JPH10142773A - フォトマスク等基板の収納ケース - Google Patents
フォトマスク等基板の収納ケースInfo
- Publication number
- JPH10142773A JPH10142773A JP31545896A JP31545896A JPH10142773A JP H10142773 A JPH10142773 A JP H10142773A JP 31545896 A JP31545896 A JP 31545896A JP 31545896 A JP31545896 A JP 31545896A JP H10142773 A JPH10142773 A JP H10142773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrates
- photomask
- case body
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 運搬中や保管時に損傷したり汚染しないよう
に保護することができ、しかも成形や洗浄が容易なフォ
トマスク等基板収納用ケースを提供する。 【解決手段】 ケース本体１の内底面にフォトマスク等
基板１０，１１の端部の下面にその頂端部を直に接触さ
せて同基板１０，１１を載置可能とする支持突起４，５
と、同基板１０，１１の外郭位置にその内面を基板１
０，１１の周縁に接触させて同基板１０，１１の横方向
の移動を阻止する囲み片６，７とを一体的に設けるとと
もに、蓋体２の内天面においてケース本体１の支持突起
４，５と対向する位置にそれぞれ上記基板１０，１１の
上面にその下端部を直に接触させて支持突起４，５と共
に基板１０，１１を挟んで上下方向の揺れを阻止する押
え突起８，９を一体的に設け、そのケース本体１と蓋体
２をフォトマスク等基板１０，１１よりも硬度の小さい
プラスチックにより成形した。
に保護することができ、しかも成形や洗浄が容易なフォ
トマスク等基板収納用ケースを提供する。 【解決手段】 ケース本体１の内底面にフォトマスク等
基板１０，１１の端部の下面にその頂端部を直に接触さ
せて同基板１０，１１を載置可能とする支持突起４，５
と、同基板１０，１１の外郭位置にその内面を基板１
０，１１の周縁に接触させて同基板１０，１１の横方向
の移動を阻止する囲み片６，７とを一体的に設けるとと
もに、蓋体２の内天面においてケース本体１の支持突起
４，５と対向する位置にそれぞれ上記基板１０，１１の
上面にその下端部を直に接触させて支持突起４，５と共
に基板１０，１１を挟んで上下方向の揺れを阻止する押
え突起８，９を一体的に設け、そのケース本体１と蓋体
２をフォトマスク等基板１０，１１よりも硬度の小さい
プラスチックにより成形した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトマスク（ペ
リクル付フォトマスクを含む）や、フォトマスクブラン
クス等の基板を収納するケースに関する。
リクル付フォトマスクを含む）や、フォトマスクブラン
クス等の基板を収納するケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトマスク等の基板を運搬又は保管す
る場合は、損傷したり汚染しないように厳重な注意を要
する。そのためフォトマスク等基板を安全に収納できる
専用のケースが考案されている。例えば、実開昭５９−
７４７２６号公報や、特開平６−８７９６７号公報に
は、複数枚の基板を縦向きに収納するケースが開示され
ている。このようなケースは、収納効率は良いが、すべ
ての基板を接触しないように保持しなければならないの
で、内部構造が複雑化し、成形や洗浄が面倒であるとい
う問題がある。また、各基板を取り出しにくいという問
題もある。
る場合は、損傷したり汚染しないように厳重な注意を要
する。そのためフォトマスク等基板を安全に収納できる
専用のケースが考案されている。例えば、実開昭５９−
７４７２６号公報や、特開平６−８７９６７号公報に
は、複数枚の基板を縦向きに収納するケースが開示され
ている。このようなケースは、収納効率は良いが、すべ
ての基板を接触しないように保持しなければならないの
で、内部構造が複雑化し、成形や洗浄が面倒であるとい
う問題がある。また、各基板を取り出しにくいという問
題もある。
【０００３】上記の問題は、基板を単独で横向き姿勢で
ケースに収納することにより解決可能である。このよう
なケースとしては、例えば、特開平６−６４６７８号公
報に開示されたケースが公知である。このケースは、基
板を挟んで保持するために、上蓋と下蓋に相対するよう
に突起を設け、その突起に基板を傷付けないように緩衝
性のあるキャップを被せている。しかしながら、このケ
