JP5586560B2 - ペリクル収容容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体デバイス、プリント基板或いは液晶ディバイスディスプレイ等の製造に使用される、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルを収容するペリクル収容容器に関する。

ＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体製造或は液晶ディスプレイ等の製造において、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するリソグラフィーの作業が行われる。この際に、フォトマスク或いはレチクルにゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなる他、下地が黒く汚れたりする等の現象が発生することがある。かかる作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しいため、透明なペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが使用されている。このペリクルをフォトマスク上に載置して露光を行うことにより、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィーの際に、焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上の異物は転写に無関係となる。

かかるペリクルは、それ自体に異物が付着すると、フォトマスクへの異物付着にも繋がるため、高い清浄性が求められる。このため、その保管や輸送の際には、ペリクル収容容器が用いられる。かかるペリクル収容容器或いはペリクルの収容方法として、例えば下記特許文献１、２、３に記載されているものがある。具体的には、特許文献１に、硬質樹脂製の容器本体の内底部にペリクル枠の他側面を密接載置するようになっていて、容器本体の内底部に、内底部上に載置されたペリクル枠を周囲から保持する複数の支持体を点在して立設し、さらに、容器本体上を硬質樹脂製の蓋体で開閉自在に覆い、この蓋体は、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠の前記一側面に当接する当接部をその内面に有するペリクル用容器が記載されている。

特許文献２に、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於いて、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイに固定して大型ペリクルをケース内に収納することが記載されている。

特許文献３に、ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体と、前記容器本体に接合されている金属部品と、ペリクルフレームの互いに平行な一組の辺のそれぞれの外側面に少なくとも１つ設けられた合計３つ以上の穴にそれぞれ挿入される同数のフレーム保持ピンと、前記フレーム保持ピンを位置決めする位置決め部品と、からなるペリクル収納容器において、前記位置決め部品は前記金属部品に機械的に固定されているペリクル収納容器が記載されている。

実公平６−４５９６５号公報 特開２００４−３６１６４７号公報 特許第４３９１４３５号公報

特許文献１に記載されたペリクル用容器は、射出成型で形成でき、部品点数が少ないという利点があり、半導体用ペリクルの収納用として使用できる。しかし、このペリクル用容器は、蓋体及び容器本体のどちらも高精度で成形されている必要があるため、辺長が５００ｍｍを超えるような液晶用ペリクルの収納用としては使用されない。このような大型の容器を真空成型では精度良く形成できないことに加え、容器自体の剛性確保が難しい。このため、容器の取扱い時や搬送時に容器の変形が惹起され、容器とペリクルフレームとの擦れが生じて発塵し、品質の低下を招き易いからである。

かかる辺長が５００ｍｍを越えるような大型のペリクルの収納容器としては、特許文献２に記載されているように、マスク粘着層を保護するライナーの一部を外側に突出させ、粘着テープにより容器本体に固定すること、或いは特許文献３に記載されているように、ペリクルフレーム外側面に設けた凹部にピンを挿入して容器本体に固定することにより、ペリクルを容器本体に確実に固定できる方法が提案されている。

しかしながら、特許文献２のように、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させた押え代を粘着テープで容器本体に貼付固定する場合、その作業は人手で行わざるを得ず、清浄な状態でトレイ上に固定するのが難しい。更に、粘着テープを剥がして取り出す際に、人手がペリクルフレーム付近に接近して異物付着の懸念がある。

一方、特許文献３のように、ペリクルフレーム外側面の穴にピンを挿脱してペリクルを容器本体に着脱する場合、ペリクルの脱着に際に、さほど人手がペリクルに接近せず、異物付着が少ない。

しかし、ペリクルを収納したペリクル収納容器を輸送する際には、ペリクルフレーム外側面の穴に挿入したピンの挿入位置を維持し続ける必要がある。このようにピンの挿入位置を維持するには、ピンを更に他のネジ等の締結手段で固定する固定手段、或いはピンを若干テーパー状に形成して嵌め合わせ、その摩擦力で固定する固定手段が考えられる。しかし、ネジ等の締結手段でピンを固定する場合は、ピンを固定する点では確実であるが、発塵の恐れがある。また、ピンを若干テーパー状に形成して摩擦力で固定する場合は、摩擦力を適切な大きさに調節することが難しく、信頼性に欠けるところがある。

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、容器本体の所定位置に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも前記固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を閉じた状態で前記固定状態を解除した後、蓋体を開いてペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載されたペリクル収容容器は、ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、前記ペリクル収容容器には、前記容器本体に載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記容器本体に装着され、前記ペリクルフレームの凹部から前記先端部が抜き出し可能に前記ピンが装着されるピン装着部と、前記容器本体に被着された前記蓋体の外側から前記ピン装着部の前記ピンを回動できるように前記蓋体に形成された開口部と、前記開口部の閉塞部材とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、前記ピン装着部に装着され、前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動したとき、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持するピン保持手段が設けられていることを特徴とする。

請求項２に記載されたペリクル収容容器は、請求項１に記載されたものであって、前記ピン保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする。

請求項３に記載されたペリクル収容容器は、請求項１に記載されたものであって、前記容器本体に被着された前記蓋体の開口部を閉塞する前記閉塞部材には、前記容器本体に載置された前記ペリクルフレームの凹部に先端部が挿入された前記ピンの回動を防止する回動防止部が設けられていることを特徴とする。

請求項４に記載されたペリクル収容容器は、請求項３に記載されたものであって、前記回動防止部が、前記蓋体の開口部を閉塞する閉塞板に突設された柱状部と、前記柱状部の先端部に形成された、前記ピンの後端部と係合する係合部と、前記蓋体に設けられ、前記開口部に前記柱状部が挿入された前記閉塞板を保持する閉塞板保持部とから構成されていることを特徴とする。

請求項５に記載されたペリクル収容容器は、請求項２に記載されたものであって、前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする。

請求項６に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜５のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする。

請求項７に記載されたペリクル収容容器は、請求項１〜６のいずれか一項に記載されたものであって、前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする。

本発明に係るペリクル収容容器は、簡便な構造でありながらペリクルを容器本体に固定したピンを確実に保持することができ、輸送中にピンが脱落等してペリクルの固定が外れることがなく、且つ収容したペリクルに破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。また、ペリクル収容容器からペリクルを取り出す際には、蓋体を容器本体に被着した状態で、閉塞部材を除去して開口した蓋体の開口部を利用し、ピンを所定角度回動してピン装着部から取り外すことにより、ペリクルの固定を解除できる。固定が解除されたペリクルはペリクル収容容器本体から簡単に取り出すことができる。このように極めて簡便な操作でペリクル収容容器からペリクルの取出しが可能となり、取り出し作業に伴うペリクルへの異物付着のおそれも少ない。

本発明に係るペリクル収容容器の一例を示す正面図である。 図１に示すペリクル収容容器のＸ−Ｘ面での横断面図である。 図２に示すペリクル収容容器１０のペリクル固定部１８を含む部分の拡大部分断面図である。 図３に示すピン２８の斜視図である。 図３に示すピン装着部３２の斜視図である。 図３に示す閉塞板部材としての閉塞板４０の斜視図である。 図３に示す閉塞板保持部４２の斜視図である。 図４に示すピン２８をピン装着部３２に装着する様子を説明する斜視図である。 ピン２８が装着されたピン装着部３２に、閉塞板保持部４２に設けられた蓋体１４が被覆された状態を説明する斜視図である。 図９に示す蓋体１４の閉塞板保持部４２に閉塞板４０が装着された状態を説明する斜視図である。 ぺリクル収容容器１０内からピン２８を抜き出す状態を説明する斜視図である。 ピン装着部に装着したピンを装着孔の摩擦力を利用して保持する比較例を示す斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。

本発明に係るペリクル収容容器の一例を図１に示す。図１に示すペリクル収容容器１０は、長方形状の容器本体１２と蓋体１４とから成る。このペリクル収容容器１０の容器本体１２の中央部に、図１のＸ−Ｘ面での横断面図である図２に示すように、ペリクル１６が収容されている。ペリクル１６は、長方形状のアルミニウム等の金属製のペリクルフレーム１６ａに透明なフッ素樹脂等のペリクル膜１６ｂが貼着されているものである。ペリクル１６が載置されている容器本体１２は、図２に示すように、容器本体１２の底部にリブ１２ａ，１２ａを形成して補強されている。かかる容器本体１２と蓋体１４とは、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）やアクリル等の合成樹脂シートを真空成型したものが用いられる。真空成型方法は、金型に加熱した樹脂シートを被せ、真空引きするだけで大型容器も容易に成形が可能であるからである。これに対して、一箇所又は数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形方法では、樹脂の流れる距離が長すぎるため、大型容器の製造が困難となる傾向にある。

