JP2008257208A

JP2008257208A - 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法

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Publication number: JP2008257208A
Application number: JP2008049200A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Tanimura; 彰浩谷村; Kenichiro Kojika; 健一郎小鹿
Original assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Current assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Priority date: 2007-03-13
Filing date: 2008-02-29
Publication date: 2008-10-23
Anticipated expiration: 2028-02-29
Also published as: JP5269438B2

Abstract

【課題】本発明は、収納・移送・保管時にはトレイに確実な保持固定が可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には簡単に歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを取り出すことを可能とせしめる保護フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の大型ペリクルの保護フィルム５は、枠体１と、枠体の上縁面に接着されたペリクル膜３と、枠体の下縁面に塗着された粘着材４とからなり、ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ^２以上である大型ペリクルＡの粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された大型ペリクルの保護フィルムであり、保護フィルムは、枠体より外側に突出させた押さえ代を有し、かつ、押さえ代を利用して粘着テープを介して平板上に大型ペリクルを固定した時の押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍ以下であることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納方法及びその収納構造体に関し、特に液晶用大型ペリクルの収納方法及びその収納構造体で用いる保護フィルムに関するものであって、面積１０００ｃｍ^２以上、特に面積５０００ｃｍ^２以上、更には面積１００００ｃｍ^２以上の大型ペリクルの収納方法及び保護フィルムに関する。

本発明はペリクルを収納する方法及びその収納構造体に関する技術であるが、先ず、収納すべきペリクルについて説明する。

従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体或いはフッ素ポリマーなどの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。

前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。

このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカーと最終的にペリクルをマスク等に貼付するマスク等のメーカーとが地理的に離れている場合が多く、ペリクルメーカーからマスク等のメーカーへの運搬作業が必須となっている。その為、ペリクルの運搬作業では、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなる収納容器に収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

以上のような収納容器は、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性と、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持しうる保持性とが要求されることはもちろん、当然に、収納容器内でペリクルが確実に固定されていることが要求される。

このような要求に対して、従来、大型ペリクルの収納に関しては、トレイと蓋とからなる収納容器のトレイの中央部に、ペリクルの枠体に接着し、かつ、枠体の四隅を除く外周縁の一部又は枠体の外周縁の全部を外側に突出させた保護フィルムの押さえ代を、トレイにペリクルを搭載した際に、粘着テープを用いて押さえ代をトレイに粘着することによって、ペリクルをトレイの中央部に保持固定した後、蓋をかぶせた状態とすることが採用されている（例えば特許文献１を参照。）。

特に、近年は、マスク等のメーカーがペリクルを収納容器から取り出したら直接マスクに取り付けられるよう、収納容器からペリクルを取り出す際に、保護フィルムをトレイに貼着させた状態で、保護フィルムと粘着材の界面からペリクルを取り出す方法が採用されており、取り出しの際にペリクルに歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている（例えば特許文献２を参照。）。

ＷＯ２００６／５９３８８号公報特開２００７‐０１７８１１号公報

特許文献１の方法は、大型ペリクルをトレイに搭載した際にペリクルを安定して確実にトレイに保持固定できる点では出願時の技術水準に対して優れた技術といえる。しかし、今後、大型ペリクルが普及するにつれて表面化すると考えられる課題、すなわちマスク等のメーカーがペリクルを収納容器から取り出す際の取り出し易さについては改善する余地があるものと考えられてきた。

取り出し方法については、例えば、矩形の枠体の辺の中央部近傍に配置された保護フィルムに相当するタブ（押さえ代）を接着テープでペリクル収納容器に固定したペリクルをペリクル保持具によって保持しながら、かつ、ペリクル保持具にかかる荷重を検出しながら保持具と収納容器との距離を離してペリクルを剥離させる方法もある（例えば特許文献２）。しかし、この方法では、大型ペリクルの場合、辺の中央部に配置されたタブ（押さえ代）が接着テープで収納容器に保持されているため、たとえ、荷重を検出しながら剥離させたとしても、枠体のたわみを避けることができないと考えられる（特許文献２の図９を参照。）。

また、大型ペリクルにおいては、ペリクルの大きさに伴う枠体幅を、剛性が充分得られる程度に大きく出来ない為、枠体のたわみ量は大きくなる傾向にある。即ち、ペリクルの収納・運搬・保管に際しては、確実な保持固定に加えて、その後の収納容器からのペリクルの取り出しに際し、枠体にたわみやねじれを生じさせることなく、取り出すことができる方法が要求されているのである。そして、特に、面積１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルにおいては、ペリクル自体の重さが大きくなり、ハンドリングも困難となるため、収納・運搬・保管に際しては、確実な保持固定はもちろん、収納容器からの取り出しの際、取り出し後直接マスク等に貼り付けられるよう、保護フィルムと粘着材の界面からペリクルの歪み撓みを生じさせることなく取り出す方法が要求されている。面積が５０００ｃｍ^２以上、更には面積１００００ｃｍ^２以上の大型ペリクルにおいては、それらの要求がますます強くなる傾向にある。

即ち、本発明は、収納・移送・保管時にはトレイに確実な保持固定が可能であり、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には簡単に歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを取り出すことを可能とせしめる保護フィルムを提供するものである。また、その保護フィルムを使用した大型ペリクルの収納方法を提供する。

本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した結果、収納容器にペリクルを保持固定するために利用する保護フィルムの押さえ代の位置と、押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重を特定することで、前記課題を解決せしめた。すなわち、本発明に係る大型ペリクルの保護フィルムは、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材とからなり、前記ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ^２以上である大型ペリクルの前記粘着材を保護するために前記枠体の下面に粘着された大型ペリクルの保護フィルムにおいて、前記保護フィルムは、前記枠体より外側に突出させた押さえ代を有し、かつ、該押さえ代を利用して粘着テープを介して平板上に前記大型ペリクルを固定した時の前記押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍ以下であることを特徴とする。

本発明に係る大型ペリクルの保護フィルムでは、前記枠体は矩形の形状を有し、前記押さえ代は前記枠体を構成する辺に配置されており、前記押さえ代の始点が前記枠体の矩形を構成する四隅の頂点からいずれも３０ｍｍ以上離れ、かつ、前記枠体を構成する四隅のいずれの頂点にも前記保護フィルムの押さえ代が独立して配置されていることが好ましい。四隅に集中的に荷重がかかりやすくなるため保護フィルムと粘着材との界面から剥がそうとする力を効率よく利用することができる。

本発明に係る大型ペリクルの保護フィルムでは、前記枠体は矩形の形状を有し、前記押さえ代は前記枠体を構成する辺に配置されており、前記押さえ代の始点が前記枠体の矩形を構成する四隅の頂点からいずれも３０ｍｍ以上離れ、かつ、四辺中少なくとも一辺の前記押さえ代の終点が前記始点と辺の中央部までの間に配置されていることが好ましい。枠体の辺の中央部において押さえ代があると、ペリクルを取り外すときに剛性の劣る枠体の辺の中央部において歪み撓みが生じ、この状態で保護フィルムと粘着材が剥離すると、応力の突然の開放でペリクルの枠体がバタつき、ペリクルの膜が揺らぐが、このような事態を回避することができる。

ここで、前記枠体を構成する四辺中少なくとも一辺に配置されている押さえ代が、矩形を構成する四隅の頂点から３０ｍｍ以上７０ｍｍ以内の位置を始点として配置されていることがより好ましい。四隅近傍に押さえ代を設けることで、四隅のバタつきがなくなり、より安定して大型ペリクルを保持・固定することができる。

さらに、前記枠体を構成する四隅のいずれの頂点にも前記保護フィルムの押さえ代が独立して配置されていることがより好ましい。四隅に集中的に荷重がかかりやすくなるため保護フィルムと粘着材との界面から剥がそうとする力を効率よく利用することができる。さらに枠体の歪み撓みの発生を防止することができる。

本発明に係る大型ペリクルの保護フィルムでは、前記枠体は、矩形の形状を有し、かつ、前記押さえ代は、前記枠体を構成する辺及び前記枠体を構成する四隅の頂点に配置されているとともに一体化した押さえ代をなしていてもよい。

本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、本発明に係る大型ペリクルの保護フィルムを有する大型ペリクルを、トレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納する方法であって、前記大型ペリクルの保護フィルムの押さえ代を利用して粘着テープを介して前記トレイに前記大型ペリクルを固定した後、前記蓋をすることによって前記大型ペリクルを収納することを特徴とする。

本発明の保護フィルムによって、収納・移送・保管時には収納容器を構成するトレイにペリクルの確実な保持固定が可能であり、かつ、ペリクルをフォトマスク等に貼り付ける際には簡単に、かつ、ペリクルに歪み撓みを生じさせることなく収納容器から取り出すことが可能となった。

添付の図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下に説明する実施の形態は本発明の構成の例であり、本発明は、以下の実施の形態に制限されるものではない。

図１は本発明に係る大型ペリクルとその大型ペリクルを収納するための収納容器が表されており、実際に大型ペリクルが収納容器に収納された状態の縦断面説明図である。図２は、図１の大型ペリクルが収納されている要部の拡大説明図である。図３〜図５は、図１の大型ペリクルに用いられる本発明に係る保護フィルムの形態例を示す平面図である。

図１及び図２において大型ペリクルＡは、ペリクル膜３の面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルである。本発明は、ペリクル膜３の面積が大きければ大きいほど顕著な効果があらわれ、特に５０００ｃｍ^２以上、更には１００００ｃｍ^２以上であるとより顕著な効果が現れる。

