TW201635010A - 防塵薄膜組件收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種在運送不使用分離片的防塵薄膜組件時，遮罩黏著層不發生損傷等的防塵薄膜組件收納容器。本發明的防塵薄膜組件收納容器10包括：防塵薄膜組件收納容器本體11，收納不使用保護遮罩黏著層22的分離片的矩形的防塵薄膜組件20；以及蓋體17，嵌合於所述防塵薄膜組件收納容器本體11而密閉，其特徵在於：在防塵薄膜組件收納容器本體11上設置在外側呈高起的階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置12，該階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置12的低的階梯上，防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著層未塗布區域23被支撐。

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明是有關於在半導體裝置、印刷基板、液晶顯示器或者有機EL顯示器等的製造時，作為防塵器使用的防塵薄膜組件的收納容器。

在大型積體電路（Large Scale Integration，LSI），超LSI等的半導體製造或液晶顯示器等的製造中，要對半導體晶圓或者液晶用原板進行光照射，以進行圖案的製作，但是，此時，使用的光罩或者中間遮罩（reticle）（以下，統稱「光罩」）上如有灰塵附著，該灰塵會對光進行吸收、或是光彎曲，由此轉印的圖案就會變形，尖端部就會模糊，甚至基底會發生髒黑等，從而尺寸、品質、外觀等受損。

因此，這些作業通常在無塵室中進行，但是即使如此也難以總是保持光罩的清潔，由此，要在光罩表面將作為防塵器的防塵薄膜組件進行貼附後進行曝光。在該場合，異物不在光罩的表面直接附著，而是在防塵薄膜組件上附著，因此微影時只要將焦點對準光罩的圖案，防塵薄膜組件上的異物就與轉印沒有關係了。

防塵薄膜組件一般是將由透光良好的硝酸纖維素、醋酸纖維素或者氟樹脂等構成的透明的防塵膜，在由鋁、鋼鐵、不鏽鋼、工程塑膠等構成的防塵薄膜組件框架的上端面上貼附或進行接著形成。然後，在塵薄膜組件框架的下端設置為了在光罩上進行安裝的由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸系樹脂、矽酮樹脂等構成的黏著層以及以保護黏著層為目的的離型層（分離片）。

該分離片通常在聚對苯二甲酸乙二酯（polyethylene terephthalate，PET）樹脂等的100 μm～200 μm左右的薄的膜上塗布離型劑，根據所希望的形狀切斷加工而成的。然後，該分離片，厚度既薄的，又幾乎與框架的外形相同的框狀的形狀，所以會變成繩狀，因此，對其進行洗淨作業困難，在向遮罩黏著層的貼附等的作業也極為不便。

該分離片的機能僅為保護黏著劑，在防塵薄膜組件使用時，會將其剝離廢棄，因此為了將分離片中的上述問題加以解決，本發明的發明人，一直提議一種不用分離片的防塵薄膜組件和收納該防塵薄膜組件的容器（參照專利文獻1以及專利文獻2）。

即，以往的專利文獻1以及專利文獻2中記載的防塵薄膜組件收納容器，在防塵薄膜組件框架的外側，具有沒有塗布遮罩黏著層的區域，在將該遮罩黏著層的未塗布區域藉由防塵薄膜組件收納容器本體上設置的防塵薄膜組件框架的支撐裝置進行支撐的同時，將銷插入在防塵薄膜組件框架的側面設置的非貫通的孔中，將防塵薄膜組件固定收納。因此，在這些的防塵薄膜組件收納容器中，由於沒有分離片，所以就沒有在分離片剝離時與膜接觸的問題，再者，還具有用自動機器容易地將防塵薄膜組件取出的優點。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-128635 [專利文獻2]日本專利特開2011-34020

[發明所欲解決之課題] 但是，本發明的發明人通過研究，得知在所述的防塵薄膜組件收納容器的運送等中，會發生若干問題。例如，在專利文獻1中記載的防塵薄膜組件收納容器中，雖然被收納的防塵薄膜組件在其垂直方向被防塵薄膜組件框架支撐裝置支撐的同時，其水平方向被用銷規制而固定，但是防塵薄膜組件收納容器在運送中由於衝擊等，會發生防塵薄膜組件框架在防塵薄膜組件框架支撐裝置上水平振動或移動，從而會發生防塵薄膜組件框架上塗布的遮罩黏著層與防塵薄膜組件框架支撐裝置接觸而發生損傷的問題。