ースのように、基板を挟む突起にキャップを被せると、
そのキャップの材料によって、その材料に含まれる成分
が基板に対し悪影響を与えることがある。また、そのキ
ャップを外してその内孔部を洗浄するのが面倒でもあ
る。
ケースに収納することにより解決可能である。このよう
なケースとしては、例えば、特開平６−６４６７８号公
報に開示されたケースが公知である。このケースは、基
板を挟んで保持するために、上蓋と下蓋に相対するよう
に突起を設け、その突起に基板を傷付けないように緩衝
性のあるキャップを被せている。しかしながら、このケ
ースのように、基板を挟む突起にキャップを被せると、
そのキャップの材料によって、その材料に含まれる成分
が基板に対し悪影響を与えることがある。また、そのキ
ャップを外してその内孔部を洗浄するのが面倒でもあ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、フォトマス
ク等基板を収納して、運搬中や保管時に損傷したり汚染
しないように保護することができ、しかも成形や洗浄が
容易で、また、収納するフォトマスク等基板に悪影響を
与える弊がない専用のフォトマスク等基板収納用ケース
の提供を課題とする。
ク等基板を収納して、運搬中や保管時に損傷したり汚染
しないように保護することができ、しかも成形や洗浄が
容易で、また、収納するフォトマスク等基板に悪影響を
与える弊がない専用のフォトマスク等基板収納用ケース
の提供を課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題は本発明によ
って、すなわち、ケース本体１と、ケース本体１に対し
着脱自在な蓋体２と、ケース本体１に蓋体２を被せた状
態でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンド３とを具
え、そのケース本体１の内底面にフォトマスク等基板１
０，１１の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同
基板１０，１１を載置可能とする支持突起４，５と、同
基板１０，１１の外郭位置にその内面を基板１０，１１
の周縁に接触させて同基板１０，１１の横方向の移動を
阻止する囲み片６，７とを一体的に設けるとともに、蓋
体２の内天面においてケース本体１の支持突起４，５と
対向する位置にそれぞれ上記基板１０，１１の上面にそ
の下端部を直に接触させて支持突起４，５と共に基板１
０，１１を挟んで上下方向の揺れを阻止する押え突起
８，９を一体的に設け、そのケース本体１と蓋体２をフ
ォトマスク等基板１０，１１よりも硬度の小さいプラス
チックにより成形したたことを特徴とするフォトマスク
等基板の収納ケースによって解決することができる。
って、すなわち、ケース本体１と、ケース本体１に対し
着脱自在な蓋体２と、ケース本体１に蓋体２を被せた状
態でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンド３とを具
え、そのケース本体１の内底面にフォトマスク等基板１
０，１１の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同
基板１０，１１を載置可能とする支持突起４，５と、同
基板１０，１１の外郭位置にその内面を基板１０，１１
の周縁に接触させて同基板１０，１１の横方向の移動を
阻止する囲み片６，７とを一体的に設けるとともに、蓋
体２の内天面においてケース本体１の支持突起４，５と
対向する位置にそれぞれ上記基板１０，１１の上面にそ
の下端部を直に接触させて支持突起４，５と共に基板１
０，１１を挟んで上下方向の揺れを阻止する押え突起
８，９を一体的に設け、そのケース本体１と蓋体２をフ
ォトマスク等基板１０，１１よりも硬度の小さいプラス
チックにより成形したたことを特徴とするフォトマスク
等基板の収納ケースによって解決することができる。
【０００６】なお、上記のフォトマスク等基板の収納ケ
ースは、支持突起４と囲み片６をそれぞれケース本体１
の内底面における４箇所の隅角部近傍に配し、別の支持
突起５と囲み片７をそれぞれケース本体１の四辺近傍の
略中間位置に配して、一方の支持突起４と囲み片６によ
り所定サイズのフォトマスク等基板１０を保持するとと
もに、他方の支持突起５と囲み片７により別の異なる所
定サイズのフォトマスク等基板１１を保持するような構
成とすることが好ましい。
ースは、支持突起４と囲み片６をそれぞれケース本体１
の内底面における４箇所の隅角部近傍に配し、別の支持
突起５と囲み片７をそれぞれケース本体１の四辺近傍の
略中間位置に配して、一方の支持突起４と囲み片６によ
り所定サイズのフォトマスク等基板１０を保持するとと
もに、他方の支持突起５と囲み片７により別の異なる所
