。

【００２１】また、光線透過率が８５％以下としたの
は、光線透過率が８５％を越えると、ペリクル膜上の異
物等を検査する際、検査光がライナーにより強く散乱す
ることになり、ペリクル膜上の異物等の検査することが
できなくなってしまうからである。本発明におけるより
好ましいライナーの光線透過率は、上述したライナーの
貼り付け位置精度およびペリクル膜上の異物等の検査の
関係から、５％〜６０％の範囲内である。

【００２２】本発明のペリクル粘着層保護用ライナーに
用いられる材料としては、上記光線透過率が得られる材
料であれば特に限定されるものではないが、樹脂製であ
ることが好ましい。これは、樹脂であれば取り扱いが容
易であり、かつ粘着層に剥離可能に貼着する際に必要な
可撓性を有するためである。本発明において、好ましい
樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、
ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポ
リ塩化ビニル、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げること
ができる。

【００２３】本発明のライナーは、上述したように光線
透過率が１．０％〜８５％の範囲内である必要がある
が、このような光線透過率を有するライナ−の材料とし
ては、その材料自体が当初からこのような光線透過率を
有するものであればそのまま用いることも可能である
し、透明な材料に加工・処理を施すことにより上記光線
透過率の範囲に調整したものを用いてもよい。このよう
な透明な材料に加工・処理を施したものとしては、例え
ば透明な材料に染料を含有させたものを挙げることがで
き、好ましくは透明な樹脂に染料を含有させたものであ
る。このように、透明な樹脂に染料を添加することによ
り、樹脂の光線透過率を上記光線透過率の範囲内に容易
に調整することができる。

【００２４】ここで、樹脂に含有させる染料とは、樹脂
を染色するための染料のみならず透明な樹脂の光線透過
率を低下させる例えば顔料等の添加剤であればいかなる
ものをも含むものである。このような染料としては、例
えばカーボンブラック、アゾ染料、キノリン染料等を挙
げることができる。樹脂に染料を含有させる方法として
は、例えば樹脂に練り込む方法等が挙げられる。

【００２５】また透明な材料に加工・処理を施した材料
の他の例としては、表面にコーティング層を有する材料
を挙げることができ、好ましくは表面にコーティング層
を有する樹脂等を挙げることができる。このように、透
明な樹脂表面にコーティング層を形成することにより、
樹脂の光線透過率を容易に上記光線透過率の範囲内に調
整することができる。このようなライナー材料表面をコ
ーティングする方法としては、光線透過率を低下させる
ものであれば特に限定されるものではなく、例えば塗
布、スパッタリング、蒸着等を挙げることができる。こ
の表面コーティング層の材料としては、例えばＳｉ、Ａ
ｌ、ＳｉＣ、ＳｉＮ等を挙げることができ、これらを単
独又は複合して用いてもよい。

【００２６】次に、このようなライナーを具備するペリ
クルについて説明する。本発明のペリクルは、例えば図
３に示すように、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の
上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されて
なるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２
の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリ
クル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着さ
せるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５
を保護するためのライナー６が貼り付けられている。本
発明のペリクル１は、このライナー６の光線透過率を、
上述したように１．０％〜８５％の範囲内としたところ
に特徴を有するものである。

【００２７】本発明のペリクルに用いられるペリクル枠
の形状は、特に限定されるものではなく、円形のもので
も方形のものでもよい。またその材質も特に限定される
ものではなく、例えばアルミ材に陽極酸化処理を行った
もの、ステンレスなどの金属、ポリアセタール、ポリカ
ーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ア
クリル樹脂、ポリエチレンなどの樹脂、青板ガラス等の
材料を挙げることができる。ペリクル枠表面について
は、通常サンドブラストや化学研磨によって粗化される
が、本発明においては、このペリクル枠表面の粗化の方
法について特に限定されるものではない。例えば、アル
ミ材を使用した場合には、カーボランダム、ガラスビー
ズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等
によって化学研磨を行い表面を粗化する方法等が知られ
ている。

【００２８】このようなペリクル枠の上端面にはペリク
ル膜が張設される。このペリクル膜を形成する材料とし
ては、光をよく通過させる材料であれば特に限定される
ものではないが、例えばニトロセルロース、酢酸セルロ
ース、プロピオン酸セルロース、変性ポリビニルアルコ
ール、フッ素系ポリマーなどが好ましく、特に好ましく
はフッ素系ポリマー、中でもテトラフルオロエチレンと
フッ化ビニリデンとの共重合体、テトラフルオロエチレ
ンとヘキサフルオロプロピレンとフッ化ビニリデンとの
三元共重合体、テトラフルオロエチレンと環状パーフル
オロエーテル基を有する含フッ素モノマーとの共重合体
等の非晶質フッ素系ポリマーが好ましい。

