JP4807789B2 - ペリクル梱包用緩衝体および梱包方法 - Google Patents
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Description
この場合、異物はフォトマスクの表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
そこで、ペリクル自体に高い清浄性が求められることはもとより、保管、運搬に使用するペリクルの輸送容器にも、その清浄性を維持し得る性能が強く求められる。
したがって、ペリクルの運搬に用いられる輸送容器は、ペリクルおよびそれを収納したペリクルケースに振動や衝撃がかからないよう緩衝性を有し、なおかつ、ペリクルケースにかかる外力を防ぐ構造が要求される。
もちろん、底面以外からの衝撃を防ぐために、ペリクルケース12の側面や上面にも側面用緩衝体13、上面用緩衝体14を配置しているが、輸送中の振動、衝撃は主として底面の緩衝体11が吸収していることになる。
そして、複数のペリクルケースを同一梱包に収納する場合には、例えば、前記緩衝体をペリクルケースの高さよりも深い平底の凹み形状として、その内部にペリクルケースを収納し、これを積み重ねて複数収納するといった方法が採られていた(特許文献1参照)。
しかし、近年、液晶用で用いられている一辺が500mmを超えるような大型のペリクルのペリクルケースに使用する場合には、如何に硬度の低いものを選択しても充分な衝撃吸収効果が得られず、運搬後にペリクルが損傷したり、汚染される場合があることが判明した。
そして、平板はペリクルケース側面に配置される緩衝体の上面により支持されること(請求項7)とすれば、平板を支持するための特別な機構を輸送容器に設ける必要が無い。
図1は本発明のペリクル梱包用緩衝体を用いて輸送容器にペリクルを収納した状態を示す模式的な断面図であり、図2は本発明のペリクル梱包用緩衝体の一例を示す模式的な斜視図である。
このとき、この個々の凹凸の高低差(図2中h)は、凹または凸部の最大幅(図2中w)の0.5倍以上とすることが好ましい。これ以下では緩衝能力が低下し、凹凸を付けた効果が少なくなる。また、この個々の凹凸の高低差hは20mm以上とすることが良い。20mm未満では所望の緩衝能力が得られないためで、特に好ましくは30mm以上である。
これが30%よりも少ない場合は、ペリクルケースの重量が掛かっているにもかかわらず凸部があまり変形していない状態、すなわち緩衝体の硬度がペリクルケース重量に対して硬すぎることを示し、実際に衝撃がかかった際にも所望の緩衝効果が得られないおそれがある。
反対に70%よりも大きいと、凸部は既にかなりの高さまで潰れていてそれ以上の変形が期待できないことになり、これもまた十分な緩衝効果が得られないおそれがある。
そして、緩衝体の材質は、ウレタン発泡体、ポリエチレン発泡体、ゴム発泡体、ラテックス発泡体などの発泡体から適宜選択することが良いが、適切な緩衝能力があれば良く、これらに限定されるものではない。
図1に示すように、緩衝体1およびペリクルケース3の全ての側面には側面用緩衝体4、ペリクルケース3の上面には上面用緩衝体5が配置される。そして、その上にはペリクルケース3上面に接触しない高さに別のペリクルケースを段積みするための緩衝体とは異なる材質からなる平板7が配置される。
そして、これら緩衝体1、4、5および平板7の最外殻には輸送容器6があり、その上部には天板8、その下部にはパレット9が配置される。そして、天板8、輸送容器6、パレット9の三つは複数本の結束バンド10で強固に締結される。
平板7は側面用緩衝体4の上部に支持されるようにすることが望ましい。こうすれば、輸送容器6に平板支持部が不要となることに加え、側面用緩衝体4による緩衝効果が期待できる。
平板7は撓んで下段のペリクルケースに荷重を掛けないよう、十分な剛性を持つ必要があり、少なくとも10mm以上の厚みのある合板、強化ダンボール、プラスチック段ボール等が好ましい。
天板8は、上部に重量物を載せられた際にもペリクルケース3に外力を掛けないよう、特に剛性のある一体品を使用するのが望ましい。