大型ペリクルＡは、枠体１と、枠体１の上縁面に接着されたペリクル膜３と、枠体１の下縁面に塗着された粘着材４とからなる。ここでペリクル膜３は枠体１の上縁面に接着剤２を介して接着されている。さらに大型ペリクルＡは、枠体１の下縁面に、粘着材４を介して保護フィルム５が粘着された構造を有している。なお、ペリクル膜３の面積は、枠体１の外形面積に相当する。

ここでいう粘着材４の材質・形状・粘着力は、公知のものを用いることが可能である。一般的には、粘着材として、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、オレフィン系等のホットメルト粘着材、または、シリコーン系粘着材、或いは発泡テープ品を用いることが可能である。ホットメルト粘着材に関しては、通常のシリンジ等を用いる押出し塗布によって枠体１に配置することができる。さらに、押出し塗布後、熱、圧力をかけながら平面板のような成型盤でプレス等行っても良い。

本発明では、保護フィルム５は、枠体１より外側に突出させた押さえ代５ａを有し、かつ、押さえ代５ａを利用して粘着テープ９を介して平板上に大型ペリクルＡを固定した時の押さえ代５ａの単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍ以下となるように調整されていることを特徴とする。なお、図１において、トレイ６が前記平板に相当する。

大型ペリクルＡには前述したように収納・移送・保管に際し、収納容器Ｂに確実に保持固定されており、かつ、取り出し時に大型ペリクルＡに変形・歪が生じることなく取り出しやすいことが要求される。これらの点を満足するには、保護フィルム５の枠体１より外側に突出させた押さえ代５ａを利用して粘着テープ９を介して収納容器Ｂのトレイ６表面のような平板上に固定した時の押さえ代５ａの単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍ以下とすることが必要である。そしてこのような条件を満足するペリクルは、これまで本発明者らが試行した収納・移送・保管の工程においてペリクルが脱落することがなく、取り出しも通常の取り出し方法で容易に取り出すことが達成できた。押さえ代５ａの単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍを超えると、収納・移送・保管の工程において突発的に高い衝撃を受けた際、保護フィルムと粘着材とが剥がれ易くなる傾向が見られるため、ペリクルが脱落する可能性がある。ここで、本発明の効果を引き出すには、荷重の上限は０．２８ｇ／ｍｍ以下とすることが好ましい。一方、荷重の下限については、０．０５ｇ／ｍｍ以上とすることが好ましい。

本発明は、上記の荷重の条件を満足するものであれば、ペリクルの枠体１の形状（例えば、矩形以外に円、楕円、多角形といったマスク等の形状に対応した様々な形状）、材質に影響されることなく、品質の安定したペリクルをマスク等メーカーに供給せしめた点において特徴を有するものである。そして、保護フィルム５自体の形状も、枠体１の全周に押さえ代５ａを突出させることも可能であるし、収納する収納容器Ｂの形態に適応させて、枠体１の特定の箇所に特定の形状の押さえ代を突出させることも可能である。

上記のように、大型ペリクルＡの保護フィルム５の形状はマスク等の様々な形状、収納容器の様々な態様に対応することは可能であるが、本発明では、矩形の枠体を用いた場合、以下に説明する条件を満足すると、より効果を奏するので、以下に説明する。

本発明では、大型ペリクルＡの枠体１に矩形の枠体を用いた場合、押さえ代５ａの始点が、矩形を構成する四隅の頂点からいずれも３０ｍｍ以上の領域に、配置されているように保護フィルム５を形成することによって、より保持固定に関して効果を奏する。

ここに、押さえ代５ａの始点Ｘは、例えば図３（ａ）に示すように、四隅の頂点Ｃを基点として辺部１１の中央部Ｚに向かう方向に沿って、押さえ代５ａが始まる境界で表される。換言すると、矩形のペリクル枠体の四隅の頂点付近に押さえ代が存在しないことを意味する。これは、発明者らが様々な態様で試行錯誤した結果、押さえ代５ａが、四隅の頂点Ｃに位置する場合と、それ以外の場所（辺部１１）の場合とでは、効果が異なるという知見を得たことに基づく。なお、図３（ａ）の長辺のように、中央部Ｚを超えて押さえ代が延びている場合、終端は、Ｚを対称軸として始点Ｘと対称の位置にあり、始点Ｘと同等であることから終点も符号Ｘを付した。

ここで上記効果の差異について、説明の便宜上、本実施形態に含まれない保護フィルムの形態例を示して説明する。図６は、本実施形態に含まれない保護フィルムの形態例を示す平面図であり、押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍを超える形態例である。図６（ａ）に示すように、四隅の頂点Ｃに押さえ代５ｂ（四隅の頂点Ｃにある押さえ代を５ｂ、辺部１１にある押さえ代を５ａと表記する）が存在すると、輸送時に突発的に高い衝撃を受けた際、四隅に位置する粘着材４の曲がり部分の頂点Ｃに集中的に荷重がかかり易くなり、保護フィルム５と粘着材４が剥がれ易くなる傾向が見られる。一方、四隅の頂点Ｃに押さえ代がない場合（辺部１１にある場合）、すなわち、不図示であるが例えば図３（ａ）において四隅の頂点Ｃの押さえ代５ｂを設けていない形態の場合には、輸送時に突発的に高い衝撃を受けたとしても、押さえ代５ａは辺部１１に位置し、曲がり部分には位置しないため、荷重が辺部１１に分散してかかるため、保護フィルム５と粘着材４の界面から剥がれる可能性が四隅に位置するよりも低減されるというものである。

以上のことから、本発明の保護フィルム５では、矩形のペリクルの枠体１を用いた場合には十分なペリクルの保持・固定を達成するには押さえ代５ａは、四辺中少なくとも一辺に配置されている押さえ代が、矩形を構成する四隅の頂点Ｃから３０ｍｍ以上７０ｍｍ以内の位置を始点として配置されていることが好ましい。さらに四隅の頂点Ｃから、いずれの辺においても３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下の位置が始点Ｘになることが好ましく、より好ましくは３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。例えば、図４（ａ）の長辺、図４（ｂ）の短辺、図４（ｃ）〜（ｅ）の長短辺で示した保護フィルムは、押さえ代５ａの始点Ｘが、四隅の頂点Ｃからいずれも３０ｍｍ以７０ｍｍ以内に位置する形態例である。

さらに、保護フィルム５の押さえ代５ａの終点Ｙが辺部１１の中央部Ｚまでの間に配置されていると、よりペリクルの取り出しやすさに関して効果を奏する。ここに、押さえ代５ａの終点Ｙは、図４（ａ）に示すように、四隅の頂点Ｃを基点として辺の中央部Ｚに向かう方向に沿って、押さえ代５ａが終わる境界で表される。換言すると、矩形のペリクル枠体の辺の中央付近に押さえ代が存在しないことを意味する。これは、発明者らが様々な態様で試行錯誤した結果、押さえ代５ａが、辺部１１の中央付近に位置する場合と、位置しない場合とでは、効果が異なるという知見を得たことに基づく。

即ち、図６（ｂ）に示すように、辺部１１の中央付近に押さえ代５ａが存在し、その押さえ代５ａを、粘着テープを介して収納容器のトレイの表面に粘着固定している場合を考える。保護フィルム５をトレイに貼着させた状態で保護フィルム５と粘着材との界面から大型ペリクルを取り出す際、ペリクルの枠体の辺の中央部付近は四隅付近よりも剛性が低いため、保護フィルム５と粘着材との界面を剥離させるための力によって、剥離が開始される前に、ペリクルの枠体１の辺の中央部付近に歪み撓みが生じることとなる。ペリクルの枠体１の辺の中央部付近に歪み撓みが生じた状態で保護フィルム５と粘着材との界面の剥離が開始されると、歪み撓みによる応力が突然開放され、ペリクルの枠体がバタツキ、ペリクル膜３が揺らぐので、大型ペリクルＡの製品品質維持の観点から好ましくない。

一方、図４（ａ）に示すように、辺部１１の中央付近に押さえ代が存在せず、辺部１１の中央付近ではなく四隅付近（例えば頂点から３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下離れた箇所）の押さえ代５ａを、粘着テープを介して収納容器のトレイの表面に粘着固定している場合を考える。保護フィルム５をトレイに貼着させた状態で保護フィルム５と粘着材の界面からペリクルを取り出す際、ペリクルの枠体の辺の四隅付近は中央部付近よりも剛性が高いため、保護フィルム５と粘着材の界面を剥離させるための力により、剥離が開始される前に、ペリクルの枠体の辺の四隅付近の歪み撓みは生じにくい。さらに、辺の中央部に設けた押さえ代よりも四隅付近に設けた押さえ代のほうが、大型ペリクルの保持・固定について効果が高い。このような保護フィルム５として、例えば、図４（ａ）、（ｃ）、（ｄ）の長辺のほか、図４（ｂ）、（ｅ）の短辺及び図５（ａ）（ｃ）の長辺、図５（ｂ）の短辺は、いずれも、辺部１１の中央付近に押さえ代が存在せず、四隅付近に押さえ代を設けた形態例である。

ここで本実施形態に係る保護フィルムは、四辺中少なくとも一辺の押さえ代の終点が始点と辺の中央部までの間に配置されている形態を含むが、四辺全ての押さえ代の終点が始点と辺の中央部までの間に配置されている形態、すなわち、全ての辺において中央付近に押さえ代が存在しない形態（例えば図４（ｃ）、図５（ｃ）で示される形態）がより好ましい。大型ペリクルの保持・固定具合及び取り外し性について方向依存性が少なくなり、取り扱い性が向上する。

