KR20160101661A

KR20160101661A - 펠리클 수납 용기

Info

Publication number: KR20160101661A
Application number: KR1020160009839A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2015-02-17
Filing date: 2016-01-27
Publication date: 2016-08-25
Also published as: TWI574102B; TW201635011A; JP2016151633A; CN105883122A

Abstract

(과제) 본 발명의 목적은 경시적인 치수 변화가 작고, 장기간 사용해도 내부의 청정도가 저하하지 않는 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형 펠리클에 바람직한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
(해결수단) 본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기(10)로서, 펠리클을 재치하는 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)가 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. 그리고, 본 발명에서 사용하는 수지 재료는 그 흡수율이 30일 경과 후에 0.5% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜)인 것이 바람직하고, 그 펠리클 수납 용기 본체(11)는 수지 재료 대신에 금속 재료로 구성되어 있어도 좋다.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, IC 패키지, 프린트 기판, 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지막이로서 사용되는 펠리클의 수납 용기로서, 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형 펠리클에 바람직한 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.

LSI, 초 LSI 등의 반도체 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 유리판에 자외광을 조사해서 패턴을 제작하지만 이 때에 사용하는 포토마스크에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 자외광을 차단하거나, 반사하기 때문에 전사된 패턴의 변형, 단락 등이 발생하여 품질이 손상된다는 문제가 있다.

이 때문에 이들의 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만 그런데도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지막이로서 펠리클을 접합한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피 시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계해진다.

이 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막을 알루미늄, 스테인리스강, 엔지니어링 플라스틱 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 접착해서 구성된다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성된다.

한편, 이러한 펠리클 특히, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형 펠리클을 수납하기 위한 펠리클 수납 용기는 펠리클을 재치하는 펠리클 수납 용기 본체와 그것에 둘레 가장자리부에서 감합하여 밀봉하는 뚜껑체의 부재로 구성되어 있다. 그리고, 이들 부재는 두께 2~8㎜ 정도의 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형함으로써 제작되고 있지만 이 제법은 대형의 것도 일체 성형할 수 있기 때문에 내부에 발진(發塵)원이 적은 것에 더불어 생산성이 높고 저비용으로 제조할 수 있다는 이점이 있다.

펠리클 수납 용기 본체는 부착된 이물의 시인성 향상을 위해 흑색이 좋다고 되어 있고, 또한 뚜껑체는 내부에 수납한 펠리클을 시인할 수 있도록 투명 또는 유색반투명이 좋다고 되어 있다(특허문헌 1 참조). 그리고, 이러한 관점으로부터 대부분의 경우, 수납 용기 본체의 소재로서는 ABS 수지가, 또한 뚜껑체의 소재로서는 ABS 수지 또는 아크릴 수지가 사용되고 있다.

그리고, 최근의 디스플레이 패널의 대형화에 따라 펠리클의 사이즈의 대형화도 진행되고, 그 변 길이가 1000㎜를 초과하는 것도 많이 사용되도록 되어 오고 있지만 그 한편으로 펠리클의 대형화에 따라 펠리클 수납 용기에 대해서는 그 경시적인 치수 변화의 문제가 현저해지고 있다. 그 때문에 예를 들면 특허문헌 2에는 이 대책으로서 수지제 용기 본체와 조합하는 보강체의 구조가 제안되어 있다.

그러나, 펠리클 수납 용기의 경시적인 치수 변화는 성형 전의 소재 자체의 성질, 흡습, 성형 시에 발생한 내부 응력의 완화, 또한 온도 등의 사용 환경조건에 의한 것 등 다양한 요인이 복합화되어 생기는 것으로 생각되기 때문에 그 해결이 곤란하다는 문제가 있다.

일본 특허 공개 2001-100394 일본 특허 공개 2013-205690

그리고, 이 경시적인 치수 변화가 생겨 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체의 감합이 어긋나면 그들의 간극이 커져 외부로부터 펠리클 수납 용기 내에 이물이 침입하는 것 이외에 스크래치가 생겨 발진될 우려가 있다. 또한, 펠리클을 고정하기 위해서 내부에 위치 결정 수단을 갖는 펠리클 수납 용기에서는 그 치수 변화에 의해 위치가 정규 위치로부터 벗어나 버리기 때문에 펠리클을 수납할 수 없게 되는 사태가 발생하거나, 덜컹거림이 커져 이물이 발생하기 쉬워진다는 문제가 있다.