定サイズのフォトマスク等基板１１を保持するような構
成とすることが好ましい。
【０００７】また、上記のフォトマスク等基板の収納ケ
ースは、一方の支持突起４と押え突起８に比べ他方の支
持突起５と押え突起９の背をそれぞれ少し低くして、一
方の支持突起４と押え突起８により挟むフォトマスク等
基板１０に比べて板厚の大きい別のフォトマスク等基板
１１を他方の支持突起５と押え突起９により挟着可能と
することが好ましい。
ースは、一方の支持突起４と押え突起８に比べ他方の支
持突起５と押え突起９の背をそれぞれ少し低くして、一
方の支持突起４と押え突起８により挟むフォトマスク等
基板１０に比べて板厚の大きい別のフォトマスク等基板
１１を他方の支持突起５と押え突起９により挟着可能と
することが好ましい。
【０００８】また、上記のフォトマスク等基板の収納ケ
ースは、ケース本体１に設ける囲み片６，７を略ハの字
状として、その内面にフォトマスク等基板１０，１１の
角部の外縁を当接するようになすことが好ましい。
ースは、ケース本体１に設ける囲み片６，７を略ハの字
状として、その内面にフォトマスク等基板１０，１１の
角部の外縁を当接するようになすことが好ましい。
【０００９】また、上記のフォトマスク等基板の収納ケ
ースは、ケース本体１に蓋体２を被せた状態でその角部
の外周に嵌着する蓋固定バンド３の外縁に当接して係止
する凸部１２，１３をケース本体１の外底面における角
部近傍と、蓋体２の外天面における角部近傍にそれぞれ
一体的に設けるのが好ましい。
ースは、ケース本体１に蓋体２を被せた状態でその角部
の外周に嵌着する蓋固定バンド３の外縁に当接して係止
する凸部１２，１３をケース本体１の外底面における角
部近傍と、蓋体２の外天面における角部近傍にそれぞれ
一体的に設けるのが好ましい。
【００１０】また、上記のフォトマスク等基板の収納ケ
ースは、ケース本体１と蓋体２を導電性プラスチックを
用いて成形するのが好ましい。
ースは、ケース本体１と蓋体２を導電性プラスチックを
用いて成形するのが好ましい。
【００１１】
【実施例】以下、図に示した本発明の実施例について説
明する。まず、図１はケース本体１に蓋体２を被せる前
の状態を示したものである。ケース本体１は内底面にお
ける４箇所の隅角部の近傍にそれぞれ支持突起４を一体
的に設けるとともに、それら隣接する２箇所の支持突起
４の中間位置、すなわちケース本体１の四辺近傍の略中
間位置にもそれぞれ別の支持突起５を一体的に設けてい
る。すなわち、全部で８箇所に支持突起４，５を設けて
いるが、支持突起５は支持突起４よりも少し背が低くな
っている。また、各支持突起５は隣接する２箇所の支持
突起４を結ぶ線上よりも少し外側に位置している。これ
ら支持突起４，５の外側近傍には、それら支持突起４，
５を囲むように、略ハの字状の囲み片６，７を同じく一
体的に設けている。
明する。まず、図１はケース本体１に蓋体２を被せる前
の状態を示したものである。ケース本体１は内底面にお
ける４箇所の隅角部の近傍にそれぞれ支持突起４を一体
的に設けるとともに、それら隣接する２箇所の支持突起
４の中間位置、すなわちケース本体１の四辺近傍の略中
間位置にもそれぞれ別の支持突起５を一体的に設けてい
る。すなわち、全部で８箇所に支持突起４，５を設けて
いるが、支持突起５は支持突起４よりも少し背が低くな
っている。また、各支持突起５は隣接する２箇所の支持
突起４を結ぶ線上よりも少し外側に位置している。これ
ら支持突起４，５の外側近傍には、それら支持突起４，
５を囲むように、略ハの字状の囲み片６，７を同じく一
体的に設けている。
【００１２】一方、蓋体２の内天面においてケース本体
１の４箇所の支持突起４と対向する位置にそれぞれ押え
突起８を一体的に設けるとともに、ケース本体１の他の
４箇所に設けた支持突起５と対向する位置にもそれぞれ
押え突起９を一体的に設けている。なお、一方の押え突
起９は他方の押え突起８よりも少し背が低くなってい
る。
１の４箇所の支持突起４と対向する位置にそれぞれ押え
突起８を一体的に設けるとともに、ケース本体１の他の
４箇所に設けた支持突起５と対向する位置にもそれぞれ
押え突起９を一体的に設けている。なお、一方の押え突
起９は他方の押え突起８よりも少し背が低くなってい
る。
【００１３】ケース本体１には隅角部近傍の４箇所に設
けた支持突起４と囲み片６とによって、図２に示すよう
に、石英ガラス製で、正方形の所定サイズのフォトマス
ク等基板１０を保持することができる。すなわち、４箇
所の支持突起４の頂端部に直にフォトマスク等基板１０
の四箇所の角部を載置するとともに、４箇所の囲み片６
の内面にそれぞれフォトマスク等基板１０の４箇所の角
部の外縁を接触させることにより保持することができ
る。
けた支持突起４と囲み片６とによって、図２に示すよう
