JP2007047254A - ペリクル用収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】ペリクル支持枠を配置するための載置部材をペリクル用収納容器から外れにくくする。
【解決手段】
ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とを有するペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１において、トレイ３と、当該トレイ３の蓋となるカバー２と、トレイ３の内側に形成される凹部３０ｂと、支持枠７とが載置されると共に、トレイ３よりも剛性の高い材料で構成されている載置部材４と、を有し、載置部材４は凹部３０ｂに嵌合配置されている。
【選択図】 図５

Description

本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。

従来から、半導体回路パターンの製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜から成る厚さ１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とを備えている。フォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが半導体回路上に転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、フォトマスクの上方にペリクル膜が位置するようにペリクルを配置させ、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。

一方、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有することから、フォトマスクも大型化している。これに伴い、ペリクル膜も大型化してきており、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上のペリクル膜が多く使用されている。

ペリクルが大型化すると、これを輸送するためのペリクル用収納容器も大型化する。すると、成形の成形残留応力およびそれ自体の自重による反りに代表される変形の問題が顕在化してくる。ペリクル用収納容器に変形が生じると、粘着材の厚さが場所によって不均一になり、フォトマスクとペリクルの支持枠との間に接着不良の箇所が生じ、フォトマスク上に異物が入る危険性が高まる。このような問題に鑑み、ペリクル用収納容器を構成しているトレイおよび蓋の少なくともいずれか一方に補強板を取り付けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術が知られている（例えば、特許文献１）。また、同様の趣旨から、トレイおよび蓋の少なくともいずれか一方のペリクル搭載面にリブを設けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術も知られている（特許文献２）。
特開２００５−４９７６５号公報（特許請求の範囲） 特開２０００−１７３８８７号公報（特許請求の範囲）

しかしながら、上述の従来技術は、トレイあるいは蓋全体の反り等の変形を防止するための手段であり、支持枠に備えられた粘着材が不均一になることを間接的に防止しているに過ぎない。したがって、従来のトレイあるいは蓋の変形を防止しようとする方法では、ペリクル支持枠に備えられた粘着材が均一な厚さを確実に維持することができない。そこで、ペリクル支持枠を載置するための載置部材をトレイまたは蓋の内部に配置させ、当該載置部材にペリクル支持枠を配置することで粘着材を均一な厚さに維持させる方法が考えられる。このような方法を採用した場合、載置部材がトレイあるいは蓋から容易に外れることがないようにする必要がある。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ペリクル支持枠を配置するための部材を強固に接合されたペリクル用収納容器を提供しようとするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器において、トレイと、当該トレイの蓋となるカバーと、トレイおよびカバーのいずれか一方の内側に形成される凹部と、支持枠が載置されると共に、凹部を形成しているいずれか一方よりも剛性の高い材料で構成されている載置部材と、を有し、載置部材は凹部に嵌合配置されているものである。

このように構成した場合には、載置部材が凹部に嵌合しているため載置部材をトレイまたはカバーに強固に接合することが可能となる。また、載置部材を別部材として形成しているため、載置部材の載置面をより平坦に形成することが可能となる。また、載置部材の存在により、ペリクル用収納容器の強度が増し、変形しにくくなる。特に、載置部材を、ペリクル用収納容器を構成する材料よりも剛性の高い材料で構成しているので、載置部材自体の変形を防止でき、支持枠にかかる荷重をより均一に保つことができる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、載置部材は、凹部の底面から支持枠を載置している面に向かって幅を狭めるようにテーパ若しくは段差を有しているものである。

このように、載置部材は、凹部の底面から支持枠を載置している面に向かって幅が狭くなるようにトレイまたはカバーに嵌合配置されているため、載置部材をトレイまたはカバーに対してさらに強固に接合することが可能となると共に、載置部材が凹部から容易に抜けるのを防止することが可能となる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて、載置部材と凹部との接触面に、プライマー処理を施している。このため、載置部材とトレイまたはカバーとの接合強度がさらに向上する。