因此，本發明就是鑒於上述的問題而完成的，本發明的目的為提供一種在運送不使用分離片的防塵薄膜組件時，不會發生遮罩黏著層的損傷等經改善的防塵薄膜組件收納容器。 [解決課題之手段]

即，本發明的防塵薄膜組件收納容器，包括：防塵薄膜組件收納容器本體，收納不使用保護遮罩黏著層的分離片的矩形的防塵薄膜組件；以及蓋體，嵌合於該防塵薄膜組件收納容器本體上而密閉；所述防塵薄膜組件收納容器的特徵在於：在防塵薄膜組件收納容器本體上設置在外側呈高起的階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置，並且在該階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置的低的階梯，防塵薄膜組件框架的遮罩黏著層未塗布區域被支撐。

再者，優選本發明的防塵薄膜組件收納容器，其防塵薄膜組件框架支撐裝置僅配置在從收納的防塵薄膜組件的角部到各邊的全長的30%的範圍內。

進一步，優選防塵薄膜組件框架支撐裝置越靠近收納的防塵薄膜組件的邊中央部，越靠近防塵薄膜組件的內側方向來進行配置，再進一步，優選該防塵薄膜組件框架支撐裝置表面對收納的防塵薄膜組件的遮罩黏著層具有離型性。 [發明的效果]

根據本發明，防塵薄膜組件框架支撐裝置為以階梯狀形成，在防塵薄膜組件框架的水平方向固定。因此，即使由於防塵薄膜組件的運送中的衝擊等防塵薄膜組件框架的位置發生移動，由於防塵薄膜組件框架支撐裝置和遮罩黏著層之間的間隙保持一定距離，從而可以防止運送中的遮罩黏著劑的損傷。

以下，對本發明用實施方式來進行說明，但是本發明並不限定於此。再者，本發明在邊長超過500 mm的大型的防塵薄膜組件中適用時，特別有效果，但是其使用與防塵薄膜組件的大小無關，並不為用途所限。

圖1～圖6為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的圖，在圖1～圖4中，防塵薄膜組件收納容器本體11和其周緣部中嵌合止動的蓋體17的圖式被省略。

防塵薄膜組件收納容器本體11上，設置有防塵薄膜組件框架支撐裝置12、銷14、銷支撐裝置15。再者，如圖4中所示的那樣，防塵薄膜組件框架21的下端面內側設置有遮罩黏著層22，且在外周部設置有遮罩黏著層未塗布區域23，在下端面的相對側，通過防塵膜接著層24，防塵膜25被繃緊設置。

本發明的防塵薄膜組件收納容器10的場合，在防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著層22被設置的端面的外周上，在設置遮罩黏著層未塗布區域23的同時，設置有支撐該防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著層未塗布區域23的階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置12即可，對其之外的規格沒有限制。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12為階梯狀结構，在其低的階梯上，防塵薄膜組件框架21在遮罩黏著層未塗布區域被載置・支撐。優選，例如，如圖5中所示的那樣，在低的階梯設置階差部12a，該階差部12a上，防塵薄膜組件框架21的遮罩黏著層未塗布區域23被支撐。再者，該階梯狀的形狀由於具有高度為防塵薄膜組件框架高度的50%以上的垂直面12b，所以，由該垂直面12b對在防塵薄膜組件框架21的水平方向的移動進行限制。

該防塵薄膜組件框架支撐裝置12為外側高的的階梯狀，優選其上部為以5°～45°的角度向外側張開的錐面12c的形狀，其頂部的高度，為了易於用自動機器或者取出夾具將防塵薄膜組件20的取出，以低於防塵膜25的面為優選。

再者，防塵薄膜組件框架支撐裝置12優選在防塵薄膜組件20的各邊設置的同時，僅配置在從收納的防塵薄膜組件20的角部到各邊的全長的30%的範圍（圖1所示的D或者E）。其原因是，防塵薄膜組件框架21由於會發生由於膜張力造成的向內側的撓曲，該撓曲的程度越在邊的中央部越大，所以如果超過從防塵薄膜組件框架21的角部到30%的範圍（D或者E），在防塵薄膜組件框架21的邊中央部附近設置防塵薄膜組件框架支撐裝置12，防塵薄膜組件框架支撐裝置12的階差部12a上的遮罩黏著層未塗布區域23就不能適當地被載置，發生脫落，致使有發生遮罩黏著層22與防塵薄膜組件收納容器本體11接觸的危險。

