JP2010049266A - 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 - Google Patents
大型ペリクル収納容器及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010049266A JP2010049266A JP2009216369A JP2009216369A JP2010049266A JP 2010049266 A JP2010049266 A JP 2010049266A JP 2009216369 A JP2009216369 A JP 2009216369A JP 2009216369 A JP2009216369 A JP 2009216369A JP 2010049266 A JP2010049266 A JP 2010049266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- pellicle
- storage container
- lid
- reinforcing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 ペリクル1を収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、ペリクル1を収納する樹脂材料からなるトレイ2と、該トレイ2を被覆する樹脂材料からなる蓋3とからなり、該トレイ2または蓋3の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板4を取り付けたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
2…トレイ
2a…第一トレイ
2b…第二トレイ
3…蓋
4…補強板
5…樹脂材料
11…ペリクル膜
12…枠体
13…粘着材
21…隆起部
22…平面部
23…溝部
24…突起
41…ハニカム板
42…ハニカム
51…枠体
52…ペリクル膜
53…粘着材
54…保護フィルム
55…トレイ
55a…設置面
55b…ポスト
56…フタ
56a…斜面
57…クリップ
Claims (9)
- ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、
ペリクルを収納する樹脂材料からなるトレイと、前記トレイを被覆する樹脂材料からなる蓋とからなり、
前記トレイまたは蓋の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板を取り付けたことを特徴とする大型ペリクル収納容器。 - 前記トレイまたは蓋は、真空成形にて製造したものであることを特徴とする請求項1に記載の大型ペリクル収納容器。
- 前記補強板の形状が、格子状、または枠状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の大型ペリクル収納容器。
- 前記補強板の形状が、角を落とした形状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の大型ペリクル収納容器。
- 前記補強板の形状が、筋交いに配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の大型ペリクル収納容器。
- 前記補強板は、前記トレイまたは蓋の略中央の平面部に取り付けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の大型ペリクル収納容器。
- 前記トレイは、前記ペリクルを載置する位置を隆起させて構成していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の大型ペリクル収納容器。
- ペリクルを収納する樹脂材料からなるトレイと、前記トレイを被覆する樹脂材料からなる蓋とからなり、前記ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器の製造方法であって、
前記トレイまたは蓋の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板を取り付けることを特徴とする大型ペリクル収納容器の製造方法。 - ペリクルを収納する樹脂材料からなるトレイと、前記トレイを被覆する樹脂材料からなる蓋とからなり、前記ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器の製造方法であって、
前記トレイまたは蓋は、真空成形にて製造し、前記トレイまたは蓋の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板を取り付けることを特徴とする大型ペリクル収納容器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009216369A JP4776721B2 (ja) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009216369A JP4776721B2 (ja) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008296858A Division JP4493711B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010049266A true JP2010049266A (ja) | 2010-03-04 |
JP4776721B2 JP4776721B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=42066335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009216369A Expired - Lifetime JP4776721B2 (ja) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4776721B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI423907B (zh) * | 2010-04-23 | 2014-01-21 | Shinetsu Chemical Co | 防塵薄膜組件收納容器 |
JP2014081454A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル |
KR102277627B1 (ko) * | 2020-01-13 | 2021-07-15 | 전은주 | 트럭의 적재함 캐리어 제조방법 |
-
2009
- 2009-09-18 JP JP2009216369A patent/JP4776721B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI423907B (zh) * | 2010-04-23 | 2014-01-21 | Shinetsu Chemical Co | 防塵薄膜組件收納容器 |
JP2014081454A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル |
KR102277627B1 (ko) * | 2020-01-13 | 2021-07-15 | 전은주 | 트럭의 적재함 캐리어 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4776721B2 (ja) | 2011-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4236535B2 (ja) | 大型ペリクル収納容器 | |
JP4176138B2 (ja) | 大型ペリクル収納容器 | |
TWI398389B (zh) | 防護薄膜組件收納容器 | |
TWI423907B (zh) | 防塵薄膜組件收納容器 | |
TWI384530B (zh) | 防護薄膜組件收納容器 | |
JP4614845B2 (ja) | ペリクル用収納容器 | |
JP2011034020A (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP4776721B2 (ja) | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 | |
JP2008216846A (ja) | ペリクル収納容器 | |
KR200469200Y1 (ko) | 펠리클 수납 용기 | |
JP2000173887A (ja) | ペリクル収納ケース | |
TWI590999B (zh) | 防塵薄膜組件收納容器 | |
JP5864399B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP4493711B2 (ja) | 大型ペリクル収納容器及びその製造方法 | |
JP2008083618A (ja) | ペリクル収納容器の補強材 | |
JP2009037269A5 (ja) | ||
JP4337988B2 (ja) | 大型ペリクル収納容器 | |
JP4694299B2 (ja) | ペリクル用収納容器 | |
JP4672636B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP2007047238A (ja) | ペリクル用収納容器 | |
JP5693836B2 (ja) | ペリクル収納ケースの梱包体及びペリクル収納ケースの梱包方法 | |
KR100903543B1 (ko) | 대형 펠리클 수납 용기 | |
JP5474385B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP5271763B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP5415889B2 (ja) | ペリクル収納用ケース |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4776721 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |