KR102379852B1 - 펠리클 수납 용기 - Google Patents

Abstract

[과제]
본 발명의 목적은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 수납하기 위한 저비용이며 경량이고 또한 고강성인 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.
[해결 수단]
본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와 이 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하며 수지제 시트재를 성형해서 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 상기 용기 본체는 외측으로부터 보아서 오목 형상으로 이루어지는 리브부를 가짐과 아울러 이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 한다. 그리고, 그 보강 수단은 형상이 평판 형상, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상이 바람직하고, 평판 형상인 경우에는 리브부의 오목부를 덮도록 접속되며, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상인 경우에는 리브부 내에 전부 또는 일부가 감합되어 접속되는 것이 바람직하다.

Description

펠리클 수납 용기{PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 리소그래피용 펠리클을 수납, 보관, 수송하는 펠리클 수납 용기에 관한 것이다.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이용 유리판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(reticle)(이하, 간단히 「포토마스크 」로 기술)에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나 에지가 거칠어지는 것 외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다는 문제가 있었다.

그래서, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관해진다.

이 펠리클은 일반적으로 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 초산셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인리스강 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 접착해서 구성되어 있다. 또한, 이 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리브덴 수지, 폴리초산비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되기 때문에, 이러한 펠리클은 마스크에 부착된 후에는 그것들이 형성하는 폐공간의 외부로부터 내부로의 이물 침입에 대해 효과적이다.

그러나, 펠리클 자체에 이물이 부착되고 또한 그것이 폐공간의 내부에 있을 경우에는 포토마스크로의 이물 부착을 방지하는 것은 곤란하다. 이 때문에, 펠리클 자체에 대해서는 높은 청정성이 요구되는 것은 물론이고 이 펠리클의 보관, 수송에 사용하는 펠리클 수납 용기에 대해서도 그 청정성을 유지할 수 있는 성능이 강하게 요구되고 있다. 구체적으로는, 뛰어난 대전 방지 성능의 재질이나 스쳤을 때에도 먼지 발생이 적은 재질인 것, 펠리클 및 구성 부품 간의 접촉을 최대한 방지하는 것이 가능한 구조인 것, 외력이 가해졌을 때의 변형을 방지하는 것이 가능한 고강성인 구조인 것 등이 요구되고 있다.

이 펠리클 수납 용기는 통상 ABS, 아크릴 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형함으로써 제조되고 있지만, 사출 성형 또는 진공 성형이라는 성형 방법이 이용되는 주된 이유로서는 표면이 평활해서 이물의 부착이나 먼지 발생의 우려가 적은 것, 일체 성형이기 때문에 이음매가 없어 먼지 발생이나 이물 침입의 우려가 적은 것, 복잡한 형상의 것도 용이하게 제조할 수 있는 것, 양산성이 뛰어나 저비용화가 가능한 것 등의 메리트가 있기 때문이다.

예를 들면, 반도체용이나 프린트 기판용 펠리클 수납 용기는 외형의 변 길이가 대략 200~300㎜ 전후이며, 펠리클 수납 용기의 청정성 유지나 외력이 가해졌을 때에도 변형되기 어려운 고강성이 요구되기 때문에 통상 사출 성형법을 이용해서 제조되고 있지만, 변 길이가 200~300㎜ 정도 크기인 펠리클 수납 용기의 경우에는 그 강성의 문제는 거의 발생하는 경우가 없다. 왜냐하면, 변 길이가 200~300㎜ 정도 크기인 펠리클 수납 용기는 원래 소형으로 강성을 확보하기 쉬운데다가, 사출 성형법으로는 두께를 국소적으로 변경하는 것이 용이하기 때문에 필요 개소에 두꺼운 두께가 있는 보강을 추가해서 강성을 확보할 수 있기 때문이다.