また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器において、トレイと、当該トレイの蓋となるカバーと、トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側において内側に向かって凸となるように形成され、支持枠を載置する載置部と、当該載置部の裏側に形成される凹部と、載置部よりも剛性の高い材料で構成されている載置部補強体と、を有し、載置部補強体は、凹部に嵌合配置されているものである。

このように構成した場合には、載置部補強体が凹部に嵌合しているため、載置部補強体をトレイまたはカバーと強固に接合することが可能となる。また、載置部補強体の存在により、ペリクル用収納容器の強度が増し、変形しにくくなる。特に、載置部補強体を、ペリクル用収納容器を構成する材料よりも剛性の高い材料で構成しているので、載置部の変形を防止でき、支持枠にかかる荷重をより均一に保つことができる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、載置部補強体は、凹部の開口側から底面に向かって幅を広めるようにテーパ若しくは段差を有しているものである。このように、載置部補強体は、凹部の開口側から底面に向かって幅が広くなるようにトレイまたはカバーの裏側に嵌合配置されているため、載置部補強体をトレイまたはカバーに対してさらに強固に接合することが可能となると共に、載置部補強体が凹部から容易に抜けるのを防止することが可能となる。

さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、載置部補強体と凹部との接触面に、プライマー処理を施している。このため、載置部補強体とトレイまたはカバーとの接合強度をさらに向上させることが可能となる。

本発明によると、ペリクル支持枠を配置するための部材がペリクル用収納容器から外れにくくなる。

以下、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器１の斜視図である。図３は、図２に示すペリクル用収納容器１をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。

図１に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ部１０と、その蓋であるカバー２とを備えている。トレイ部１０は、トレイ３と、カバー２およびトレイ部１０によって形成される内部空間において固定されるペリクルを載置するための載置部材４と、から主に構成されている。

カバー２は外形が略長方形をした蓋部材である。また、トレイ３は、一端側が開口した略長方形の箱型部材である。カバー２とトレイ３の外形は共に同じ大きさとなっている。また、トレイ３の底面３０ａには、後述する略長方形の凹部３０ｂが形成されている。当該凹部３０ｂには、載置部材４が嵌め込まれている。

カバー２およびトレイ３は、後述するように、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種の単量体からなる共重合体）を真空成型用金型を用いて真空成形することにより製造される。ただし、カバー２およびトレイ３の材料はＡＢＳ樹脂に限られるものではない。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄くしても良いし、３ｍｍより厚くしても良い。

ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状に膨らませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型につき降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。

載置部材４は、比較的高い剛性と低比重とを兼ね備えたアルミニウム合金の成形体である。ただし、載置部材４の材料としては、アルミニウム合金に限らず例えば、チタニウム、アルミニウム、ステンレスを採用しても良い。また、金属に限ることなく、ＰＥＥＫ（Poly-ether-ether-ketone）、ＰＰＳ（Poly Phenylene Sulfide）、ＰＣ（Polycarbonate）、ＡＢＳ（Acrylonitrile-butadiene-styrene）の他、ＧＦ（Grass Fiber）等を分散させて強化された樹脂を採用しても良い。

図１および図３に示すように、載置部材４は、略長方形の枠型形状をしており、その上端面４ａと下端面４ｂは互いに平行な水平面となっている。これは、後述するペリクル６を構成する支持枠７の下面と載置部材４の上端面４ａとを隙間なく接触させ、支持枠７の下面に均一の負荷がかかるようにするためである。ただし、載置部材４を、完全に閉じた枠型形状の構成部材に限らず、枠型形状の一部を欠くような構成部材としても良い。載置部材４における上端面４ａと下端面４ｂを繋ぐ内周面４ｃと外周面４ｄは、下端面４ｂから上端面４ａに向かって幅を狭くするようにテーパ状に形成されている。すなわち、図３に示す載置部材４の断面形状は台形形状となっている。ただし、載置部材４のテーパ形状は、下端面４ｂの両端から同一の角度で上端面４ａに向かう形状に限定されない。内周面４ｃを垂直面とし、外周面４ｄを傾斜面としたり、逆に内周面４ｃを傾斜面とし、外周面４ｄを垂直面としても良い。また、内周面４ｃおよび外周面４ｄを、それぞれ異なる角度を有する傾斜面としても良い。

