JP5693836B2 - ペリクル収納ケースの梱包体及びペリクル収納ケースの梱包方法 - Google Patents
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Description
半導体装置や液晶ディスプレイ等の回路パターン製造時のリソグラフィー工程において、フォトマスク或いはレティクルなどの露光用基盤への異物除けの目的で一般にペリクルと呼ばれる防塵フィルムを貼付する方法が用いられている。このペリクルは露光用基盤の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ10μm以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体或いはフッ素ポリマーなどの透明な高分子膜(以下、「ペリクル膜」という)を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
前記粘着材は、ペリクルを露光用基盤に固着するためのものであり、露光用基盤にペリクルを固着させた際に微細な空洞が生じることが無いようミクロンオーダーの平坦性などの精度が求められる。また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。
また、LSI用の小型ペリクルの場合は、ペリクル用収納ケースを複数個重ねた後にエアークッションなどの緩衝材を入れた梱包箱に梱包する梱包形態もある。(例えば、特許文献1参照)
大型ペリクル収納ケースの緩衝材として、ケースとの接触面積を規定して緩衝能力を高めた緩衝材も提案されている。(例えば、特許文献2参照)
また、収納ケースと緩衝材と梱包箱が直接接する部分を設けていたため、梱包箱の衝撃が緩衝材を介して収納ケースに伝わり、擦れが生じて、ペリクル膜に異物が付着したり、ペリクルのマスク粘着材の平坦性などの精度が低下する恐れがあった。
上記以外にも大型化になると廃棄量も多くなり環境的にも良くない方向になっている。
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供することである。
[1]
梱包箱と、該梱包箱の中に収納される底面積が1000cm2以上のペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、
前記緩衝材は、ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、
前記支持膜が貼張される平面視略多角形の枠体と、を有し、
前記支持膜は、前記枠体の少なくとも1辺上において、当該少なくとも1辺の長さ方向における中央部を挟んだ位置において前記少なくとも1辺の上面に実質的に固定され貼張されており、前記支持膜は、前記中央部において、前記少なくとも1辺に固定されておらず、前記枠体の辺の長さ方向の少なくとも端部で前記支持膜が前記枠体の辺の上面に実質的に固定されており、前記中央部の、当該中央部を有する前記少なくとも1辺の長さ方向に沿った長さが、当該少なくとも1辺の長さに占める割合が、10%以上70%以下であり、前記支持膜は、前記枠体の開口部の全体を覆っている、ことを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。
[2]
前記枠体の開口部面積が、ペリクル収納ケースの底面面積の1.1倍以上3.0倍以下である[1]に記載の梱包体。
[3]
前記枠体の平面視上の幅が、4mm以上である[1]又は[2]に記載の梱包体。
[4]
前記枠体の側面の高さが、前記ペリクル収納ケースの高さより大きい[1]から[3]のいずれかに記載の梱包体。
[5]
[1]〜[4]のいずれかに記載の梱包体を用いたペリクル収納ケースの梱包方法であって、一対の前記緩衝材を用いて前記ペリクル収納ケースを上面側及び底面側から支持することを特徴とする梱包方法。
梱包箱2は、平面視略矩形状の底面と、当該底面の周縁から上方に立設される側面と、当該側面上端縁を周縁として形成される略矩形状の開口部を有している。また、開口部を形成する一対の平行辺上には舌片状の蓋部21が形成され、当該蓋部が折りたたまれることにより前記開口部が閉塞し、ペリクル収納ケース3及び緩衝材4が梱包箱2内部に収納されるようになっている。