한편, 주로 액정이나 유기 EL 등의 디스플레이용 펠리클 수납 용기는 외형의 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형이며, 통상 ABS, 아크릴 등의 합성 수지 시트를 진공 성형해서 제조되고 있다. 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기의 경우에는 1개소 또는 여러 개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출 성형법으로는 수지가 흐르는 거리가 지나치게 길어서 제법(製法)적으로 곤란하기 때문에 진공 성형법이 이용되고 있다. 이 진공 성형법에서는 금형에 가열한 수지 시트를 씌우고 진공 배기하는 것만으로 대형 성형품도 용이하게 성형할 수 있기 때문이다.

그러나, 이러한 진공 성형법을 이용해서 대형 펠리클 수납 용기를 제조할 경우에는 두께가 두꺼운 수납 용기를 성형할 수 없다는 문제가 있다. 이 두께의 문제는 리브를 성형해서 보강한다는 대책에 의해 어느 정도 해결되지만, 이 경우의 리브의 성형은 기본적으로는 동일한 판두께의 시트를 절곡하는 정도이므로 이 대책만으로는 높은 강성이 요구되는 펠리클 수납 용기를 제작하는 것은 곤란하다는 문제가 있다.

이 때문에, 종래부터 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 수납 용기의 변형이나 휨 등을 방지하기 위해 보강재를 접합해서 강성을 높이는 대책이 이루어지고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 수납 용기의 좌우측 가장자리 및 중앙부에 알루미늄 등의 금속제 보강 띠형상체 또는 앵글재를 접합 배치한 대형 정밀 시트 형상 제품용 밀봉 용기가 기재되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는 수납 용기의 이면에 알루미늄 등의 보강 금속 부품을 접합한 펠리클 수납 용기가 기재되어 있다.

일본 특허 공개 2005-170507 일본 특허 제 4391435 호

이러한 종래의 보강 대책에서는 알루미늄 합금 등의 고강성인 재료로 이루어지는 보강체를 조합시켜 日자형 또는 目자형 등으로 배치하는 방책이 사용되고 있지만, 이러한 방책으로는 그 보강의 양이 많아지면 보강 효과도 커진다고 할 수 있지만 한편으로 당연히 중량이나 비용이 증가하게 된다. 이용하는 재료를 경량이며 또한 고강성인 것으로 하는 것도 고려되지만 이러한 경량이며 또한 고강성인 재료는 일반적으로 그 가격이 높기 때문에 강성, 중량, 비용을 모두 균형지게 하는 것은 어렵다는 문제가 있다.

그래서, 본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로서 그 목적은 저비용으로 경량이며 또한 고강성인 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이다.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 행한 바, 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 접속(접합)하면 리브부의 개방 방향으로의 변형이나 비틀림 변형을 억제할 수 있기 때문에 리브부의 보강이라는 간이한 대책을 실시함으로써 경량으로도 높은 강성이 얻어지는 것을 지견하여 본 발명에 이른 것이다.

즉, 본 발명은 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와 이 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하며 수지제 시트재를 성형해서 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 용기 본체는 외측으로부터 보아서 오목 형상으로 되는 리브부를 가짐과 아울러 이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 리브부는 그 높이가 용기 본체의 중앙측에 배치된 리브일수록 낮게 설정되어 있는 것이 바람직하고, 보강 수단은 복수의 리브가 접속된 부위에 부착되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 보강 수단은 그 형상이 평판 형상이나 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상이 바람직하고, 평판 형상인 경우에는 리브부의 오목부를 덮도록 접속되어 있는 것이 바람직하고, 대략 C자형 또는 대략 L자형의 단면 형상인 경우에는 리브부 내에 전부 또는 일부가 감합되어 접속되어 있는 것이 바람직하다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 오목 형상으로 되는 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 설치하여 리브부의 변형이나 비틀림 변형을 억제할 수 있기 때문에 종래 금속제의 보강 수단과 비교해서 동등 이상의 높은 강성을 갖고 또한 저비용으로 경량인 펠리클 수납 용기를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 상평면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 AA 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 BB 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기 본체의 하평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기에 이용되는 대략 C자 형상 보강 수단의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 수납 용기에 이용되는 대략 L자 형상 보강 수단의 단면도이다.
도 8은 비교예의 수납 용기의 사시도이다.
도 9는 비교예의 수납 용기의 단면도이다.

