KR20160089276A - 펠리클 수납 용기 - Google Patents

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KR20160089276A
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Abstract

[과제] 본 발명의 목적은 세퍼레이터를 사용하지 않는 펠리클을 수송할 때에, 마스크 점착층의 손상 등이 발생하지 않도록 개선한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
[해결 수단] 본 발명의 펠리클 수납 용기는 마스크 점착층(22)을 보호하기 위한 세퍼레이터를 사용하지 않는 직사각형의 펠리클(20)을 수납하는 펠리클 수납 용기 본체(11)와, 이 펠리클 수납 용기 본체(11)에 감합되어 밀폐하는 덮개체(17)를 갖는 펠리클 수납 용기(10)로서, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 외측이 높게 된 계단상을 이루는 펠리클 프레임 지지 수단(12)이 설치됨과 아울러, 이 계단상의 펠리클 프레임 지지 수단의 낮은 단에는 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 지지되는 것을 특징으로 한다.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE STORAGE CONTAINER}
본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지막이로서 사용되는 펠리클의 수납 용기에 관한 것이다.
LSI, 초 LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 단지 「포토마스크」라고 기술함)에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 왜곡해 버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나, 에지가 매끄럽지 못한 것이 되는 것 이외에, 하지가 검게 오염되거나 하는 등, 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다.
이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어려우므로 포토마스크 표면에 먼지막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계하게 된다.
펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어진 투명한 펠리클막을 알루미늄, 철강, 스테인리스강, 엔지니어링 플라스틱 등으로 이루어진 펠리클 프레임의 상단면에 부착 내지 접착해서 구성되어 있다. 그리고, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리브덴 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어진 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 설치되어 있다.
이 세퍼레이터는 통상 PET 수지 등의 100~200㎛ 정도의 얇은 필름 상에 이형제를 도포하고, 소망의 형상으로 절단 가공한 것이 사용된다. 그리고, 이 세퍼레이터는 두께가 얇고 또한 프레임의 외형과 거의 같은 프레임상의 형상을 하고 있기 때문에, 끈과 같은 형상이 되어 버려 이것을 청정하게 하는 세정 작업이 곤란한 것 이외에, 마스크 점착층으로의 부착 등의 작업에 있어서도 취급이 매우 불편하다고 하는 문제가 있다.
무엇보다 이 세퍼레이터는 그 기능이 점착제를 보호하는 것뿐이며 펠리클의 사용시에는 박리되어 폐기되므로, 세퍼레이터에 수반하는 상기 문제를 해결하기 위해서 본 발명자들은 종래부터 이와 같은 세퍼레이터를 사용하지 않는 펠리클과 이 펠리클을 수납하는 용기를 제안해 왔다(특허문헌 1 및 2 참조).
즉, 종래의 특허문헌 1 및 2에 기재된 펠리클 수납 용기는 펠리클 프레임의 외측에 마스크 점착층이 도포되어 있지 않은 영역을 갖고, 이 마스크 점착층의 미도포 영역을 펠리클 수납 용기 본체 상에 설치한 펠리클 프레임 지지 수단으로 지지함과 아울러, 펠리클 프레임의 측면에 형성한 비관통의 구멍에 핀을 삽입함으로써 펠리클을 고정해서 수납하는 것이다. 따라서, 이들 펠리클 수납 용기에서는 세퍼레이터를 박리할 필요가 없기 때문에 세퍼레이터를 박리할 때에 막에 접촉한다고 하는 문제는 없고, 또한 자동기로 펠리클을 용이하게 인출할 수 있다고 하는 다대한 이점을 갖는 것이다.
일본 특허공개 2009-128635 일본 특허공개 2011-34020
그러나, 본 발명자들의 그 후의 검토에 의하면, 이와 같은 펠리클 수납 용기에서도 이것을 수송하는 등의 운용시에 있어서 약간의 문제가 발생하는 것이 명확해졌다. 예를 들면, 특허문헌 1에 기재된 펠리클 수납 용기에서는 수납하는 펠리클은 그 수직 방향이 펠리클 프레임 지지 수단에 지지됨과 아울러 그 수평 방향은 핀에 의해 규제되어서 고정되어 있지만, 펠리클 수납 용기의 수송 중의 충격 등에 의해 펠리클 프레임이 펠리클 프레임 지지 수단 상에 있어서 수평으로 진동하거나, 이동하거나 하기 때문에 펠리클 프레임에 도포된 마스크 점착층이 펠리클 프레임 지지 수단에 접촉해서 손상된다고 하는 문제가 발생하는 것이 명확해졌다.
그래서, 본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 세퍼레이터를 사용하지 않는 펠리클을 수송할 때에 마스크 점착층의 손상 등이 발생하지 않도록 개선한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
즉, 본 발명의 펠리클 수납 용기는 마스크 점착층을 보호하는 세퍼레이터를 사용하지 않는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기 본체와, 이 펠리클 수납 용기 본체에 감합되어 밀폐하는 덮개체를 갖는 펠리클 수납 용기로서, 펠리클 수납 용기 본체 상에는 외측이 높게 된 계단상을 이루는 펠리클 프레임 지지 수단이 설치됨과 아울러, 이 계단상의 펠리클 프레임 지지 수단의 낮은 단에는 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역이 지지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 펠리클 수납 용기는 그 펠리클 프레임 지지 수단이 수납하는 펠리클의 모서리부로부터 각 변의 전체 길이에 대하여 30%의 범위에만 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 펠리클 프레임 지지 수단은 수납하는 펠리클의 변 중앙부에 가까울수록 펠리클의 내측 방향으로 근접해서 배치되어 있는 것이 바람직하고, 그 표면은 수납하는 펠리클의 마스크 점착층에 대하여 이형성을 갖고 있는 것이 바람직하다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 펠리클 프레임 지지 수단이 계단상으로 형성되어 있으므로 펠리클 프레임의 수평 방향의 고정이 보다 확실해진다. 그 때문에, 펠리클의 수송 중의 충격 등에 의해 펠리클 프레임의 위치가 이동해도, 펠리클 프레임 지지 수단과 마스크 점착층의 간격이 일정 거리 이상으로 유지되기 때문에 수송 중의 마스크 점착제의 손상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 AA 단면도이다.
도 3은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 BB 단면도이다.
도 4는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 C부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 7은 비교예의 펠리클 수납 용기를 나타내는 평면도이다.
도 8은 비교예의 펠리클 수납 용기를 나타내는 FF 단면도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명은 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클에 적용했을 때에 특히 효과가 크지만, 펠리클의 크기나 용도로 한정되는 것은 아니다.
도 1~도 6은 본 발명의 펠리클 수납 용기의 일실시형태를 나타내는 것이며, 도 1~도 4에 있어서는 펠리클 수납 용기 본체(11)와 그 둘레 가장자리부에서 감합 록킹하는 덮개체(17)에 대해서 그 도시를 생략하고 있다.
펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 펠리클 프레임 지지 수단(12), 핀(14), 핀 유지 수단(15)이 설치된다. 또한, 도 4에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(21)의 하면 내측에는 마스크 점착층(22)이 형성됨과 아울러 외주부에는 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 형성되고, 그 대면측에는 펠리클막 접착층(24)을 통해서 펠리클막(25)이 장설(張設)된다.
본 발명의 펠리클 수납 용기(10)의 경우, 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층(22)이 형성되는 면의 외주에 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 형성됨과 아울러, 이 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)을 지지하는 계단상의 펠리클 프레임 지지 수단(12)이 설치되어 있으면 좋고, 이 외의 사양에 제한은 없다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)은 계단상으로 형성되어 있고, 그 낮은 단에는 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 적재·지지된다. 예를 들면, 도 5에 나타내는 바와 같이 낮은 단의 개소에 단차부(12a)를 형성하고, 이 단차부(12a)에 펠리클 프레임(21)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)을 지지하는 것이 바람직하다. 또한, 이 계단상의 형상은 펠리클 프레임 높이의 50% 이상의 높이의 수직면(12b)을 갖기 때문에, 이 수직면(12b)에 의해 펠리클 프레임(21)의 수평 방향으로의 이동을 규제할 수 있다.
