CN101995764B - 防尘薄膜组件收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种防尘薄膜组件收纳容器，包含：托盘，其可载置防尘薄膜组件；以及盖部，其覆盖托盘，与托盘共同形成收纳防尘薄膜组件的封闭空间；托盘包含：防尘薄膜组件框架支持体，其只与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，以支持防尘薄膜组件；以及保持机构，其将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上；防尘薄膜组件框架支持体，是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成，形成由两个硬度不同的构件所接合而成的接合体。若利用本发明，则防尘薄膜组件以粘合剂层不会接触防尘薄膜组件收纳容器的方式被固定在收纳容器内，这样即使不使用隔离部也能够保护粘合剂层，故在保管作业中不需要隔离部。

Description

防尘薄膜组件收纳容器
技术领域
本发明是关于一种在制造半导体装置、印刷基板、液晶显示器等产品时使用的防尘薄膜组件的收纳容器，特别是关于一种在制造液晶显示器时使用的大型防尘薄膜组件收纳容器。
背景技术
在LSI、超LSI等半导体或液晶显示器等产品的制造过程中，是用光照射半导体晶圆或液晶用原板以制作图案，然而如果此时所使用的光罩或初缩遮罩(以下仅称光罩)有灰尘附着的话，由于该灰尘会吸收光线或使光线弯曲，故除了会让转印的图案变形、使边缘变粗糙以外，还会使基底污黑，并损坏尺寸、品质、外观等。
因此，这些作业通常是在无尘室内进行，然而即使如此要经常保持光罩清洁仍相当困难。于是，一般采用在光罩表面贴附作为防尘器之用的防尘薄膜组件后再进行曝光的方法。此时，异物并非直接附着于光罩表面上，而是附着于防尘薄膜组件上，故只要在微影时将焦点对准到光罩图案上，防尘薄膜组件上的异物就不会对转印造成影响。
一般而言，防尘薄膜组件，会在防尘薄膜组件框架的上端面张设透明的防尘薄膜，同时在下端面设置用来贴合到光罩上的粘合剂层。具体而言，是在由铝、不锈钢、聚乙烯等物质所构成的防尘薄膜组件框架的上端面涂布防尘薄膜的良好溶剂，之后将由透光性良好的硝化纤维素、醋酸纤维素、氟系树脂等物质所构成的透明防尘薄膜风干粘合于其上(专利文献1：日本特开昭58-219023号公报)，或用丙烯酸树脂或环氧树脂等的粘合剂粘合(专利文献2：美国专利第4861402号说明书，专利文献3：日本特公昭63-27707号公报)。然后，在防尘薄膜组件框架的下端面，贴合用来装设到光罩上而由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙烯酸树脂、硅酮树脂等树脂所构成的粘合剂层，以及因应需要设置而目的在于保护粘合剂层的脱模层(隔离部)。
隔离部，通常是在PET树脂等厚度100～200μm左右的薄膜上涂布脱模剂，然后将薄膜切割加工成想要的形状使用。隔离部，除了很薄之外，还形成与框架的外形几乎相同的框状，故会变得像软性绳带那样，除了很难彻底洗净之外，在将其贴合到粘合剂层的作业中，就使用处理上而言，也是很不方便的。
另外，隔离部必须用没有接缝、折痕等的整片原料片材制造。若隔离部有接缝、折痕等的高低差，则形状会转印到所贴合的粘合剂层上，可能会对贴合后的光罩的稳定性造成影响。想要制造这种没有接缝、折痕等高低差的大型整片原料片材是很困难的，另外，想要将脱模剂涂布到整个表面上而没有缺陷瑕疵也是很困难的。因此，对于大型防尘薄膜组件，特别是1边长度超过1m的大型防尘薄膜组件而言，制造隔离部是很困难的。