後述するペリクルを製造者から使用者に輸送する場合には、トレイ部１０における載置部材４の上端面４ａに後述するペリクルを載置して、トレイ部１０の上からカバー２を被せる。トレイ部１０は、真空成形用金型を用いて真空成形により形成される。また、トレイ部１０は、トレイ３と載置部材４とが一体化した状態で成形される。そのため、載置部材４は、その上端面４ａに後述するペリクルを載置する際には、予めトレイ３における凹部３０ｂに嵌まり込んだ状態となっている。この他に、トレイ部１０を成形する方法として、例えば、圧空成形、圧空真空成形等の成形方法を採用しても良い。

カバー２をトレイ３にはめ込んだ状態でのペリクル用収納容器１は、図２に示すような状態となる。このように、ペリクル用収納容器１にペリクルを収納した状態にて、ペリクルの輸送が行われる。

図３に示すように、カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状のカバー本体２０と、当該カバー本体２０の外周縁部から外方に向かって水平に延出する外延部２１とを有している。カバー本体２０の上面２０ａからは、後述する凹部３０ｂと対向するように、カバー２の開口部に向かって突出する突起部２０ｂが形成されている。突起部２０ｂは、後述する凹部３０ｂと対向するように、略長方形の枠状に形成されている。

トレイ３は、カバー２と対向する側に開口部を有する略凹状をしたトレイ本体３０と、当該トレイ本体３０の外周縁部から外方に向かって水平に延出する外延部３１とを有している。外縁部２１と外縁部３１とを不図示のクリップで挟むことにより、カバー２とトレイ３とを安定して結合することができる。トレイ本体３０の底面３０ａにおける外周縁近傍には、図３に示すように、凹形状のくぼみ部３０ｃが形成されている。また、くぼみ部３０ｃの内周面３０ｄの周端面から内方に向かって底面３０ａの一部となる外側底面３１ａが延出している。さらに、外側底面３１ａの内側には、トレイ本体３０の外形に沿った略長方形の枠状をした凹部３０ｂが形成されている。そして、凹部３０ｂのさらに内側は、底面３０ａの一部となる内側底面３１ｂとなっている。また、内側底面３１ｂの高さと外側底面３１ａの高さは同じ高さとなっている。凹部３０ｂは、図３に示すように、底面３０ａから凹部３０ｂの底部３０ｆに向かって凹部３０ｂの幅がテーパ状に広くなるような形状となっている。凹部３０ｂには、上述した載置部材４の一部が嵌め込まれている。すなわち、載置部材４は、下端面４ｂから内周面４ｃおよび外周面４ｄの所定の位置まで凹部３０ｂによって覆われている。また、載置部材４の上端面４ａは、底面３０ａより上方に位置している。ただし、載置部材４は、その上端面４ａを凹部３０ｂの開口面よりも低くなるように凹部３０ｂに嵌め込むようにしても良い。

図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクル５を、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。

ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角形の枠型形状をした支持枠７の一方の端面に展張して貼り付けた構成を有している。支持枠７の高さは約５ミリメートルである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さ並びに支持枠７の高さは、上記に限定されない。

図４におけるＸで示す部分の拡大図に示すように、ペリクル膜６が貼り付けられている支持枠７の周端面と反対側の周端面には粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着材８が粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。この粘着材８の厚みが不均一になると、フォトマスクとの間に隙間が生じるおそれがあるため、粘着材８の厚みを不均一な状態としないように、ペリクル５を輸送する必要がある。