この容器本体１２と蓋体１４とは、図２に示すように、その周縁部で嵌め合って係止され一体化されている。かかるペリクル収容容器１０内には、図３に示すようにライナー２２とマスク粘着層２４とを介して容器本体１２の中央部に載置されたペリクル１６が収容されている。このペリクル１６は、図１に示すように、ペリクル収納容器１０の長辺側の角部近傍の４箇所に設けられたペリクル固定部１８によって固定されている。ペリクル固定部１８は、図３に示すように、ピン２８と、容器本体１２の長辺側に沿って形成された平坦面２０の角部近傍に配設されたピン装着部３２と、蓋体１４に開口する開口部１４ａと、開口部１４ａを閉塞する閉塞部材としての閉塞板４０と、閉塞板４０を保持する閉塞板保持部４２とから構成される。

かかるピン２８は、容器本体１２の所定位置に載置したペリクルフレーム１６ａの側面に開口した凹部２６に先端部を挿入した状態で回動可能である。このピン２８は、その先端部がペリクルフレーム１６ａの凹部２６に抜き出し可能にピン装着部３２に装着されている。このようにピン装着部３２に装着されたピン２８は、蓋体１４の開口部１４ａを経由して抜き出しできる。かかる開口部１４ａは、蓋体１４に装着された閉塞板保持部４２で保持される閉塞板４０により閉塞される。このため、ペリクル収納容器１０内に開口部１４ａから塵埃等が入り込むことを防止できる。かかる閉塞板４０の一面側に、図３に示すように、ピン装着部３２に装着されたピン２８の回動を防止する回動防止部として、ピン２８の後端部の端部と凹凸係止する係止部が先端部に形成された柱状部４４が突設されている。

ピン２８は、図４に示すように、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であって、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。かかる後端部２８ｃの端部は、回動防止部としての柱状部４４の先端部と凹凸係止する凸部２８ｄに形成されている。更に、凸部２８ｄの端面には、ピン２８の回動用の工具が挿入される工具用凹部３６が形成されている。図４に示す工具用凹部３６は、六角レンチの先端部を挿入できるように六角形に形成されている。また、ピン２８の中間部２８ｂは、先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。この段差２８ｅが、ペリクルフレーム１６ａの側面と当接する。かかる段差２８ｅとペリクルフレーム１６ａの側面と当接を緩和する緩衝部材として、段差２８ｅにリング状の弾性体３４が装着されている。弾性体３４としては、ニトリルゴム、エチレンプロプレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴムを利用できる。

かかるピン２８は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができ、必要に応じてガラス繊維などのフィラーなどを混入して強度を向上させることも好ましい。

ピン２８が回動可能で且つ抜出可能に装着されるピン装着部３２は、図３に示すように、容器本体１２の平坦面２０に取り付けられるものである。かかるピン装着部３２は、図５に示すように、四面体であって、ピン２８に形成された突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、ピン２８の突起部３０とピン保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂの一部が挿通される孔３２ｃが開口されている。かかるピン装着部３２に抜出可能で且つ回動可能に装着されたピン２８を所定方向に回動することにより、ピン２８の突起部３０の外周面の一部と切欠部３２ｂの内壁面の一部とが当接し、ピン２８をピン装着部３２から抜き出しができないように係止して保持できる。

ピン装着部３２は、樹脂を射出成型、トランスファー成型等で一体成型で製作できる。材質としては、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン樹脂）、ＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケトン樹脂）等を用いることができる。かかるピン装着部３２は、容器本体１２の長辺に沿って形成された平坦面２０の所定箇所に取り付ける。この際に、後述する図９に示すようにピン装着部３２にピン２８が装着されたとき、ピン２８の先端部２８ａがペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される位置とする。かかる取り付けは、ネジ等の締結手段で行う。この締結手段としては、ピン装着部３２中に金属のインサート部品などでメスネジ部を設け、容器本体１２の外側からボルト固定することが、ペリクル収容容器１０内に、ネジ等の部品が露出することがなく、クリーン度維持の点から好適である。更に、ボルト固定は、樹脂ワッシャ等を介して固定するのが好ましく、特に、ピン装着部３２を容器本体１２に固定した後、更に樹脂部品同士の接線部を有機溶剤などで溶解して接着することが発塵防止の点から好ましい。