ところで本発明では、大型ペリクルを収納容器に保持・固定する点において顕著な効果を奏するには、上記の要件を満足すれば十分であるが、大型ペリクルをトレイから歪み、ひずみに関係なく容易に取り出すことを考えると、矩形の四隅のいずれの頂点にも押さえ代が独立して位置しているほうがさらに好ましい。

このことは、先にも述べたように、押さえ代が四隅の頂点に存在するときに突発的に高い衝撃を受けた場合には、四隅の頂点に集中的に荷重がかかりやすくなるため保護フィルムと粘着材との界面から剥がそうとする力を効率よく利用することができるからである。

したがって、本発明において、大型ペリクルの輸送時の保持・固定および、取り出しやすさを満足するためには、保護フィルムの単位長さあたりに掛かる荷重を特定の数値以下とし、保護フィルムの押さえ代を配置する場所を前述の特定の位置とすることがより好ましい。さらに、歪み、たわみを生じさせることなく大型ペリクルをより取り出しやすくするには、矩形のペリクルであれば、四隅のいずれの頂点にも保護フィルムの押さえ代を独立して設けることが必要である。例えば、図３（ａ）〜（ｃ）及び図５（ａ）〜（ｃ）で示した保護フィルムは、四隅のいずれの頂点にも保護フィルムの押さえ代（頂点に設けた押さえ代を符号５ｂで表す）を独立して設けた形態例である。

ここで本実施形態に係る保護フィルムは、四隅の頂点に押さえ代５ｂを設ける場合は四隅のいずれの頂点にも押さえ代５ｂを設ける必要がある。歪み、たわみを生じさせることなく大型ペリクルをより取り出しやすくすることができる。

なお、収納容器からペリクルを取り出す際に、まず粘着テープを剥がした後、枠体を浮かせて保護フィルムを剥がす場合、剥がし代１０（例えば、図４（ａ）〜（ｅ））を設けて、剥がし代１０を起点として保護フィルムを剥がす。この場合、剥がし代１０は、ペリクルを保持・固定するために設けている押さえ代５ｂとは役割が異なり、粘着テープで収納容器のトレイに固定されることはない。したがって、四隅の頂点のうち１箇所に剥がし代を設ければ足りる。図４（ａ）〜（ｅ）の形態の保護フィルムでは、剥がし代１０には粘着テープ８が貼られない。なお、剥がし代１０は、四隅の頂点の１箇所に設けられれば良い点で、四隅のいずれの頂点にも設けられる押さえ代５ｂとは区別される。さらに、剥がし代１０は保護フィルム５の剥がす起点となれば良いのであるから、その大きさは引っ掛りとなる大きさで充分であり、粘着テープ８に対する貼り代としての大きさを有していなくても良い。

なお、四隅の頂点の保護フィルムの押さえ代は、上述のように独立して設けることが好ましいが、四隅の頂点の保護フィルムの押さえ代の長さを頂点から３０ｍｍ以上とすることで、実質的に、辺部の保護フィルムの押さえ代と一体化してしまっても、効果の上では問題はない。例えば図５（ｄ）と（ｅ）で示した形態である。

即ち、本発明では、矩形のペリクルの場合、保護フィルムの押さえ代の始点が頂点以外にあり、特に、保護フィルムの押さえ代の始点が頂点近傍（３０ｍｍ以上７０ｍｍ以下）にある場合には、保持・固定に効力を示し、一方、頂点に押さえ代が独立してあり、かつ、押さえ代の終点が始点と辺の中央部までの間にある場合は、ペリクルの取り出しやすさに効力を示す。例えば、図５（ａ）〜（ｃ）で示される形態である。

以上、大型ペリクルＡ及び本発明の保護フィルムについて説明を行った。尚、保護フィルムの押さえ代の単位長さあたりに掛かる荷重は、ペリクルの質量を該ペリクルに用いた保護フィルムの押さえ代長さの合計で割ることから求めることができる。押さえ代の長さとは、枠体の長辺に設けた押さえ代においては、押さえ代の長辺方向成分の長さであり、また、枠体の短辺に設けた押さえ代においては、押さえ代の短辺方向成分の長さであり、る。そして、押さえ代長さの合計とは、押さえ代の長辺方向成分の長さと押さえ代の短辺方向成分の長さの合計である。なお、頂点に設けた押さえ代における長さは、長辺方向成分の長さと短辺方向成分の長さがいずれもゼロであるから、押さえ代長さの合計には含まれないこととなる。