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 대해 도면을 참조해서 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.

도 1~도 5는 본 발명의 제 1 실시형태를 나타내는 것이며, 도 1은 본 발명의 펠리클 수납 용기(10)의 사시도이다. 도 2는 그 용기 본체(11)의 상평면도이며, 도 3은 도 2의 AA 단면도이고, 도 4는 도 2의 BB 단면도이다. 또한, 도 5는 용기 본체(11)를 외측(도 2의 이면측)으로부터 본 하평면도이다.

펠리클 수납 용기(10)는 아크릴, ABS, PET, PS 등의 수지로 이루어지는 두께 2~6㎜ 정도인 시트재를 진공 성형한 용기 본체(11)와 덮개체(12)로 구성되어 있다. 그리고, 이 용기 본체(11)는 이물의 시인성 향상 등의 이유로부터 흑색으로 하는 것이 좋고, 덮개체(12)는 내부를 확인하기 위해 투명 또는 반투명으로 하는 것이 바람직하다.

이러한 용기 본체(11)와 덮개체(12)는 그 둘레 가장자리부에서 감합됨과 아울러 이 감합부는 점착 테이프 등으로 밀봉하거나 클립 등으로 고정해서(도시하지 않음) 그 내부를 밀폐 상태로 하고 있다.

본 발명의 제 1 실시형태에서는 용기 본체(11)에 동일한 판재를 성형해서 형성한 리브부(13)(13a, 13b, 13c)가 형성되어 있다. 이들 리브부(13)는 용기 본체(11)의 외측으로부터 보아서 오목 형상, 즉 용기 본체(11)의 내측으로 볼록하게 돌출된 형상으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이들 리브부(13)의 치수는 강성 확보 및 성형성의 관점으로부터 폭 20~100㎜, 깊이 10~100㎜의 범위로 하는 것이 바람직하다.

또한, 펠리클 수납 용기(10)가 수송 중의 진동 등에 의해 흔들렸을 때에 펠리클막이 이 리브부(13)에 접촉하는 것을 방지하기 위해 이들 리브부(13)의 높이를 용기 본체(11)의 중앙측에 배치된 리브부일수록 낮게 하는 것이 바람직하다.

또한, 이 리브부(13)의 외측에는 리브부를 보강하는 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있다. 그리고, 이들 보강 수단의 형상이 평판 형상일 경우에는 용기 본체(11)의 외측으로부터 리브부(13)의 오목 형상을 덮도록 접속되어 있는 것이 바람직하다. 이 보강 수단(14a, 14b)은 리브부(13)의 전체면 또는 용기 본체(11)의 전체면을 덮고 있어도 좋다. 이 경우에는 완전히 밀폐하지 않으면 세정시에 세정수가 침입해서 건조 등의 점에 있어서 문제가 발생하게 된다. 한편, 완전히 밀폐했을 경우에는 온도나 기압의 변화시에 변형이 발생할 우려가 있으므로 유의할 필요가 있다.

여기서, 가장 바람직한 실시형태로서는 보강 수단(14a, 14b)은 리브부(13)의 일부의 영역, 특히 복수의 리브가 접속된 부위에 접속되어 있는 것이 바람직하다. 도 5의 실시형태에서는 리브(13b, 13c)의 접속부에 평판 형상의 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있다. 또한, 이 보강 수단(14a, 14b)이 접속되어 있는 영역에는 용기 본체(11) 표면과의 단차가 없게 되도록 도 3이나 도 7에 나타내는 굴입(掘入)부(16)를 형성하는 것도 바람직하다.

보강 수단(14a, 14b)의 접속(접합) 방법으로서는 접착제 등에 의한 접착, 열용착, 볼트 고정, 리벳 고정 등을 이용할 수 있다. 이 중 어느 방법을 선택할지는 그 보강 수단(14a, 14b)의 재질이나 형상에 따라 적절히 결정하면 좋지만 강도, 비용의 관점으로부터 접착제 등에 의한 접착이 특히 바람직하다.

보강 수단(14a, 14b)의 재질로서는 알루미늄 합금, 스테인리스강 등의 금속을 비롯해 섬유 강화 수지 등을 사용할 수 있지만 접착성, 비용, 치수의 경시 안정성이나 흡습성 등의 관점으로부터 PVC, ABS, PC군으로부터 선택하는 것이 가장 바람직하다. 또한, 열팽창 계수도 고려하면 용기 본체와 동일한 재질의 것을 선택하는 것도 바람직하다.

무엇보다, 본 발명과 같은 보강 구조를 채용하면 충분한 보강 효과를 발휘할 수 있기 때문에 금속이나 섬유 강화 수지라는 재질에 비해 강성의 점에서 뒤떨어지는 수지 재료를 사용한 경우에도 용기 본체(11)로서의 강성의 점에서 손색이 없는 것이 얻어진다.

도 6은 평판과 다른 형상의 다른 보강 수단(61)을 사용한 실시형태를 나타낸다. 이 보강 수단(61)은 단면 형상이 대략 C자형의 형상이며, 이 보강 수단(61)의 경우에는 리브부(13) 내에 끼워넣어 접합하는 것이 바람직하다. 이러한 실시형태에서는 매우 높은 보강 효과가 얻어지지만, 용기 본체(11) 및 보강 수단(61)은 모두 진공 성형으로 제작되기 때문에 치수 정밀도가 나빠서 제작할 때에 설계대로 감합되는 상태를 얻는 것이 어렵다는 문제가 있다.

이 때문에, 실제로 제작할 경우에는 보강 수단(61)을 약간 작게 제작하여 용기 본체(11)의 리브부(13) 내에 확실히 수용·고정하는 것이 가능하도록 연구함과 아울러 큰 간극을 충전하는 것이 가능한 접착제를 사용하는 등의 연구도 필요하다.

또한, 도 7은 또 다른 보강 수단(71)을 사용한 실시형태를 나타낸다. 이 보강 수단(71)은 단면 형상이 대략 L자형의 형상이며, 이 보강 수단(71)의 경우에는 리브부(13) 내에 일부를 끼워넣음과 아울러 그 일부를 저면에 접합하는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우 용기 본체(11)의 저면에는 굴입부(16)를 형성하여 보강 수단(71)이 돌출되지 않도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 실시형태에서도 리브부(13)의 보강 효과는 높아서 높은 강성을 기대할 수 있음과 아울러 도 6의 대략 C자형의 보강 수단(61)과 비교하여 그 접합이 용이하다는 이점도 있다.

[실시예]

이하, 도 2~도 5에 나타내는 실시예에 대해 상세히 설명한다. 이 실시예에서는 우선 두께 5㎜의 대전 방지 ABS(흑색) 시트재를 이용하여 진공 성형법에 의해 도 2~도 5에 나타내는 형상의 용기 본체(11)를 제작했다. 이 용기 본체(11)의 외측 치수는 1350x1550x높이60㎜이며, 내측 방향으로 볼록하게 된 리브(13a, 13b, 13c)가 배치되어 있다.

이 리브(13b, 13c)의 접속부의 외면측에는 ABS 수지로 이루어지는 치수 250x300x두께3㎜의 평판 형상의 보강 수단(14a)과 치수 180x200x두께3㎜의 평판 형상의 보강 수단(14b)이 접착제에 의해 접합되어 있다. 용기 본체(11)의 보강 수단(14a, 14b)이 접합되는 영역에는 보강 수단(14a, 14b)이 외측으로 돌출되지 않도록 깊이 3㎜의 굴입부(16)가 형성되어 있다.