また、ペリクル収納ケース3のトレイやフタの寸法は、収納されるペリクルの大きさに応じて設定される。大型ペリクル収納ケースの面積は、底面積が1000cm2以上あり、3000cm2以上、7000cm2以上、更に大型になると15000cm2以上にもなり、重量も補強材等を除いたケースと蓋とで1kg以上、4kg以上、更に大型になると10kgにもなる。
なお、ペリクル収納ケース3の上面側を支持する緩衝材4の上面側に更に天板を配置し、蓋部21が折りたたまれてペリクル収納ケース3が梱包箱2内に収納された際に、蓋部21と緩衝材4とを隔離することも可能である。このような天板は、梱包箱2の変形を抑制することも可能である。また、補強を考えて、梱包箱2自体を2重にしてもよい。
天板の材質は特に限定するものではないが、ダンボールやプラスチック板などが使用でき、また、梱包箱2の内寸と一致する寸法であることが好ましい。
また、ペリクル収納ケース3をクリーン袋等で包装してもよいし、収納としては、一組でも2組、3組、4組等の複数個でも収納できる。
支持膜41は前記開口部に対し、全面に存在している。
なお、図2に示すように、枠体42の高さHは、緩衝材4でペリクル収納ケース3を収納した際に、ペリクル収納ケース3が支持膜41を介して梱包箱2の底部または梱包箱2の天部に接触することなく、宙吊りになる高さであることが好ましい。従って、収納するペリクル収納ケース3の高さより高いほうが好ましく、より好ましくはケース厚みの1.1倍以上が好ましいが、輸送効率を考慮すると1.1倍〜10倍の範囲にあることが好ましい。
また、枠体42には、枠体42の高さ方向下部位置に、辺の長さ方向に沿って一定の領域面積を有する底面を有することが好ましい。
なお、一の部分枠体と他の部分枠体とは、同じ大きさの枠体同士を接続してもよいし、一方の部分枠体を他の部分枠体よりも少し小さめにしてはめ込み型にしてもよい。接続等は、接着剤や粘着材、テープ、ピンなどを利用してもいし、はめ込み型の場合は接着剤等を利用しなくても良い。
ここで、少なくとも中央部というのは、1辺上の中央部付近は必ず支持膜41が固定されない部分があるが、中央部付近中央部以外にも支持膜41が固定されていない部分があっても良いことを意味する。また、実質的に固定というのは、中央部付近にも少し支持膜41が固定されている場合も含む。
図2を参照し、この中央部43の、中央部43を有する辺の長さ方向に沿った長さWbが、当該辺の長さWaに占める割合としては、10%以上70%以下であり、好ましくは15%以上60%以下、より好ましくは20%以上50%以下である。そうすることで、大型で重量のあるケースに対して、適度な伸張性を発揮し、ケースとの密着性がよくなるため、緩衝材として特に横方向の移動を抑制することができ好適である。
また、固定方法としても特に限定されず、接着剤や粘着材を用いることができ、熱接着や、ネジやビス、クリップなどで物理的に固定しても良い。
そして、梱包箱内におけるペリクル収納ケースの動きを効果的に抑制し得、その結果、ペリクル収納ケースと他の部位(例えば、梱包箱や緩衝材)との擦れが抑制されて、擦れに基づく塵埃等の異物の発生が抑制されるため、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制することができる。
本実施形態のペリクル収納ケースの梱包体を用いれば、ペリクル輸送やそれに伴う取り扱いの際に生じる衝撃や振動からペリクルおよびペリクル収納ケースを保護し、それらの構成部材の擦れ等による発塵を防止すると共に、衝撃等による粘着剤の精度を高いレベルで維持することが可能となる。特に、大型のペリクルに置いては、緩衝材量を削減できる為に梱包箱全体を軽量化かつコンパクトにでき、廃棄物も削減できるため環境的にも良い方向になる。また、梱包箱と緩衝材が直接接触していないため、フォークリフトの爪などで梱包箱の底を突き上げた際や上方向から誤って他の物が落下してきた場合も、ペリクルケースに接触することがなくペリクルの損傷や発塵を防止することが可能となる。
収納ケースにかかる衝撃を測定するため、中段の収納ケースにはペリクルを載置せず、ケースの中央に、粘着テープにてショックレコーダー(micro techno社製衝撃振動加速レコーダー 型式SR300)を取付けて(図4(b)、(c))、落下試験を行った。
即ち、図4(a)に示すように、梱包体の底面の1辺を15cmの高さの木箱に設置し、前記1辺の対となる1辺を高さ50cm持ち上げて斜めにし、底面全体が同時に着地するように落下させた。その上下方向の測定結果とペリクルへの異物付着状態を検査した。