に、石英ガラス製で、正方形の所定サイズのフォトマス
ク等基板１０を保持することができる。すなわち、４箇
所の支持突起４の頂端部に直にフォトマスク等基板１０
の四箇所の角部を載置するとともに、４箇所の囲み片６
の内面にそれぞれフォトマスク等基板１０の４箇所の角
部の外縁を接触させることにより保持することができ
る。
【００１４】同様に、別の４箇所にそれぞれ設けた支持
突起５と囲み片７とによって、図３に示すように、別の
所定サイズのフォトマスク等基板１１を、上記のフォト
マスク等基板１０に対して４５°回転した状態で保持す
ることができる。なお、このフォトマスク等基板１１は
上記のフォトマスク等基板１０よりサイズが少し小さく
て、板厚は少し大きくなっている。すなわち、このケー
ス本体１はサイズと板厚が異なる２種類のフォトマスク
等基板１０，１１を保持できるようになっている。
突起５と囲み片７とによって、図３に示すように、別の
所定サイズのフォトマスク等基板１１を、上記のフォト
マスク等基板１０に対して４５°回転した状態で保持す
ることができる。なお、このフォトマスク等基板１１は
上記のフォトマスク等基板１０よりサイズが少し小さく
て、板厚は少し大きくなっている。すなわち、このケー
ス本体１はサイズと板厚が異なる２種類のフォトマスク
等基板１０，１１を保持できるようになっている。
【００１５】ケース本体１にフォトマスク等基板１０，
１１を収納する場合、囲み片６，７が略ハの字状を呈し
ているので、フォトマスク等基板１０，１１の角部の位
置合わせが容易である。
１１を収納する場合、囲み片６，７が略ハの字状を呈し
ているので、フォトマスク等基板１０，１１の角部の位
置合わせが容易である。
【００１６】フォトマスク等基板１０又は１１を収納し
たケース本体１に対し蓋体２を被せると、押え突起８又
は９がフォトマスク等基板１０又は１１の上面に接触す
る。すなわち、フォトマスク等基板１０又は１１は、支
持突起４又は５と押え突起８又は９とにより上下両面を
挟まれて固定される。
たケース本体１に対し蓋体２を被せると、押え突起８又
は９がフォトマスク等基板１０又は１１の上面に接触す
る。すなわち、フォトマスク等基板１０又は１１は、支
持突起４又は５と押え突起８又は９とにより上下両面を
挟まれて固定される。
【００１７】フォトマスク等基板１０又は１１は、上記
の囲み片６，７により外周縁を規制されるので横方向の
移動が阻止され、かつ、支持突起４又は５と、押え突起
８又は９とにより上下方向の揺れを抑えられるので、運
搬中又は保管時の振動による損傷を防止することができ
る。
の囲み片６，７により外周縁を規制されるので横方向の
移動が阻止され、かつ、支持突起４又は５と、押え突起
８又は９とにより上下方向の揺れを抑えられるので、運
搬中又は保管時の振動による損傷を防止することができ
る。
【００１８】なお、ケースが運搬中又は保管時に静電気
を蓄積すると、ケースとフォトマスク等基板との間で放
電現象を生じて、フォトマスクのパターンが破壊される
恐れがあり、又、ケースが帯電すると空気中の浮遊塵等
を吸着して汚染しやすくなるので、これを防止するため
に、ケース本体１と蓋体２は導電性プラスチックにより
成形するのが好ましい。導電性プラスチックとしては、
例えば、バイヨン（呉羽化学工業製）という商品名で市
販されている樹脂を使用可能である。
を蓄積すると、ケースとフォトマスク等基板との間で放
電現象を生じて、フォトマスクのパターンが破壊される
恐れがあり、又、ケースが帯電すると空気中の浮遊塵等
を吸着して汚染しやすくなるので、これを防止するため
に、ケース本体１と蓋体２は導電性プラスチックにより
成形するのが好ましい。導電性プラスチックとしては、
例えば、バイヨン（呉羽化学工業製）という商品名で市
販されている樹脂を使用可能である。
【００１９】また、フォトマスク等基板１０又は１１の
上下両面に支持突起４又は５と押え突起８又は９が直に
接触するので、フォトマスク等基板１０又は１１を傷付
けないように、ケース本体１と蓋体２をフォトマスク等
基板１０，１１よりも硬度の小さいプラスチックにより
成形するのが好ましい。
上下両面に支持突起４又は５と押え突起８又は９が直に
接触するので、フォトマスク等基板１０又は１１を傷付
けないように、ケース本体１と蓋体２をフォトマスク等
基板１０，１１よりも硬度の小さいプラスチックにより
成形するのが好ましい。
【００２０】ケース本体１の外底面における角部近傍の
４箇所と、蓋体２の外天面における角部近傍の４箇所に
は、それぞれ疣状の凸部１２，１３を設けている。フォ
トマスク等基板１０，１１を収納したケース本体１に蓋
体２を被せた状態で、その角部４箇所には、図４に示す
ように、蓋固定バンド３を嵌着することができる。蓋固