그래서, 본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로서 그 목적은 경시적인 치수 변화가 작고, 장기간 사용해도 내부의 청정도가 저하하지 않는 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 대형 펠리클에 바람직한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 행한 결과, 경시적인 치수 변화에 영향을 미치는 다양한 요인 중에서 특히 펠리클 수납 용기에 사용되는 소재의 흡수율이 경시적인 치수 변화에 크게 영향을 주는 것이 판명되었다. 그래서, 소재의 흡수율에 대해서 검토를 거듭한 바, 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료의 경우에 경시적인 치수 변화를 매우 작게 제어할 수 있는 것을 지견하여 본 발명에 이른 것이다.

즉, 본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 펠리클을 재치하는 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체가 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 펠리클 수납 용기에서는 그 뚜껑체는 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료로 구성되고, 그 본체는 수지 재료 대신에 금속 재료로 구성되어 있어도 좋다. 그리고, 본 발명에서 사용하는 수지 재료는 그 흡수율이 30일 경과 후에 0.5% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜)인 것이 바람직하다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면 펠리클 수납 용기의 경시적인 치수 변화가 매우 작아 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체의 감합이 적절하게 유지됨과 아울러 펠리클 수납 용기 내에 설치한 펠리클 고정 부품의 위치 변동도 없기 때문에 수납한 펠리클의 청정도를 장기간에 걸쳐 유지할 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 도 1의 AA 단면도이다.
도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 개요를 나타내는 도 1의 BB 단면도이다.
도 4는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 뚜껑체를 떼어낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 사시도이다.

이하, 본 발명의 일실시형태를 도면에 의거하여 상세히 설명하지만 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

본 발명은 경시적인 치수 변화에 의한 내부의 청정도 저하가 문제가 되는 모든 펠리클 수납 용기에 적용할 수 있지만 특히, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 매우 대형인 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서 바람직한 것이다.

본 발명의 펠리클 수납 용기(10)는 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)로 구성되어 있다. 펠리클 수납 용기 본체(11)는 펠리클(20)을 재치하는 것이며, 뚜껑체(12)는 펠리클 수납 용기 본체(11)에 둘레 가장자리부에서 감합하여 밀폐함으로써 펠리클(20)을 외부의 진애로부터 보호하는 것이다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 재치되는 펠리클(20)은 프레임 측면에 형성된 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 삽입한 핀(13)과, 그 핀을 지지하는 핀 지지 수단(14)으로 이루어지는 고정 수단에 의해 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 고정되어 있다.

본 발명의 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 뚜껑체(12)의 소재는 JIS K7209(A 법, 24h, 소재 두께 3㎜)의 측정 방법에 있어서 흡수율 0.2% 이하의 수지 재료이다. 흡수는 수지 재료를 구성하는 분자의 메시 중에 수분이 침입하는 현상이지만 흡수율이 0.2%를 초과하는 것에서는 특히 치수 변화가 커져 바람직하지 않다. 이러한 흡수율의 조건을 만족하는 수지 재료로서는 경질 PVC, PE, PP, PC 등을 들 수 있다. 또한, ABS 등 흡수율이 큰 재료이어도 필러를 혼입함으로써 흡수율을 저하시킬 수도 있다.

또한, 이 소재는 그 흡수율이 장기적으로도 낮은 것이 요구되기 때문에 JIS K7209(A법, 소재 두께 3㎜)의 측정 방법에 있어서 30일 경과 후에 0.5% 이하의 수지 재료인 것이 보다 바람직하다. 펠리클 수납 용기는 습도가 있는 환경 하에서 사용되는 것이며, 아무리 흡수성이 낮은 재료를 사용해도 흡수 자체를 피할 수는 없다. 펠리클 수납 용기를 제조한 후에 시간의 경과와 함께 흡수는 진행되므로 실제 펠리클 수납 용기는 수분량이 거의 포화된 상태에서 사용되게 된다. 이 포화된 상태의 흡수율이 낮고, 또한 초기 흡수율과의 차가 작으면 치수 안정성이 높다고 생각할 수 있다. 그 기준으로서 30일 경과 후에 0.5% 이하의 흡수율로 하는 것이 좋다. 그리고, 이 조건을 만족하는 수지 재료로서는 상기한 것과 마찬가지로 경질 PVC, PE, PP, PC 등을 들 수 있다.