図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。

ペリクル５は、載置部材４と突起部２０ｂとによって狭持されることによりペリクル用収納容器１内に固定される。ペリクル５が固定された状態では、当該ペリクル５はその支持枠７の下端面が載置部材４の上端面４ａに接しており、支持枠７の上端面は突起部２０ｂの先端部と接している。このようにペリクル５は、ペリクル用収納容器１内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に載置部材４から脱落することはない。また、載置部材４の存在により、トレイ３の強度は増しており、当該トレイ３は、ゆがみ、反り等の変形を生じにくくなる。仮に、トレイ３がわずかに変形しても、載置部材４の剛性はトレイ３の剛性に比べて大きい。したがって、載置部材４自体が変形を起こすことはない。このため、支持枠７の下端面に存在する粘着材８の厚みが不均一になる危険性は極めて小さくなる。

次に、トレイ部１０の製造方法について説明する。

図６は、金型５０の構成を示す部分断面図である。また、図７は、金型５０に載置部材４をインサートした状態を示す部分断面図である。図８は、金型５０に載置部材４をインサートした後、その上から加熱された状態の板部材６０を配置し、金型５０側から真空に引いて成形した状態を示す部分断面図である。図９は、板部材６０と載置部材４とを一体化した状態のものを、金型５０から離型した状態を示す部分断面図である。なお、図６から図９において、一端側とは左側を指し、他端側とは右側を指すものとする。

ペリクル用収納容器が大型化した場合、射出成形よりも真空成形のほうが有利となる。そのため、本実施の形態に係るトレイ部１０の製造方法においては真空成形を採用している。なお、成形方法としては、真空成形に限ることなく、圧空成形あるいは圧空真空成形等の他の成形方法を採用しても良い。

図６に示すように、金型５０には、載置部材４を配置するための被載置部５２が設けられている。被載置部５２は断面が下方に狭まるような台形をした凹部となっていて、略長方形の枠状に形成されている。被載置部５２の一端側と他端側には、水平面を持つ底部５４が設けられており、さらにその一端側には、底部５４から上方に向かって突出する凸部５６が形成されている。凸部５６も略長方形の枠状に形成されている。また、被載置部５２の他端側に位置する底部５４のさらに他端側には、底部５４に対して上方に向かって段差を有する段部５８が設けられている。

次に、載置部材４を被載置部５２にインサートする。載置部材４は、その上端面４ａが被載置部５２の底面５２ａと接触するようにインサートされる。予め被載置部５２の凹形状は載置部材４の形状に合わせて形成されている。そのため、載置部材４を被載置部５２にインサートした状態では、載置部材４は被載置部５２と隙間なく接触している（図７参照）。

次に、載置部材４および金型５０の上方にＡＢＳを材料とする板部材６０を加熱して配置する。載置部材４と板部材６０との接触面には、予め接着剤を介在させている。このようなプライマー処理を施すことにより、載置部材４と板部材６０との接合力が大きくなる。続いて、金型５０側から真空にひくと、板部材６０は載置部材４および金型５０で形成された凹凸に沿った形状に成形され、板部材６０と載置部材４とが一体化する（図８参照）。

次に、板部材６０と載置部材４を冷却する。その後、板部材６０と載置部材４を金型５０から離型すると、板部材６０と載置部材４とが一体化されたトレイ部１０ができる（図９参照）。載置部材４はテーパを有するため、板部材６０から外れにくくなる。

以上のようにして構成されたペリクル用収納容器１では、載置部材４が凹部３０ｂに嵌まりこんでいるため、載置部材４とトレイ３とを強固に接合することが可能となる。また、載置部材４を別部材として形成しているため、載置部材４をより平担に形成することが可能となり、トレイ部１０の成形や精度管理の負担を軽減できる。また、載置部材４の存在により、ペリクル用収納容器１の強度が増し、変形しにくくなる。特に、載置部材４を、ペリクル用収納容器１を構成する材料よりも剛性の高い材料で構成しているので、載置部材４自体の変形を防止でき、支持枠７の底面にかかる荷重をより均一に保つことができる。