かかるピン装着部３２に図３に示すように回動可能に装着されたピン２８は、その後端部２８ｃの端部に形成した凸部２８ｄが、閉塞板４０の一面側に突設された柱状部４４の先端部と凹凸係合し、ピン２８の回動を防止している。かかる柱状部４４の先端部は、図６に示すように、コ字状の切欠部４４ａに形成されている。かかる切欠部４４ａは、図３に示すように、ピン２８の凸部２８ｄと凹凸係合するものである。この柱状部４４の切欠部４４ａと凸部２８ｄとは、ピン２８が回動してピン装着部３２に保持されたとき、図３に示すように、略水平状態となった凸部２８ｄに切欠部４４ａが凹凸係合するように位置調整されていることが好ましい。

図６に示す閉塞板４０は、図７に示す閉塞板保持部４２に保持される。閉塞板保持部４２は、蓋体１４の外側面に取付孔４２ｄ、４２ｄに挿入されるボルト等で締結される板部４２ａに凹溝４２ｂが形成されている。この凹溝４２ｂの底面に、蓋体１４に形成された開口部１４ａ（図３）と連通される貫通孔４２ｃが開口されている。かかる凹溝４２ｂは、図６に示す閉塞板４０が挿入され、その際に、閉塞体４０に突設されている柱状部４４が貫通孔４２ｃに挿入される。

図６に示す柱状部４４が突設された閉塞板４０及び図７に示す閉塞板保持部４２は、ステンレス鋼、アルミニウム合金等で製作することも可能であるが、発塵防止及び蓋体１４との密着性の観点から、ＡＢＳ樹脂（アクリルニトリルブタジエンスチレン樹脂）、ＰＰＳ樹脂（ポリフェニレンスルファイド樹脂）、ＰＯＭ樹脂（ポリオキシメチレン樹脂）、ＰＡ樹脂（ポリアミド樹脂）等を射出成型、トランスファー成型或いは機械加工によって製作することが好ましい。また、閉塞板保持部４２は、蓋体１４にボルト、ナット等のネジ締結機構、接着、或いは両者の併用で固定することが好ましい。特に、ボルト締結したうえで、閉塞板保持部４２と蓋体１４との間隙を溶剤での溶解、或いは接着剤の充填により完全に封止することが好ましい。

図５に示すピン装着部３２は、図３に示すように、中央部にペリクル１６が載置された容器本体１２の平坦面２０に取り付けられている。かかるピン装着部３２に、図８に示すようにピン２８が抜き出し可能に装着されている（図８では、容器本体１２の平坦面２０の記載を省略した）。このピン２８のピン装着部３２への装着は、蓋体１４の容器本体１２への被着前に行われ、図８に示すように、その突起部３０をＵ字溝３２ａから切欠部３２ｂに挿入すると共に、後端部２８ｃをＵ字溝３２ａに挿入する。ピン装着部３２から突出した先端部２８ａは、図３に示すように、容器本体１２に載置されたペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入される。この際に、ピン２８の段差２８ｅが、リング状の弾性体３４を介してペリクルフレーム１６ａの側面と当接する。

図８に示す状態のピン２８は、先端部２８ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６から引き抜くことができる。このため、図８に示す矢印の方向にピン２８を回動し、突起部３０を、図９に示すように、突起部３０と切欠部３２ｂの内壁面とを係止する。かかる係止によって、ピン２８はピン装着部３２に保持されて引き抜くことができなくなり、図３に示すように、ペリクル１６はペリクル収容容器１０の所定位置に固定される。

一方、突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除する際には、ピン２８を図８に示す矢印と反対方向に回動することによって、突起部３０と切欠部３２ｂとの係止を解除でき、ピン２８の先端部２８ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６から抜き出すことができる。かかる突起部３０と切欠部３２ｂとの係止又はその解除のためのピン２８の回動角は、操作性や係止の確実性の観点等から３０〜１８０度、特に４５〜９０度の範囲とすることが好ましい。このピン２８の回動は、ピン２８の後端面に形成した工具用凹部３６に六角レンチの先端部を挿入して行ってもよい。