進一步，防塵薄膜組件框架支撐裝置12優選即使將其設置在從防塵薄膜組件框架21的角部到30%的範圍（D或者E），也應越靠近防塵薄膜組件的邊中央部，越要靠近防塵薄膜組件的內側方向來配置。其原因為，要對運送中發生的由於衝擊等產生的防塵薄膜組件框架21的水平方向中移動的事態進行更為嚴格的規制，確實地對與遮罩黏著層22的接觸進行防止的緣故。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12的垂直面12b和防塵薄膜組件框架21的外側面之間的間隙雖然由於遮罩黏著層未塗布區域23的大小不同而異，但是以0.2 mm～2 mm的範圍為優選。如不足0.2 mm，則插入以及取出困難，如超過2 mm，則規制過緩，難以達到目的。

再者，防塵薄膜組件框架支撐裝置12的表面優選對收納的防塵薄膜組件20的遮罩黏著層22具有離型性。這是由於萬一因某種原因接觸遮罩黏著層22的場合，也可以避免嚴重的損傷。該離型性的賦予可以在表面上塗布具有離型性的材料，也可使用該材料來製作防塵薄膜組件框架支撐裝置12。該材料可以根據遮罩黏著層22的材料來進行選擇，例如，對於橡膠系黏著劑、丙烯酸系黏著劑的遮罩黏著層22，可以使用聚四氟乙烯（polytetrafluoroethylene，PTFE）等的氟系樹脂或者矽酮樹脂。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12的表面上的離型劑的塗布可以用噴霧、浸漬、毛刷塗布等的公知的方法進行。在使用一般的矽酮系離型劑的場合，如果膜厚太厚，則容易剝離，所以塗布的膜厚以10 μm以下為優選。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12的大小為沿著防塵薄膜組件框架21的長度，10 mm～50 mm左右為好，可以用接著等公知的方法安裝在防塵薄膜組件收納容器本體11上。優選，如圖4所示的那樣，以用螺栓16從防塵薄膜組件收納容器本體11的外側進行結合固定。再者，如將在內部進行了螺紋加工的板狀螺帽13插入，可以大幅度提高固定強度，更優選。

圖5為防塵薄膜組件框架支撐裝置12的實施方式的一例。階差部12a並不在防塵薄膜組件框架支撐裝置12的全體上設置，僅在一部分的區域上設置，其長度以w1為3 mm～8 mm左右為優選。在該實施方式中，對防塵薄膜組件框架21進行載置的階差部12a的區域小，所以柔軟性高，提高了緩衝性。

再者，根據需要，在階差部12a中，可以用刀等手工作業對內側進行加工，對階差部的寬w2進行調整。階差部的寬w2需要根據收納的防塵薄膜組件20的遮罩黏著層未塗布區域23的寬來進行設定，如果防塵薄膜組件框架支撐裝置12的方式為圖5所示的方式的話，可以用一個成形模型，與各種各樣尺寸的防塵薄膜組件20對應，實用性高。

防塵薄膜組件20在被薄膜組件框架支撐裝置12的階差部12a從下面支撐的同時，垂直面12b也對水平方向的移動進行規制，但是為了防止防塵薄膜組件收納容器10由於運送中的振動使防塵薄膜組件20從防塵薄膜組件框架支撐裝置12飛出，有必要將其固定在防塵薄膜組件收納容器本體11上。

在圖1～圖4中所示的實施方式中，與專利文獻1中記載的防塵薄膜組件收納容器相同，通過在防塵薄膜組件框架21的側面設置的非貫通的孔（未圖示）中插入銷14和將其加以保持的銷保持裝置15，將防塵薄膜組件20加以固定。另外，防塵薄膜組件20的固定裝置，使用其他的公知的方法也可，並不限於銷14和對其進行保持的銷保持裝置15。

