JPH1152553A - ペリクルの収納構造 - Google Patents
ペリクルの収納構造Info
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- JPH1152553A JPH1152553A JP20895997A JP20895997A JPH1152553A JP H1152553 A JPH1152553 A JP H1152553A JP 20895997 A JP20895997 A JP 20895997A JP 20895997 A JP20895997 A JP 20895997A JP H1152553 A JPH1152553 A JP H1152553A
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクル
に接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃に
よってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵
が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着され
たペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材
3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘
着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレ
イ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於い
て、前記保護フィルム4と対応する枠型形状を有するゴ
ム製押圧体9を接着材10を介してフタ6の内下面に固
定して構成し、トレイ5の基台部5a上に載置されたペ
リクルAの保護フィルム4を該押圧体9で押圧するよう
に構成したペリクルの収納構造である。
Description
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造に関するものである。
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている(例えば特公昭54ー28718号公
報)。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ10μm内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜(以下、ペリクル
膜という)を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
スの収納は、図4乃至図6に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜52は展張(ピンと張っ
た)状態で枠体51の一方の上縁面に接着され、枠体5
1の他の面(下縁面)には適当な厚さの粘着材53が設
けられ、さらに粘着材53の下面には保護フィルム54
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ55の平坦な面である設置面55aの上に
保護フィルム54が接するように置かれる。
ペリクルは、トレイ55に設けられた突起状のポスト5
5bによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ56
を上方からかぶせ、クリップ57によってフタ56とト
レイ55との4隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ56の斜面
56aと、ポスト55bと、設置面55aとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。
ペリクルはケースのフタ56の斜面56a、ポスト55
b及び設置面55aで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペリクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ56の斜面
56aとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ56にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。
なくした場合には、すなわち前記斜面56aが前記枠体
51(或いは前記ペリクル膜52の端部)と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面56aの
内面或いは前記ペリクル膜52の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ56の斜面56aとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ55の上に置き、フタ56をかぶせ、クリップ
57でフタ56とトレイ55を相互に固定したとき、斜
面56aと枠体1の上端との間に0.1乃至0.3mm
程度の隙間を設ける構造である。
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法(例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど)によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ56とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ55やフタ56の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。
改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力或いは磁石の吸着力で直接前記トレイに仮着させ、こ
れによってケース内に収納されたペリクルをケース内に