図８に示すようにピン装着部３２にピン２８を保持した後、容器本体１２に蓋体１４を被着する。この蓋体１４には、図９に示すように、閉塞板保持部４２を構成する板部４２ａが取付孔４２ｄ、４２ｄに挿入されたボルト等で締結されている。板部４２ａに形成された凹溝４２ｂの底面に開口された貫通孔４２ｃは、蓋体１４の開口部１４ａ（図３）と連通されている。かかる貫通孔４２ｃ及び開口部１４ａは、図１０に示すように閉塞板保持部４２の凹溝４２ｂに、図６に示す閉塞板４０を挿入することによって閉塞できる。かかる貫通孔４２ｃ及び開口部１４ａの閉塞によって、ペリクル収容容器１０内を密閉状態にできる。この閉塞板４０を凹溝４２ｂに挿入する際に、閉塞体４０に突設されている柱状部４４は、貫通孔４２ｃ及び蓋体１４の開口部１４ａを通過し、図１０に示すように、その先端部に形成された切欠部４４ａとピン２８の凸部２８ｄとを凹凸係合する。かかる凹凸係合によって、ピン装着部３２に装着されたピン２８は回動できなくなり、ペリクル１６を収容・固定したペリクル収容容器１０を輸送等に供しても、ピン２８が回動してペリクル１６の固定が解除されるおそれを解消できる。図１０に示す凹溝４２ｂに挿入した閉塞板４０は、粘着テープ４８の貼着によって凹溝４２ｂから外れることを確実に防止している。

図１〜図１０に示すペリクル収容容器１０によれば、容器本体１２に取り付けられたピン装着部３２に、先端部２８ａを容器本体１２に載置したペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入しつつ、ピン２８を装着した後、ピン２８を回動することによって、ペリクル１６を容器本体１２に確実に固定できる。次いで、閉塞板保持部４２が装着された蓋体１４を容器本体１２に被着した後、蓋体１４の開口部１４ａ及び閉塞板保持部４２の貫通孔４２ｃを閉塞板４０によって閉塞し、ペリクル収容容器１０内を密閉状態とすると共に、閉塞板４０に突設されている柱状部４４の先端部の切欠部４４ａとピン２８の後端部２８ｃに形成された凸部２８ｄとが凹凸係合し、ピン２８の回動を防止する。このため、ペリクル１６が収容されたペリクル収容容器１０を輸送に供しても、輸送中の振動等によってピン２８が回動することを防止でき、輸送中にピン２８が脱落等してペリクル１６の固定が外れることを確実に防止できる。かかるペリクル収容容器１０は、密閉状態で収容したペリクル１６に破損や異物付着のおそれのない信頼性の高いものである。

また、ペリクル収容容器１０からペリクル１６を取り出す際には、最初に粘着テープ４８を剥離して閉塞板４０を閉塞板保持部４２の凹溝４２ｂから閉塞板４０を取り外す。その際に、閉塞板４０に突設されている柱状部４４も、閉塞板保持部４２の貫通孔４２ｃ及び蓋体１４の開口部１４ａから抜き出され、貫通孔４２ｃ及び開口部１４ａが解放される。次いで、解放された貫通孔４２ｃ及び開口部１４ａから六角レンチ４６を挿入し、ピン２８の後端面の工具用凹部３６に先端部を挿入した六角レンチ４６を所定角度回動することによって、ペリクル１６の固定状態を解除できる。このため、図１１に示すように、蓋体１４を容器本体１２に被着した状態でピン２８をピン装着部３２から取り外すことができる。更に、蓋体１４を開くことによってペリクル１６を容器本体１２から取り出すことができる。このため、ペリクル収容容器１０からのペリクル１６の取り出しの際に、ペリクル１６の破損や異物付着のおそれを解消しつつ、ペリクル１６の取出し作業を簡単に行うことができる。

図１〜図６に示すペリクル収容容器１０では、その長辺の各角部近傍に配設した４個のペリクル固定部１８によって、収容したペリクル１６を固定しているが、４個以上のペリクル固定部１８を設けてもよい。また、ペリクル固定部１８の配設は、ペリクル収容容器１０の短辺に沿って配設してもよく、長辺及び短辺の各辺に沿って配設してもよい。また、図６に示す閉塞板４０としては、先端部に切欠部４４ａが形成された柱状部４４が突設されているものを使用している。しかし、ペリクル１６を収容したペリクル収容容器１０を工場内での搬送等に供する際には、その搬送等が丁寧に行われるため、柱状部４４が設けられていない閉塞板４０を用いることができる。

以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
帯電防止ＡＢＳ樹脂製のシート材を用い、真空成型法により図１に示す形状の容器本体１２及び蓋体１４を製作した。容器本体１２と蓋体１４とは、その周縁部で嵌め合って係止されて、図１に示すペリクル収容容器１０を形成する。かかる蓋体１４の各長手方向の角部近傍の４箇所に開口部１４ａが形成されている。このペリクル収容容器１０容器の大きさは、外形１００５×９３７ｍｍ、高さ７０ｍｍである。成形に使用したシート材は、蓋体１４用としては透明の５ｍｍのものであり、容器本体１２用としては黒色の５ｍｍのものである。

更に、射出成型によって、ＡＢＳ樹脂を用いて図５に示すピン装着部３２と、ＰＰＳ樹脂を用いて図４に示すピン２８を製作した。ピン２８は、先端部２８ａ，中間部２８ｂ、後端部２８ｃとから形成され、中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に、ピン２８の保持手段を構成する突起部３０が形成されている。突起部３０は、先端部が先細状の傾斜面に形成されている。ピン２８の後端部２８ｃは、ピン２８に回動等を施す操作部であり、先端部２８ａ及び中間部２８ｂよりも太く形成されている。この後端部２８ｃの端面には、ピン２８の回動用の六角レンチの先端部が挿入される工具用凹部３６が形成されている。かかるピン２８において、中間部２８ｂは先端部２８ａよりも太く形成されており、ピン２８の先端部２８ａと中間部２８ｂとの境界に段差２８ｅが形成されている。この段差２８ｅには、厚さ０．５ｍｍのフッ素ゴム製のリング状の弾性体３４を取り付けた。

また、ピン装着部３２は、四面体であって、ピン２８の突起部３０及び後端部２８ｃが挿入されるＵ字溝３２ａの一端が四面体の一面側に開口されている。このＵ字溝３２ａの他端は、四面体の中央部近傍に形成された四角形状の切欠部３２ｂの内壁面の一面側に開口されている。かかる切欠部３２ｂは、ピン２８の突起部３０と保持手段を構成し、ピン２８の中間部２８ｂと後端部２８ｃとの間に形成された突起部３０が回動可能に挿入される。更に、切欠部３２ｂの内壁面であって、Ｕ字溝３２ａの他端が開口された一面側に対応する他面側には、ピン２８の先端部２８ａ及び中間部２８ｂが挿通される孔３２ｃが開口されている。かかるピン装着部３２の下面側には、横銅製のインサートナット（図示せず）を４箇所設けた。

図６に示す閉塞板４０と、図７に示す閉塞板保持部４２とを、帯電防止ＰＯＭ樹脂を用いて機械加工により製作した。閉塞板４０には、先端部に切欠部４４ａが形成された柱状部４４が突設されている。また、閉塞板保持部４２は、板部４２ａに形成した取付孔４２ｄ，４２ｄと、蓋体１４に機械加工で穿設した穿設孔（図示せず）とを利用してボルト及び袋ナット（図示せす）で締結した。このナットは、蓋体１４の内側に設置し、ナット外面は全てＡＢＳ樹脂で被覆されたものを用いた。ナット締結後、ナット周辺はシール性向上と緩み防止を図るべく、有機溶剤（ＭＥＫ）で溶解し接着した。更に、蓋体１４の外面に当接する板部４２ａの当接面は、蓋体１４との間隙に接着剤（商品名；ＭＯＳ８、コニシ株式会社）を充填し、シール性を確保した。このように蓋体１４に閉塞板保持部４２を取り付ける際に、閉塞板保持部４２の凹溝４２ｂの底面に機械加工で形成した貫通孔４２ｃと、蓋体１４の開口部１４ａとが一致するように位置調整を行った。このように形成した容器本体１２と蓋体１４とをＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で良く洗浄した後、完全に乾燥させた。

かかるペリクル収容容器１０の製造と別途に、クリーンルーム内で、外寸９１０×７５０ｍｍ、内寸９０２×７４０ｍｍ、高さ７．０ｍｍのペリクル１６を製作した。このペリクル１６は、炭素鋼Ｓ４５Ｃ製のペリクルフレーム１６ａ（厚さ５．８ｍｍ、表面黒色クロームメッキ）の一面側に、厚さ３μｍのフッ素樹脂から成るペリクル膜１６ｂをシリコーン粘着剤で貼着し、且つペリクルフレーム１６ａの他面側にマスク粘着層２４を形成した。また、ペリクルフレーム１６ａの各長辺に、８６０ｍｍの間隔で直径２．５ｍｍ×深さ１．８ｍｍの凹部２６を２個所設けた。

このペリクル１６を暗室内での集光ランプによる異物検査した後、容器本体１２の中央部に載置し、図８に示すようにピン２８をピン装着部３２に装着し、ピン２８の先端部２８ａを対応するペリクルフレーム１６ａの凹部２６内に挿入した。更に、ピン２８を回動して、ピン２８の突起部３０とピン装着部３２の切欠部３２ｂとを係止し、ピン２８をピン装着部３２に固定した。次いで、図９に示すように容器本体１２に蓋体１４を被着した後、図１０に示すように閉塞板保持部４２の凹溝４２ｂに、図６に示す閉塞板４０を挿入した。その際に、閉塞体４０に突設されている柱状部４４は、貫通孔４２ｃ及び蓋体１４の開口部１４ａを通過し、図１０に示すように、柱状部４４の先端部に形成された切欠部４４ａとピン２８の凸部２８ｄとを凹凸係合した。かかる閉塞板４０をＰＶＣ粘着テープ４８によって閉塞板保持部４２に固定した。