結束バンド10はポリプロピレン製のものが一般的であるが、各構成部材の重量に応じて適宜選択することが良い。
また、上記したように、本発明は特に大型のペリクルに対して効果が大きいが、ケースの辺長が300mm以下の半導体用ペリクルや小型の液晶用ペリクルケースに対して適用しても、従来の平板状緩衝体を用いた輸送容器よりも優れた緩衝能力が期待できる。
図2に示すような形状のウレタン発泡材からなる緩衝体を製作した。この緩衝体の大きさは、670×890mm、厚さ(底面−凸頂部)70mmとし、凸部の高さは35mmとした。
凸部は円錐形状で、基底(最大径)部の直径は約60mm、夫々の頂点の間隔も約60mmで緩衝体全面に隙間なく配列されている。また、この材料の硬度は、約13kgf(JIS
K 6400試験方法による)。
ペリクルケース3の大きさは、860×640×高さ50mm、ペリクルを含めた重量は約3kgである。側面用緩衝体4は幅80mm、長さ840mm、高さ200mmとし、ペリクルケース3の周囲に4個配置した。上面用緩衝体5は、ペリクルケース3の底面に配置した緩衝体1と同一のものを上下逆に、すなわち凹凸面がペリクルケース3の上面全面に接触するように配置した。
また、外側の輸送容器6は強化段ボール(厚さ約10mm)、天板8は強化段ボール(厚さ約15mm)、パレット9も強化段ボール製(上下板の厚さ約15mm)とした。これらを締結する結束バンド10はポリプロピレン製とし、井桁状に4本のバンドで強固に締結した。
この輸送容器の性能を評価するために、実際の輸送テストに替えて空中からの落下試験を行った。この輸送容器全体を高さ1.1mに吊り上げ、底面全体が同時に着地するように自由落下させた後、直ちに開梱してペリクルを取出し、クリーンルーム内の暗室で膜上の異物数をチェックした。
上記実施例と全く同様の構造にして、緩衝体1の表面形状だけをフラットに変更したものについて、同様の実験を行った。その結果、収納していた三枚のペリクル全てにおいて、数μm〜100μm程度の異物が数百個付着しており、これは全く使用に耐えないものであった。また、ショックセンサーの値は約60Gを示していた。
2 凹凸
3 ペリクルケース
4 側面用緩衝体
5 上面用緩衝体
6 輸送容器
7 平板
8 天板
9 パレット
10 結束バンド
11 平板状の緩衝体
12 ペリクルケース
13 側面用緩衝体
14 上面用緩衝体
15 輸送容器
Claims (7)
- 少なくとも一つの辺長が500mmを超えるペリクルの保管、運搬に際して、ペリクルケースの下面に配置する緩衝体において、ペリクルケースと接触する表面に角錐、円錐、多角形柱の群から選択される形状の、複数の独立した凹凸を設けたことを特徴とするペリクル梱包用緩衝体。
- 個々の凹凸の高低差は、凹部または凸部の最大幅の0.5倍以上であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル梱包用緩衝体。
- 個々の凹凸の高低差は20mm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のペリクル梱包用緩衝体。
- ペリクルケースを載せた際の接触面積がペリクルケース底面全面積の30%以上70%以下であることを特徴とする請求項1ないし3の何れか1項に記載のペリクル梱包用緩衝体。
- 輸送容器の内部底面に上記請求項1ないし4の何れか1項に記載のペリクル梱包用緩衝体を配し、さらに全ての内部側面に厚さ20mm以上の緩衝体を配し、各緩衝体に囲まれた内部空間にペリクルケースを収容することを特徴とするペリクルの梱包方法。
- 上記請求項5に記載のペリクルの梱包方法において、収容されたペリクルケースの上面に接触しない高さに緩衝体とは異なる材質の平板を配し、その上部に同様の構成にて各緩衝体を配置することで複数のペリクルケースを段積み収容することを特徴とするペリクルの梱包方法。
- 平板はペリクルケース側面に配置される緩衝体の上面により支持されることを特徴とする請求項6に記載のペリクルの梱包方法。
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