KR20130111257A

KR20130111257A - 펠리클 수납 용기

Info

Publication number: KR20130111257A
Application number: KR1020130005756A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2012-03-29
Filing date: 2013-01-18
Publication date: 2013-10-10
Also published as: TWI472871B; TW201346435A; JP2013205690A; CN103359356B; HK1185325A1; CN103359356A; KR102018069B1; JP5684752B2

Abstract

(과제) 시간에 따라 변화한 수지제의 용기 본체에 필요 최소한의 보강체를 부착한 경량이고 또한 고강성인 펠리클 수납 용기를 제공한다.
(해결 수단) 펠리클(12)을 적재하는 사각형 수지제의 용기 본체(14)와, 그 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되어 펠리클(12)을 덮는 수지제의 덮개체(16)를 구비하고, 용기 본체(14)의 외주 가장자리를 따라 형성된 볼록 형상 리브(18)의 돌출면(18a)이 펠리클(12)의 적재면에 형성되어 있는 펠리클 수납 용기(10)로서, 용기 본체(14)의 외측 저면이고 또한 그 외주 가장자리와 볼록 형상 리브(18) 사이에 부착된 보강체가 상기 외주 가장자리의 각 변을 따라 고착된 직봉형상체(26a)를 포함하는 크기가 조정 가능한 프레임 형상체, 또는 용기 본체(14)의 각 코너부에 서로 독립하여 고착된 L자 형상체이다.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.

LSI나 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하는 리소그래피의 작업이 행하여진다. 이 때에, 포토마스크 또는 레티클에 먼지가 부착되어 있으면 전사한 패턴이 변형되거나 엣지가 매끄럽지 못한 것으로 되는 것 이외에, 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등의 현상이 발생할 경우가 있다. 먼지가 광을 흡수하거나 광을 외곡해 버리기 때문이다. 이 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것은 어려워 투명한 펠리클막이 펠리클 프레임에 점착된 펠리클이 사용되고 있다. 예를 들면, 리소그래피시에 펠리클을 포토마스크 상에 적재하여 포토마스크로의 이물 부착을 방지하면서 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰서 노광함으로써 펠리클막 상에 부착된 이물에 영향받지 않고 전사할 수 있다.

한편, 펠리클은 그것 자체에 이물이 부착되면 포토마스크로의 이물 부착으로도 연결되어 높은 청정성이 요구된다. 펠리클의 보관이나 수송시에는 펠리클 수납 용기가 사용된다. 펠리클 수납 용기는 일반적으로 사출성형 또는 진공성형으로 성형된 수지제의 것이 사용되고 있다. 수지제의 펠리클 수납 용기는 표면이 평활하고 또한 발진의 우려가 적기 때문이다.

펠리클 수납 용기는 펠리클을 수용한 내부를 청정 상태로 유지하기 위해 운반 등의 때에 외력이 가해져도 변형되기 어려운 강성이 요구된다. 그러나, 수지제의 펠리클 수납 용기에서는 강성에 한계가 있기 때문에, 하기 특허문헌 1, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이 용기 본체의 외면에 알루미늄 합금의 봉이나 각파이프 등의 보강체를 「日」 또는 「目」 형상으로 부착해서 강성을 확보하는 것이 행해지고 있다.

일본 특허 공개 2005-170507호 공보 일본 특허 제4391435호 공보

특허문헌 1, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 수지제의 펠리클 수납 용기에 충분한 강성을 부여하기 위해 용기 본체의 외면에 다수의 보강체를 부착하면 펠리클 수납 용기의 중량 및 제조 비용은 증가한다. 이 때문에, 펠리클 수납 용기에 부착하는 보강체는 필요 최소한으로 충분한 보강 효과를 얻는 것이 요구되고 있다.