定バンド３はプラスチック製で、輪状を呈し、蓋体２の
外天面、角部の両側のケース本体１と蓋体２の側面、及
びケース本体１の外底面に接触しながら角部の外周を取
り囲み、蓋体２をケース本体１から分離しないように押
え止めすることができる。なお、蓋固定バンド３を角部
に嵌着する際に、蓋固定バンド３が弾性変形により凸部
１２，１３を乗り越えて、蓋固定バンド３の外縁に凸部
１２，１３が当接して係止することになる。これにより
蓋固定バンド３が抜け止めされて安易に外れなくなる。
４箇所と、蓋体２の外天面における角部近傍の４箇所に
は、それぞれ疣状の凸部１２，１３を設けている。フォ
トマスク等基板１０，１１を収納したケース本体１に蓋
体２を被せた状態で、その角部４箇所には、図４に示す
ように、蓋固定バンド３を嵌着することができる。蓋固
定バンド３はプラスチック製で、輪状を呈し、蓋体２の
外天面、角部の両側のケース本体１と蓋体２の側面、及
びケース本体１の外底面に接触しながら角部の外周を取
り囲み、蓋体２をケース本体１から分離しないように押
え止めすることができる。なお、蓋固定バンド３を角部
に嵌着する際に、蓋固定バンド３が弾性変形により凸部
１２，１３を乗り越えて、蓋固定バンド３の外縁に凸部
１２，１３が当接して係止することになる。これにより
蓋固定バンド３が抜け止めされて安易に外れなくなる。
【００２１】また、蓋体２の外天面における各凸部１３
の少し内側位置と、ケース本体１の外底面における各凸
部１２の少し内側位置には、それぞれ、ケースを上下に
積み重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ字状のガ
イド突起１４，１５を設けている。上記の蓋固定バンド
３は嵌着した状態でその内縁をガイド突起１４，１５に
接触させる。
の少し内側位置と、ケース本体１の外底面における各凸
部１２の少し内側位置には、それぞれ、ケースを上下に
積み重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ字状のガ
イド突起１４，１５を設けている。上記の蓋固定バンド
３は嵌着した状態でその内縁をガイド突起１４，１５に
接触させる。
【００２２】
【発明の効果】本発明のフォトマスク等基板の収納ケー
スは上記の通りであり、フォトマスク等基板１０，１１
の上下両面を押え突起８，９と支持突起４，５により挟
み、かつフォトマスク等基板１０，１１の外縁に囲み片
６，７を当接することによって、フォトマスク等基板１
０，１１を上下方向かつ水平方向に動かないように保持
することができて、運搬中や保管時の振動による損傷を
防止することができる。そして、特に支持突起４，５と
押え突起８，９は上記公知例のようにキャップを被せず
に直にその先端部をフォトマスク等基板１０，１１に接
触させるので、キャップの材料に含まれる成分によって
フォトマスク等基板１０，１１が悪影響を受けるのを避
けることができる。なお緩衝用のキャップを用いなくと
も、押え突起８，９や支持突起４，５をフォトマスク等
基板１０，１１の材料であるガラスなどよりも硬度の小
さいプラスチック製とすることによりフォトマスク等基
板１０，１１の損傷を避けることができる。
スは上記の通りであり、フォトマスク等基板１０，１１
の上下両面を押え突起８，９と支持突起４，５により挟
み、かつフォトマスク等基板１０，１１の外縁に囲み片
６，７を当接することによって、フォトマスク等基板１
０，１１を上下方向かつ水平方向に動かないように保持
することができて、運搬中や保管時の振動による損傷を
防止することができる。そして、特に支持突起４，５と
押え突起８，９は上記公知例のようにキャップを被せず
に直にその先端部をフォトマスク等基板１０，１１に接
触させるので、キャップの材料に含まれる成分によって
フォトマスク等基板１０，１１が悪影響を受けるのを避
けることができる。なお緩衝用のキャップを用いなくと
も、押え突起８，９や支持突起４，５をフォトマスク等
基板１０，１１の材料であるガラスなどよりも硬度の小
さいプラスチック製とすることによりフォトマスク等基
板１０，１１の損傷を避けることができる。
【００２３】また、請求項２記載のように構成すること
により、サイズの異なる２種類のフォトマスク等基板１
０，１１を保持することができる。
により、サイズの異なる２種類のフォトマスク等基板１
０，１１を保持することができる。
【００２４】また、請求項３記載のように構成すること
により、板厚の異なる２種類のフォトマスク等基板１
０，１１を保持することができる。
により、板厚の異なる２種類のフォトマスク等基板１
０，１１を保持することができる。
【００２５】また、請求項４記載のように構成すること
により、ケース本体１にフォトマスク等基板１０，１１