또한, 용기 본체(11)에는 그 위에 펠리클(20)을 고정하기 위해 스테인리스강 및 ABS 수지로 이루어지는 펠리클 지지핀(15a), 및 ABS 수지제의 핀지지 블록(15b)으로 이루어지는 펠리클 지지 수단(15)을 볼트(도시하지 않음)에 의해 4개소에 부착하고 있지만, 이 펠리클(20) 부착 수단은 다른 공지의 방법으로 하는 것도 가능하다.

이어서, 두께 5㎜의 대전 방지 ABS(투명) 시트재를 이용하여 용기 본체(11)의 둘레 가장자리부에 감합되는 덮개체(12)를 진공 성형에 의해 제작했다. 도 1은 용기 본체(11)에 덮개체(12)를 감합한 상태의 펠리클 수납 용기(10)를 나타내는 것이며, 이때의 용기 치수는 외형 1350x1550㎜, 높이 120㎜이다.

이렇게 제작한 펠리클 수납 용기(10)를 Class10의 클린룸에 반입하여 계면 활성제와 순수로 잘 세정하고 완전히 건조시킨 후에 이 펠리클 수납 용기(10)에 펠리클(20)을 수납했다. 그리고, 이 수납된 펠리클(20)을 펠리클 프레임(21)의 외측면에 형성된 구멍(도시하지 않음)에 펠리클 지지핀(15a)을 삽입해서 용기 본체(11) 상에 고정하고 수송 시험을 행했다.

이 수송 시험에서는 외측 치수 1392x1146㎜, 내측 치수 1370x1124㎜, 높이 6㎜의 펠리클(20)을 이용했지만, 이 펠리클(20)은 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 알루미늄 합금제 펠리클 프레임(21)(재질 A6061 알루미늄 합금, 두께 4.8㎜, 표면 흑색 알루마이트 처리), 마스크 점착층(22) 및 펠리클막 접착층(23)(실리콘 수지), 펠리클막(24)(두께 약 2㎛의 불소 수지)으로 구성되고, 마스크 점착제(22) 표면에는 보호용 세퍼레이터(도시하지 않음)가 부착되어 있다.

이어서, 이 수송 시험에 대해서 구체적으로 설명한다. 우선, 펠리클(20)을 암실 내에서의 집광 램프에 의한 이물 검사를 거친 후에 상기 펠리클 수납 용기(10)에 수납하여 펠리클 고정 수단(15)에 의해 용기 본체(11) 상에 고정함과 아울러 덮개체(12)를 조심스럽게 용기 본체(11)에 감합해서 밀폐했다. 또한, 덮개체(12)와 용기 본체(11)의 둘레 가장자리부를 PVC제 점착 테이프(도시하지 않음)에 의해 부착해서 고정하고, 내부를 청정하게 클리닝한 대전 방지 PE제 대(袋)에 의해 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 판지(cardboard)제 곤포 상자(도시하지 않음)에 수납했다.

이 펠리클 수납 용기(10)의 수송은 상기와 같은 곤포의 상태로 군마현으로부터 후쿠오카현까지 군마와 동경 사이는 트럭으로, 동경과 후쿠오카 사이는 항공기로 각각 왕복 수송을 행했다. 그 후, 펠리클 수납 용기를 클린룸에 반입하여 수납한 펠리클(20)의 상태를 검사한 바, 펠리클(20)에 손상이나 이물의 부착은 전혀 보여지지 않고 매우 청정한 상태가 유지되어 있었다.

[비교예]

비교예에서는 도 8 및 도 9에 나타내는 펠리클 수납 용기(80)를 제작했다. 도 8은 그 사시도이며 도 9는 길이 방향에 대한 단면도이다. 이 비교예의 펠리클 수납 용기(80)는 그 외측 치수가 실시예의 것과 동일 치수이며 리브부(13)를 덮는 보강 수단(14)은 접속되어 있지 않다. 또한, 용기 본체(81)의 둘레 가장자리부에는 보강해서 강성을 향상시키기 위한 알루미늄 합금제의 보강 프레임(단면 15x30㎜)(83a, 83b)이 부착되어 있다. 이들 보강 프레임(83a, 83b)은 스테인리스강제의 접속 수단(84)을 이용해서 코너부에서 접속되어 전체적으로 프레임 형상의 보강 부재를 구성함과 아울러 용기 본체(81)와는 볼트(85)에 의해 체결되어 있다.

