TWI590999B - 防塵薄膜組件收納容器 - Google Patents

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明涉及在半導體裝置，印刷基板或液晶顯示板等的製造中作為除塵器使用的至少一個邊長為500毫米(mm)以上的光刻用防塵薄膜組件的收納，保管，運輸所用的防塵薄膜組件收納容器。

大型積體電路(Large Scale Integration，LSI)，超LSI等的半導體製造或液晶顯示板等的製造中，要對半導體晶片或顯示板用玻璃板進行光照射，以進行圖案製作，如在此時所用的光罩(photomask)或標線片(reticle)(以下，僅稱光罩)上附著灰塵的話，該灰塵就會對光進行吸收，或使光彎曲，這樣轉印的圖案就會變形，邊緣(edge)會變得不齊，此外基底就會變黒脏污等，從而使尺寸，品質，外觀等受損。

由此，這些操作通常在無塵室中進行，但是，即使如此也難以總是保持光罩的經常的清潔，因此要先在光罩表面貼附作為防塵器的防塵薄膜組件，然後再進行曝光。此情況下，異物不會直接附著於光罩的表面，而是附著在防塵薄膜組件上，因此在 光刻時只要將焦點對準光罩的圖案，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關了。

該防塵薄膜組件，一般，是將透光良好的硝酸纖維素，醋酸纖維素或氟樹脂等形成的透明的防塵薄膜，貼附在用鋁，不鏽鋼等形成的防塵薄膜組件框架的上端面上而構成。另外，該防塵薄膜組件框架的下端面，塗布為了安裝光罩的聚丁烯樹脂，聚酢酸乙烯基酯樹脂，丙烯酸樹脂等形成的粘著劑層以及設置用來保護粘著劑層的離型層(分離片)，這樣的防塵薄膜組件，就會有效地防止異物從光罩貼附後所形成的封閉空間的外部向內部侵入。

但是，在防塵薄膜組件自身有異物附著且具有封閉空間的內部的情況，就難以防止異物向光罩的附著。由此，防塵薄膜組件本身，不僅被要求高的清潔性，並且在防塵薄膜組件的保管，運輸中使用的防塵薄膜組件收納容器，也要求維持其清潔性的功能強。具體地說，防塵薄膜組件收納容器被要求使用具有優良的帶電防止性能的材質以及摩擦時也不太發生灰塵的材質，具有可極力防止防塵薄膜組件以及收納容器構成部件間的接觸的構造，以及具有即使施加外力的也難以變形的高剛性的構造等。

該防塵薄膜組件收納容器，通常，用丙烯睛-丁二烯-苯乙烯(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)，丙烯酸等的樹脂通過射出成型或真空成型而製造，射出成型或真空成型的成型方法被利用的主要的理由為具有，因表面平滑而異物的附著以及發生灰 塵的可能性小，由於整體成型而沒有接口發生灰塵以及異物侵入的可能性小，容易製造複雜形狀由此可以大量生產並且低成本化等優點。

例如，半導體用與印刷基板用的防塵薄膜組件收納容器，外形的邊長為大約200~300mm前後，由於要求防塵薄膜組件收納容器的清潔性的保持以及施加外力時也不易變形的高剛性，所以通常用射出成型法進行製造，但是，邊長200~300mm左右大小的防塵薄膜組件收納容器的情況，幾乎沒有剛性的問題。其原因是，邊長200~300mm左右大小的防塵薄膜組件收納容器，由於本來就小，所以易於剛性的確保，而且射出成型法易於使局部改變厚，重要的地方可以用壁厚來加強，從而確保剛性。

另一方面來說，主要用於收納液晶以及有機電致發光(Electro-Luminescence，EL)等的顯示板用的防塵薄膜組件收納容器，為外形的邊長超過500mm的大型物，通常，用ABS，丙烯酸等的合成樹脂片進行真空成型製造。邊長超過500mm的大型的防塵薄膜組件收納容器的情況，在從具有1處或數處的開口向模具內高速注入樹脂的射出成型法中，樹脂的流動會距離過長而製造困難，所以要利用真空成型法。在該真空成型法中，將模具用加熱的樹脂包覆，僅進行真空吸引就可容易地製造大型的成型品。

但是，利用這樣的真空成型法進行大型的防塵薄膜組件收納容器製造的情況，具有不能形成壁厚較厚的收納容器的問題。該壁厚的問題，通過形成肋部而加強的對策在某種程度上可 以解決該問題，該情況的肋部的成型，基本上是僅將相同板厚的片進行曲折而達成，因此僅依靠該對策在要求高剛性的防塵薄膜組件收納容器的製作上具有困難的問題。

