JP2013205690A - ペリクル収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクル12載置する四角形の樹脂製の容器本体14と、その周縁部で嵌め合い係止してペリクル12を覆う樹脂製の蓋体16とを具備し、容器本体14の外周縁に沿って形成された凸状リブ18の突出面18aがペリクル12の載置面に形成されているペリクル収納容器10であって、容器本体14の外側底面で且つその外周縁と凸状リブ18との間に取り付けられた補強体が、前記外周縁の各辺に沿って固着された直棒状体26aを含む大きさが調整可能の枠状体、或いは容器本体14の各角部に互いに独立して固着されたL字状体である。
【選択図】図1
Description
ステンレス鋼(SUS304)製のコ字状の取手37を取り付けた。L字状体26c,26dは、ステンレス鋼(SUS304)の冷間圧延板(厚さ3mm)を曲げ加工し、角部を平面36に形成すると共に、ネジ孔として長孔32を形成した。更に、直棒状体26a,26bを容器本体14に取り付ける取付ボルト28としては、ステンレス鋼(SUS304)製の六角孔付きボルトをABS樹脂中にインサート成形して製作したフランジ付き六角ボルトを用いた。
Claims (8)
- ペリクルを載置する四角形の樹脂製の容器本体と、その周縁部で嵌め合い係止して前記ペリクルを覆う樹脂製の蓋体とを具備し、
前記容器本体の外周縁に沿って形成された凸状リブの突出面が前記ペリクルの載置面に形成されているペリクル収納容器であって、
前記容器本体の外側底面で且つその外周縁と前記凸状リブとの間に取り付けられた補強体が、前記外周縁の各辺に沿って固着された直棒状体を含む大きさが調整可能の枠状体、或いは前記容器本体の各角部に互いに独立して固着されたL字状体であることを特徴とするペリクル収納容器。 - 前記枠状体が、前記直棒状体と前記容器本体の角部に配置されたL字状体とから構成され、前記枠状体の大きさが調整可能となるように前記直棒状体とL字状体との取付位置が変更可能であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル収納容器。
- 前記L字状体は、その角部が平面又は曲面となるように形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のペリクル収納容器。
- 前記ペリクルが、少なくとも一辺の長さが500mm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記補強体の底面と前記容器本体の外側底面とが面一であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記凸状リブで囲まれた容器本体の底面領域の各角部に、前記角部を形成する二本の凸状リブに両端部が接続される角部リブが形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記容器本体の互いに対向する辺に取り付けられた前記補強体に、前記ペリクル収納容器の搬送に用いられる把持手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記容器本体の外側底面の全体を覆う板体が装着されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012075891A JP5684752B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ペリクル収納容器 |
KR1020130005756A KR102018069B1 (ko) | 2012-03-29 | 2013-01-18 | 펠리클 수납 용기 |
TW102111032A TWI472871B (zh) | 2012-03-29 | 2013-03-28 | 防塵薄膜組件收納容器 |
CN201310106835.0A CN103359356B (zh) | 2012-03-29 | 2013-03-29 | 防尘薄膜组件收纳容器 |
HK13112839.5A HK1185325A1 (en) | 2012-03-29 | 2013-11-15 | A storage container for dustproof thin-film components |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012075891A JP5684752B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205690A true JP2013205690A (ja) | 2013-10-07 |
JP5684752B2 JP5684752B2 (ja) | 2015-03-18 |
Family
ID=49361794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012075891A Active JP5684752B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ペリクル収納容器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5684752B2 (ja) |
KR (1) | KR102018069B1 (ja) |
CN (1) | CN103359356B (ja) |
HK (1) | HK1185325A1 (ja) |
TW (1) | TWI472871B (ja) |
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- 2013-03-29 CN CN201310106835.0A patent/CN103359356B/zh active Active
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TW201346435A (zh) | 2013-11-16 |
JP5684752B2 (ja) | 2015-03-18 |
HK1185325A1 (en) | 2014-02-14 |
KR102018069B1 (ko) | 2019-09-04 |
CN103359356A (zh) | 2013-10-23 |
KR20130111257A (ko) | 2013-10-10 |
TWI472871B (zh) | 2015-02-11 |
CN103359356B (zh) | 2015-11-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
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