그리고, 이 소재를 사용한 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 뚜껑체(12)는 두께 2~8㎜의 수지판을 진공 성형 또는 압공 성형해서 제작되면 품질이나 비용의 점으로부터 바람직하다.

펠리클 수납 용기(10)의 경시적인 치수 변화의 요인으로서는 여러가지의 것을 들 수 있지만 그 중에서도 펠리클 수납 용기(10)에 사용되는 소재의 흡수율이 경시적인 치수 변화에 크게 영향을 미치는 점에서 본 발명의 조건을 만족하는 수지 재료를 사용하면 경시적인 치수 변화를 대폭 저감시킬 수 있다. 그 결과, 장기간에 걸쳐 펠리클 수납 용기의 감합 상태나 펠리클의 고정 상태가 변동없이 유지됨과 아울러 펠리클 수납 용기 내의 청정도를 유지할 수 있으므로 실용상 지장이 없는 펠리클 수납 용기로서 수납한 펠리클의 품질을 양호하게 유지할 수 있다.

본 발명의 수지 재료로서는 그 흡수율이 상기 범위인 것 외에 이물 부착을 줄이기 위해 수지 중에 대전방지 성분을 혼련하거나, 그 표면에 도장하거나 해서 대전방지 성능을 갖게 한 것이 바람직하다. 또한, 할로겐 화합물 등의 난연제를 첨가하거나 해서 난연성을 부여시킨 것으로 하거나, 수지 자체가 난연성을 갖는 것도 바람직하다.

본 발명과 같이 적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 경우, 가연물로서의 용적, 중량도 크기 때문에 그 소재가 난연성이면 안전상에서도 이점이 있다. 이들의 조건을 만족하는 바람직한 수지로서는 예를 들면 PC, 무기 필러를 혼입한 PVC나 ABS 등을 들 수 있다.

또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 및 뚜껑체(12)에는 필요에 따라 리브 등의 보강 구조를 설치할 수 있고, 금속 또는 수지제의 보강 수단, 취급을 위한 핸들이나, 뚜껑체를 고정하는 버클 등을 설치하는 것도 좋다.

또한, 펠리클 변 길이가 1500㎜를 초과하는 매우 대형인 경우는 펠리클 수납 용기에 특히 강성이 요구되기 때문에 뚜껑체(12)만을 수지제로 하고, 펠리클 수납 용기 본체(11)를 금속제로 하는 것이 특히 바람직하다. 펠리클 수납 용기 본체(11)를 금속제로 하는 경우는 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경량 재료 외 철강, 스테인리스강 등의 고강성 재료를 사용할 수 있다.

그리고, 이 경우의 성형 가공 방법으로서는 박판을 벤딩 가공, 프레스 성형, 용접하거나 해서 조형하거나, 또는 주조를 이용해도 좋다. 그 표면은 방청, 발진 방지를 위한 도장을 실시하는 것이 바람직하고, 특히, 대전방지 성능을 부여하는 것에 더불어 부착 이물의 시인성 향상을 위해 흑색으로 되어 있는 것이 바람직하다.

펠리클 수납 용기 본체(11)에 펠리클(20)을 고정하기 위한 고정 수단으로서는 공지의 여러가지 방법을 적용할 수 있다. 도 4에 나타내는 실시형태에서는 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 핀 지지 수단(14)을 설치하고, 그것에 지지된 핀(13)을 펠리클 프레임 측면에 설치한 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 삽입함으로써 펠리클(20)을 고정하고 있지만 이 외의 공지의 방법이어도 좋다.

또한, 도 4에 나타내는 실시형태에서는 펠리클 프레임(21)의 하면에 마스크 점착층(22)이 형성되고, 그 아래에는 마스크 점착층(22)을 보호하는 세퍼레이터(23)가 부착되어 있지만 마스크 점착층(22)이 펠리클 수납 용기 본체(11)에 접촉하지 않도록 펠리클 프레임(21)을 지지하는 수단 등을 별도 설치하여 세퍼레이터를 생략한 구성으로 하는 것도 좋다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 상세히 설명한다.

실시예에서는 우선, 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)를 두께 5㎜의 PC(폴리카보네이트)판으로 진공 성형으로 제조했지만 이 진공 성형에 앞서 이 폴리카보네이트판으로부터 60×60㎜의 샘플을 잘라내어 편면을 절삭해서 두께 3㎜로 마무리한 후에 JIS K7209(A법, 24h)에 따라 24h 후의 흡수율을 측정한 결과, 그 값은 0.15%이었다. 또한, 30일 후의 흡수율을 측정한 결과, 그 값은 0.34%이었다.

이어서, 진공 성형 후의 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)에 대해서는 그 주위를 ＮC 루터로 절삭 가공해서 마무리하고, 그 표면에 대전방지 도료(상품명; SEPLEGYDA, Shin-Etsu Polymer Co.,Ltd.)를 도포해서 경화시켰다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 핀 지지 수단(13)을 외면으로부터 볼트 고정(도시하지 않음)으로 부착했다. 이렇게 제작한 펠리클 수납 용기(10)의 치수는 외측 치수 1100×1280×높이 120㎜이다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)의 감합부는 각 변과도 그 간극이 0.3~0.5㎜가 되도록 조정했다.

한편, 본 발명의 펠리클 수납 용기(10)에 수납하는 펠리클(20)을 다음의 사양으로 제작했다. 즉, 펠리클 프레임(21)은 A5052 알루미늄 합금을 기계 절삭으로 가공한 것이며, 그 치수를 외측 치수 910×1130㎜, 내측 치수 890×1110㎜, 높이 5.8㎜로 해서 그 표면에는 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 또한, 각 장변 중앙 부근에는 직경 1.5㎜의 통기공을 4개소(도시하지 않음), 각 변의 각부 부근에 직경 2.5㎜의 비관통의 지그 구멍(도시하지 않음)을 형성했다.

이어서, 이 펠리클 프레임(21)의 하면에는 마스크 점착층(22)으로서 실리콘 점착제(상품명; KR-3700, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)를 두께 1.3㎜로 형성하고, 그 표면에는 이형제를 도포한 PET 필름으로 이루어지는 세퍼레이터(23)를 부착했다. 또한, 펠리클 프레임(21) 측면의 통기공은 PTFE 다공질막제의 필터를 아크릴 점착제로 붙였다(도시하지 않음). 또한, 펠리클 프레임(21)의 상면에는 펠리클 막 접착층(24)으로서 실리콘 점착제(상품명; KR-3700, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)를 도포하고, 그 위에 불소 수지(상품명; CYTOP, Asahi Glass Co., Ltd.)로 이루어지는 두께 4.5㎛의 펠리클 막(25)을 설치했다.

이렇게 제작한 펠리클(20)을 이물 검사한 다음 핀(13)과 핀 지지 수단(14)으로 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 고정하여 뚜껑체(12)로 밀폐했다. 그 후에 감합부 주위를 PVC제 점착 테이프로 시일하고, 대전방지 폴리에틸렌제 자루로 패킹했다. 또한, 펠리클(20)을 수납할 때에 펠리클 수납 용기(10)를 Class 10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수로 잘 세정처리하여 건조시켰다.

최후에 이렇게 펠리클(20)을 수납한 펠리클 수납 용기(10)를 실온 22~28℃, 습도 30~55%의 범위로 공기 조절된 실내에 반송하여 1년간 정치 보관했다.

그리고, 1년 후에 이 펠리클 수납 용기(10)를 Class 10의 클린룸에 반입하고, 언패킹하여 내부의 상황을 확인한 결과, 펠리클 수납 용기 본체(11)와 뚜껑체(12)의 감합 상태에 특별히 문제가 없어 스무스하게 개폐를 할 수 있었다. 또한, 감합부 주변을 할로겐 램프로 조사하면서 목시 관찰한 결과, 특히 강하게 스친 흔적 등은 보여지지 않았다. 또한, 수납한 펠리클(20)의 이물 검사를 행한 결과, 부착 이물이나 손상은 전혀 보여지지 않고 정상인 상태가 유지되어 있었다.