수지제의 펠리클 수납 용기는, 상술한 바와 같이 사출성형 또는 진공성형으로 성형하기 때문에 성형 후에 성형 응력이 서서히 개방되어서 형상, 치수가 시간에 따라 변화된다. 시간에 따른 변화는 펠리클 수납 용기가 대형으로 될수록 커진다. 시간에 따라 변화한 펠리클 수납 용기의 용기 본체에 보강체를 부착할 때에 미리 용기 본체에 형성해 둔 장치 구멍에 위치 어긋남이 발생하여 보강체의 설치를 할 수 없어지는 사태도 발생한다.

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 시간에 따라 변화한 수지제의 용기 본체에 필요 최소한의 보강체를 간단하게 부착할 수 있고, 경량이며 또한 고강성의 펠리클 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 이루어진 특허청구 범위의 청구항 1에 기재된 펠리클 수납 용기는, 펠리클을 적재하는 사각형의 수지제의 용기 본체와, 그 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되어서 상기 펠리클을 덮는 수지제의 덮개체를 구비하고, 상기 용기 본체의 외주 가장자리를 따라 형성된 볼록 형상 리브의 돌출면이 상기 펠리클의 적재면에 형성되어 있는 펠리클 수납 용기로서, 상기 용기 본체의 외측 저면이며 또한 그 외주 가장자리와 상기 볼록 형상 리브 사이에 부착된 보강체는 상기 외주 가장자리의 각 변을 따라 고착된 직봉형상체를 포함하는 크기가 조정 가능한 프레임 형상체, 또는 상기 용기 본체의 각 코너부에 서로 독립하여 고착된 L자 형상체인 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1에 기재된 것이며, 상기 프레임 형상체가 상기 직봉형상체와, 상기 용기 본체의 코너부에 배치된 L자 형상체로 구성되고, 상기 프레임 형상체의 크기를 조정할 수 있도록 상기 직봉형상체와 L자 형상체의 부착 위치가 변경 가능한 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1 또는 청구항 2항에 기재된 것이며, 상기 L자 형상체는 그 코너부가 평면 또는 곡면이 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1∼3 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 펠리클이 적어도 1변의 길이가 500㎜ 이상인 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1∼4 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 보강체의 저면과 상기 용기 본체의 외측 저면이 동일 높이의 면인 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1∼5 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 볼록 형상 리브로 둘러싸인 용기 본체의 저면 영역의 각 코너부에 상기 코너부를 형성하는 2개의 볼록 형상 리브에 양단부가 접속되는 코너부 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1∼6 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 용기 본체의 서로 대향하는 변에 부착된 상기 보강체에 상기 펠리클 수납 용기의 반송에 사용되는 파지 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 펠리클 수납 용기는 청구항 1∼7 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 용기 본체의 외측 저면의 전체를 덮는 판체가 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면 치수 등에 시간에 따른 변화가 발생한 수지제의 펠리클 수납 용기에 필요 최소한의 보강체를 간단하게 부착할 수 있고, 경량이며 또한 고강성의 펠리클 수납 용기를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 일례를 나타내는 종단면도 및 부분 확대 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 용기 본체(14)의 정면도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 용기 본체(14)의 화살표 A-A면에서의 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 용기 본체(14)의 보강체로서 사용하는 일례를 나타내는 정면도이다.
도 5는 도 4에 나타내는 보강체의 코너부를 형성하는 L자 형상체(26c, 26d)의 사시도이다.
도 6은 용기 본체(14)의 보강체로서 사용하는 다른 예를 나타내는 정면도 및 그 확대도이다.
도 7은 본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 다른 예를 나타내는 종단면도이다.