押さえ代の単位長さあたりに掛かる荷重に対し、粘着材と保護フィルムの間の接着力の強弱が、輸送時に突発的に高い衝撃を受けた際の保護フィルムと粘着材が剥がれる可能性を左右するものである。ここで、マスクに対して必要とするペリクルの粘着材の粘着力の範囲において、発明者らが鋭意検討した結果、本計算方法による押さえ代の単位長さあたりに掛かる荷重により、保護フィルム形状を設定することができることが確認された。

また、本発明で用いるペリクルの枠体の材質、ペリクル膜の材質は、従来一般的に用いられているものである。例えば、ペリクルの枠体の材質については、アルミニウムやその合金、或いは、鉄や鉄系合金といったペリクルに一般的に用いられる物であれば構わないが、大型化による自重の増加を考慮すれば、軽量で、かつ、剛性を有するものを用いることが好ましく、例えば、アルミニウムやその合金が好ましい。

次に、大型ペリクルの収納方法、及び、取り出し方法について図を参照して説明する。図１及び図２（ａ）及び（ｂ）においては、大型ペリクルＡは、既に詳述したようにペリクル膜３の面積が１０００ｃｍ^２以上、特に５０００ｃｍ^２以上、更には１００００ｃｍ^２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、枠体１の上縁面に接着剤２を会して接着されたペリクル膜３と、枠体１の下縁面に塗着された粘着材４と、粘着材４を保護するために粘着材４に粘着された保護フィルム５から構成されている。

前記実施形態においては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に層状粘着材を積層して粘着するのみでよい。しかし、本明細書においては、このような場合も含めて単に「塗着する」と称する。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とからなる収納容器Ｂに収納されている。蓋７とトレイ６との嵌合面は全周にわたり、テープ８でシールするか、または、トレイ６と蓋７とのコーナー部にクリップを取り付けてもよい。

大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側には粘着テープ９によってトレイ６の表面に粘着固定される押さえ代５ａが突設されている。この押さえ代５ａの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、単位長さあたりにかかる荷重の条件を満足した上で、さらに、図２（ｂ）で示す幅ｗが６ｍｍ以上で、好ましくは１２ｍｍ以上であることが明らかになった。このような寸法を持った押さえ代５ａは粘着テープ９を介してトレイ６の表面に安定した状態で容易に粘着固定することができた。

本発明の大型ペリクルの収納方法及びその収納構造体を実施するに当っては、前述の図１及び図２に示すごとく、収納容器Ｂのトレイ６の中央部に大型ペリクルＡを搭載し、かつ、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出している保護フィルム５の押さえ代５ａを、所定の巾の粘着テープ９を用いてトレイ６の表面に粘着することによって、大型ペリクルＡをトレイ６の中央部に極めて安定した状態で簡単かつ確実に保持固定することができる。ここに、粘着テープの巾は、１２ｍｍ以上が好ましく、より好ましくは２４ｍｍ以上である。

本発明の大型ペリクルの収納方法及びその収納構造体においては、前述のように、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出する保護フィルム５の柔軟性を有する押さえ代５ａを、柔軟性に富む粘着テープ９を介して収納容器Ｂのトレイ６の表面に粘着固定するので、仮に、収納容器Ｂのトレイ６の成形精度が十分でなく、或いは、トレイ６に反りが生じていても、これらの問題に関係なく、大型ペリクルＡをトレイ６に安定した状態で簡単に固定することができる。

尚、粘着テープ９は押さえ代５ａ全面を覆うように貼着されることが好ましいが、粘着固定の効果が得られるなら、押さえ代５ａの幅方向あるいは長さ方向に対し部分的に覆う態様でもよい。

大型ペリクルの第１の取り出し方法は、特許文献２に記載の方法、つまり、粘着材と保護フィルムとの界面で剥離させる方法である。保護フィルムは、収納容器に貼付されたままとなる。

大型ペリクルの第２の取り出し方法は、従来からの方法、つまり、最初に粘着材と保護フィルムとの界面で剥離させずに、まず保護フィルムをつけたまま収納容器から取り出す方法である。すなわち、まず粘着テープを剥がす。次に四隅の頂点のいずれか一つの頂点に設けた「剥がし代」（例えば図４（ａ）〜（ｅ）の剥がし代１０）或いは本発明の押さえ代５ｂを使って、粘着材と保護フィルムとの界面で剥離させる。保護フィルムを辺方向に沿って順次剥離させ、枠体を１周させれば、全てを剥がすことができる。

本発明に用いられる保護フィルム５の材質としては、好ましくは、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレン樹脂等が使用される。また、保護フィルムの厚みとしては、好ましくは３０μｍ〜５００μｍのものが使用される。

本発明に用いられる収納容器Ｂの材質は、ポリエチレンテレフタレート樹脂や、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等の樹脂が使用できる。また、帯電防止タイプの樹脂を用いてもよい。特に、アウトガスの発生量が少ないものを使用することが好ましい。