また、載置部材４の内周面４ｃおよび外周面４ｄは幅を広げるようにテーパを形成して下端面４ｂに繋がっており、内周面４ｃおよび外周面４ｄの途中までを凹部３０ｂに嵌め込んでいる。すなわち、載置部材４は、下端面４ａから内周面４ｃおよび外周面４ｄの所定の位置にかけて、凹部３０ｂと密着して接触している。したがって、載置部材４をトレイ３に対してさらに強固に接合することが可能となると共に、載置部材４が凹部３０ｂから容易に抜けるのを防止することが可能となる。

また、トレイ部１０は、載置部材４を金型５０にインサートした状態で真空成形によって製造されている。そのため、載置部材４の外寸とトレイ３に設けられる載置部材との接合部分（凹部３０ｂ）との間に隙間が形成されることがなくなる。したがって、載置部材４とトレイ３との接合をより強固に行うことが可能となる。また、載置部材４とトレイ３とを容易に一体化できるため、低コストで載置部材４とトレイ３とを強固に接合することが可能となる。さらに、載置部材４とトレイ３との接触面にプライマー処理が施されているため、載置部材４とトレイ３との接合強度をさらに向上させることができる。

（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器８０について説明する。なお、第２の実施の形態では、第１の実施の形態と多くの共通部分を有しているため、主として第１の実施の形態との相違部分について説明する。また、第１の実施の形態と同一の部材、同一の部分には同一の符号を付すと共にその説明を省略または簡略化する。

図１０は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器８０を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの断面図である。

ペリクル用収納容器８０は、カバー２とトレイ３とを有している。カバー２は、第１の実施の形態の場合と同様に、カバー本体２０と、外延部２１と、突起部２０ｂとを有している。

トレイ３は、第１の実施の形態の場合と同様に、トレイ本体３０と、外延部３１とを有している。トレイ本体３０の底面３０ａにおける外周縁近傍には、図１０に示すように、当該底面３０ａ側からトレイ３の開口側に向かってへこむ凹状をした凹状部８２が形成されている。凹状部８２は、底面３０ａにおける外周縁近傍にトレイ本体３０の外形に沿った略長方形の枠状に形成されており、ペリクル５を載置する載置部として機能する。図１０に示すように、凹状部８２はトレイ３の開口側に向かってへこんでいるため、上側底面８２ｂは底面３０ａよりも開口側に位置している。また、上側底面８２ｂは、水平な平面となっている。これは、ペリクル５を構成する支持枠７の下面と上側底面８２ｂの上面とを隙間なく接触させ、支持枠７の下面に均一の負荷がかかるようにするためである。また、凹状部８２は、図１０に示すように、底面３０ａから上側底面８２ｂに向かって凹状部８２の幅がテーパ状に広くなるような形状となっている。

凹状部８２には、載置部補強体８５が嵌め込まれている。載置部補強体８５は、略長方形の枠型形状をしており、その上端面８５ａと下端面８５ｂは互いに平行な水平面となっている。載置補強体８５における上端面８５ａと下端面８５ｂを繋ぐ内周面８５ｃと外周面８５ｄは下端面８５ｂから上端面８５ａに向かって幅を広くするようにテーパ状に形成されている。すなわち、図１０に示すように、載置部補強体８５の断面形状は台形形状となっている。ただし、載置補強体８５のテーパ形状は、上端面８５ａの両端から同一の角度で下端面８５ｂに向かう形状に限定されない。内周面８５ｃを垂直面とし、外周面８５ｄを傾斜面としたり、逆に内周面８５ｃを傾斜面とし、外周面８５ｄを垂直面としても良い。また、内周面８５ｃおよび外周面８５ｄをそれぞれ異なる角度を有する傾斜面としても良い。また、載置部補強体８５の下端面８５ｂは、底面３０ａの底側面３０ｋと同一平面上に位置している。載置部補強体８５の材料としては、比較的高い剛性と低比重とを兼ね備えたアルミニウム合金の成形体を採用しているが、第１の実施の形態と同様に他の材料を採用しても良い。