이 펠리클 수납 용기(80)에 대해 실시예와 동일한 조건으로 수송 시험을 행한 바, 펠리클(20)에 손상이나 이물의 부착은 보여지지 않고 청정한 상태가 유지되어 있었으므로 높은 강성을 갖는 것이 확인되었다. 한편, 실시예와 그 중량 및 비용을 비교하면 그 중량은 약 1.3배이며, 제작 비용은 약 1.5배였다.

이상의 결과로부터 본 발명과 같이 리브부의 외측에 리브부를 보강하는 보강 수단을 접속하면 종래의 보강 프레임과 동등 이상의 높은 강성이 얻어짐과 아울러 저비용으로 경량인 펠리클 수납 용기를 제작할 수 있는 것이 확인되었다.

10 : 펠리클 수납 용기 11 : 용기 본체
12 : 덮개체 13 : 리브부
13a : 리브 13b : 리브
13c : 리브 14a : 보강 수단
14b : 보강 수단 15 : 펠리클 지지 수단
15a : 펠리클 지지핀 15b : 핀지지 블록
16 : 굴입부 20 : 펠리클
21 : 펠리클 프레임 22 : 마스크 점착층
23 : 펠리클막 접착층 24 : 펠리클막
61 : 보강 수단 71 : 보강 수단
80 : 펠리클 수납 용기 81 : 펠리클 수납 용기 본체
82 : 덮개체 83a : 보강 프레임
83b : 보강 프레임 84 : 접속 수단
85 : 볼트

Claims (8)

1. 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 적재하는 용기 본체와, 상기 용기 본체와 둘레 가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체를 포함하는 펠리클 수납 용기에 있어서,
   상기 용기 본체는,
   상기 펠리클이 재치되는 측의 반대측으로부터 보아서 오목 형상이 되고, 펠리클이 재치되는 직사각형 프레임 형상의 리브부와,
   상기 직사각형 프레임 형상의 리브부의 프레임 내에 설치되어, 상기 직사각형 프레임 형상의 리브부와 접속한 부위와 이간한 부위를 가지며, 상기 펠리클이 재치되는 측의 반대측에서 볼 때, 오목 형상이 되는 리브부를 가짐과 아울러,
   상기 직사각형 프레임 형상의 리브부와 상기 프레임 내에 설치되어 있는 리브부가 접속되어 있는 부위에서의 상기 리브부의 오목 형상의 개방부를 덮도록 리브부를 보강하는 보강 수단이 접속되어 있고,
   상기 보강 수단에 의해 덮여 있는 상기 리브부의 오목 형상의 내부는 빈 공간이고,
   상기 보강 수단이 접속된 영역에서, 굴입부가 형성되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 프레임 내에 설치되어 있는 리브부의 높이가 상기 직사각형 프레임 형상의 리브부의 높이보다 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 보강 수단은 그 형상이 상기 리브부의 오목 형상의 개방부를 덮도록 접속되는 평판 형상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 보강 수단은 그 형상이 C자형의 단면 형상이며 상기 리브부 내에 끼워넣어져 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 보강 수단은 그 형상이 L자형의 단면 형상이며 상기 리브부 내에 그 일부가 꽂아넣어져 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납 용기.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 수납 용기에 적어도 하나의 변 길이가 500㎜ 이상인 펠리클을 수납한 것을 특징으로 하는 수납 구조물.
7. 제 6 항에 기재된 수납 구조물에서 펠리클을 꺼내는 것을 특징으로 하는 펠리클 인출 방법.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 굴입부는, 상기 용기 본체의 표면과의 단차가 없게 되도록, 형성되는 것인, 펠리클 수납 용기.
   

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