CN101164835A - 防护薄膜组件包装用缓冲体及包装方法 - Google Patents

Abstract

一种防护薄膜组件包装用缓冲体，本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(1)于防护薄膜组件的输送容器(6)内，设置凹凸部(2)于配置在防护薄膜组件壳体(3)的底面的该缓冲体(1)的表面，而该表面是接触防护薄膜组件壳体(3)。通过使用此缓冲体(1)的防护薄膜组件的包装方法，相较于现有所用的平板状缓冲体，可大幅提高缓冲效果。因此，能减少运送时的振动、撞击，且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下，将其保持洁净状态而输送。

Description

防护薄膜组件包装用缓冲体及包装方法

技术领域

本发明关于包装用缓冲体及包装方法，其以在制造半导体装置、印刷基板或液晶显示器等时作为除尘器使用的防护薄膜组件；尤其以供作液晶显示器制造的大型防护薄膜组件为对象。

背景技术

于LSI等半导体装置或液晶显示器等的制造中，是将光线照射到半导体晶圆或液晶用的素玻璃，以制作图案。然而，当此时所用的光罩或初缩屏蔽(以下仅称光罩)上附着粉尘时，由于该粉尘使光线遮蔽，或使其折曲，于是发生所转印的图案受损的问题。

因此，该等作业通常在无尘室内进行；但即便如此，欲将光罩经常保持洁净，实有其困难。从而，就于光罩表面去除粉尘而言，业者采用贴附防护薄膜组件的方法。

此时，由于异物并非直接附着于光罩的表面上，而附着在防护薄膜组件上，因此进行蚀刻技术时，若能将焦点向光罩上的图案对准好，则形成防护薄膜组件上的异物不会影响到转印的状态。

然而，在将防护薄膜组件贴附到光罩以后，对于异物从其等所形成的密闭空间外部往内部入侵，具有防止效果。但是当异物附着于防护薄膜组件本身，且其位于密闭空间的内部时，欲防止异物对光罩表面的附着，实有其困难。

因此，防护薄膜组件本身要求具高洁净度，是自不待言；使用在保管和运送的防护薄膜组件的输送容器亦强烈要求具备可维持其洁净度的性能。

就防护薄膜组件的洁净度在运送过程中降低的原因而言，可举例如由于防护薄膜组件及收纳其的防护薄膜组件壳体相接触而产生粉尘；防护薄膜组件壳体的顶盖及托板磨擦而产生粉尘；以及随着外力所形成防护薄膜组件壳体的变形，使异物入侵等。

因此，使用于防护薄膜组件的运送的输送容器，应具有缓冲性，俾于使防护薄膜组件及收纳其的防护薄膜组件壳体不会受到振动或撞击，并要求一种可防止对防护薄膜组件壳体产生外力的构造。

自以往，使用于收纳着防护薄膜组件的防护薄膜组件壳体的运送的输送容器，是如图4所示，在配置于输送容器15底面的平板状的缓冲体11上，载置防护薄膜组件壳体12。

为了防止底面以外的撞击，于防护薄膜组件壳体12的侧面或顶面亦配置侧面用缓冲体13、顶面用缓冲体14，是属当然。然而，输送过程中的振动、撞击仍主要由底面的缓冲体11所吸收。

此外，于将多个防护薄膜组件壳体收纳在同一包装时，例如有业者采用一种方法，将该缓冲体采用平底的凹陷形状，且比防护薄膜组件壳体的高度深，以将防护薄膜组件壳体收纳于其内部，并将此重迭而收纳复数个(请参照专利文献1)。

【专利文献1】日本专利特开2005-75428号公报

上述平板状的缓冲体，若能选择适当的硬度，则于边长200mm左右的半导体用防护薄膜组件壳体时；或即使属液晶用者，而边长是300mm左右的小型防护薄膜组件壳体时，将可获得耐实用且吸收撞击的效果。

然而，近年来，使用该缓冲体于液晶用所采的边长超过500mm的大型防护薄膜组件的防护薄膜组件壳体的情况下，则无论选择硬度如何低的缓冲体，亦无法获得充分的吸收撞击的效果。而且显然可知，运送后防护薄膜组件将受损伤，或被污染。

发明内容

发明所要解决的问题

本发明的目的为：提供一种防护薄膜组件包装用缓冲体，以及使用此缓冲体的防护薄膜组件包装方法，是于运送防护薄膜组件的过程中，尤其在运送如防护薄膜组件壳体的边长超过500mm的大型防护薄膜组件的过程中，对于输送容器所产生的各种振动、撞击，能保护防护薄膜组件及防护薄膜组件壳体。并且通过防止该等结构与零件产生粉尘，以保持防护薄膜组件于洁净的状态，且可于此状态下将其安全地运送。