隔离部必须具备保护粘合剂层的功能，在防尘薄膜组件使用时会被剥离丢弃，为了解决这些问题也可不使用隔离部。为了省略使用隔离部，例如，可使用防尘薄膜组件收纳容器，通常防尘薄膜组件是以粘合剂层朝向下侧(防尘薄膜组件收纳容器侧)的方式被收纳在收纳容器中，然而此时可相反地以粘合剂层朝向上侧，防尘薄膜侧朝向下侧的方式载置。但是，在该情况下，防尘薄膜内侧在防尘薄膜组件收纳容器内朝向上方，最需要保护的部分反而会有异物附着的危险，并非较佳的作法。因此，到现在为止，尚无文献提出一种在保管中不需要隔离部也能收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。
现有技术揭示在防尘薄膜组件收纳容器内设置防尘薄膜组件框架支持体，作为在保管中不需要隔离部的防尘薄膜组件以及防尘薄膜组件收纳容器(专利文献4：日本特开2009-128635号公报)。然而，当防尘薄膜组件框架支持体很软时，便无法利用固定螺栓等工具确实而充分地将防尘薄膜组件框架支持体固定在防尘薄膜组件收纳容器上，当防尘薄膜组件框架支持体很硬时，会发生无法充分吸收移动防尘薄膜组件收纳容器时对防尘薄膜组件框架所产生的振动、冲击等的不良情况，而无法解决问题。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开昭58-219023号公报
[专利文献2]美国专利第4861402号说明书
[专利文献3]日本特公昭63-27707号公报
[专利文献4]日本特开2009-128635号公报
发明内容
发明要解决的问题
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件收纳容器，其对于防尘薄膜组件，特别是至少一边边长在500mm以上的大型防尘薄膜组件，使用隔离部以外的粘合剂层保护手段(即不使用隔离部)保护粘合剂层，且在保管中或输送中产生振动、冲击的情况下也能确实保持防尘薄膜组件。
用于解决问题的方案
本发明人为了解决前述问题而致力研究，结果发现：如果防尘薄膜组件收纳容器包含：托盘，其可载置防尘薄膜组件；盖部，其覆盖托盘，与托盘共同形成收纳防尘薄膜组件的封闭空间；托盘包含：防尘薄膜组件框架支持体，其只与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，以支持防尘薄膜组件；以及保持机构，其将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上；而且，防尘薄膜组件框架支持体是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成，形成由两个硬度不同的构件所接合而成的接合体，则即使不使用隔离部也能够保护粘合剂层，而且，在保管中或输送中即使有振动、冲击也能确实地保持防尘薄膜组件，故进而完成本发明。
因此，本发明提供下述防尘薄膜组件收纳容器。
(1)一种防尘薄膜组件收纳容器，包含，
托盘，其可载置防尘薄膜组件；以及盖部，其覆盖于该托盘，与该托盘共同形成收纳防尘薄膜组件的封闭空间；该托盘包含：防尘薄膜组件框架支持体，其只与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，而支持着防尘薄膜组件；以及保持机构，其将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上；该防尘薄膜组件框架支持体是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成，而基体部与缓冲部两者是由硬度不同的构件的接合体形成。
(2)根据(1)所述的防尘薄膜组件收纳容器，其中，该防尘薄膜组件框架支持体的基体部是由工程塑料所构成，该防尘薄膜组件框架支持体的缓冲部是由橡胶或合成橡胶所构成。
(3)根据(1)或(2)所述的防尘薄膜组件收纳容器，其中，该防尘薄膜组件框架支持体的基体部比缓冲部更硬，该缓冲部的硬度以橡胶硬度计TYPE A测量在10以上80以下。