【００２９】このような非晶質フッ素系ポリマーは、高
い光線透過率を有しており、短波長から長波長領域まで
広く使用することができ、耐光性も優れているからであ
る。市販されている非晶質フッ素系ポリマーとしては、
サイトップ（旭硝子（株）製、商品名）、テフロンＡＦ
（デュポン（株）製、商品名）等を挙げることができ
る。これらのポリマーは、ペリクル膜製造時に必要に応
じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系の
溶媒などで適宜溶解した後、膜が形成される。

【００３０】本発明のペリクルには、上記ペリクル膜を
ペリクル枠に接着するために、通常ペリクル枠の上端面
に接着剤層が設けられる。この接着剤層に用いられる接
着剤の種類については、特に制限はなく、加熱して接着
を行う場合は、熱可塑性の樹脂や熱硬化性の樹脂が接着
剤として用いられ、光硬化を利用して接着を行う場合
は、光硬化型樹脂が接着剤として用いられる。このよう
な接着剤の例としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ
樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコー
ン接着剤等のフッ素系ポリマー等を挙げることができ、
中でもフッ素系ポリマーが好ましい。具体的には、フッ
素系ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製、商品名）等を
挙げることができる。

【００３１】上記ペリクル枠の下端面にはペリクルを露
光原版に接着するための粘着層が設けられる。このよう
な粘着層を形成する材料としては、本発明は特に限定さ
れるものではないが、両面粘着テープ、シリコーン樹脂
粘着剤、アクリル系粘着剤等を挙げることができ、特に
好ましくはシリコーン樹脂粘着剤である。この粘着層の
表面には。粘着層を保護するためのライナーが貼着され
ている。本発明のペリクルは、このライナーの光線透過
率が１．０％〜８５％である点に大きな特徴を有するも
のである。このライナーについては、すでに詳述したの
で、ここでは説明を省略する。なお、本発明のペリクル
においては、ペリクル枠内周面に異物捕捉用の粘着剤を
コーティングしてもよい。上述した本発明のペリクル
は、従来のペリクルが通常製造される製造方法と同様の
製造方法により製造することができる。

【００３２】

【実施例】以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説
明する。 （実施例１）初めに、ペリクル枠として、枠外寸１００
ｍｍ×１００ｍｍ×６ｍｍ、ペリクル枠厚さ２ｍｍのア
ルミニウム合金製フレームを用意した。このペリクル枠
を表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧１．
５ｋｇのサンドブラスト装置にて１０分間表面処理し、
表面を粗化した。次いで、ＮａＯＨ処理浴中にて１０秒
間処理し洗浄した後、陽極酸化、黒色染色、封孔処理し
て表面に黒色の酸化皮膜を形成した。

【００３３】このアルミニウム合金製のペリクル枠を純
水と超音波洗浄装置を併用して、洗浄した。次いで、こ
のペリクル枠の内周面にスプレーコーティング装置を用
いて、シリコーン系粘着剤を１μｍコーティングした。
次いで、テフロンＡＦ１６００（米国デュポン社製、商
品名）をフッ素系溶剤・フロリナートＦＣ−７５（米国
スリーエム社製、商品名）に溶解させて濃度８重量％の
溶液を調製した。

【００３４】次に、この溶液により、直径２００ｍｍ、
厚さ６００μｍの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピ
ンコーターを用いて膜の厚みが０．８μｍの透明膜であ
るペリクル膜を形成した。そして、このペリクル膜と、
ペリクル製造用治具の外寸２００ｍｍ×２００ｍｍ×５
ｍｍ幅、厚さ５ｍｍの枠とを、エポキシ系接着剤アラル
ダイトラピッド（昭和高分子（株）製、商品名）を用い
て接着させた後、水中でシリコン基板面から剥離した。

【００３５】上記アルミニウム合金製のペリクル枠の一
端面にシリコーン系粘着剤を塗布し、１００℃で１０分
間加熱し乾燥硬化させ、粘着層を形成した。また、この
アルミニウム合金製ペリクル枠フレームの別な一端面上
にフッ素系溶媒ＣＴソルブ１８０（旭硝子（株）製、商
品名）に希釈したフッ素系高分子ポリマーＣＴＸ（旭硝
子（株）製、商品名）を塗布し、１００℃で１０分間加
熱し乾燥・硬化させ接着剤層を形成した。