본 발명에 의한 펠리클 수납 용기의 일례를 도 1에 나타낸다. 도 1은 펠리클 수납 용기(10)의 종단면도이며, 펠리클(12)이 적재된 장방형의 수지제의 용기 본체(14)와 수지제의 덮개체(16)는 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되어 있다. 용기 본체(14)와 덮개체(16)는 아크릴 수지(PMMA 수지), 아크릴-부타디엔-스티렌 수지(ABS 수지), 폴리카보네이트 수지(PC 수지) 등의 열가소성 수지를 이용하여 사출성형 또는 진공성형에 의해 제조할 수 있다. 특히, 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클(12)용 용기 본체(14) 및 덮개체(16)는 진공성형에 의해 제조하는 것이 바람직하다. 용기 본체(14)는 이물 검사를 위해서 흑색으로 하는 것이 바람직하고, 덮개체(16)는 내부를 눈으로 확인할 수 있게 투명 또는 반투명인 것이 바람직하다. 용기 본체(14) 및 덮개체(16)에는 이물 부착 방지의 관점으로부터 대전방지 처리가 실시되어 있는 것이 바람직하다.

용기 본체(14)에 적재되어서 덮개체(16)로 덮여져 있는 펠리클(12)은, 도 1에 나타내는 펠리클 수납 용기(10)의 부분 확대도에 나타내는 바와 같이 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임(12a)의 상단면에 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등의 투명한 펠리클막(12b)이 부착 또는 접착되어 있다. 또한, 펠리클 프레임(12a)의 하단면에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층과, 점착층을 보호하는 이형층(세퍼레이터)으로 이루어지는 복합층(12c)이 형성되어 있다.

펠리클(12)은 용기 본체(14)의 외주 가장자리의 근방이며, 외주 가장자리를 따라 형성된 볼록 형상 리브(18)의 돌출면(18a)에 적재되어 있다. 볼록 형상 리브(18) 및 돌출면(18a)은 용기 본체(14)의 평면도인 도 2에 나타낸 바와 같이 장방형이다. 돌출면(18a)은 긴 변 방향의 폭이 짧은 변 방향의 폭보다 넓게 형성되어 있다. 긴 변 방향의 돌출면(18a)에는 도 2에 나타내는 화살표 A-A면에서의 단면도인 도 3에 나타낸 바와 같이 복수의 유지 부재(24)가 설치되어 있다. 유지 부재(24)는 돌출면(18a)에 적재된 펠리클(12)을 착탈 가능하게 유지하는 것이며, 돌출면(18a)에 적재된 펠리클 프레임(12a)의 측면에 형성된 오목부(도면에는 나타내지 않는다)에 삽입되는 핀(24a)과, 핀(24a)을 삽입/이탈 가능하게 삽입되는 핀 지지체(24b)로 구성된다. 핀 지지체(24b)에 의하면 볼록 형상 리브(18)의 돌출면(18a)에 적재된 펠리클(12)은 유지 부재(24)의 핀(24a)을 펠리클 프레임(12a)의 측면 오목부에 삽입함으로써 소정 위치에 고정할 수 있고, 한편, 핀(24a)을 핀 지지체(24b)로부터 뽑아냄으로써 펠리클(12)을 해방시킬 수 있다.

용기 본체(14)의 볼록 형상 리브(18)와 외주 가장자리 사이에는, 도 1에 나타내는 바와 같이 용기 본체(14)의 외주부가 되접어 꺾여서 형성된 오목부(22)가 볼록 형상 리브(18)를 따라 형성되어 있다. 되접어 꺾음에 의해 용기 본체(14)의 둘레 가장자리부의 강성, 특히 용기 본체(14)의 긴 변 방향 및 짧은 변 방향으로의 굽힘 변형에 대한 강성을 향상시킬 수 있다. 또한, 오목부(22)에 덮개체(16)의 외주 가장자리가 감합 록킹되었을 때에 덮개체(16)와의 접합 강도가 향상되어 펠리클 수납 용기(10)의 전체의 강도를 향상시킬 수 있다.

용기 본체(14)의 볼록 형상 리브(18)로 둘러싸인 저면 영역에는, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이 중앙부에 마름모꼴 리브(20a)가 형성되어 있음과 아울러 직교하는 2개의 볼록 형상 리브(18, 18)의 코너부에 양단부가 볼록 형상 리브(18, 18)에 접속되는 코너부 리브(20b)가 형성되어 있다. 마름모꼴 리브(20a) 및 코너부 리브(20b)는 용기 본체(14)의 대각선(X)을 가로지르고 있기 때문에 용기 본체(14)의 비틀림 변형을 효과적으로 방지할 수 있다. 마름모꼴 리브(20a)와 코너부 리브(20b)는 서로 교차하고 있지 않기 때문에 마름모꼴 리브(20a) 및 코너부 리브(20b)의 측면이 절단되지 않고 또한 접속부가 변형의 기점으로 되지 않아, 큰 보강 효과를 얻을 수 있다.

이와 같이 리브 등으로 보강된 용기 본체(14)의 외측 저면에 보강체로서 도 4에 나타내는 장방형의 프레임 형상체(26)가 부착되어 있고 있고, 리브 등과 더불어 용기 본체(14)를 보강해서 강성을 높이고 있다. 프레임 형상체(26)는 종래의 「日」또는 「目」 형상의 보강체에 비해서 경량이다. 프레임 형상체(26)의 긴 변을 형성하는 직봉형상체(26a)와 짧은 변을 형성하는 직봉형상체(26b)가 판형상의 L자 형상체(26c, 26d)에 의해 연결되어 있다. 직봉형상체(26a, 26b)는 알루미늄 합금 등의 부식되기 어렵고 경량이며 고강성인 재료에 의해 형성되고, 횡단면 형상이 사각형인 중실체이다. L자 형상체(26c, 26d)는 철강제나 스테인레스강제의 것을 바람직하게 사용할 수 있고, 두께가 두꺼운 것을 채용 가능하면 알루미늄 합금제의 것을 사용할 수 있다. L자 형상체(26c)는 프레임 형상체(26)의 외측에 설치되고, L자 형상체(26d)는 프레임 형상체(26)의 내측에 설치된다. 직봉형상체(26a, 26b)와 L자 형상체(26c, 26d)는 체결 볼트(30, 30)에 의해 체결되어 있다. L자 형상체(26c, 26d)에는, 도 5에 나타낸 바와 같이 긴 구멍(32, 32)이 형성되어 있기 때문에 L자 형상체(26c, 26d)와 직봉형상체(26a, 26b)의 부착 위치를 조정할 수 있다.

프레임 형상체(26)의 용기 본체(14)로의 설치는 용기 본체(14)의 오목부(22)의 외측 저면에 접촉한 직봉형상체(26a, 26b)의 나사 구멍(34, 34)에, 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이 오목부(22)의 내측으로부터 삽입된 부착 볼트(28)를 비틀어 넣음으로써 이루어진다. 부착 볼트(28)는 강도의 관점으로부터 금속제인 것이 바람직하고, 체결면에 플랜지를 설치한 것이 특히 바람직하다. 부착 볼트(28)의 용기 본체(14) 내로의 노출 부분을 수지로 피복하고, 또한 부착 볼트(28)의 용기 본체(14)와의 경계 부분을 유기용제 등으로 용해 처리하여 간극으로부터의 발진이나 풀림을 방지하는 것이 바람직하다.

프레임 형상체(26)의 코너부를 구성하는 L자 형상체(26c, 26d)에는 용기 본체(14)로의 부착 수단은 설치되어 있지 않고, 체결 볼트(30, 30)를 푸는 것에 의해 L자 형상체(26c, 26d)를 긴 구멍(32, 32)을 따라 위치 조정할 수 있다. 이 때문에, 용기 본체(14)의 치수가 제조시의 불균일이나 시간에 따른 변화에 의해 변화되어 있어도 체결 볼트(30, 30)를 풀어서 L자 형상체(26c, 26d)를 이동시켜서 직봉형상체(26a, 26b)와의 위치 관계를 간단하게 조정할 수 있고, 프레임 형상체(26)를 변형된 용기 본체(14)의 오목부(22)의 외측 저면에 부착할 수 있다. 이와 같이 용기 본체(14)의 오목부(22)의 저면측에 부착된 프레임 형상체(26)는 직봉형상체(26a, 26b)의 저면이 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이 용기 본체(14)의 외측 저면과 같은 높이의 면이어서 펠리클 수납 용기의 운반 등의 때에 프레임 형상체(26)가 다른 물품 등과 접촉해도 다른 물품 등을 손상시킬 일이 없고, 또한 프레임 형상체(26)가 깎여서 발진하는 것도 방지할 수 있다.

프레임 형상체(26)의 짧은 변을 형성하고 서로 대향하는 직봉형상체(26b, 26b)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이 파지 수단으로서의 コ자 형상의 손잡이(37, 37)가 부착되어 있다. 손잡이(37, 37)는 스테인레스제의 직봉형상체(26b, 26b)에 볼트(도면에는 나타내지 않는다)로 체결되어 있다. 펠리클 수납 용기의 반송을 손잡이(37, 37)를 파지해서 행함으로써 용기 본체(14) 및/또는 덮개체(16)를 파지하는 것에 의한 변형 등의 발생을 억제할 수 있고, 수용한 펠리클(12)로의 이물 부착의 가능성을 대폭 감소시킬 수 있다. 손잡이(37, 37)로서는 판형상의 돌기 물이어도 좋고, 또한 프레임 형상체(26)의 다른 장소에 부착해도 좋다.

프레임 형상체(26)의 코너부를 형성하는 L자 형상체(26c, 26d)는 그 코너부가 평면으로 잘라내어진 모따기, 또는 곡면으로 가공되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 도 5에 나타낸 바와 같이 L자 형상체(26c, 26d)의 코너부를 평면(36, 36)으로 형성함으로써 용기 본체(14)가 비틀림 방향으로 변형할 때에 평면(36, 36)이 저항면이 되기 때문에, 면(36)은 높이와 길이를 가급적으로 길게 하도록 형성하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 높이 20∼50㎜이고 길이 40∼100㎜인 면(36)을 형성하는 것이 바람직하다.

도 4에 나타내는 보강체로서의 프레임 형상체(26)는 1변이 500㎜ 이상인 대형의 펠리클(12)을 적재하는 대형의 수지제의 용기 본체(14)에 치수 등에 시간에 따른 변화가 생겨도 용기 본체(14)에 부착할 수 있다. 프레임 형상체(26)의 L자 형상체(26c, 26d)를 이동시켜서 직봉형상체(26a, 26b)와의 위치 관계를 조정하고, 프레임 형상체(26)의 크기를 조정할 수 있기 때문이다. 또한, 보강체로서의 프레임 형상체(26)는 종래의 「日」또는 「目」 형상의 보강체에 비해서 경량이며, 프레임 형상체(26)가 부착된 용기 본체(14)를 구비하는 펠리클 수용 용기(10)는 경량이고 또한 고강성의 것이 된다.

또한, 별도의 실시형태로서 용기 본체(14)의 배면도인 도 6에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(14)의 각 코너부에 서로 독립하여 고착된 판형상의 L자 형상체(38)를 보강체로서 사용할 수 있다. L자 형상체(38)도 오목부(22)의 저면측에 오목부(22)의 내측으로부터 부착 볼트(28)에 의해 고착되어 있다. L자 형상체(38)에 의해 각 코너부가 보강된 용기 본체(14)는 비틀림 방향의 변형에 대하여 충분하게 대항할 수 있다. 특히, 도 6(b)에 나타내는 L자 형상체(38)와 같이, 코너부를 평면(38a)으로 형성함으로써 용기 본체(14)를 비틀림 방향으로 변형하는 응력에 대하여 평면(38a)이 저항면이 되어 바람직하다. 또한 L자 형상체(38)는 다른 L자 형상체(38)와 독립하여 용기 본체(14)에 부착되기 때문에 시간에 따른 변화 등에 의한 용기 본체(14)의 치수 어긋남이 발생하여 있어도 코너부에 간단하게 부착할 수 있다. 또한, 각 L자 형상체(38)에는 コ자 형상의 손잡이(37)가 설치되어 있고, 펠리클 수납 용기를 반송하거나 할 때에 용기 본체(14)에 편하중을 가하지 않고 취급할 수 있다.

도 1∼도 6에 나타내는 용기 본체(14)의 외측 저면에는 볼록 형상 리브(18), 마름모꼴 리브(20a), 코너부 리브(20b) 등에 의한 오목부가 개구되어 있고, 펠리클 수납 용기(10)의 롤러 반송은 채용할 수 없었다. 오목부와 롤러의 맞물림에 의한 충격에 의해 용기 본체(14)가 변형될 우려가 있기 때문이다. 도 7에 나타낸 바와 같이 용기 본체(14)의 외측 저면의 전면에 판체(40)를 프레임 형상체(26) 또는 L자 형상체(38)에 부착함으로써 용기 본체(14)의 외측 저면을 평활면으로 할 수 있어 펠리클 수납 용기(10)의 롤러 반송을 채용할 수 있다. 또한, 용기 본체(14)의 외측 저면을 평활면으로 함으로써 펠리클 수납 용기(10)를 경사지게 할 때에 진공 흡착을 이용할 수 있다. 판체(40)는 용기 본체(10)의 보강재가 아니어도 좋고, 두께 2∼8㎜의 수지제의 것을 사용할 수 있다. 수지로서는 아크릴 수지(PMMA 수지), 아크릴-부타디엔-스티렌 수지(ABS 수지), 폴리카보네이트 수지(PC 수지), 폴리염화비닐 수지(PVC 수지)를 사용하는 것이 가능하다. 이러한 판체(40)의 프레임 형상체(26) 또는 L자 형상체(38)로의 부착은 볼트, 양면 테이프, 접착제 를 이용하여 행할 수 있다. 또한, 용기 본체(14)의 중앙부 및 그 근방에 휨이나 부상 등이 존재할 경우, 그 부분과 판체(40)를 양면 테이프나 접착제를 이용하여 접합하는 것이 바람직하다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만 본 발명의 범위는 이것들의 실시예에 한정되는 것은 아니다.

대전방지 처리가 실시된 아크릴-부타디엔-스티렌 수지(ABS 수지)제의 두께 5㎜의 시트재를 사용하고, 진공성형법에 의해 도 1에 나타내는 장방형상의 용기 본체(14) 및 이것과 외주 가장자리에서 감합 록킹되는 덮개체(16)를 제작했다. 시트 재로서는 용기 본체(14)용으로서 흑색의 것을 사용하고, 덮개체(16)용으로서 투명한 것을 사용했다. 용기 본체(14)는 그 외주 가장자리의 근방에서 외주 가장자리를 따라 장방형의 볼록 형상 리브(18)가 형성되어 있다. 이 볼록 형상 리브(18)의 돌출면(18a)은 펠리클(12)의 탑재면이다. 돌출면(18a)의 긴 변 방향의 폭은 짧은 변 방향의 폭보다 넓게 형성되어 있고, 펠리클(12)의 유지 부재(24)가 설치되어 있다. 또한, 볼록 형상 리브(18)와 외주 가장자리 사이에는 용기 본체(14)의 외주부가 되접어 꺾여서 형성된 오목부(22)가 볼록 형상 리브(18)를 따라 형성되어 있다. 볼록 형상 리브(18)로 둘러싸인 저면 영역에는 중앙부에 마름모꼴 리브(20a)가 형성되어 있음과 아울러 직교하는 2개의 볼록 형상 리브(18, 18)의 코너부에 양단부가 볼록 형상인 리브(18, 18)에 접속되는 코너부 리브(20b)가 형성되어 있다. 마름모꼴 리브(20a) 및 코너부 리브(20b)는 용기 본체(14)의 대각선(X)을 가로지르고 있다. 용기 본체(14)의 오목부(22)에 덮개체(16)의 외주 가장자리를 감합 록킹한 펠리클 수납 용기(10)는 외형 1350㎜×1550㎜, 높이 120㎜의 것으로 되었다.

제작한 용기 본체(14)의 보강체가 되는 도 4에 나타내는 프레임 형상체(26)를 형성하는 직봉형상체(26a, 26b)와 L자 형상체(26c, 26d)를 제작했다. 직봉형상체(26a, 26b)는 알루미늄 합금(A6061)제 평각봉(단면 10㎜×30㎜)을 사용하고, 나사 구멍(34) 및 L자 형상체(26c, 26d)를 부착하는 나사 구멍[직봉형상체(26a, 26b)의 측면]을 기계 가공에 의해 형성했다. 또한, 짧은 변측의 직봉형상체(26b)의 외측 측면에는 스테인레스강(SUS304)제의 コ자 형상의 손잡이(37)를 부착했다. L자 형상체(26c, 26d)는 스테인레스강(SUS304)의 냉간 압연판(두께 3㎜)을 굽힘 가공하고, 코너부를 평면(36)으로 형성함과 아울러 나사 구멍으로서 긴구멍(32)을 형성했다. 또한, 직봉형상체(26a, 26b)를 용기 본체(14)에 부착하는 부착 볼트(28)로서는 스테인레스강(SUS304)제 육각 구멍이 있는 볼트를 ABS 수지 내에 인서트 성형해서 제작한 플랜지가 부착된 육각 볼트를 사용했다.

제작한 직봉형상체(26a, 26b) 및 L자 형상체(26c, 26d)를 용기 본체(14)에 부착할 때에는 용기 본체(14)의 오목부(22)의 직선 형상 부분의 외측 저면에 나사 구멍(34)과 오목부(22)의 저부 나사 구멍이 일치하도록 접촉시킨 직봉형상체(26a, 26b)를 오목부(22)의 내측으로부터 부착 볼트(28)를 삽입해서 부착했다. 부착 후, 용기 본체(14)와 접촉하는 부착 볼트(28)의 플랜지 외측 가장자리부를 용제(MEK)에 의해 간극이 없어지도록 용해 처리를 실시했다. 이어서, 도 5에 나타내는 L자 형상체(26c, 26d)를 긴 구멍(32)과 직봉형상체(26a, 26b)의 측면에 형성한 나사 구멍이 일치하도록 이동 조정하고, 직봉형상체(26a, 26b)에 체결 볼트(30)로 접속해서 프레임 형상체(26)로 했다. 용기 본체(14)에 부착된 프레임 형상체(26)의 저면은 용기 본체(14)의 외측 저면과 같은 높이의 면이었다. 또한, 제작한 용기 본체(14)에는 설계보다 긴 변 방향에서 +5㎜, 짧은 변 방향에서 +3㎜의 치수 어긋남이 생기고 있었지만, 문제 없이 프레임 형상체(26)의 크기를 조정해서 용기 본체(14)에 부착할 수 있었다.

프레임 형상체(26)로 보강된 용기 본체(14) 및 덮개체(16)를 Class10의 클린룸에 반입하고, 계면활성제와 순수로 잘 세정한 후 완전히 건조시켰다. 이어서, 용기 본체(14)의 볼록 형상 리브(18)의 돌출면(18a)에 미리 암실 내에서 집광 램프에 의한 이물 검사를 실시한 펠리클(12)을 적재하고, 유지 부재(24)에 의해 고정했다. 펠리클(12)은 외치수 1392㎜×1146㎜, 내치수 1370㎜×1124㎜, 높이 5㎜이며, 알루미늄 합금(A5052)제의 펠리클 프레임(12a)(두께 3.8㎜, 표면 흑색 알루미늄 처리)에 두께 약 3㎛의 불소 수지로 이루어지는 펠리클막(12b)을 마스크 점착제 및 펠리클막 접착제인 실리콘 수지로 접착한 것이다. 이와 같이 펠리클(12)을 적재해 고정한 용기 본체(14)에 덮개체(16)를 주의깊게 끼워맞춰 밀폐하여 펠리클(12)이 수용된 펠리클 수납 용기(10)를 얻었다.