解决课题的手段

本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体，其特征为：在接触防护薄膜组件壳体的表面设置凹凸部(本发明第一方面)。上述各个凹凸部的高低差，可设定为凹部或凸部的最大宽度的0.5倍以上，而且在20mm以上(本发明第三方面)。进而，于该缓冲体载置防护薄膜组件壳体时的接触面积较佳为，占防护薄膜组件壳体的底面全部面积的30％以上70％以下(本发明第四方面)。

本发明的防护薄膜组件包装方法，其特征为：于输送容器的内部底面配置上述防护薄膜组件包装用缓冲体，进而在全部的内部侧面配置厚20mm以上的缓冲体，且将防护薄膜组件壳体收纳在由各缓冲体所环绕的内部空间(本发明第五方面)。又，于该包装方法中，若能在不会接触到所收纳的防护薄膜组件壳体的顶面的高度上，配置材质不同于缓冲体的材质的平板，且通过于其上部以相同结构配置各缓冲体，以将多个防护薄膜组件壳体加以一层一层地重迭收纳(本发明第六方面)，则不会对防护薄膜组件壳体的顶面产生载重，而可将多个防护薄膜组件壳体收纳于1个输送容器。

此外，若平板由配置于防护薄膜组件壳体侧面的缓冲体的顶面所支撑(本发明第七方面)，则无须在输送容器设置用以支撑平板的特别机构。

依本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体，以及使用此缓冲体的包装方法，因为对于保管和运送大型防护薄膜组件时的振动、撞击，能保护防护薄膜组件，故可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下，将其保持洁净的状态而保管和运送。

附图说明

图1是显示将防护薄膜组件壳体收纳于使用本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体的输送容器的状态的示意剖面图。

图2是显示本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体之一例的示意立体图。

图3(a)～3(d)是显示本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体的凹凸形状与配置的例的示意部分立体图。

图4是显示现有的输送容器之一例的示意剖面图。

附图标记说明

1～防护薄膜组件包装用缓冲体

2～凹凸部

2A～凸部

3～防护薄膜组件壳体

4～侧面用缓冲体

5～顶面用缓冲体

6～输送容器

7～平板

8～顶盖

9～托板

10～捆束带

11～平板状的缓冲体

12～防护薄膜组件壳体

13～侧面用缓冲体

14～顶面用缓冲体

15～输送容器

h～各别凹凸部的高低差

w～凹部或凸部的最大宽度

具体实施方式

实施发明的最佳形态

发明者等人研究出如下现象，且完成本发明：当放入输送容器内的防护薄膜组件壳体大型化，且防护薄膜组件壳体的底面及缓冲体二者的接触面积变大时，不但防护薄膜组件包装用缓冲体承受来自防护薄膜组件壳体的每单位面积的载重量减少，而且由于缓冲体横向的相互干涉，位移量受到抑制，而变成无法发挥既定的缓冲功能。

以下，依据附加图式，以说明本发明。

图1是示意地显示使用本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体，将防护薄膜组件收纳于输送容器的状态的剖面图；图2是示意地显示本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体的一例的立体图。

如图1、图2所示，本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(以下简称缓冲体)1是在表面设有凹凸部2的结构。而且，于将收纳有防护薄膜组件(未图标)的防护薄膜组件壳体3收纳于输送容器时，是将缓冲体1的设有凹凸部2的表面抵接到防护薄膜组件壳体3的底面配置。

该缓冲体1的表面所设置的凹凸部2，由于具缓冲效果且产生较少粉尘，故较佳如图2所示，采用配置许多圆锥形凸部的形状，或者采用于该等凸部的间隙，设有反向而同形状的凹部的形状。然而，只要适当斟酌缓冲能力及制造方法，该形状与配置亦可选用其它形状。

就该等形状、配置而言，可举例如图3(a)四角锥形状、图3(b)四角柱形状、图3(c)三角形剖面的直线状配置、图3(d)矩形剖面的直线状配置等。又，此些例亦可并非分别如图标地密集配置，而采散布配置。

此时，该各别凹凸部的高低差(图2中的h)较佳为，采用凹部或凸部的最大宽度(图2中的w)的0.5倍以上。若在0.5倍以下，则缓冲能力低，安装上凹凸部的效果变小。又，该各别凹凸部的高低差h较佳为，设定于20mm以上。若未满20mm，将无法获得所希望的缓冲功能，故尤佳为30mm以上。