由此，習知上，為了防止邊長超過500mm的大型收納容器的變形以及彎曲，採用通過貼合加強材從而提高剛性的對策。例如，專利文獻1中，記載了在收納容器的左右側緣以及中央部配置鋁等的金屬製加強帶狀體或配置角材的大型精密片狀製品用密封容器。另外，專利文獻2中，記載了在收納容器的裏面接合鋁等的加強金屬部件的防塵薄膜組件收納容器。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2005-170507

[專利文獻2]日本專利第4391435號

雖然在這樣的習知的加強對策中，採用組合由鋁合金等的高剛性的材料形成的加強體，配置成日字型或目字型等的方案，但在這樣的方案中，可以說若加強的量多的話，其加強效果也大，另一方面來說，當然其重量以及成本就會増加。雖然，可以考慮使用輕量且高剛性的材料，這樣的輕量且高剛性的材料，一般其價格高，所以將剛性，重量，成本全部取得平衡具有困難的問題。

由此，本發明，就是鑒於上述的實際情況而成的。本發明的目的，就是提供一種低成本，輕量且高剛性的防塵薄膜組件收納容器。

本發明人，對達成上述目的進行了深入地研究，發現如在肋部的外側接續(接合)加強邊緣部的加強件的話，就可以抑制向肋部的張開方向的變形以及扭曲變形，由此，通過實施邊緣部的加強這簡易的對策，就可以既輕量又具有高的剛性的防塵薄膜組件收納容器，達成本發明。

即，本發明，包括，載置至少一邊長為500mm以上的防塵薄膜組件的容器本體以及與所述容器本體在周緣部嵌合固定的蓋體，所述防塵薄膜組件收納容器用樹脂製片材成型，於其特徵在於，所述容器本體從外側來看具有凹形狀的肋部，並且在所述該肋部的外側接續有對邊緣部進行加強的加強件

另外，本發明的肋部，較好為其高度設定為與在容器本體的中央側配置的肋部大約同樣程度的低，加強件，較好為安裝在多個肋部相接續的部位。

進而，本發明的加強件，其形狀較好為平板狀，具有大略C字型或大略L字型的截面形狀。平板狀的情況，較好為以將邊緣部的凹部覆蓋的方式接續，具有大略C字型或大略L字型的截面的情況，較好為加強件的全部或其一部分嵌合於肋部之中的方式接續。

根據本發明，在成凹形狀的肋部的外側設置對邊緣部進行加強的加強件，由此可以防止肋部的變形以及扭轉變形，所以可以提供與以往的金屬製的加強件相比，具有同等以上的高剛性，而且低成本輕量的防塵薄膜組件收納容器。

10、80‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧容器本體

12、82‧‧‧蓋體

13、13a、13b、13c‧‧‧肋部

14a、14b、61、71‧‧‧加強件

15‧‧‧防塵薄膜組件支持物

15a‧‧‧防塵薄膜組件支持針

15b‧‧‧針支持塊

16‧‧‧掘入部

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧遮罩粘著層

23‧‧‧防塵薄膜接著層

24‧‧‧防塵薄膜

81‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

83a、83b‧‧‧加強框架

84‧‧‧接續件

85‧‧‧螺栓

圖1是本發明的一實施方式的收納容器的斜視圖。

圖2是本發明的一實施方式的收納容器本體的上平面圖。

圖3是本發明的一實施方式的收納容器本體的AA截面圖。

圖4是本發明的一實施方式的收納容器本體的BB截面圖。

圖5是本發明的一實施方式的收納容器本體的下平面圖。

圖6是本發明的一實施方式的收納容器中使用的大略C字狀的加強件的截面圖。

圖7是本發明的一實施方式的收納容器中使用的大略L字狀的加強件的截面圖。

圖8是比較例的收納容器的斜視圖。

圖9是比較例的收納容器的截面圖。

以下，對本發明的一實施方式參照附圖進行詳細說明，但是本發明並不限定於此。

圖1至圖5，表示了本發明的一實施方式，圖1為本發明的防塵薄膜組件收納容器10的斜視圖。圖2為所述容器本體11的上平面圖，圖3為圖2中AA截面圖，圖4為圖2中的BB截面圖。另外，圖5為從外側(圖2的裏側)看的容器本體11下平面圖。

防塵薄膜組件收納容器10，為由將丙烯酸，ABS，聚對苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate，PET)，聚苯乙烯(Polystyrene，PS)等的樹脂形成的厚度2~6mm左右的片材真空成型的容器本體11和蓋體12構成。因此，該容器本體11由於提高對異物的視認性等理由，以黒色為佳，蓋體12為了對內部進行確認，以透明或半透明為佳。

這樣的容器本體11和蓋體12，在其周緣部嵌合的同時，該嵌合部用粘著膠帶等密封，或用夾子等固定(未圖示)，使其內部為密閉狀態。

在本發明的一實施方式中，容器本體11上有用相同的材料成型而設置的肋部13(13a，13b，13c)。這些的肋部13，較好為從容器本體11的外側看為凹形狀，即向容器本體11的內側凸出的形狀。這些肋部13的尺寸，從保持剛性以及成型性的觀點，較好位於寬20~100mm，深10~100mm的範圍。

另外，防塵薄膜組件收納容器10由於運輸中的震動等發生搖動時，為了防止防塵薄膜與所述肋部13接觸，這些肋部13的高度較好為與配置在容器本體11的中央的肋部同樣程度的低。

在所述肋部13的外側，有對邊緣部進行加強的加強件14a，14b接續。進而，這些加強件的形狀為平板狀的情況，較好為以從容器本體11的外側對肋部13的凹形狀覆蓋的方式來接續。該加強件14a，14b，也可將肋部13的全面或容器本體11的全面覆蓋。在該情況，如不能完全密閉，洗浄時會有洗浄水浸入，在乾燥等會產生問題。另一方面，在完全密閉的情況，在溫度以及氣壓變化時有發生變形的可能，因此需要留意。

由此，作為最佳實施方式，加強件14a，14b較好為在肋部13的一部分的領域，特別是在多個的肋部相接續的部位進行接續。在圖5的實施方式中，在肋部13b和13c的接續部有平板狀的加強件14a，14b接續。另外，在該加強件14a，14b接續的領域，較好為設置如圖3以及圖7所示的掘入部16，以便消除與容器本體11表面所成的段差。

作為加強件14a，14b的接續(接合)方法，可以用接著劑等接著，熱溶著，螺栓固定，鉚釘固定等。其中選擇何種方法，可以根據加強件14a，14b的材質以及形狀來適宜地決定，但是從強度，成本的觀點，以接著劑等進行接著為佳。

作為加強件14a，14b的材質，可以使用以鋁合金，不鏽鋼等金屬，以及纖維強化樹脂等，但是從接著性，成本，尺寸的經時安定性以及吸濕性等的觀點，最好從由聚氯乙烯(Polyvinyl chloride，PVC)，ABS，聚碳酸酯(Polycarbonate，PC)構成的組群來選擇。另外，如果考慮到熱膨脹系數的話，較好選擇與容器 本體相同的材質。

不過，由於如果采用本發明的加強構造就可以發揮充分的加強效果，所以即使使用剛性劣於金屬以及纖維強化樹脂的材質的樹脂材料，作為容器本體11的剛性也可毫不遜色。

圖6，表示了與平板不同形狀的另一加強件61的實施方式。該加強件61截面形狀為大略C字型的形狀，在該加強件61的情況較好為嵌入肋部13的中而進行接合。這樣的實施方式雖然可以得到極高的加強效果，但是由於容器本體11以及加強件61都要用真空成型進行製作，所以尺寸精度差，具有製作時難以得到如所設計的那樣的嵌合狀態的問題。

由此，在實際製作的情況，有必要將加強件61製作成稍微小一點，要設法使在容器本體11的肋部13內可確實地收容、固定，並且有必要設法使用可以充填大的間隙的接著劑等。

另外，圖7，表示了另一個使用加強件71的實施方式。該加強件71，截面形狀為大略L字型的形狀，該加強件71的情況，較好為有一部分插入在肋部13中，並且其一部分與底面接合。另外，在該情況，較好為容器本體11的底面設置掘入部16，以不使加強件71突出。這樣的實施方式，也具有可期待對肋部13的加強效果高，高的剛性，並且與圖6的大略C字型的加強件61相比，接合容易的優點。

[實施例]

以下，對圖2至圖5所示的實施例進行詳細說明。在該 實施例中，首先，使用厚度5mm的防帶電的ABS(黒色)的片材，用真空成型法，製作圖2至圖5所示的形狀的容器本體11。該容器本體11的外尺寸，為1350 x 1550 x 高度60mm，設置向內側方向凸出的肋部13a，13b，13c。

在該肋部13b和13c的接續部的外面側，用接著劑將由ABS樹脂形成的尺寸250mm x 300mm x 厚度3mm的平板狀的加強件14a和尺寸180mm x 200mm x 厚度3mm的平板狀的加強件14b進行接合。在容器本體11的加強件14a，14b接合的領域，為了不使加強件14a，14b向外側突出，設置深3mm的掘入部16。

另外，在容器本體11中，由於在其上固定有防塵薄膜組件20，所以具有由用不鏽鋼以及ABS樹脂形成的防塵薄膜組件支持針15a以及用ABS樹脂製成的針支持塊15b構成的防塵薄膜組件支持物15，該支持物15用螺栓(未圖示)在4個地方安裝，但該防塵薄膜組件20的安裝方式，也可以用其他公知的方法。