図１１は、図１０に示すペリクル用収納容器８０内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。

ペリクル５は、凹状部８２の上側底面８２ｂと突起部２０ｂとによって狭持されることによりペリクル用収納容器８０内に固定される。ペリクル５が固定された状態では、当該ペリクル５はその支持枠７の下端面が上側底面８２ｂの上面に接しており、支持枠７の上端面は突起部２０ｂの先端部と接している。このようにペリクル５は、ペリクル用収納容器８０内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に上側底面８２ｂから脱落することはない。

トレイ３と載置部補強体８５とは、第１の実施の形態の場合と同様、真空成形方法を用いて一体化されているため、その説明を省略する。なお、成形方法としては、真空成形に限ることなく、圧空成形あるいは圧空真空成形等の他の成形方法を採用しても良い。

以上のようにして構成されたペリクル用収納容器８０では、載置部補強体８５が凹状部８２に嵌まりこんでいるため、載置部補強体８５とトレイ３とを強固に接合することが可能となる。また、載置部補強体８５を別部材として形成しているため、載置部補強体８５をより平担に形成することでき、その結果、上側底面８２ｂを平坦に形成することが可能となる。したがって、トレイ３の成形や精度管理の負担を軽減できる。また、載置部補強体８５の存在により、ペリクル用収納容器８０の強度が増し、変形しにくくなる。特に、載置部補強体８５を、ペリクル用収納容器８０を構成する材料よりも剛性の高い材料で構成しているので、載置部補強体８５自体の変形を防止でき、支持枠７の底面にかかる荷重をより均一に保つことができる。

また、載置部補強体８５の内周面８５ｃおよび外周面８５ｄには幅を狭めるようにテーパを形成して下端面８５ｂに繋がっており、内周面８５ｃおよび外周面８５ｄの全体が凹状部８２に嵌め込まれている。すなわち、載置部補強体８５の上端面８５ａ、内周面８５ｃおよび外周面８５ｄは、凹状部８２と密着して接触している。したがって、載置部補強体８５をトレイ３に対してさらに強固に接合することが可能となると共に、載置部補強体８５が凹状部８２から容易に抜けるのを防止することが可能となる。

また、載置部補強体８５とトレイ３とは、真空成形によって一体化されている。そのため、載置部補強体８５の外寸とトレイ３に設けられる凹状部８２との間に隙間が形成されることがなくなる。したがって、載置部補強体８５とトレイ３との接合をより強固に行うことが可能となる。また、載置部補強体８５とトレイ３とを容易に一体化できるため、低コストで載置部補強体８５とトレイ３とを接合することが可能となる。さらに、載置部補強体８５とトレイ３との接触面にプライマー処理が施されているため、載置部補強体８５とトレイ３との接合強度をさらに向上させることができる。

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の各実施の形態では、突起部２０ｂによりペリクル５を保持しているが、これに限ることなく、カバー本体２０に凹部３０ｂあるいは凹状部８２と同様の構成部を設け、載置部材４あるいは載置部補強体８５をそれぞれ嵌め込むようにしても良い。また、上面２０ａに下方に向かって、くぼんだくぼみ部を形成し、当該くぼみ部と載置部材４または上側底面８２ｂによりペリクル５を保持するようにしても良い。

また、上述の第１の実施の形態では、載置部材４の上端面４ａの全体が平坦な面となっているが、上端面４ａから載置部材４の内周側および外周側を直角に切り欠いて段差部を設けることにより、当該段差部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。また、上端面４ａに凹部を形成して、当該凹部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。