を収納する場合に、フォトマスク等基板１０，１１の角
部の位置合わせが容易である。
により、ケース本体１にフォトマスク等基板１０，１１
を収納する場合に、フォトマスク等基板１０，１１の角
部の位置合わせが容易である。
【００２６】また、請求項５記載のように構成すること
により、ケース本体１に蓋体２を被せてその蓋体２を蓋
固定バンド３により押え止めしたときに、特にケース本
体１と蓋体２に設けた凸部１２，１３が蓋固定バンド３
に係止して抜け止めすることにより蓋固定バンド３が安
易に外れて蓋体２が不本意に開くことがないので、ケー
スの内部に収納したフォトマスク等基板１０，１１の汚
染防止に関し完璧を期すことができる。
により、ケース本体１に蓋体２を被せてその蓋体２を蓋
固定バンド３により押え止めしたときに、特にケース本
体１と蓋体２に設けた凸部１２，１３が蓋固定バンド３
に係止して抜け止めすることにより蓋固定バンド３が安
易に外れて蓋体２が不本意に開くことがないので、ケー
スの内部に収納したフォトマスク等基板１０，１１の汚
染防止に関し完璧を期すことができる。
【００２７】また、請求項６記載のように構成すること
により、ケースとフォトマスク等基板との間で放電現象
を生じてフォトマスクのパターンが破壊される事故や、
ケースが帯電により空気中の浮遊塵等を吸着して汚染す
るという弊害を防止することができる。
により、ケースとフォトマスク等基板との間で放電現象
を生じてフォトマスクのパターンが破壊される事故や、
ケースが帯電により空気中の浮遊塵等を吸着して汚染す
るという弊害を防止することができる。
【図１】空のケース本体と開いた状態の蓋体の斜視図で
ある。
ある。
【図２】ケース本体に所定サイズの大きいフォトマスク
等基板を収納した状態の平面図である。
等基板を収納した状態の平面図である。
【図３】ケース本体に所定サイズの小さいフォトマスク
等基板を収納した状態の平面図である。
等基板を収納した状態の平面図である。
【図４】ケース本体に蓋体を被せ且つ蓋固定バンドを嵌
着した状態の斜視図である。
着した状態の斜視図である。
【図５】大きいサイズのフォトマスク等基板を収納した
状態においてケースの端部を側面に平行に切断した断面
図である。
状態においてケースの端部を側面に平行に切断した断面
図である。
【図６】大きいサイズのフォトマスク等基板を収納した
状態においてケースの中央部の対角線位置を切断した断
面図である。
状態においてケースの中央部の対角線位置を切断した断
面図である。
１ ケース本体 ２ 蓋体 ３ 蓋固定バンド ４，５ 支持突起 ６，７ 囲み片 ８，９ 押え突起 １０，１１ フォトマスク等基板 １２，１３ 凸部 １４，１５ ガイド突起
Claims (6)
- 【請求項１】 ケース本体１と、ケース本体１に対し着
脱自在な蓋体２と、ケース本体１に蓋体２を被せた状態
でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンド３とを具え、
そのケース本体１の内底面にフォトマスク等基板１０，
１１の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同基板
１０，１１を載置可能とする支持突起４，５と、同基板
１０，１１の外郭位置にその内面を基板１０，１１の周
縁に接触させて同基板１０，１１の横方向の移動を阻止
する囲み片６，７とを一体的に設けるとともに、蓋体２
の内天面においてケース本体１の支持突起４，５と対向
する位置にそれぞれ上記基板１０，１１の上面にその下
端部を直に接触させて支持突起４，５と共に基板１０，
１１を挟んで上下方向の揺れを阻止する押え突起８，９
を一体的に設け、そのケース本体１と蓋体２をフォトマ
スク等基板１０，１１よりも硬度の小さいプラスチック
により成形したことを特徴とするフォトマスク等基板の
収納ケース。 - 【請求項２】 支持突起４と囲み片６をそれぞれケース
本体１の内底面における４箇所の隅角部近傍に配し、別
の支持突起５と囲み片７をそれぞれケース本体１の四辺
近傍の略中間位置に配して、一方の支持突起４と囲み片
６により所定サイズのフォトマスク等基板１０を保持す
るとともに、他方の支持突起５と囲み片７により別の異
なる所定サイズのフォトマスク等基板１１を保持するよ
うにした請求項１記載のフォトマスク等基板の収納ケー
ス。 - 【請求項３】 一方の支持突起４と押え突起８に比べ他
方の支持突起５と押え突起９の背をそれぞれ少し低くし
て、一方の支持突起４と押え突起８により挟むフォトマ
スク等基板１０に比べて板厚の大きい別のフォトマスク
等基板１１を他方の支持突起５と押え突起９により挟着
可能とした請求項１または２記載のフォトマスク等基板
の収納ケース。 - 【請求項４】 ケース本体１に設ける囲み片６，７を略