然後，用厚度5mm的帶電防止ABS(透明)的片材，將在容器本體11的周緣部嵌合的蓋體12用真空成型法製作。圖1，表示了在容器本體11上嵌合蓋體12的狀態的防塵薄膜組件收納容器10，此時的容器的尺寸，為外形1350mm x 1550mm，高度120mm。

將如此製作的防塵薄膜組件收納容器10搬入10級無塵室，用界面活性劑和純水充分洗浄，完全乾燥後，在該防塵薄膜組件收納容器10中將防塵薄膜組件20收納。然後，在防塵薄膜 組件框架21的外側面設置了孔(未圖示)中將防塵薄膜組件支持針15a挿入，使該被收納了的防塵薄膜組件20固定在容器本體11上，進行運輸實驗。

在該運輸實驗中，使用外尺寸1392mm x 1146mm，內尺寸1370mm x 1124mm，高度6mm的防塵薄膜組件20，但是該防塵薄膜組件20，如圖3以及圖4所示的那樣，由鋁合金製防塵薄膜組件框架21(材質A6061鋁合金，厚度4.8mm，表面黒色氧化鋁處理)，遮罩粘著層22，防塵薄膜接著層23(矽樹脂)以及防塵薄膜24(厚度約2μm的氟樹脂)構成，遮罩粘著層22表面上安裝有保護用的分離片(未圖示)。

然後，對該運輸實驗進行具體說明。首先，將防塵薄膜組件20在暗室內用集光燈進行異物檢査後，將其在上述防塵薄膜組件收納容器10中收納，用防塵薄膜組件固定件15將防塵薄膜組件20在容器本體11上固定，並且將蓋體12很小心地嵌合在容器本體11上，進行密閉。另外，蓋體12和容器本體11的周緣部用PVC製粘著膠帶(未圖示)進行貼附固定，用內部清潔的防帶電PE製袋進行2層包裝，收納於內部配置有緩衝材料的加固瓦楞紙製包裝箱(未圖示)中。

該防塵薄膜組件收納容器10的運輸，為在上述那樣的包裝狀態下，從日本群馬縣運到福崗縣，其中群馬和東京間用卡車，東京和福岡間用飛機，個別進行來回的運輸。然後，將防塵薄膜組件收納容器搬入無塵室，對收納的防塵薄膜組件20的狀態進行 檢査，沒有在防塵薄膜組件20發現任何損傷以及異物的附著，維持了極為清潔的狀態。

[比較例]

在比較例中，製作圖8以及圖9所示的防塵薄膜組件收納容器80。圖8，為其斜視圖，圖9，為長方向的截面圖。該比較例的防塵薄膜組件收納容器80，其外尺寸與實施例相同，沒有覆蓋肋部(13)的加強件(14)。在容器本體81的周緣部，安裝有為了提高剛性的鋁合金製的加強框架(截面15mm x 30mm)83a，83b。加強框架83a，83b，用不鏽鋼製的接續件84在角部接續，從而構成整體框狀加強部件，該整體框狀加強部件通過螺栓85與容器本體81結合。

對該防塵薄膜組件收納容器80，進行與實施例同樣的條件的運輸實驗，結果防塵薄膜組件20上沒有發現損傷以及異物的附著，由於維持了清潔的狀態，所以可以確認具有高的剛性。但是，與實施例的重量以及成本進行比較，比較例的防塵薄膜組件收納容器80的重量約為實施例的約1.3倍，製作成本為約1.5倍。

根據以上的結果，如本發明般，在肋部的外側接續加強邊緣部的加強件，可得到與習知的加強框架同等以上的高剛性，並且可以製得低成本且輕量的防塵薄膜組件收納容器。

11‧‧‧容器本體

13a、13c‧‧‧肋部

14b‧‧‧加強件

16‧‧‧掘入部

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧遮罩粘著層

23‧‧‧防塵薄膜接著層

24‧‧‧防塵薄膜

Claims (5)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，包括載置至少一邊長為500毫米以上的防塵薄膜組件的容器本體以及與所述容器本體在周緣部嵌合固定的蓋體，所述防塵薄膜組件收納容器用樹脂製片材成型，其特徵在於於：所述容器本體從外側來看具有凹形狀的肋部，並且所述容器本體在所述肋部的外側有對所述肋部進行加強的加強件，所述加強件僅接續在多個所述肋部相接續的部位，並且所述肋部的高度設為與在所述容器本體的中央側配置的肋部同樣程度的低。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，於所述加強件的形狀為以覆蓋所述邊緣部的凹形狀的方式接續的平板狀。
3. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，於所述加強件的形狀為具有大略C字型的截面，並以嵌入所述肋部中的方式接續。
4. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，於所述加強件的形狀為具有大略L字型的截面，並以其一部分插入所述肋部中的方式接續。
5. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述加強件是以與所述容器本體相同的材質來形成的。