また、ショックレコーダーを中段の収納ケースに取付けた梱包体を上記と同様に作成し、輸送試験を行った。宮崎から羽田を往復した。宮崎―福岡往復はトラックで、福岡―羽田往復は空輸で輸送した。その衝撃の上下方向の測定結果と異物付着状態を検査した。
図1に示すようにペリクル収納ケースを梱包体に収納した。ここで、図3に示すような緩衝材を用いた。
より詳述すると、まず、底面が930mm×650mm、高さ40mm、重量が5kgの大きさのペリクル収納ケースを準備した。
一方、外寸が450mm×820mm×100mm、幅が40mmの部分枠体を2本用意すると共に、連結部材として長さ600mm×幅35mm×高さ95mmの直方体形状(棒状)の部材を2本準備した。
部分枠体を連結部材で連結し、一体化させて平面視四角形状の枠体を作成した。ポリウレタンフィルムの支持膜を部分枠体部分の各々の全面に貼張した。このため、連結部材位置には支持膜が無く、一体の枠体としては長辺側の中央部に支持膜の無い状態とした。
ペリクル収納ケースを緩衝材で上面側及び下面側から狭持した状態を一組として、梱包箱の中に3組収納し、最上段の上側に強化段ボール製の輸送用天板を配置しテープで封印して梱包体とした(図4(c)参照)。各種物性を評価した。結果を表1又は2に示す。
図1に示すようにペリクル収納ケースを梱包体に収納した。ここで、図2に示すような緩衝材を用いた。
より詳述すると、まず、底面が600mm×450mm、高さ40mm、重量が1.5kgの大きさのペリクル収納ケースを準備した。緩衝材の大きさは、外寸が720mm×650mm×65mm、幅が35mmの枠体を用い、幅に接着剤を塗布してポリウレタンフィルムの支持膜を全面に貼張したものを緩衝材として利用した。緩衝材を変更した以外は比較例1と同様の構造で梱包した。各種物性を評価した。結果を表1又は2に示す。
上記の比較例1の緩衝材を変更した以外は比較例1と全く同様の構造の梱包体を作成した。すなわち、緩衝材を発泡性ポリウレタンからなる1000mm×700mm×100mmの直方体を図4(b)のように梱包箱底面の上面に配置させ、その緩衝材の上面に発泡性ポリエチレンからなる1000mm×700mm×100mmの緩衝材にペリクル収納ケースを収納させ、図4(b)のようにそれらを3段重ねた以外は、比較例1と同様に梱包した。結果を表1又は2に示す。
2:梱包箱
21:フタ部
3:ペリクル収納ケース
4:緩衝材
41:支持膜
411’:部分支持膜
42:枠体
421’:部分枠体
43:中央部
44:連結部
Claims (5)
- 梱包箱と、該梱包箱の中に収納される底面積が1000cm2以上のペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、
前記緩衝材は、ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、
前記支持膜が貼張される平面視略多角形の枠体と、を有し、
前記支持膜は、前記枠体の少なくとも1辺上において、当該少なくとも1辺の長さ方向における中央部を挟んだ位置において前記少なくとも1辺の上面に実質的に固定され貼張されており、前記支持膜は、前記中央部において、前記少なくとも1辺に固定されておらず、
前記枠体の辺の長さ方向の少なくとも端部で前記支持膜が前記枠体の辺の上面に実質的に固定されており、
前記中央部の、当該中央部を有する前記少なくとも1辺の長さ方向に沿った長さが、当該少なくとも1辺の長さに占める割合が、10%以上70%以下であり、
前記支持膜は、前記枠体の開口部の全体を覆っている、ことを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 - 前記枠体の開口部面積が、ペリクル収納ケースの底面面積の1.1倍以上3.0倍以下である請求項1に記載の梱包体。
- 前記枠体の平面視上の幅が、4mm以上である請求項1又は2に記載の梱包体。
- 前記枠体の側面の高さが、前記ペリクル収納ケースの高さより大きい請求項1〜3のいずれか一項に記載の梱包体。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の梱包体を用いたペリクル収納ケースの梱包方法であって、一対の前記緩衝材を用いて前記ペリクル収納ケースを上面側及び底面側から支持することを特徴とする梱包方法。
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