また、上述の各実施の形態では、載置部材４と凹部３０ｂおよび載置部補強体８５と凹状部８２との各接触面には、プライマー処理を施しているが、プライマー処理を施さなくても良い。

また、上述の各実施の形態では、予めトレイ３と載置部材４および載置部補強体８５は成形により一体化されているが、トレイ３を成形した後、凹部３０ｂに載置部材４を嵌め込む構成または凹状部８２に載置部補強体８５を嵌め込む構成を採用しても良い。

また、上述の各実施の形態では、載置部材４における上端面４ａと下端面４ｂを繋ぐ内周面４ｃと外周面４ｄは、下端面４ｂから上端面４ａに向かって幅を狭くするようにテーパ状に形成されているが、図１２に示すように、下端面４ｂから上端面４ａに向かって幅が狭くなるような段差４ｇを有する形状としても良い。また、載置部補強体８５に関しても同様、内周面８５ｃと外周面８５ｄを、下端面８５ｂから上端面８５ａに向かって幅が広くなるようなテーパを有する場合に限らず、図１３に示すように、下端面８５ｂから上端面８５ａに向かって幅が広くなるような段差８５ｇを有する形状としても良い。

本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納器の分解斜視図である。 図１に示すペリクル用収納容器の斜視図である。 図２に示すペリクル用収納容器をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器に収納されるペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態を示す図である トレイ部を製造するために用いられる金型の構成を示す部分断面図である。 図６の金型に載置部材をインサートした状態を示す部分断面図である。 図６の金型に載置部材をインサートした後、その上から加熱された状態の板部材を配置し、金型側から真空に引いて成形した状態を示す部分断面図である。 図６の金型から板部材と載置部材とを一体化した状態のものを、金型から離型した状態を示す部分断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線とで切断したときの断面図である。 図１０に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態を示す図である。 本発明の変形例を示す図であり、載置部材に段差を設けた場合のペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線とで切断したときの断面図である。 本発明の変形例を示す図であり、載置部補強体に段差を設けた場合のペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線とで切断したときの断面図である。

符号の説明

１…ペリクル用収納容器
２…カバー
３…トレイ
４…載置部材
４ｇ，８５ｇ…段差
５…ペリクル
６…ペリクル膜
７…支持枠
３０ｂ…凹部
８２…凹状部（凹部、載置部を兼ねる）
８５…載置部補強体

Claims (6)

1. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器において、
   トレイと、
   当該トレイの蓋となるカバーと、
   上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側に形成される凹部と、
   上記支持枠が載置されると共に、上記凹部を形成している上記いずれか一方よりも剛性の高い材料で構成されている載置部材と、
   を有し、
   上記載置部材は上記凹部に嵌合配置されていることを特徴とするペリクル用収納容器。
2. 前記載置部材は、前記凹部の底面から前記支持枠を載置している面に向かって幅を狭めるようにテーパ若しくは段差を有していることを特徴とする請求項１記載のペクリル用収納容器。
3. 前記載置部材と前記凹部との接触面には、プライマー処理が施されていることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル用収納容器。
4. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器において、
   トレイと、
   当該トレイの蓋となるカバーと、
   上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側において内側に向かって凸となるように形成され、上記支持枠を載置する載置部と、
   当該載置部の裏側に形成される凹部と、
   上記載置部よりも剛性の高い材料で構成されている載置部補強体と、
   を有し、
   上記載置部補強体は、上記凹部に嵌合配置されていることを特徴とするペリクル用収納容器。
5. 前記載置部補強体は、前記凹部の開口側から底面に向かって幅を広めるようにテーパ若しくは段差を有していることを特徴とする請求項４に記載のペクリル用収納容器。
6. 前記載置部補強体と前記凹部との接触面には、プライマー処理が施されていることを特徴とする請求項４または５に記載のペリクル用収納容器。

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