ハの字状として、その内面にフォトマスク等基板１０，
１１の角部の外縁を当接するようにした請求項１、２ま
たは３記載のフォトマスク等基板の収納ケース。 - 【請求項５】 ケース本体１に蓋体２を被せた状態でそ
の角部の外周に嵌着する蓋固定バンド３の外縁に当接し
て係止する凸部１２，１３をケース本体１の外底面にお
ける角部近傍と、蓋体２の外天面における角部近傍にそ
れぞれ一体的に設けた請求項１、２、３または４記載の
フォトマスク等基板の収納ケース。 - 【請求項６】 ケース本体１と蓋体２を導電性プラスチ
ックを用いて成形した請求項１、２、３、４または５記
載のフォトマスク等基板の収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31545896A JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31545896A JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000216447A Division JP2001092114A (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | フォトマスク等基板の収納ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142773A true JPH10142773A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3218338B2 JP3218338B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=18065612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31545896A Expired - Fee Related JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218338B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004087535A1 (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Achilles Corporation | 半導体ウエハの容器 |
| JP2007119033A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Japan Tissue Engineering:Kk | 培養組織のための包装体及び培養組織包装体 |
| CN100450892C (zh) * | 2003-11-18 | 2009-01-14 | 网塑有限公司 | 大尺寸精密板状半成品或成品用气密容器 |
| JP2009229638A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | E-Sun Precision Industrial Co Ltd | 半導体部材移送用移載容器 |
| JP2009298421A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Sekisui Plastics Co Ltd | ガラス基板搬送用トレイとガラス基板梱包体 |
| JP2010128171A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Sharp Corp | 光学機器及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP31545896A patent/JP3218338B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004087535A1 (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Achilles Corporation | 半導体ウエハの容器 |
| CN100450892C (zh) * | 2003-11-18 | 2009-01-14 | 网塑有限公司 | 大尺寸精密板状半成品或成品用气密容器 |
| JP2007119033A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Japan Tissue Engineering:Kk | 培養組織のための包装体及び培養組織包装体 |