(4)根据(1)至(3)中任1项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其中，该防尘薄膜组件框架支持体的基体部与缓冲部是以异型材成型方式一体成型。
本发明的防尘薄膜组件收纳容器，即使不使用隔离部也能保护粘合剂层，而且，在保管中或输送中即使发生振动、冲击的情况也能确实地保持防尘薄膜组件。再者，由于不使用隔离部，所以能够解决大型防尘薄膜组件的大型隔离部的材料很难取得的问题，而且，除了隔离部本身的成本之外，还能够节省隔离部的洗净作业、贴合作业等相关作业，所以能够大幅降低制造成本。由于以上原因，本发明在产业上的利用价值非常高。
发明的效果
如果利用本发明，便能够提供一种防尘薄膜组件收纳容器，防尘薄膜组件以粘合剂层不接触防尘薄膜组件收纳容器的方式被固定在收纳容器内，即使不使用隔离部也能保护粘合剂层，故在保管中不需要隔离部。因此，能够解决大型防尘薄膜组件的隔离部材料很难取得的问题。另外，也不会发生在输送中或隔离部的剥离作业中从隔离部本身产生尘屑的问题，故从防止异物附着的观点来看效果显著。再者，除了隔离部本身的成本之外，也能够节省洗净作业、贴合作业等相关步骤，故能够大幅降低制造成本。
另外，防尘薄膜组件框架支持体是由硬度不同的构件组合而成，所以能够有效地吸收、缓冲在输送中防尘薄膜组件的振动、冲击，尤其，当以橡胶或合成橡胶支持防尘薄膜组件框架时，橡胶或合成橡胶会吸收、缓冲在输送中防尘薄膜组件的振动、冲击，故能有效防止防尘薄膜组件框架或防尘薄膜与防尘薄膜组件收纳容器接触而损伤。再者，如果防尘薄膜组件框架支持体是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成的话，便能够各自使用最适合的构件。再者，以异型材成型的成型方法一体成型，可节省将基体部与缓冲部接合的步骤，而且能够接合得很牢固。
附图说明
图1表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的一个实施方案，其表示在防尘薄膜组件收纳容器内收纳防尘薄膜组件的状态图，(A)为俯视图，(B)为沿着(A)的A-A’线段的剖面图，(C)为沿着(A)的B-B’线段的剖面图，(D)为(B)中C所包围部分的放大图，(E)为盖部打开状态的俯视图。
图2表示本发明的防尘薄膜组件框架支持体的一个实施方案的纵剖面图。
图3表示在实施例中所使用的防尘薄膜组件，(A)为从粘合剂涂布端面侧观察的仰视图，(B)为沿着(A)的D-D’线段的剖面图。
附图标记说明
1    防尘薄膜组件
11   防尘薄膜组件框架
11a  非贯通孔
12   防尘薄膜
13   粘合剂(粘合剂层)
2    防尘薄膜组件收纳容器
21   托盘
211  堤台部
22   盖部
3    防尘薄膜组件框架支持体
31    基体部
32    缓冲部
4     保持机构
41    销
a     粘合剂的未涂布区域
A-A’ 线段
B-B’ 线段
C     包围部分
D-D’ 线段
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明，然而本发明并非以此为限。
图1表示本发明的防尘薄膜组件收纳容器的一个实施方案，此时，防尘薄膜组件收纳容器处于收纳着防尘薄膜组件1的状态。图1中，(A)是俯视图，(B)是沿着(A)中的A-A’线段的剖面图，(C)是沿着(A)中的B-B’线段的剖面图，(D)是(B)中的C所包围的部分的放大图，(E)是处于盖部被打开状态下的俯视图。