拘束させて、輸送時の振動や衝撃に充分耐えることが出
来るようにした全く新しい技術を既に開発し、特許出願
をしている。(特願平9ー182459号、特願平9ー
195534号)。
直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用するこ
とによって、ペリクルをトレイに拘束する構成である。
また、ペリクルをトレイに所定の吸着力で仮着する技術
は、トレイとペリクルとに磁石或いは強磁性体を設置す
ることによって磁石による吸着力を作用させてペリクル
をトレイに拘束する構成である。本発明はこれ等の接着
力或いは吸着力を用いることなく、ペリクルをトレイと
フタとで拘束するようにした全く新しいペリクルの収納
構造の技術を提供するものである。
とが出来るケースのトレイとフタとの間に押圧体を介在
せしめ、該押圧体でペリクルの保護フィルムを押圧して
ペリクルをケースに固定するようにしたペリクルの収納
構造に関するものである。
収納構造は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発され
た技術であって、その発明の要旨は、枠体と、該枠体の
上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗
着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁
面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレ
イとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前
記トレイとフタとの間に押圧体を介在させ、かつ該押圧
体で前記ペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを
前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収
納構造である。
との間に押圧体を介在し、かつ該押圧体で前記ペリクル
の保護フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定
させるように構成したので、押圧体の押圧力でペリクル
をケースに安定した状態で確実に固定させることが出来
る。また、前記押圧体はトレイとフタとの間に介在され
るので、クリップ等を介してフタとトレイに固定する際
に、保護フィルムに当接される押圧体に押圧力を自動的
に付与することが出来る。
枠型形状に形成し、かつこの押圧体を粘着材或いは接着
材を介してフタの内面に固定して構成することも可能で
ある。
成されているので、押圧体を単品で構成することが出
来、かつ前記ケースのフタに巾広く当接されると共に、
前記ペリクルの保護フィルムの外周部を全面的に押圧す
ることが出来る。また押圧体を粘着材或いは接着材を用
いてフタの内面に固定した場合には、前記ケースのフタ
を開ける際に、フタと共に押圧体を一緒に取り外すこと
が出来る。
体が柔軟性のある素材、弾力性のある素材、すべりにく
い素材、或いは擦れても発塵しにくい素材等で構成する
ことも可能である。
素材、弾力性のある素材、すべりにくい素材或いは擦れ
ても発塵しにくい素材等で構成されている場合には、押
圧体が過度の圧力でペリクルの保護シートを押圧した
り、トレイ及びフタの成形時の寸法のバラツキによっ
て、前記押圧体と保護シートとの間に過度の隙間が形成
されることを防止出来る。
方向の相対位置がずれても、押圧体を追従させることに
よって、押圧体と保護フィルムとの間に擦れを生じにく
くしたり、或いは押圧体と保護フィルムとの間に擦れが
生じた場合にも、この擦れによる発塵が生ずることを防
止することが出来る。
収納構造の一実施例を具体的に説明すると、図1は第1
実施例のペリクルの収納構造を示す縦断面説明図、図2
は第2実施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面
説明図、図3は第3実施例のペリクルの収納構造の要部
を示す縦断面説明図である。
造の第1実施例を説明すると次の通りである。即ち、ペ
リクルAは既に詳述したように、枠体1と該枠体1の上
縁面に接着されたペリクル膜2と該枠体1の下縁面に塗
着された粘着材3と、該粘着材3を保護するために粘着
材3に粘着された保護フィルム4から構成されている。
前記実施例に於いては、枠体1の下縁面に粘着材3を塗
着して形成したが、予め層状に形成された粘着材3を使
用する場合には、単に枠体1の下縁面に積層して貼着す
るのみで良い(しかし、本明細書に於いては、このよう
な場合も含めて単に「塗着する」と総称する)。
は、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納されて
いる。また、トレイ5とフタ6とのコーナー部にはクリ
ップ7が取付けられており、これ等のクリップ7によっ
てトレイ5からフタ6が外れないように固定されてい
る。8はトレイ5の上表面に起立突設された8個のポス
トであって、トレイ5上に載置されたペリクルAの外周
近傍に配置されている。
押圧体であって、全体の形状は前記ペリクルAの保護フ
ィルム4に対応した枠型形状を有している。この押圧体
9はゴム等の弾力性のある素材より形成されており、従
って縦方向及び横方向に対して柔軟性を有すると共に、
保護フィルム4に当接した際にすべりにくい性質を有し
ている。
ペリクルAをトレイ5に収納した後で、該トレイ5にフ
タ6を被蓋した際に、該押圧体9がペリクルAを囲み、
かつこの押圧体9が保護フィルム4の外周部に当接され
るように構成されている。従って、保護フィルム4は該
押圧体9とトレイ5の基台部5aとによって挟持されて
おり、これによってペリクルAがトレイ5に安定した状
態で固定されている。特に前記トレイ5とフタ6とをク
リップ7で固定した際には、押圧体9で保護フィルム4
を所定の押圧力で押圧し得るように構成されている。
押圧体9をフタ6に一体的に取付けて構成したが、複数
個所に夫々柱形状の押圧体9をフタ6に取付けて構成
し、これ等の押圧体9によってペリクルAの保護フィル