또한, 펠리클 수납 용기(10)의 둘레 가장자리부을 폭 40㎜의 폴리염화비닐(PVC)제 점착 테이프로 붙여 고정하고, 내부가 청정하게 클리닝된 대전방지 처리 폴리에틸렌(PE)제 주머니로 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 골판지제 곤포 상자에 수납했다. 이와 같이 곤포한 상태에서 군마에서 후쿠오카까지 (군마켄⇔도쿄는 트랙, 도쿄⇔후쿠오카간은 항공기)를 왕복시키는 수송 테스트를 행하였다. 수송 테스트 후에 곤포를 풀어서 인출된 펠리클 수납 용기(10)를 클린룸에 반입하고, 내부의 확인을 행한 결과, 펠리클(12)에 이물의 부착은 전혀 보이지 않고, 매우 청정한 상태가 유지되어 있었다.

본 발명에 의한 펠리클 수납 용기는 반도체 장치용 펠리클의 수납 용기 및 보관 용기로서 사용할 수 있고, 반도체 장치용의 펠리클보다 대형인 액정용 펠리클의 수납 용기 및 보관 용기로서 사용할 수 있다.

10 : 펠리클 수납 용기 12 : 펠리클
12a : 펠리클 프레임 12b : 펠리클막
12c : 복합층 14 : 용기 본체
16 : 덮개체 18 : 볼록 형상 리브
18a : 돌출면 20a : 마름모꼴 리브
20b : 코너부 리브 22 : 오목부
24 : 유지 부재 24a : 핀
24b : 핀 지지체 26 : 프레임 형상체
26a, 26b : 직봉형상체 26c, 26d, 38 : L자 형상체
28 : 부착 볼트 30 : 체결 볼트
32 : 긴 구멍 34 : 나사 구멍
36, 38a : 평면 37 : 손잡이
40 : 판체 X : 대각선

Claims

펠리클을 적재하는 사각형 수지제의 용기 본체와, 그 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되어 상기 펠리클을 덮는 수지제의 덮개체를 구비하고,
상기 용기 본체의 외주 가장자리를 따라 형성된 볼록 형상 리브의 돌출면이 상기 펠리클의 적재면에 형성되어 있는 펠리클 수납 용기로서:
상기 용기 본체의 외측 저면이고 또한 그 외주 가장자리와 상기 볼록 형상 리브 사이에 부착된 보강체는 상기 외주 가장자리의 각 변을 따라 고착된 직봉형상체를 포함하는 크기가 조정 가능한 프레임 형상체, 또는 상기 용기 본체의 각 코너부에 서로 독립하여 고착된 L자 형상체인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항에 있어서,
상기 프레임 형상체는 상기 직봉형상체와 상기 용기 본체의 코너부에 배치된 L자 형상체로 구성되고, 상기 프레임 형상체의 크기를 조정할 수 있도록 상기 직봉형상체와 L자 형상체의 부착 위치가 변경 가능한 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 L자 형상체는 그 코너부가 평면 또는 곡면이 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펠리클은 적어도 1변의 길이가 500㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보강체의 저면과 상기 용기 본체의 외측 저면이 동일 높이의 면인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 볼록 형상 리브로 둘러싸인 용기 본체의 저면 영역의 각 코너부에 상기 코너부를 형성하는 2개의 볼록 형상 리브에 양단부가 접속되는 코너부 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 용기 본체의 서로 대향하는 변에 부착된 상기 보강체에 상기 펠리클 수납 용기의 반송에 사용되는 파지 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 용기 본체의 외측 저면의 전체를 덮는 판체가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.