本发明的防尘薄膜组件收纳容器，如图1所示的，包含：托盘21，其可载置防尘薄膜组件1；以及盖部22，其覆盖托盘21并与托盘21一起形成收纳防尘薄膜组件1的封闭空间。托盘与盖部，是用不易产生尘屑的硬质材料，例如工程塑料等的树脂或金属所构成。防尘薄膜组件以配合光罩形状的方式制作，通常是四边形(长方形或正方形)，托盘也会配合防尘薄膜组件的形状以及尺寸，以便收纳防尘薄膜组件。在图1所示的防尘薄膜组件收纳容器2中，托盘21制作成大致长方形形状，此时，在外周壁的内侧沿着外周壁围绕整个周围凸出设置有堤台部211。
盖部22形成覆盖托盘21的盖子形状，此时，盖部22的外周缘部形成先朝外侧然后再向上方折返的形状，当盖部22载置在托盘21上时，折返所形成的盖部22的底面接触托盘21的外周壁与堤台部211之间的顶面，另外，折返所形成的盖部22的外周面接触托盘21的外周壁的内周面，进而形成收纳防尘薄膜组件1的封闭空间。
如图1所示的，防尘薄膜组件收纳容器收纳着防尘薄膜组件1，该防尘薄膜组件1在配合光罩形状所形成的四边形环状(在图1中是长方形环状)的防尘薄膜组件框架11的一端面上张设防尘薄膜12，另外通常会在另一端面上将粘合剂(粘合剂层)13涂布在防尘薄膜组件框架11的整个周围上。然后，如图1所示的，在防尘薄膜组件框架11的粘合剂涂布端面的一部分(其可为外周侧、宽度方向中央部、内周侧的其中任一处)上设置粘合剂层13(在图1中是设置在内周侧)，剩下的部分就是未涂布粘合剂13的未涂布区域a。
在本发明的防尘薄膜组件收纳容器的托盘上，设有防尘薄膜组件框架支持体，其与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，以支持防尘薄膜组件。防尘薄膜组件框架支持体设置在托盘之上，例如，在图1所示的情况下，在托盘21的顶面(在图1中，是在凸出设置于托盘21的外周缘部上的堤台部211)上设置防尘薄膜组件框架支持体3。防尘薄膜组件框架支持体形成充分的间隔高度，使涂布于防尘薄膜组件框架上的粘合剂所形成的粘合剂层与托盘不会接触。另外，在图1中，在堤台部211上设置防尘薄膜组件框架支持体3，然而并非以此为限，若未设置堤台部211，则也可在托盘21上直接设置具备必要高度的防尘薄膜组件框架支持体3。
防尘薄膜组件框架支持体3，在托盘21的外周缘的内侧(例如，如图1所示的堤台部211上)，沿着外周缘整个周围设置，或是设置在周围的一部分上。在图1中，圆锥台状的防尘薄膜组件框架支持体3，在堤台部211的托盘21的周围方向上，以大致等间隔的方式，设置了共8个。
另外，虽然图1例示设置8个圆锥台状的防尘薄膜组件框架支持体的实施例，然而防尘薄膜组件框架支持体的位置、个数、各个的形状，可根据所收纳的防尘薄膜组件或防尘薄膜组件收纳容器的形状适当设定。基本上，只要达到即使输送中的振动或冲击让防尘薄膜组件框架移动，也能够确实地确保粘合剂层与防尘薄膜组件收纳容器的托盘以及防尘薄膜组件框架支持体之间的间隙即可。当防尘薄膜组件框架支持体设置在托盘的周围方向上的一部分时，防尘薄膜组件框架支持体的个数并无特别限定，然而为了稳定支持防尘薄膜组件，防尘薄膜组件框架支持体宜设置3个以上，尤其设置4个以上更好。
防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的未涂布粘合剂的未涂布区域接触并载置在防尘薄膜组件框架支持体上。在图1中，仅在防尘薄膜组件框架11的粘合剂涂布端面的内周侧设置粘合剂层13，圆锥台状的防尘薄膜组件框架支持体3的顶面，与防尘薄膜组件框架11的粘合剂涂布端面的未涂布粘合剂的未涂布区域a接触，防尘薄膜组件受到支持，此时，粘合剂层13与防尘薄膜组件框架支持体3并未接触。
另外，在本发明的防尘薄膜组件收纳容器的托盘上，设有将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上的保持机构。该保持机构，可使用例如夹持框架侧面或薄膜粘合层侧端面的保持机构等，特别宜使用将销插入设置在防尘薄膜组件框架侧面的非贯通孔以固定防尘薄膜组件框架的保持机构。