| JP2009229638A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | E-Sun Precision Industrial Co Ltd | 半導体部材移送用移載容器 |
| JP2009298421A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Sekisui Plastics Co Ltd | ガラス基板搬送用トレイとガラス基板梱包体 |
| JP2010128171A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Sharp Corp | 光学機器及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3218338B2 (ja) | 2001-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3200776B2 (ja) | 基板保持用ケース | |
| KR101142957B1 (ko) | 기판 수납 케이스 | |
| EP0916584B1 (en) | Packaging tray | |
| TWI285179B (en) | Container for housing a large pellicle | |
| JPS63178958A (ja) | 防塵容器 | |
| JP2006332278A (ja) | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 | |
| JPH10142773A (ja) | フォトマスク等基板の収納ケース | |
| JP2001092114A (ja) | フォトマスク等基板の収納ケース | |
| TWI394693B (zh) | 吸震式基材容器 | |
| JP5416154B2 (ja) | 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 | |
| JPH10114388A (ja) | ペリクル容器 | |
| TWI526376B (zh) | 基板收納容器、遮罩基底收納體、轉印遮罩收納體及覆膜玻璃基板收納體 | |
| JPS6233436A (ja) | 輸送用ウエ−ハケ−ス | |
| JPH08133382A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JP2010049266A (ja) | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 | |
| JPH06387Y2 (ja) | レンズ収納ケース | |
| JP2024092964A (ja) | 基板収納ケースおよび基板収納体 | |
| JPH072281U (ja) | 板状物の収納用具 | |
| KR100362234B1 (ko) | 글라스 기판 이송을 위한 스페이서 | |
| JP2007145397A5 (ja) | ||
| TW202433166A (zh) | 基板收納盒及基板收納體 | |
| JPH06204328A (ja) | ウェーハケース | |
| KR100583482B1 (ko) | 정전기 방지용 웨이퍼 카세트 | |
| JP2004224365A (ja) | ガラス板の梱包方法及びガラス板梱包用スペーサ | |
| JP3080799B2 (ja) | 液晶表示パネル収容搬送器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080810 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090810 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090810 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100810 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110810 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120810 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120810 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130810 Year of fee payment: 12 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |