JP4442748B2

JP4442748B2 - 大型ペリクルの梱包方法

Info

Publication number: JP4442748B2
Application number: JP2003309715A
Authority: JP
Inventors: 芳真栗山
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei Corp
Priority date: 2003-09-02
Filing date: 2003-09-02
Publication date: 2010-03-31
Anticipated expiration: 2023-09-02
Also published as: JP2005075428A

Description

本発明は、液晶パネル等を製造する際のリソグラフィー工程で使用され、フォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられる面積が１，０００ｃｍ^２以上の大型ペリクルを、ケースと共に梱包する梱包方法に関するものである。

従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルは、フォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。

ペリクルは１つずつ、専用のペリクル用ケースに収納され、このペリクル用ケースを複数個重ねた後に１つの梱包箱に梱包される。ここで、５インチや６インチの半導体用ペリクルでは、輸送中の振動によるペリクル用ケースとペリクルとの擦れによる異物の付着を防止するために、複数枚のペリクル用ケースを袋で包み、この包袋の周りをエアークッション等で囲み、段ボール等で構成される梱包箱に収めている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−３０５８１４号公報

しかしながら、面積が１，０００ｃｍ^２を超す大型のペリクルを収納する大型ペリクル用ケースを複数重ねて梱包箱に収納する場合、大型ペリクル用ケースは半導体用のペリクルを収納するケースと比較してサイズが大きく且つ重量がある。このため、従来のように、複数枚のペリクル用ケースをエアークッションで囲んで、ケース周辺の衝撃を吸収したとしても、ケース同士が直接接触することにより、大きな衝撃を与え合う場合がある。そうするとこの衝撃により、ペリクル用ケースと該ケースに収納されたペリクル膜との擦れが生じ、ペリクル膜に塵埃等の異物が付着することがあるといった問題があった。

本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、大型ペリクルの輸送時に、塵埃等の異物が付着することのないように梱包することである。

前記目的を達成するため、本発明は、大型ペリクルを収納するケースを１つだけ保持する保持溝を有し互いに積載可能な積載部を有する緩衝材で構成された保持部材に、ペリクルを収納したケースを保持させたのち、同様にケースを保持させた複数の保持部材を、その積載部で順次積み重ねることを特徴としている。

また、上記梱包方法において、積み重ねた保持部材の最上部を天板で覆うことも好ましい。

また、保持溝の幅が収納するケースの幅とほぼ等しい大きさの保持部材を用いることも好ましい。

また、保持部材に保持させたケースの上部と、それに積載する保持部材または天板との間に、空間を設けることも好ましい。

また、積み重ねた保持部材を、そのまま箱に収納することも好ましい。

上述のような方法を用いることにより、大型ペリクルの輸送時に、塵埃等の異物が付着することのないように梱包することができる。

図を用いて、本発明の大型ペリクル用ケースの梱包方法に用いる容器の構成について説明する。図１は本発明に用いる大型ペリクル用ケースの梱包容器の概略図であり、図２は保持部材の概略説明図である。ここで、大型ペリクルとは、ペリクル膜の面積が１，０００ｃｍ^２以上のペリクルのことをいう。

図１に示すように、大型ペリクルケースの梱包容器Ａは、ペリクルを収納したケース60（図２参照）を一つずつ保持する保持部材10と、最上部の保持部材10ａの上部に蓋をする天板20とを有する。また、保持部材10と天板20とは、段ボール等の箱30を使用することで、天板20と複数の保持部材10ａ〜10ｄを一まとめにし、持ち運びがしやすいように構成することができる。尚、ここで保持部材10及び天板20をまとめるために箱30を使用したが、これに限るものではなく、ペリクルを輸送するために、プラスティックの紐、ビニール袋、等のような部材を使用してまとめることもできる。

図２を用いて、保持部材10及び天板20の構成について、詳細な説明をする。まず、図２を用いて、大型ペリクル50を収納するケース60を保持する保持部材10の説明をする。

保持部材10は、保持溝13において、ペリクル50を収納するペリクルケース60を保持するが、ここで、大型ペリクル50及びペリクルケース60について概略説明する。

大型ペリクル50は、枠体51と、枠体51の上縁面に接着されたペリクル膜52と、枠体51の下縁面に塗着された粘着材53と、粘着材53を保護するために粘着材53に粘着された保護フィルム54を有する。また、ペリクルケース60は、大型ペリクル50を載置するトレイ61と、フタ62とから構成される。大型ペリクル50とペリクルケース60とのコーナー部にはクリップ63が取り付けられ、このクリップ63によってトレイ61とフタ62とが固定され、外れないようになっている。尚、大型ペリクル50及びペリクルケース60は例示であり、この構成に限るものではない。これらの形状や大きさが変わった場合には、後述する保持部材10の保持溝13の形状や大きさを変更すれば足りる。また、ここでは大型ペリクル50及びペリクルケース60を固定するものとして、クリップ63を使用したが、これに限るものではなく、テープ等でシールして固定してもよい。

次に保持部材10の構成を説明する。保持部材10は、周縁部と、中央に配置されるペリクルケース60の保持溝13とから構成される。保持部材10の材質は発泡スチロール等の緩衝材で構成する。尚、材質は衝撃を吸収する緩衝材であればよいため、ポリエチレンフォーム、ウレタンフォーム等をも使用することができる。

保持部材10の保持溝13の構成について説明する。図２に示すように、保持溝13は、ペリクルケース60全体を収納することができる大きさであり、ペリクルケース60を底部に載置することができる。

保持溝13の側壁は、衝撃を和らげるために弾性を有する緩衝材で構成されており、かつ保持溝13の幅Ｗは丁度ペリクルケース60と同じ大きさ又は若干小さめに構成される。このため、ペリクルケース60を保持溝13の底面に載置すると、緩衝材のもつ弾性により保持溝13の側面がペリクルケース60の側部を確実に保持する。このため、輸送時の振動によりペリクルケース60が振動することを防止することができる。

また、保持溝13の高さは、ペリクルケース60を保持溝13の底部に載置すると、ペリクルケース60の上部に高さＨの空間ができるように構成される。尚、高さＨの大きさは、ペリクルケース60の大きさにもよるが、少なくとも５ｍｍあることが好ましい。このように構成すると、梱包容器Ａの輸送中に衝撃が加わっても、ペリクルケース60が上部にある保持部材10の底面と直接接触することを防止することができる。

次に、最上部の保持部材10（図１に示す10ａ）のフタとなる天板20について説明する。図２に示すように、天板20は緩衝材で構成され、保持部材10の周縁部に載置することができるように、少なくとも下面をフラットに形成する。このような構成とすることで、梱包容器Ａの天面を保護することができる。

このように、保持部材10ｂ以下の保持部材10を順次積み重ね、最後に保持部材10ａ上に天板20を載置することで、梱包容器Ａが形成される。尚、各保持部材10の底面は、それぞれ直下の保持部材10の天板となるため、保持部材10の形状は積載順序によって形状を変更する必要はない。このため、通常、ペリクルは複数個を一まとめにして輸送等がなされるが、その必要量に応じて保持部材10の数は変更可能である。

以上のように、本発明に用いるの梱包容器Ａにおいては、天板20及び保持部材10を全て緩衝材で形成したため、梱包容器Ａの輸送時に発生する振動を吸収することができる。

ペリクルケース60は１つの保持部材10で１つずつ保持することとしたため、ペリクルケース60が互いに接触して衝撃を与えるということはない。また、保持溝の横幅をケースの横幅と同じ大きさに構成してペリクルケース60を側面で確実に保持し、且つ高さをケースの高さよりも５ｍｍ以上大きく構成してペリクルケース60が保持部材10の天板に接触しないようにした。更に、保持部材10の周縁部を積載部として互いに積載し、上部の荷重を支えるための構造を緩衝材にて構成したため、ペリクルケース60に荷重がかかることはない。

このため、ペリクルケース60内に収納した大型ペリクル50のペリクル膜52が、ケース60のフタ62に接触することを防止することができ、大型ペリクル50の輸送時に、塵埃等の異物が付着することのないように梱包することができる。

また、保持部材10の周縁部は互いに積載可能な構造であり、各保持部材10に一つずつペリクルケース60を収納するため、複数個のペリクルを必要な数だけ梱包することができる。

また、上記実施形態の構成に加えて、保持溝13において、ケース上部にエアークッション等の緩衝材（不図示）を入れることで、更にケースに対しての衝撃を抑制することができる。

尚、本実施形態においては、保持部材10の周縁部の上下をフラットな構成としたが、これに限るものではなく、互いに嵌合して積載するための、凸部及び凹部を構成してもよい。このようにしても、互いの保持部材10の周縁部の凸部と凹部とを嵌合して保持しつつ積載することができ、複数個のペリクルケースを同時に梱包することができる。

本発明は、ペリクルを収納したペリクルケースを梱包して輸送する際に利用することができる。

大型ペリクル用ケースの梱包容器の概略図である。保持部材の概略説明図である。

Ａ…梱包容器、Ｈ…高さ、Ｗ…幅、
10…保持部材、13…保持溝、
20…天板、30…箱、
50…大型ペリクル、51…枠体、52…ペリクル膜、53…粘着材、54…保護フィルム、
60…ペリクルケース、61…トレイ、62…フタ、63…クリップ

Claims

大型ペリクルを収納するケースを複数梱包する方法であって、
大型ペリクルを収納するケースを１つだけ保持する保持溝を有し互いに積載可能な積載部を有する緩衝材で構成された保持部材に、ペリクルを収納したケースを保持させたのち、同様にケースを保持させた複数の保持部材を、その積載部で順次積み重ねることを特徴とする大型ペリクルの梱包方法。
積み重ねた保持部材の最上部を天板で覆うことを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクルの梱包方法。
前記保持溝の幅が収納するケースの幅とほぼ等しい大きさの保持部材を用いることを特徴とする請求項１または２に記載の大型ペリクルの梱包方法。
前記保持部材に保持させたケースの上部と、それに積載する保持部材または天板との間に、空間を設けることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の大型ペリクルの梱包方法。
積み重ねた保持部材を、そのまま箱に収納することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の大型ペリクルの梱包方法。