图1所示的防尘薄膜组件1在从防尘薄膜组件框架11的周围面(在图1中是从外周围面开始形成，然而从内周围面开始也是可以)向防尘薄膜组件框架11内部的水平方向设置了既定个数(在图1中，在防尘薄膜组件框架11的角落部合计共4个)的非贯通孔11a，该既定个数是对应保持机构4的销41的数量，用来固定后述防尘薄膜组件框架11的保持机构4的销41可插入该非贯通孔11a。
另一方面，在托盘21上，在对应非贯通孔11a的位置(在图1中，堤台部211上的4个位置)上，设置具备销41的保持机构4。由此便能够防止在运送防尘薄膜组件的途中防尘薄膜组件在防尘薄膜组件收纳容器内移动。图1是表示防尘薄膜组件1被保持机构4固定在防尘薄膜组件收纳容器内的状态。销41可在非贯通孔11a内进退，将防尘薄膜组件框架11载置在防尘薄膜组件框架支持体3上，将销41插入非贯通孔11a，借此把防尘薄膜组件框架11固定在防尘薄膜组件框架支持体3上，从非贯通孔11a拔出销41，便能够从保持机构4放开防尘薄膜组件1。另外，宜在保持机构的销的前端，设置橡胶等的弹性体，由此便能够让固定情况更稳定。
本发明的防尘薄膜组件收纳容器的防尘薄膜组件框架支持体，是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成的。而且，基体部以及缓冲部二者硬度不同，接合成一接合体。图2是图1所示的防尘薄膜组件收纳容器2的防尘薄膜组件框架支持体3的放大纵剖面图，此时，圆锥台状的防尘薄膜组件框架支持体3的下部(托盘21侧)是基体部31，上部(即与防尘薄膜组件框架11接触该侧)是缓冲部32。防尘薄膜组件框架支持体的基体部宜比缓冲部更硬。
基体部，也可与托盘形成一体，如果考虑到配合防尘薄膜组件的大小或形状调整防尘薄膜组件框架支持体的位置此点的话，仍宜设置成有别于托盘的独立构件。此时，基体部31与托盘21的接合必须利用固定螺栓等构件确实地固定，故基体部31宜使用具备足够硬度、强度的材料来构成，例如，工程塑料。工程塑料的材质，只要使用不易产生尘屑，可对表面实施平滑加工的材质即可，例如可使用ABS(丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物)、PC(聚碳酸酯)、PI(聚酰亚胺)、PA(聚酰胺)、PBT(聚对苯二甲酸丁二酯)、PPS(聚苯硫醚)、PEEK(聚醚醚酮)、POM(聚氧化甲烯)、SPS(间规聚苯乙烯)等材质。
另一方面，由于缓冲部必须能够吸收或缓冲防尘薄膜组件框架的振动或冲击，故宜为橡胶或合成橡胶。橡胶或合成橡胶的材质只要是能够对其表面实施平滑加工的材质即可，可使用例如：NBR(丁腈橡胶)、IR(聚异戊二烯橡胶)、EPDM(乙丙三元橡胶)、CR(氯丁二烯橡胶)、Q(硅橡胶)、SBR(苯乙烯丁二烯橡胶)、BR(丁二烯橡胶)、FKM(氟橡胶)、IIR(丁基橡胶)等橡胶、PS(聚苯乙烯)系、PE(聚乙烯)系、PP(聚丙烯)系等合成橡胶[PS、PE、PP与PB(聚丁二烯)的共聚物]等材质。
缓冲部所使用的橡胶或合成橡胶，其硬度以橡胶硬度计TYPE A测量宜在10以上80以下，更宜在10以上60以下。若硬度以橡胶硬度计TYPE A测量低于10的话，缓冲部会无法支持防尘薄膜组件框架而崩溃，而且可能会因为太软而难以加工。另外，若硬度高于80的话，缓冲部会太硬而无法吸收或缓冲防尘薄膜组件框架的振动或冲击。
为了对这些工程塑料赋予静电防止功能，可在橡胶以及合成橡胶内掺合表面活性剂、碳、金属或金属氧化物等物质。由此便能够防止防尘薄膜组件在输送中或从防尘薄膜组件收纳容器取出时带静电，进而降低发生静电造成异物附着或在防尘薄膜组件贴合时破坏光罩图案的危险。