而且，载置防护薄膜组件壳体到缓冲体时，缓冲体的凸部接触面积的总和较佳为，占防护薄膜组件壳体的底面全部面积的30％以上70％以下。

于该凸部接触面积的总和小于30％时，尽管防护薄膜组件壳体的重量重，凸部呈现不太变形的状态。亦即，显示缓冲体的硬度对防护薄膜组件壳体的重量而言，是过度坚硬，且当实际发生撞击时，亦无法获得所希望的缓冲效果。

相反地，于该凸部接触面积的总和大于70％时，凸部已经压扁到相当程度，而无法期待有更进一步的变形，此亦无法获得充分的缓冲效果。

由于以上所述情况，针对缓冲体1所设置的凹凸部2的形状、配置，有必要对所收纳的防护薄膜组件壳体的重量、面积，考虑上述项目作适当决定，俾于获得所希望的缓冲效果。

此外，缓冲体的材质可从胺甲酸乙酯发泡体(urethane foam)、聚乙烯发泡体(polyethylene foam)、橡胶发泡体(rubber foam)、乳胶发泡体(latex foam)等的发泡体适当选择；但是若能具有适宜的缓冲功能，并不限于该等材质。

以下，针于本发明所为的包装方法，说明其中的输送容器整体的结构。

如图1所示，在所有缓冲体1及所有防护薄膜组件壳体3的侧面，配置有侧面用缓冲体4；而在防护薄膜组件壳体3的顶面，则配置有顶面用缓冲体5。此外，于其上又配置着由不同于缓冲体的材质所构成的平板7，用以在不会接触到防护薄膜组件壳体3的顶面的高度上，一层一层地重迭其它防护薄膜组件壳体。

于该平板7上，采用与下段相同的结构，配置各缓冲体，且收纳有上段的防护薄膜组件壳体。又，于该平板7与防护薄膜组件壳体的间隙，配置有顶面用缓冲体5，是为了使防护薄膜组件壳体3不会由于输送中的撞击而大幅振动，以致碰撞平板7。

此外，于该等缓冲体1、4、5及平板7的最外壳，有输送容器6；于其上部有顶盖8；而于其下部则配置有托板9。又，顶盖8、输送容器6、托板9三者是由多个捆束带10牢固地连结。

侧面用缓冲体4是防备侧面碰撞，其厚度较佳为设在20mm以上。又，与防护薄膜组件壳体3的接触面相同于缓冲体1，亦可设置凹凸部。然而，由于较大的撞击通常不会朝横向产生，且防护薄膜组件壳体3的侧方面积较小，因此即使以平板抵接，仍然可获得充分的缓冲性。故通常采用平板即可。

平板7较佳为，设计成由侧面用缓冲体4的顶部所支撑。如此一来，不但输送容器6不须平板支撑部，且将会有侧面用缓冲体4所形成的缓冲效果。

平板7必须具备充分的刚性，俾于不会挠曲而对下段的防护薄膜组件壳体产生载重，且较佳为，具有厚度至少10mm以上的胶合板(plywood)、强化瓦楞纸板、塑料瓦楞纸板等。

顶面用缓冲体5若能充填防护薄膜组件壳体3及平板7二者的间隙即可，可与缓冲体1相同，采用凹凸表面；亦可采平面形状。然而，采平面形状时，并非覆盖防护薄膜组件壳体的顶面整体，仅部分覆盖其周围。此因在运送过程中，由于事故发生而包装容器倒立时，防护薄膜组件壳体将受到许多撞击。

顶盖8、输送容器6、托板9三者可由具充分强度的材质所构成；而胶合板、强化瓦楞纸板、塑料瓦楞纸板等的材质则可适当采用。

其中，顶盖8尤佳为，使用具刚性的一体成型品，俾于当载置重物在上部时，亦不会对防护薄膜组件壳体3产生外力。

捆束带10一般采聚丙烯(polypropylene)制品，但可依各结构构件的重量而适当选择。

依本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体，以及使用该缓冲体的包装方法，可保管防护薄膜组件，且可保护防护薄膜组件，而不会在运送时受到振动、撞击的影响。因此，防护薄膜组件上不会有异物附着而被污染，且能保持洁净状态而运送。