更に、ペリクル１６を収容するペリクル収容容器１０の周縁部を幅３５ｍｍのＰＶＣ製粘着テープ（図示せず）にて貼り付け固定した後、ウレタン製クリップ（図示せず）を各長辺に２箇所ずつ取り付けた。そして、最後に、内部を清浄にクリーニングした帯電防止ＰＥ製袋にて２重に梱包し、内部にクッション材を配した強化ダンボール製梱包箱（図示せず）に収納した。

このようにペリクル収容容器１０を梱包した強化ダンボール製梱包箱を、群馬から福岡まで（群馬県⇔東京はトラック、東京⇔福岡間は航空機）を往復させる輸送テストを行った。輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、容器本体１２に蓋体１４を被着した状態でペリクル収容容器１０の内部の確認を行った。ピン２８はピン装着部３２に確実に保持され、その先端部２８ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入されたままで、ペリクル１６は確実に容器本体１２に固定されていた。そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したが、ペリクル固定部１８付近及び容器本体１２上に異物の発生は見られなかった。

更に、粘着テープ４８を剥離し、閉塞板４０を閉塞板保持部４２の凹溝４２ｂから取り外すと共に、柱状部４４を閉塞板保持部４２の貫通孔４２ｃ及び蓋体１４の開口部１４ａから引き抜いた。次いで、解放された貫通孔４２ｃ及び蓋体１４から六角レンチ４６を挿入し、ピン２８の後端面の工具用凹部３６に先端部を挿入して回動し、ピン２８の突起部３０とピン装着部３２の切欠部３２ｂとの係止を解除した。更に、図１１に示すように貫通孔４２ｃ及び蓋体１４からピン２８を引き抜いた後、容器本体１２から蓋体１４を取り外して開封し、ペリクル１６を取り出した。取り出したペリクル１６を暗室内に搬送して集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル１６に異物の付着は全く見られず、極めて清浄な状態が維持されていた。

（比較例１）
図１２に示すペリクル固定部１００を製作した。図１２に示すペリクル固定部１００を構成するピン１０２は、ＰＰＳ樹脂製の円柱状部材によって形成されており、先端部１０２ａ、中間部１０２ｂ及び後端部１０２ｃから成る。太さは、先端部１０２ａ＜中間部１０２ｂ＜後端部１０２ｃの順序であり、先端部１０２ａと中間部１０２ｂとの境界に段差が形成されており、フッ素ゴム製のリング状の弾性体１０６が装着されている。かかるピン１０２には、図５に示すピン２８に形成されていた突起部３０は形成されていない。このピン１０２が装着されるピン装着部１０４は、ＡＢＳ樹脂を用いて射出成型によって形成した。ピン装着部１０４は、ピン２８の先端部１０２ａ及び中間部１０２ｂの一部が通過可能であって、中間部１０２ｂの残部及び後端部１０２ｃが挿入される貫通孔１０８が形成されている。かかるピン装着部１０４には、図５に示すピン装着部３２のように、Ｕ字溝３２ａ及び切欠部３２ｂは形成されていない。このため、ピン装着部１０４では、貫通孔１０８に挿入したピン１０２が、その外壁面と貫通孔１０８の内壁面との摩擦力でピン２８が固定されるように、貫通孔１０８の内径がピン１０２の挿入方向に次第に小径に形成されている。このように図１２に示すペリクル固定部１００は、ピン装着部１０４の貫通孔１０８に、摩擦力でピン１０２が固定される。

図１２に示すペリクル固定部１００を実施例１と同様にして容器本体１２に取り付けた。次いで、容器本体１２に載置したペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、ペリクル固定部１００を構成するピン１０２の先端部１０２ａを挿入し、ペリクル１６を容器本体１２に固定した。更に、容器本体１２に蓋体１４を被着してペリクル１６を収容したペリクル収容容器１０を形成した。その後、実施例１と同様にして、ペリクル収容容器１０を梱包し輸送試験を行った。