再者，防尘薄膜组件框架支持体的基体部与缓冲部的接合，可使用双面胶带、接合剂或粘合剂等，然而宜利用异型材成型方式一体成型比较好。双面胶带是以配合基体部与缓冲部的接合面的方式切断，故有时会很难贴合，接合剂或粘合剂在硬化时有时会产生气体，或溢出接合面之外。另外，这些步骤是非常精细的步骤，因此很花时间。相对于此，若以异型材成型的方式制作成型，便能够在模具内成型时将基体部与缓冲部制作成一体成型的构件，故制作时间较短，且制作起来比较容易。
若使用本发明的防尘薄膜组件收纳容器，便能够在粘合剂层不会接触到托盘的情况下将防尘薄膜组件收纳、固定、保持于防尘薄膜组件收纳容器内。因此，便无须设置隔离部保护粘合剂层，而能够省略使用隔离部。另外，由于要确保使用没有接缝、折痕等瑕疵的整片原料片材作为隔离部并不容易，故本发明的防尘薄膜组件收纳容器特别适合用来当作收纳至少一边边长在500mm以上，特别是1000mm以上，尤其是1500mm以上的大型防尘薄膜组件的容器。
[实施例]
以下，揭示实施例以及比较例以具体说明本发明，然而本发明并非以下述实施例为限。
[实施例1]
制作如图3所示的防尘薄膜组件1。即，利用机械加工将5000系铝合金切削成长边外部尺寸1600mm、短边外部尺寸1500mm、高度5.8mm、宽度13mm的防尘薄膜组件框架11，并对其表面实施黑色氧皮铝(black alumite)处理。在该防尘薄膜组件框架11的外侧面的4个既定位置，设置保持机构4的销41可插入的非贯通孔11a。将该防尘薄膜组件框架用纯水洗净，待其干燥后，以垂直3轴分注器涂布用甲苯稀释过的硅酮粘合剂(信越化学工业股份有限公司制，产品名：X-40-3122)作为粘合剂层13。又，粘合剂层13的剖面形状为宽度4mm、高度1.5mm的半圆形。此时，防尘薄膜组件框架的宽度为13mm，由于在其内侧的4mm设置粘合剂层，故其外侧是宽度9mm的未涂布区域a。
再者，用甲苯稀释硅酮粘合剂(信越化学工业股份有限公司制，产品名：KR-3700)作为防尘薄膜粘合剂层(未经图示)，将其涂布在粘合剂涂布端面的相反面，使其干燥后的厚度为0.1mm，然后，加热到130℃使其硬化。防尘薄膜12，是在表面研磨得很平滑的1600mm×1700mm的矩形石英基板上用模涂法涂布氟树脂(旭硝子股份有限公司制，产品名：Cytop)，待溶剂干燥后，将其从石英基板撕下，制得厚度4μm的防尘薄膜。然后，将该防尘薄膜12贴合在防尘薄膜粘合剂层上，用切割器切除掉外侧的不需要的部分，完成防尘薄膜组件1。
另外，利用真空成型法将厚度5mm的黑色防静电ABS树脂(TORAY股份有限公司制，产品名：Toyolacparel)制作成如图1所示的防尘薄膜组件收纳容器2的托盘21。另外，同样地，利用真空成型法将厚度5mm的黑色防静电ABS树脂(TORAY股份有限公司制，产品名：Toyolacparel)制作成防尘薄膜组件收纳容器2的盖部22。调整保持机构4的位置，使保持机构4的销41与设置在防尘薄膜组件框架11上的非贯通孔11a嵌合，然后将保持机构4接合固定在防尘薄膜组件收纳容器托盘21上，该销41是使用ABS树脂以注射成型方式所制得的构件。
然后更进一步在防尘薄膜组件收纳容器2的托盘21的8个位置上，以只接触防尘薄膜组件框架11的粘合剂的未涂布区域a的方式，设置防尘薄膜组件框架支持体3。防尘薄膜组件框架支持体3，是将由ABS树脂所构成的基体部31，以及由PS-(PE/PP/PB)共聚物(KURARAY PLASTICS股份有限公司制，产品名：Septon KC-596，硬度：用橡胶硬度计TYPE A测量为40)所构成的防尘薄膜组件框架缓冲部32，以异型材成型方式制作成一体成型的接合体，可安装在托盘21上。在异型材成型时模具温度保持在40℃，将成型机的缸筒温度加热到190℃，进行成型。
将该防尘薄膜组件收纳容器2在无尘室内用纯水洗净，待其干燥后，以只接触防尘薄膜组件框架11的粘合剂的未涂布区域a的方式载置防尘薄膜组件框架支持体3，用保持机构4固定防尘薄膜组件，将防尘薄膜组件1收纳在防尘薄膜组件收纳容器2内。