이 펠리클 프레임 지지 수단(12)은 외측이 높게 된 계단상이며, 그 상부는 5~45°의 각도로 외측으로 개방된 테이퍼면(12c)인 형상이 바람직하고, 그 최상부의 높이는 자동기 또는 인출 지그에 의한 펠리클(20)의 인출 작업을 용이하게 하기 위해서 펠리클막(25)의 면보다 낮게 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 펠리클 프레임 지지 수단(12)은 펠리클(20)의 각 변에 설치됨과 아울러, 수납하는 펠리클(20)의 모서리부로부터 각 변의 전체 길이에 대하여 30%의 범위(도 1에 나타내는 D 또는 E)에만 배치되어 있는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 펠리클 프레임(21)에는 막 장력에 의한 내측으로의 휨이 발생하고 있고 그 휨의 정도가 변의 중앙부로 갈수록 커지기 때문에, 펠리클 프레임(21)의 모서리부로부터 30%의 범위(D 또는 E)를 초과하여 펠리클 프레임(21)의 변 중앙부 부근에 펠리클 프레임 지지 수단(12)이 배치되면 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 단차부(12a)에 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 적정하게 적재되지 않고 탈락되어, 마스크 점착층(22)이 펠리클 수납 용기 본체(11)에 접촉할 우려가 있기 때문이다.
또한, 펠리클 프레임 지지 수단(12)은 이것을 펠리클 프레임(21)의 모서리부로부터 30%의 범위(D 또는 E)에 설치하면서도, 펠리클의 변 중앙부에 가까울수록 펠리클의 내측 방향에 근접해서 배치되어 있는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 수송 중에 발생하는 충격 등에 의해 펠리클 프레임(21)이 수평 방향으로 이동한다고 하는 사태가 보다 엄격하게 규제되게 되기 때문에, 마스크 점착층(22)의 접촉을 확실하게 방지할 수 있기 때문이다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)의 수직면(12b)과 펠리클 프레임(21)의 외측면의 간격은 마스크 점착층 미도포 영역(23)의 폭에도 따르지만, 0.2~2㎜의 범위가 바람직하다. 0.2㎜ 미만에서는 삽입이나 인출이 곤란하고, 2㎜를 초과하면 규제가 지나치게 느슨해서 목적이 달성되지 않기 때문이다.
또한, 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 표면은 수납하는 펠리클(20)의 마스크 점착층(22)에 대하여 이형성을 갖는 것이 바람직하다. 만일, 어떠한 이유로 마스크 점착층(22)이 접촉했을 경우에도 심각한 손상을 회피할 수 있기 때문에 바람직하다. 이 이형성의 부여는 표면에 이형성을 갖는 재료를 도포해도 좋고, 펠리클 프레임 지지 수단(12)을 그와 같은 재질로 제작해도 좋다. 이 재질은 마스크 점착층(22)의 재질에 따라 적당한 것을 선택하면 좋지만, 예를 들면 고무계 점착제, 아크릴계 점착제의 마스크 점착층(22)에 대해서는 PTFE 등의 불소계 수지 또는 실리콘 수지를 사용할 수 있다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)의 표면에 이형제를 도포하는 경우에는 스프레이, 딥핑, 브러시 도포 등의 공지의 방법으로 도포할 수 있다. 일반적인 실리콘계 이형제를 사용할 경우에는 막 두께가 두꺼우면 박리되기 쉬워지므로, 도포 두께는 10㎛ 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)의 크기는 펠리클 프레임(21)을 따른 길이이며, 10~50㎜ 정도로 하는 것이 좋고, 접착 등 공지의 방법으로 펠리클 수납 용기 본체(11)에 부착할 수 있다. 바람직하게는, 도 4에 나타내는 바와 같이 볼트(16)에 의해 펠리클 수납 용기 본체(11)의 외측으로부터 체결 고정하는 것이 좋다. 또한, 내부에 암나사를 가공한 판 형상 너트(13)를 인서트 성형하면 고정 강도를 대폭 높일 수 있기 때문에 보다 바람직하다.