【００３６】また、別にカーボンブラックを練り込み、
光線透過率を６０％としたＰＥＴ製ライナーを用意し、
ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライ
ナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠の上記粘
着層上への貼り合わせを行ったところ、正確に位置決め
して貼り合わせることができた。そして、上記テフロン
ＡＦ１６００のペリクル膜表面に、上記ペリクル枠の接
着剤層を密着させた後、ＩＲランプにてペリクル枠を加
熱してペリクル枠とペリクル膜とを融着させた。ペリク
ル枠とペリクル製造用治具の枠との二つの枠はペリクル
枠の接着面を上向きにして固定用治具に取り付けて相対
的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクル
枠の外側のペリクル製造用治具の枠を引き上げて固定
し、ペリクル枠外側のペリクル膜に０．５ｇ／ｃｍの張
力を加えた。

【００３７】次いで、スカラーロボットに取り付けたカ
ッターに、チューブ式ディスペンサを用いてフロリナー
トＦＣ７５（デュポン社製、商品名）を毎分１０マイク
ロリットル滴下しながら、前記ペリクル枠の接着剤層の
外周部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクル枠外
側の不要なペリクル膜を切断・除去した。完成したペリ
クルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレ
ン製標準粒子を付着させた。これにハロゲンランプを照
射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域につ
いて検査した。結果を表１にまとめる。

【００３８】

【表１】

【００３９】表１から明らかなように、本実施例では上
述したようにＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構
を有するライナー位置決め貼り付け装置によって、ペリ
クル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確
に行うことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準
粒子）を１００％検出することができた。

【００４０】（比較例１）光線透過率９０％の未処理Ｐ
ＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にして
ペリクルを調製した。得られたペリクルのペリクル膜面
に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着
させた。これにハロゲンランプを照射しながらペリクル
枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果
を表１にまとめる。表１から明らかなように、ライナー
位置決め貼り付け装置によるペリクル枠の上記粘着層上
への位置決め・貼り合わせは正確に行うことができた
が、上記異物（ポリスチレン製標準粒子）の検出率は５
０％であり、ペリクル枠近傍の異物の検査には問題があ
った。

【００４１】（実施例２）光線透過率５％の未処理ＰＥ
Ｔ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペ
リクルを調製した。得られたペリクルのペリクル膜面
に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着
させた。これをハロゲンランプを照射しながらペリクル
枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果
を表１にまとめる。表１から明らかなように、本実施例
ではライナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠
の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確に行う
ことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準粒子）
は１００％検出することができた。

【００４２】（比較例２）光線透過率０．３％の未処理
ＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にし
てペリクルの製造を試みたが、ＣＣＤカメラによる画像
処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装
置による粘着層上へライナーの貼り合わせにおいて、位
置検出ができず正確な位置決め・貼り合わせを行うこと
ができなかった。

【００４３】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００４４】

【発明の効果】本発明は、光線透過率が、１．０％〜８
５％であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライ
ナーである。このように、ペリクル粘着層保護用ライナ
ーの光線透過率を１．０％〜８５％とすることにより、
光線透過率が１．０％以上であるので、上述した画像処
理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場
合でも、ライナーを透過する光をＣＣＤカメラが検知す
ることが可能であり、ライナーを高い貼り付け位置精度
でペリクルの粘着層に貼り付けることができる。また、
光線透過率が８５％以下であるので、ペリクル膜上の異
物等を検査する際、検査光をライナーが強く散乱するこ
とがないので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有
するライナー位置決め貼り付け装置により、ペリクル枠
の粘着層上へライナーを貼り合わせている状態を示す説
明図である。

【図２】図１に示すライナー位置決め貼り付け装置の全
体を示す説明図である。

【図３】一般的なペリクルを示す断面図である。

【符号の説明】

１ … ペリクル、 ２ … ペリクル枠、 ３ …
ペリクル膜、４ … 接着剤層、 ５ … 粘着層、
６ … ライナー、１１ … 光源、 １２ … ＣＣ
Ｄカメラ、 １３ … ステージ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光線透過率が、１．０％〜８５％である
   ことを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナー。
2. 【請求項２】 染料を含有する樹脂製であることを特徴
   とする請求項１記載のペリクル粘着層保護用ライナー。
3. 【請求項３】 表面にコーティング層を有する樹脂製で
   あることを特徴とする請求項１記載のペリクル粘着層保
   護用ライナー。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれかの
   請求項に記載のペリクル粘着層保護用ライナーを具備す
   ることを特徴とするペリクル。