防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體17，優選用厚度2 mm～8 mm左右的丙烯酸系、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（acrylonitrile-butadiene-styrene，ABS）、聚氯乙烯（polyvinylchloride，PVC）、聚碳酸酯（polycarbonate，PC）等的樹脂板進行真空成型或者壓空成形來進行製作，其一邊為200 mm以下的小型的場合，也可用射出成型來製作。再者，防塵薄膜組件收納容器本體11為易於提高附著異物的辨識性，以黑色為優選，蓋體17為了提高收納的防塵薄膜組件20的辨識性，以透明或者有色半透明為優選。

進一步，從防止異物附著的觀點，優選防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體17都賦予樹脂本身具有抗靜電性能，或者在其表面進行抗靜電塗裝，從安全性的觀點，賦予難燃性進一步優選。 [實施例] 以下對本發明的實施例進行詳細說明。

實施例中，首先，將圖1～圖6所示的那樣的防塵薄膜組件收納容器10加以製作。防塵薄膜組件收納容器本體11為，用厚度5 mm的抗靜電黑色ABS板材料，圖6所示的蓋體17用厚度5 mm的抗靜電透明ABS板材料進行真空成型製作，其大小為外尺寸1100 mm×1280 mm×120 mm。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12為在材質使用苯乙烯系彈性體（KURARAY塑膠（股）製，商品名：SEPTON）的同時，如圖4中所示的那樣，向內部插入SUS304製作的板狀螺帽13，藉由射出成型來製作。將該防塵薄膜組件框架支撐裝置12從防塵薄膜組件收納容器本體11的裡面用2個螺栓16安裝。

防塵薄膜組件框架支撐裝置12的安裝位置為如圖1所示，在防塵薄膜組件框架21的長邊配置4處a、b、c、d，從防塵薄膜組件框架角到長邊長的30%的區域D的範圍內安裝。另一方面，短邊上配置2處的e、f為從防塵薄膜組件框架角到短邊長的30%的區域的E的範圍內安裝。再者，長邊中配置的4處的防塵薄膜組件框架支撐裝置12中，b以及c的2處相對於另外的2處a以及d，在0.7 mm內側安裝。

然後，防塵薄膜組件收納容器本體11上，ABS樹脂射出成型製作的銷保持裝置15為接著固定。然後，該接著固定之前，對銷保持裝置15中插入的銷14的位置進行調整，使其與防塵薄膜組件框架外側面上設置的非貫通的孔（未圖示）嵌合。

另一方面，為了在所述防塵薄膜組件收納容器10的評價中使用，將防塵薄膜組件20加以準備。製作防塵薄膜組件20，該防塵薄膜組件框架21的長邊外尺寸為1120 mm，短邊外尺寸為900 mm，框架寬為12 mm，框架高度為5.8 mm。然後，該防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件框架21中，由於對其12 mm的長進行高1.3 mm、寬4 mm的遮罩黏著層22的塗布，所以如圖4中所示的那樣，在寬8mm範圍內不進行遮罩黏著層22的塗布，形成遮罩黏著層未塗布區域23。

圖4所示的防塵薄膜組件框架21的材料為A6061鋁合金，其表面進行Ra 0.6程度的噴砂處理，施以黑色陽極氧化膜處理，製作防塵薄膜組件框架21。再者，遮罩黏著層22的材料為矽酮黏著劑（信越化學工業（股）製，商品名KR-3700），防塵膜接著層24的材質為矽酮黏著劑（信越化學工業（股）製，商品名KR-3700）。另外，作為防塵膜25，材質為由氟系樹脂（旭硝子（股）製，商品名CYTOP）構成的厚度4 μm之物。

該防塵薄膜組件20被載置在防塵薄膜組件收納容器本體11上的框架支撐裝置12上的同時，將銷保持裝置15支撐的銷14插入防塵薄膜組件框架21的外側面的孔（未圖示）而固定後，在所述防塵薄膜組件20蓋上蓋體17而密閉，周緣部用黏著膠帶密封，製得防塵薄膜組件收納容器10。

最後對該防塵薄膜組件收納容器10進行評價，將收納防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件收納容器10收納於強化瓦楞紙與發泡緩衝材料構成的梱包箱中，進行來回約1000 km的距離的卡車運送試驗後，該防塵薄膜組件收納容器10在無塵室內開梱，暗室中對防塵薄膜組件20的損傷和異物的附著狀況進行檢査。