[实施例2]
防尘薄膜组件框架支持体的基体部使用聚碳酸酯，缓冲部使用硅橡胶(信越化学工业股份有限公司制，产品名：KE-1950-10，硬度：用橡胶硬度计TYPEA测量为10)，以异型材成型方式成型，除此之外，以跟实施例1同样的方式制作防尘薄膜组件收纳容器，将防尘薄膜组件固定、收纳。
[实施例3]
防尘薄膜组件框架支持体的基体部使用ABS，缓冲部使用PS-(PE/PP/PB)共聚物(KURARAY PLASTICS股份有限公司制，产品名：Septon KC-623，硬度：用橡胶硬度计TYPE A测量为80)，以异型材成型方式成型，除此之外，以跟实施例1同样的方式制作防尘薄膜组件收纳容器，将防尘薄膜组件固定、收纳。
[比较例1]
防尘薄膜组件框架支持体的基体部使用ABS，缓冲部使用硅氧胶(信越化学工业股份有限公司制，产品名：KE-1052A/B，硬度：用橡胶硬度计TYPE A测量在1以下，用ASKER C测量为10)，以异型材成型方式成型，除此之外，以跟实施例1同样的方式制作防尘薄膜组件收纳容器，将防尘薄膜组件固定、收纳。
[比较例2]
防尘薄膜组件框架支持体的基体部使用ABS，缓冲部使用硅橡胶(信越化学工业股份有限公司制，产品名：KER-2667，硬度：用橡胶硬度计TYPE A测量在90以上，用SHORE D测量为70)，以异型材成型方式成型，除此之外，以跟实施例1同样的方式制作防尘薄膜组件收纳容器，将防尘薄膜组件固定、收纳。
对实施例1～3以及比较例1、2所制作的防尘薄膜组件收纳容器进行评价。评价方法如下。结果显示于表1。
评价项目1(防尘薄膜组件保持性)：以目视确认将防尘薄膜组件收纳于防尘薄膜组件收纳容器时防尘薄膜组件框架支持体对防尘薄膜组件(防尘薄膜组件框架)的保持性。
评价项目2(异物的附着状况)：将收纳着防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器垂直立起，维持1分钟之后，回复水平，进行这样的动作共3次，以目视确认防尘薄膜、防尘薄膜组件框架的异物附着状况。
[表1]
Figure BSA00000203824500161

Claims (3)

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包含，
托盘，其可载置防尘薄膜组件；以及
盖部，其覆盖于该托盘，与该托盘共同形成收纳防尘薄膜组件的封闭空间；
该托盘包含，
防尘薄膜组件框架支持体，其只与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，而支持着防尘薄膜组件；以及
保持机构，其将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上；
该防尘薄膜组件框架支持体是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成，形成由该两个硬度不同的构件所接合而成的接合体，并且该防尘薄膜组件框架支持体的基体部比缓冲部更硬，该缓冲部的硬度用橡胶硬度计TYPE A测量在10以上80以下。
2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其中，
该防尘薄膜组件框架支持体的基体部是由工程塑料所形成，该防尘薄膜组件框架支持体的缓冲部是由橡胶所形成。
3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其中，
该防尘薄膜组件框架支持体的基体部与缓冲部是以异型材成型的方式一体成型。
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