(비교예)

비교예에서는 우선 실시예와 모두 마찬가지로 해서 펠리클 수납 용기를 제조했다. 이 비교예는 펠리클 수납 용기 본체의 재질에 두께 5㎜의 ABS(아크릴로니트릴 부타디엔 스티렌) 수지를, 또한 뚜껑체에 두께 5㎜의 PMMA(아크릴) 수지를 사용하고 있는 점만이 실시예와 다르다. 또한, 성형에 사용한 금형은 각 소재의 열팽창률에 맞춰 치수의 미세 조정을 행하고, 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체의 간극이 각 변에 있어서 0.3~0.5㎜가 되도록 조정했다.

그리고, 이 비교예의 펠리클 수납 용기에 대해서도 상기 실시예와 같은 공정으로 1년간 보관 시험을 행했다. 즉, 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체의 성형에 앞서 이 소재의 흡수율을 JIS K7209(A법)에 따라 측정한 결과, 펠리클 수납 용기 본체에 사용한 ABS 수지는 24h 후에 0.3%이며, 30일 후에 0.8%이었다. 한편, 뚜껑에 사용한 아크릴 수지는 24h 후에 0.3%이며, 30일 후에 1.6%이었다.

이어서, 실시예와 같은 사양의 펠리클을 이물 검사한 다음, 핀과 핀 지지 수단으로 펠리클 수납 용기 본체 상에 고정하여 뚜껑체로 밀폐했다. 그리고, 감합부 주위를 PVC제 점착 테이프로 시일하고, 대전방지 폴리에틸렌제 자루로 패킹했다. 또한, 펠리클(20)을 수납할 때에 펠리클 수납 용기(10)를 Class 10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수로 잘 세정처리하여 건조시켰다. 그리고, 이 펠리클 수납 용기를 실시예와 같이 실온 22~28℃, 습도 30~55%의 범위로 공기 조절된 실내에 반입하여 1년간 정치 보관했다.

그리고, 1년 후에 이 패킹체를 Class 10의 클린룸에 반입하고, 언패킹하여 내부의 상황을 확인한 결과, 뚜껑체와 펠리클 수납 용기 본체의 감합이 강하게 되어 있었다. 또한, 뚜껑체는 그 일부가 휘어 오르고, 주위를 시일한 점착 테이프를 떼어내면서 펠리클 수납 용기 본체로부터 약간 솟아 올라와 있는 상황이었다. 그리고, 떼어낸 뚜껑체의 치수를 확인한 결과, 장변방향으로 약 5㎜, 단변방향으로 약 4㎜의 신장이 관찰되었다. 펠리클 수납 용기 본체에서는 장변방향으로 약 1.5㎜, 단변방향도 약 1.5㎜의 신장이 관찰되었다.

또한, 수납한 펠리클(20)의 이물 검사를 행한 결과, 막 면에 φ3~5㎛의 이물이 다수이며, φ10~20㎛의 이물이 5개 부착되어 있었지만 이것은 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체의 감합의 악화에 의해 펠리클 수납 용기의 내외가 통기되어 내부가 오염되어진 것이 원인이라고 추찰되었다. 또한, 핀을 삽입하고 있던 펠리클 프레임의 지그 구멍 둘레 가장자리부에는 다수의 분진이 부착되어 있었지만 이것은 펠리클 수납 용기 본체의 치수 변화에 의해 핀의 감합 위치가 어긋나 펠리클 프레임과 스침이 발생한 것이 원인이라고 추찰되었다.

10 펠리클 수납 용기 11 펠리클 수납 용기 본체
12 뚜껑체 13 핀
14 핀 지지 수단 20 펠리클
21 펠리클 프레임 22 마스크 점착층
23 세퍼레이터 24 펠리클 막 접착층
25 펠리클 막

Claims

적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 상기 펠리클을 재치하는 펠리클 수납 용기 본체와, 그 둘레 가장자리부에서 감합하여 밀폐하는 뚜껑체로 이루어지고, 상기 펠리클 수납 용기 본체와 뚜껑체는 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
적어도 하나의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기로서, 상기 펠리클을 재치하는 펠리클 수납 용기 본체와, 그 둘레 가장자리부에서 감합하여 밀폐하는 뚜껑체로 이루어지고, 상기 펠리클 수납 용기 본체는 금속 재료로 구성되고, 상기 뚜껑체는 흡수율 0.2% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜, 24h)의 수지 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 수지 재료는 그 흡수율이 30일 경과 후에 0.5% 이하(JIS K7209, A법, 소재 두께 3㎜)인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.