도 5는 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 실시형태를 나타내는 일례이다. 단차부(12a)는 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 전체에 걸쳐서는 설치되어 있지 않고 일부의 영역에만 설치되어 있으며, 그 길이(w1)는 3~8㎜ 정도로 하는 것이 바람직하다. 이 실시형태에서는 펠리클 프레임(21)을 적재하는 단차부(12a)의 영역이 작게 되어 있기 때문에, 유연성이 높아져서 쿠션성을 향상시킬 수 있다.
또한, 필요에 따라서 단차부(12a)에 커터 등에 의한 수작업으로 내측을 컷팅하는 가공을 가해서 단차부의 폭(w2)을 조정할 수 있다. 단차부의 폭(w2)은 수납하는 펠리클(20)의 마스크 점착층 미도포 영역(23)의 폭에 따라 설정할 필요가 있지만, 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 형태가 도 5에 나타내는 형태이면 하나의 성형틀로 다양한 사이즈의 펠리클(20)에 대응할 수 있기 때문에 그 실용성이 높아진다.
펠리클(20)은 펠리클 프레임 지지 수단(12)의 단차부(12a)에 의해 그 하면이 지지됨과 아울러 수직면(12b)에 의해 그 수평 방향의 이동도 규제되어 있지만, 펠리클 수납 용기(10)의 수송 중에 발생하는 진동에 의해 펠리클 프레임 지지 수단(12)으로부터 펠리클(20)이 튀어나오거나 하지 않도록 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에 고정할 필요가 있다.
도 1~도 4에 나타낸 실시형태에서는 특허문헌 1에 기재된 펠리클 수납 용기 와 마찬가지로, 펠리클 프레임(21)의 측면에 형성된 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 삽입한 핀(14)과 이것을 유지하는 핀 유지 수단(15)에 의해 펠리클(20)이 고정되어 있다. 또한, 펠리클(20)의 고정 수단은 이외의 공지의 방법이어도 좋고, 핀(14)과 이것을 유지하는 핀 유지 수단(15)에 한정되는 것은 아니다.
펠리클 수납 용기 본체(11) 및 덮개체(17)는 두께 2~8㎜ 정도의 아크릴, ABS, PVC, PC 등의 수지판을 이용하여 진공 성형 또는 압공 성형에 의해 제작되는 것이 바람직하지만, 그 한변이 200㎜ 이하인 소형인 경우에는 사출 성형에 의해 제작해도 좋다. 또한, 펠리클 수납 용기 본체(11)는 부착 이물의 시인성의 향상을 위해서 흑색인 것이 바람직하고, 덮개체(17)는 수납한 펠리클(20)이 용이하게 시인될 수 있도록 투명 또는 유색 반투명인 것이 바람직하다.
또한, 펠리클 수납 용기 본체(11)와 덮개체(17)는 모두 수지 자체에 대전 방지 성능을 부여하거나, 또는 그 표면에 대전 방지 도장을 실시하는 것도 이물 부착을 방지하는 관점에서 바람직하고, 난연성을 부여하는 것도 안전성의 점에서 보다 바람직하다.
[실시예]
이어서, 본 발명의 실시예에 대해서 상세하게 설명한다.
실시예에서는 우선, 도 1~도 6에 나타내는 바와 같은 펠리클 수납 용기(10)를 제작했다. 펠리클 수납 용기 본체(11)는 두께 5㎜의 대전 방지 흑색 ABS 판재를 사용하고, 도 6에 나타내는 덮개체(17)는 두께 5㎜의 대전 방지 투명 ABS 판재를 사용하여 진공 성형해서 제작한 것이며, 그 크기는 바깥 치수 1100×1280×120㎜로 했다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)은 재질에 스티렌계 엘라스토머[쿠라레 플라스틱(주) 제, 상품명; 세프톤]를 사용함과 아울러, 도 4에 나타내는 바와 같이 내부에 SUS 304로 제작한 판 형상 너트(13)를 삽입하여 사출 성형에 의해 제작했다. 이 펠리클 프레임 지지 수단(12)을 펠리클 수납 용기 본체(11)에 이면으로부터 2개의 볼트(16)로 부착했다.
펠리클 프레임 지지 수단(12)의 부착 위치는 도 1에 나타내는 바와 같으며, 펠리클 프레임(21)의 장변에 배치한 4개소의 a, b, c, d는 펠리클 프레임 모서리로부터 장변 길이의 30%의 영역인 D의 범위 내에 부착되어 있다. 한편, 단변에 배치한 2개소의 e, f는 펠리클 프레임 모서리로부터 단변 길이의 30%의 영역인 E의 범위 내에 부착되어 있다. 또한, 장변에 배치한 4개소의 펠리클 프레임 지지 수단(12) 중, 2개소의 b 및 c는 다른 2개소의 a 및 d에 대하여 0.7㎜ 내측에 부착되어 있다.
이어서, 펠리클 수납 용기 본체(11) 상에는 ABS 수지를 사출 성형해서 제작한 핀 유지 수단(15)이 접착 고정되어 있다. 그리고, 이 접착 고정에 앞서 핀 유지 수단(15)에 삽입되는 핀(14)은 펠리클 프레임 외측면에 형성한 비관통의 구멍(도시하지 않음)에 감합되도록 위치 조정되어 있다.
한편, 이 펠리클 수납 용기(10)의 평가에 사용하기 위해서 펠리클(20)을 준비했다. 이 펠리클(20)은 펠리클 프레임(21)의 장변 바깥 치수가 1120㎜로, 단변의 바깥 치수가 900㎜로 제작되고, 프레임 폭이 12㎜로, 프레임 높이가 5.8㎜로 각각 제작되어 있다. 그리고, 이 펠리클(20)의 펠리클 프레임(21)에는 그 폭 12㎜에 대하여 마스크 점착층(22)이 높이 1.3㎜, 폭 4㎜로 도포되어 있기 때문에, 도 4에 나타내는 바와 같이 폭 8㎜에 걸쳐서 마스크 점착층(22)이 도포되어 있지 않은 마스크 점착층 미도포 영역(23)이 형성되게 된다.
도 4에 나타내는 펠리클 프레임(21)의 재질은 A6061 알루미늄 합금이며, 그 표면을 Ra 0.6 정도로 샌드 블래스트 처리한 후, 흑색 알루마이트 처리를 실시해서 펠리클 프레임(21)을 제작했다. 또한, 마스크 점착층(22)의 재질은 실리콘 점착제[신에쓰 가가꾸 고교(주) 제, 상품명 KR-3700]이고, 펠리클막 접착층(24)의 재질은 실리콘 점착제[신에쓰 가가꾸 고교(주) 제, 상품명 KR-3700]이다. 그리고, 펠리클막(25)으로서는 재질이 불소계 수지[아사히 가라스(주) 제, 상품명 사이톱]로 이루어진 두께 4㎛인 것을 사용했다.
이 펠리클(20)은 펠리클 수납 용기 본체(11) 상의 프레임 지지 수단(12) 상에 적재됨과 아울러, 핀 유지 수단(15)에 지지된 핀(14)을 펠리클 프레임(21)의 외측면의 구멍(도시하지 않음)에 삽입해서 고정시킨 후에, 이 펠리클(20)에 덮개체(17)를 씌워서 밀폐하고, 둘레 가장자리부를 점착 테이프로 밀봉해서 펠리클 수납 용기(10)를 완성시켰다.
마지막으로, 이 펠리클 수납 용기(10)를 평가하기 위해서 펠리클(20)이 수납된 펠리클 수납 용기(10)를 강화 골판지와 발포 쿠션재로 이루어진 곤포 상자에 수납하고, 왕복 약 1000㎞의 거리에 걸쳐서 트럭 수송 시험을 행한 후에 이 펠리클 수납 용기(10)를 클린룸 내에서 개곤(開梱)하여 암실에 있어서 펠리클(20)의 손상과 이물의 부착 상황을 검사했다.
그 검사 결과에서는 펠리클(20)에 부착되어 있는 이물의 증가는 전혀 보이지 않았다. 또한, 펠리클 프레임(21)의 프레임 지지 수단(12)에 접촉하고 있던 부분에 대해서도 마찬가지로 검사한 결과, 이물 부착이나 마찰 등의 흔적이 보이지 않고, 마스크 점착층(22)에도 접촉 흔적 등의 결함은 전혀 보이지 않았다.
[비교예]
비교예에서는 도 7 및 도 8에 나타내는 펠리클 수납 용기(70)를 제작했다. 도 7은 그 평면도이고, 도 8은 도 7 중의 FF 단면도이다. 펠리클 프레임 지지 수단(72)의 재질을 스티렌계 엘라스토머[쿠라레 플라스틱스(주) 제, 상품명; 세프톤]로 하고, 펠리클 프레임 지지 수단(72)을 사출 성형에 의해 제작했다. 이 펠리클 프레임 지지 수단(72)에는 단차가 없이 상부면이 평탄하게 되어 있다.
또한, 이 펠리클 수납 용기(70)는 그 펠리클 프레임 지지 수단(72)의 부착 위치가 각 장단변 길이의 중앙 부분을 포함하는 균등 배치로 되어 있는 것 이외에는, 상기 실시예의 펠리클 수납 용기(10)와 치수를 포함해서 동일하게 되도록 제작되어 있다.
이어서, 이 펠리클 수납 용기(70)를 평가하기 위해서 이 펠리클 수납 용기(70)에 상기 실시예와 같은 펠리클(20)을 수납하고, 마찬가지로 트럭 수송에 의한 왕복 약 1000㎞의 거리에 걸쳐서 수송 시험을 행한 후에, 이 펠리클 수납 용기(70)를 클린룸에 반입해서 평가를 행하였다.
그 평가의 결과에서는 펠리클(20)을 펠리클 수납 용기(70)로부터 인출하려고 했을 때, 장변 중앙부 부근의 마스크 점착층(22)이 펠리클 프레임 지지 수단(72)에 접촉해서 접착되어 있는 부분이 보였다. 거기에서, 천천히 접착되어 있는 부분을 박리하고 그 부분을 육안 확인한 결과, 마스크 점착층(22)에는 접촉에 의한 손상이 발생하고 있어 사용할 수 없는 상태인 것이 확인되었다.
10 : 펠리클 수납 용기 11 : 펠리클 수납 용기 본체
12 : 펠리클 프레임 지지 수단 12a : 단차부
12b : 수직면 12c : 테이퍼면
13 : 판 형상 너트 14 : 핀
15 : 핀 유지 수단 16 : 볼트
17 : 덮개체 20 : 펠리클
21 : 펠리클 프레임 22 : 마스크 점착층
23 : 마스크 점착층 미도포 영역 24 : 펠리클막 접착층
25 : 펠리클막 70 : 비교예의 펠리클 수납 용기
71 : 비교예의 펠리클 수납 용기 본체
72 : 비교예의 펠리클 프레임 지지 수단
a, b, c, d, e, f : 펠리클 프레임 지지 수단
w1 : 펠리클 프레임 지지 수단 단차부의 길이
w2 : 펠리클 프레임 지지 수단 단차부의 폭

Claims (4)

  1. 마스크 점착층을 보호하는 세퍼레이터를 사용하지 않는 직사각형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기 본체와, 그 펠리클 수납 용기 본체에 감합되어 밀폐하는 덮개체를 갖는 펠리클 수납 용기로서, 상기 펠리클 수납 용기 본체 상에는 외측이 높게 된 계단상을 이루는 펠리클 프레임 지지 수단이 설치됨과 아울러, 그 계단상의 펠리클 프레임 지지 수단의 낮은 단에는 펠리클 프레임의 마스크 점착층 미도포 영역이 지지되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 펠리클 프레임 지지 수단은 수납하는 펠리클의 모서리부로부터 각 변의 전체 길이에 대하여 30%의 범위에만 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 펠리클 프레임 지지 수단은 수납하는 펠리클의 변 중앙부에 가까울수록 펠리클의 내측 방향으로 근접해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펠리클 프레임 지지 수단은 그 표면이 수납하는 펠리클의 마스크 점착층에 대하여 이형성을 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
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