檢査的結果，防塵薄膜組件20上附著的異物的增加完全沒有觀察到。再者，與防塵薄膜組件框架21的框架支撐裝置12接觸的部分，也進行了同樣的檢査，沒有看到異物附著以及擦傷等痕跡，遮罩黏著層22也沒有發現接觸的痕跡等等缺陷。 [比較例]

在比較例中，製作圖7以及圖8所示的防塵薄膜組件收納容器70。圖7為其平面圖，圖8為圖7的FF截面圖。防塵薄膜組件框架支撐裝置72的材質為苯乙烯系彈性體（KURARAY塑膠（股）製，商品名：SEPTON），防塵薄膜組件框架支撐裝置72通過射出成型來製作。該防塵薄膜組件框架支撐裝置72沒有階差，頂面平坦。

再者，該防塵薄膜組件收納容器70在其防塵薄膜組件框架支撐裝置72的安裝位置為包括各長短邊的中央部分的均勻配置，其他與上述實施例的防塵薄膜組件收納容器10同樣地製作（包括尺寸也相同）。

然後，對該防塵薄膜組件收納容器70進行評價，該防塵薄膜組件收納容器70與實施例相同地將防塵薄膜組件20收納，同樣用卡車運送來回約1000 km的距離，然後將該防塵薄膜組件收納容器70搬入無塵室中進行評價。

評價的結果，將防塵薄膜組件20從防塵薄膜組件收納容器70取出時，觀察到長邊中央部附近的遮罩黏著層22與防塵薄膜組件框架支撐裝置72有接觸部分。緩慢地將接著部分剝掉，進行目視確認，得知遮罩黏著層22發生接觸損傷，成為無法使用的狀態。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體
12‧‧‧防塵薄膜組件框架支撐裝置
12a‧‧‧階差部
12b‧‧‧垂直面
12c‧‧‧錐面
13‧‧‧板狀螺帽
14‧‧‧銷
15‧‧‧銷保持裝置
16‧‧‧螺栓
17‧‧‧蓋體
20‧‧‧防塵薄膜組件
21‧‧‧防塵薄膜組件框架
22‧‧‧遮罩黏著層
23‧‧‧遮罩黏著層未塗布區域
24‧‧‧防塵膜接著層
25‧‧‧防塵膜
70‧‧‧比較例的防塵薄膜組件收納容器
71‧‧‧比較例的防塵薄膜組件收納容器本體
72‧‧‧比較例的防塵薄膜組件框架支撐裝置
a、b、c、d、e、f‧‧‧防塵薄膜組件框架支撐裝置
D、E‧‧‧範圍、區域
w1‧‧‧防塵薄膜組件框架支撐裝置階差部的長度
w2‧‧‧防塵薄膜組件框架支撐裝置階差部的寬

圖1為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的平面圖。 圖2為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的AA截面圖。 圖3為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的BB截面圖。 圖4為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的C部放大圖。 圖5為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的斜視圖。 圖6為本發明的防塵薄膜組件收納容器的一實施方式的斜視圖。 圖7為比較例的防塵薄膜組件收納容器的平面圖。 圖8為比較例的防塵薄膜組件收納容器的FF截面圖。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

12‧‧‧防塵薄膜組件框架支撐裝置

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧遮罩黏著層

25‧‧‧防塵膜

Claims (4)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，包括：防塵薄膜組件收納容器本體，收納不使用保護遮罩黏著層的分離片的矩形的防塵薄膜組件；以及蓋體，嵌合於所述防塵薄膜組件收納容器本體而密閉；並且 所述防塵薄膜組件收納容器的特徵在於：在上述防塵薄膜組件收納容器本體上設置在外側呈高起的階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置，並且在所述階梯狀的防塵薄膜組件框架支撐裝置的低的階梯，防塵薄膜組件框架的遮罩黏著層未塗布區域被支撐。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述防塵薄膜組件框架支撐裝置僅配置在從收納的所述防塵薄膜組件的角部到各邊的全長的30%的範圍內。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述防塵薄膜組件框架支撐裝置越靠近收納的所述防塵薄膜組件的邊中央部，越靠近所述防塵薄膜組件的內側方向來進行配置。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述防塵薄膜組件框架支撐裝置的表面對於收納的所述防塵薄膜組件的所述遮罩黏著層具有離型性。