また、本発明に用いられる粘着テープ９の基材としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニルや不織布などが使用できる。また、粘着テープの糊としては、例えば、アクリル系のものやポリビニルアルコール等を使用することができる。さらに、粘着テープ９としては、アウトガスの発生量が少ないものが好ましい。また、帯電防止処理を施したものでもよい。

図３（ａ）及び図５（ａ）〜（ｃ）において押さえ代５ｂのうち１つを、丸みを持たせずに先端をカットした形状としたこと、図３（ｂ）（ｃ）において押さえ代５ｂのうち一つの向きを変えたこと、図４（ａ）〜（ｅ）において剥がし代１０を四隅の頂点のうち一つの頂点のみに設けたこと、及び図５（ｄ）（ｅ）において一体化した押さえ代５ａ（５ｂ）のうち１つを、丸みを持たせずに先端をカットした形状としたことの理由は、保護フィルムの裏表を識別するための印とするためである。

本発明者らは、前述のような構成を有する本発明の大型ペリクルの収納方法及び保護フィルムを用いて実験をした結果、次のような実施例に示すような好結果が得られた。

[実施例１]
質量が４８０ｇで外形寸法が１３６６ｍｍ×１１４６ｍｍであり、保護フィルム５の長辺の中央部に寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ９００ｍｍの押さえ代５ａを、保護フィルム５の短辺の中央部に寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ７５０ｍｍの押さえ代５ａを、保護フィルム５の四隅の頂点に頂点を中心に半径１０ｍｍの押さえ代５ｂをそれぞれ設けた保護フィルム５（例えば図３（ａ）に類似する形状）を粘着させた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形された収納容器Ｂのトレイ６の上に搭載し、前記押さえ代５ａを粘着テープ９（テープサイズ：長辺１５ｍｍ×９４０ｍｍ、短辺１５ｍｍ×７９０ｍｍ、四隅１５ｍｍ×６０ｍｍ）を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これらのトレイ６と蓋７との外周部にテープ８を取り付けて両者を固定した。

[実施例２]
保護フィルム５の長辺の押さえ代５ａを、中央部ではなく、両四隅から３０ｍｍの位置を始点として、寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ４５０ｍｍの押さえ代５ａを２箇所にし、保護フィルム５の四隅の頂点の押さえ代はなくした他は、前記実施例１と同様に構成した。保護フィルム５の形状は例えば図４（ａ）の保護フィルムに類似する形状である。

[実施例３]
保護フィルム５の長辺の押さえ代５ａを、中央部ではなく、両四隅から３０ｍｍの位置を始点として、寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ４５０ｍｍの押さえ代５ａを２箇所にした他は、前記実施例１と同様に構成した。保護フィルム５の形状は例えば図５（ａ）に類似する形状である。

[比較例１]
保護フィルム５の長辺、短辺各々の中央部の押さえ代の寸法をＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍにし、保護フィルム５の四隅の頂点の押さえ代はなくし、押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重を１．２０ｇ／ｍｍとした他は、前記実施例１と同様に構成した。保護フィルム５の形状は例えば図６（ｂ）に類似する形状である。

[比較例２]
保護フィルム５の長辺、短辺各々の中央部の押さえ代はなくし、保護フィルム５の四隅の頂点の押さえ代のみとした他は、前記実施例１と同様に構成した。保護フィルム５の形状は例えば図６（ａ）に類似する形状である。なお。押さえ代の長さはゼロとして扱う。

以下の表１に上記実施例１〜３と、比較例１〜２についての評価結果を示す。以下の表１に示す保持・固定具合評価では、最大衝撃値が１０Ｇである長距離輸送テスト後の保護フィルムと粘着材の界面の剥がれ状態について、全く剥がれがない場合を「◎」、長さが５ｍｍ未満の極部分的な剥がれがあった場合を「○」、長さが５ｍｍ以上の１０ｍｍ未満の部分的な剥がれがあったが実用上問題でない下限レベルの場合を「△」、長さが１０ｍｍ以上の剥がれがあり、実用上問題である場合を「×」で示す。

また、取り出しやすさ評価では、例えば、レーザーテック株式会社製のペリクル検査・貼り付けシステム（製品名：５１ＰＡ）を用いて、保護フィルムの剥がれやすさについては、取り出し動作開始から３秒未満に保護フィルムと粘着材の界面が剥がれ始め、その後、剥がれが進行する場合を「◎」、取り出し動作開始から３秒以上１０秒未満に保護フィルムと粘着材の界面が剥がれ始め、その後、剥がれが進行する場合を「○」、取り出し動作開始から１０秒以上３０秒未満に保護フィルムと粘着材の界面が剥がれ始め、その後、剥がれが進行するが、実用上問題でない下限レベルの場合を「△」、取り出し動作開始から１０秒以上３０秒未満に保護フィルムと粘着材の界面が剥がれ始めるが、その後、剥がれが進行せず、実用上問題である場合を「×」で示す。ペリクル枠体のたわみ防止については、最初に保護フィルムと粘着材の界面の剥がれるペリクル枠体の辺において、保護フィルムと粘着材の界面が完全に剥がれる直前のペリクル枠体の辺のたわみ量が１０ｍｍ未満の場合を「◎」、１０ｍｍ以上１５ｍｍ未満の場合を「○」、１５ｍｍ以上２０ｍｍ未満の場合を「△」（実用上問題でない下限レベル）、２０ｍｍ以上の場合を「×」（実用上問題であるレベル）で示す。

実施例１と比較例１とを比べると、比較例１では、矩形の四隅に押さえ代がないため、保護フィルムを剥がし難く、ペリクル枠体のたわみが防止できなかった。実施例１と比較例２とを比べると、比較例２では、矩形の辺の中央部に押さえ代がないため、保持・固定具合に問題があった。

特に実施例３は、ペリクルの保持・固定具合と取り出しやすさが高いレベルで両立されており、大型ペリクルへの適性が高い。

なお、実施例１〜３の類似形状の保護フィルムであって、押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍを超えるように押さえ代の長さを短くした場合、保持・固定具合が不良となりやすかった。

大型ペリクルが収納容器に収納された状態の縦断面説明図である。図１の大型ペリクルが収納容器に収納された状態の要部の拡大説明図であり、（ａ）は押さえ代を設けた箇所での縦断面拡大図、（ｂ）は押さえ代を設けた箇所での拡大平面図である。本実施形態に係る保護フィルムの形態例を示す平面図である。本実施形態に係る保護フィルムの形態例を示す平面図である。本実施形態に係る保護フィルムの形態例を示す平面図である。本実施形態に含まれない保護フィルムの形態例を示す平面図である。

符号の説明

Ａ大型ペリクル
Ｂ収納容器
１枠体
２接着剤
３ペリクル膜
４粘着材
５保護フィルム
５ａ押さえ代
５ｂ（四隅の）押さえ代
６トレイ
７蓋
８テープ
９粘着テープ
１０剥がし代
１１辺部
Ｘ始点
Ｙ終点
Ｚ辺の中央部
Ｗ押さえ代の幅
Ｌ押さえ代の長さ
Ｃ四隅の頂点

Claims

枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材とからなり、前記ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ^２以上である大型ペリクルの前記粘着材を保護するために前記枠体の下面に粘着された大型ペリクルの保護フィルムにおいて、
前記保護フィルムは、前記枠体より外側に突出させた押さえ代を有し、かつ、該押さえ代を利用して粘着テープを介して平板上に前記大型ペリクルを固定した時の前記押さえ代の単位長さ当りに掛かる荷重が０．４２ｇ／ｍｍ以下であることを特徴とする大型ペリクルの保護フィルム。
前記枠体は矩形の形状を有し、前記押さえ代は前記枠体を構成する辺に配置されており、前記押さえ代の始点が前記枠体の矩形を構成する四隅の頂点からいずれも３０ｍｍ以上離れ、かつ、前記枠体を構成する四隅のいずれの頂点にも前記保護フィルムの押さえ代が独立して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクルの保護フィルム。
前記枠体は矩形の形状を有し、前記押さえ代は前記枠体を構成する辺に配置されており、前記押さえ代の始点が前記枠体の矩形を構成する四隅の頂点からいずれも３０ｍｍ以上離れ、かつ、四辺中少なくとも一辺の前記押さえ代の終点が前記始点と辺の中央部までの間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクルの保護フィルム。
前記枠体を構成する四辺中少なくとも一辺に配置されている押さえ代が、矩形を構成する四隅の頂点から３０ｍｍ以上７０ｍｍ以内の位置を始点として配置されていることを特徴とする請求項３に記載の大型ペリクルの保護フィルム。
前記枠体を構成する四隅のいずれの頂点にも前記保護フィルムの押さえ代が独立して配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の大型ペリクルの保護フィルム。
前記枠体は、矩形の形状を有し、かつ、前記押さえ代は、前記枠体を構成する辺及び前記枠体を構成する四隅の頂点に配置されているとともに一体化した押さえ代をなしていることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクルの保護フィルム。
請求項１〜６のいずれかに記載の大型ペリクルの保護フィルムを有する大型ペリクルを、トレイと蓋とからなるペリクル収納容器に収納する方法であって、前記大型ペリクルの保護フィルムの押さえ代を利用して粘着テープを介して前記トレイに前記大型ペリクルを固定した後、前記蓋をすることによって前記大型ペリクルを収納することを特徴とする大型ペリクルの収納方法。