ム4の数個所を押圧するように構成することも可能であ
る。
予めフタ6に一体的に取付けずに、図2に示す第2実施
例の如く、押圧体9はフタ6と別々に作成し、この独立
した押圧体9を接着材10或いは粘着材10(以下単に
接着材という)を介してフタ6の内下面に固着すること
も可能である。この場合には、例えば押圧体9の上面或
いはフタ6の押圧体9に対応する内下面に接着材10を
塗布しておき、ペリクルAをトレイ5に載置した後、枠
型形状の押圧体9をペリクルAを囲むようにセットし、
フタ6をトレイ5に被蓋してフタ6とトレイ5とをクリ
ップで固定することによって、前記押圧体9をフタ6に
自動的に固着することが出来る。
より垂下された押圧体9の下面で保護フィルム4を押圧
するように構成したが、図3に示す如く、板バネ状押圧
体9aをフタ6の内面より水平方向に突出せしめ、この
板バネ状押圧体9aによって保護フィルム4を押圧して
固定するように構成することも可能である。この板バネ
状押圧体9aは接着材10によってフタ6に取付けるこ
とが出来る。
の柔軟性或いは弾力性を有する素材が好ましい。即ち、
縦方向の柔軟性により過度の押圧力になることを避けた
り、成形時の寸法のバラツキによって、押圧体9,9a
と保護フィルム4との間に過度の隙間が形成されること
を避けるとが出来る。
を輸送する際の振動等によってフタ6とトレイ5との横
方向の相対位置にズレが生じた場合にも、このズレに押
圧体9,9aが追従できるため、押圧体9,9aと保護
フィルム4との間の擦れを生じにくくすることが出来、
これによって発塵が発生することを押さえることが出来
る。
が擦れるのを避けるために、押圧体9,9aを例えばゴ
ム等のすべりにくい素材で形成することも有効である。
或いは押圧体9,9aと保護フィルム4とに擦れが生じ
ても、発塵しにくい素材として、例えば超高分子量ポリ
エチレン樹脂等で構成することも可能である。
圧力(例えば約150g)で保護フィルム4を押さえる
のが基本であるが、押圧体9,9aと保護フィルム4と
の間にわずかなクリアランスがあるような状態でも本発
明の効果を得ることが出来る。即ち、押圧体9,9aと
保護フィルム4との間にわずかなクリアランスがあるよ
うな状態でも、押圧体9,9aで保護フィルム4が持ち
上がって大きく移動することを防止出来るので、これに
よってペリクルAを規制することが出来る効果がある。
一体的に取付けるか、或いは接着材10を介してフタ6
に接着固定した場合には、ペリクルAをケースBから取
り出す際に、フタ6を開けると同時に押圧体9,9aを
取り外すことが出来、これによってペリクルAの拘束力
を自動的に解除することが出来る。従ってトレイ5から
ペリクルAを弱い力で容易に取り出すことが出来る。
の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を
有している。
りなるケースに収納するに当たって、ペリクルを押圧体
の押圧力を利用して該トレイに固定して構成したので、
ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリクルが
移動してケースに強く接触することを防止することが出
来る。
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとの強い擦れによる小さな塵が発生し、この塵
がペリクルに付着したりすることを防止出来る。
フタとの間に介在させたので、クリップ等を介してフタ
をトレイに固定する際に、両者間に介在された押圧体で
ペリクルの保護フィルムを所定の圧力で押圧してトレイ
に拘束することが出来る。
或いは接着材を介してフタに固定した場合には、ペリク
ルを取り出す為にフタを開けた時に、押圧体をフタと共
に取り出すことが出来、これによって押圧体によるペリ
クルの拘束を自動的に解除することが出来る。
した枠型形状とした場合には、保護シートの全周を押圧
体で押圧して、ペリクルの固定をより安定させて確実に
することが出来る。また、押圧体を枠型形状にした場合
には、押圧体を単数で形成出来、かつフタへの接着固定
を容易にすることが出来る。更に、保護フィルムの全周
を押圧体で押圧することが出来る。
ある素材、すべりにくい素材、或いは擦れても発塵しに
くい素材等で構成した場合には、適当の押圧力で保護シ
ートを押圧することが出来、かつ大きな振動等が生じた
場合にも保護シートを安定した状態で押圧固定すること
が出来、しかも押圧体と保護シートとの間に塵が発生す
ることを防止出来る等の効果を有している。
説明図である。
縦断面説明図である。
縦断面説明図である。
である。
である。
明図である。
ル膜 3 粘着材 4 保護フ
ィルム 5 トレイ 5a 基台部 6 フタ 7 クリッ
プ 8 ポスト 9,9a 押圧体 10 接着材 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ
Claims (1)
- 【請求項1】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
スに収納する構造に於いて、前記トレイとフタとの間に
押圧体を介在させ、かつ該押圧体で前記ペリクルの保護
フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定させる
ことを特徴としたペリクルの収納構造。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP20895997A JP3938224B2 (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | ペリクルの収納構造 |
Applications Claiming Priority (1)
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-
1997
- 1997-08-04 JP JP20895997A patent/JP3938224B2/ja not_active Expired - Fee Related
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