輸送後のペリクル収容容器１０をクリーンルームに搬入し、内部の確認を行った。すると、ペリクル１６は容器本体１２上に留まっていたが、４箇所のペリクル固定部１００のうち、１箇所でピン１０２がピン装着部１０４から抜け掛かっているのが確認された。また、その先端部１０２ａもペリクルフレーム１６ａの凹部２６から抜けており、先端部１０２ａがペリクルフレーム１６ａの外面に擦れて直径数十μｍの異物が数十個付着していた。また、そのままの状態で、集光ランプを照射して容器本体１２上の発塵状況を確認したところ、抜けかかっていたペリクル固定部１００と対向するペリクル固定部１００の周辺でも異物の付着が見られた。更に、ピン１０２について、ニトリル製グローブをした手でピン装着部１０４より注意深く引き抜き、ペリクル１６を暗室内に搬送して集光ランプにより表面に付着した異物の検査を行った。その結果、ペリクル膜１６ｂ上に直径１０〜２０μｍ程度の異物が１２個付着していた。また、それらのうち約半数はペリクル固定部１００の周辺に分布していた。

本発明に係るペリクル収容容器は、半導体装置用のペリクルの収容容器として用いることができ、半導体装置用のペリクルよりも大型の液晶用のペリクルの収容容器として用いることができる。

１０はペリクル収容容器、１２は容器本体、１２ａはリブ、１４は蓋体、１４ａは開口部、１６はペリクル、１６ａはペリクルフレーム、１６ｂはペリクル膜、１８，１００はペリクル固定部、２０は平坦面、２２はライナー、２４はマスク粘着層、２６は凹部、２８，１０２はピン、２８ａ，１０２ａは先端部、２８ｂ，１０２ｂは中間部、２８ｃ，１０２ｃは後端部、２８ｄは凸部、２８ｅは段差、３０は突起部、３２，１０４はピン装着部、３２ａはＵ字溝、３２ｂは切欠部、３２ｃは孔、３４，１０６は弾性体、３６は工具用凹部、４０は閉塞板、４２は閉塞板保持部、４２ａは板部、４２ｂは凹溝、４２ｃは貫通孔、４２ｄは取付孔、４４は柱状部、４４ａは切欠部、４６は六角レンチ、４８は粘着テープ、１０８は貫通孔である。

Claims (7)

1. ペリクル膜がペリクルフレームに貼着されたペリクルが載置される容器本体と、前記ペリクルを被覆するように前記容器本体の周縁部で嵌め合い係止される蓋体とから構成されるペリクル収容容器であって、
   前記ペリクル収容容器には、前記容器本体に載置された前記ペリクルフレームの外側面に形成された凹部に、先端部が挿入された状態で回動可能のピンと、前記容器本体に装着され、前記ペリクルフレームの凹部から前記先端部が抜き出し可能に前記ピンが装着されるピン装着部と、前記容器本体に被着された前記蓋体の外側から前記ピン装着部の前記ピンを回動できるように前記蓋体に形成された開口部と、前記開口部の閉塞部材とを備えたペリクル固定部が複数個設置され、
   前記ピン装着部に装着され、前記先端部が前記ペリクルフレームの凹部に挿入された前記ピンを所定角度回動したとき、前記ピンの先端部が前記凹部から抜け出なくするように、前記ピンを保持するピン保持手段が設けられていることを特徴とするペリクル収容容器。
2. 前記ピン保持手段が、前記ピンに形成されている突起部と、前記ピン装着部に形成され、前記ピンが所定角度回動して前記突起部と係止する切欠部とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収容容器。
3. 前記容器本体に被着された前記蓋体の開口部を閉塞する前記閉塞部材には、前記容器本体に載置された前記ペリクルフレームの凹部に先端部が挿入された前記ピンの回動を防止する回動防止部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収容容器。
4. 前記回動防止部が、前記蓋体の開口部を閉塞する閉塞板に突設された柱状部と、前記柱状部の先端部に形成された、前記ピンの後端部と係合する係合部と、前記蓋体に設けられ、前記開口部に前記柱状部が挿入された前記閉塞板を保持する閉塞板保持部とから構成されていることを特徴とする請求項３に記載のペリクル収容容器。
5. 前記ピンが３０〜１８０度回動したとき、前記ピンの突起部と前記ピン装着部の切欠部とが係止されることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収容容器。
6. 前記ピンの先端部に、前記ペリクルフレームとの当接の緩衝部材としての弾性体が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。
7. 前記ピンの後端面に、前記ピンの回動用の工具が挿入される工具用凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のペリクル収容容器。

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