又，如上述，本发明对于大型防护薄膜组件的效果尤其大。然而，相较于现有的使用平板状缓冲体的输送容器，即使适用于壳体边长300mm以下的半导体用防护薄膜组件或小型的液晶用防护薄膜组件，仍可具有较佳的缓冲能力。

实施例

以下，说明本发明的实施例，但本发明并不限定于此。

首先，制作由如图2显示形状的胺甲酸乙酯发泡体所构成的缓冲体。该缓冲体的大小设定为：670mm×890mm、厚(底面-凸顶部)70mm、凸部的高度35mm。

凸部是圆锥形，基底(最大直径)部的直径约60mm，而各个顶点的间隔亦约60mm；于此状态下，凸部彼此无间隙地排列于缓冲体整面上。又，该材料的硬度约13kgf(依JISK6400测试方法)。

将该缓冲体1配置到如图1所示的输送容器，且于其上载置防护薄膜组件壳体3，而该壳体收纳着经核对膜上的异物的洁净的防护薄膜组件(未图标)。

防护薄膜组件壳体3的大小是860mm×640mm×高50mm，而包括防护薄膜组件的重量约3kg。侧面用缓冲体4设定为宽80mm、长840mm、高200mm，且配置4个于防护薄膜组件壳体3的周围。顶面用缓冲体5是将配置在防护薄膜组件壳体3底面的缓冲体1的相同物加以上下颠倒，亦即凹凸面接触于防护薄膜组件壳体3顶面的整面配置。

在侧面用缓冲体4的上部，载置以强化瓦楞纸板(厚度约10mm)制的平板7，且于其上以几近相同结构而收纳其它防护薄膜组件壳体；就输送容器整体而言，采用共可收纳3个防护薄膜组件壳体的结构。

又，外侧的输送容器6采强化瓦楞纸板(厚度约10mm)、顶盖8则采强化瓦楞纸板(厚度约15mm)、托板9亦采强化瓦楞纸板(上下板的厚度约15mm)。而连结该等部分的捆束带10是采聚丙烯制品，以4条捆束带牢固地连结成井字状。

又，为了测定防护薄膜组件壳体所受到的撞击，故于所包装的各防护薄膜组件壳体的顶面，以黏着胶带将震动传感器(富士胶卷公司制)加以牢固地安装好。为了评价该输送容器的性能，进行从空中降落的测试，以取代实际的输送测试。而将该输送容器整体吊起到高度1.1m处，并使其底面整体同时着地而自由降落以后，随即拆开包装以取出防护薄膜组件，于无尘室内的暗室核对膜上的异物数。

其结果，于所收纳的3片防护薄膜组件，其中2片几乎看不出异物有所增加；而另1片则附着两个20μm左右的异物，但此可进行吹气而容易地去除。又，震动传感器的值在任一个防护薄膜组件壳体皆是20G以下。

比较例

采用一种构造，其与上述实施例几近相同，而仅将缓冲体1的表面形状改变成平面，以进行相同的实验。其结果，于所收纳的3片防护薄膜组件，3片皆附着数百个数μm～100μm左右的异物，且此几乎不耐用。又，震动传感器的值显示出约60G。

Claims (7)

1.一种防护薄膜组件包装用缓冲体，

其特征为：

在保管和运送防护薄膜组件时配置在防护薄膜组件壳体底面的缓冲体中，在接触防护薄膜组件壳体的表面设置凹凸部。

2.如权利要求1所述的防护薄膜组件包装用缓冲体，其中，各个凹凸部的高低差为凹部或凸部的最大宽度的0.5倍以上。

3.如权利要求1或2所述的防护薄膜组件包装用缓冲体，其中，各个凹凸部的高低差在20mm以上。

4.如权利要求1或2所述的防护薄膜组件包装用缓冲体，其中，载置防护薄膜组件壳体之际的接触面积，占防护薄膜组件壳体的底面全部面积的30％以上70％以下。

5.一种防护薄膜组件包装方法，

其特征为：

于输送容器的内部底面配置该权利要求1至4项中任一项的防护薄膜组件包装用缓冲体，进而在全部的内部侧面配置厚20mm以上的缓冲体；

再将防护薄膜组件壳体收纳在由各缓冲体所环绕的内部空间。

6.如权利要求5所述的防护薄膜组件包装方法，其中，在不接触到所收纳的防护薄膜组件壳体的顶面的高度上，配置材质不同于缓冲体的材质的平板；

且藉由于其上部以相同结构配置各缓冲体，以将多个防护薄膜组件壳体加以一层一层地重叠收纳。

7.如权利要求6所述的防护薄膜组件包装方法，其中，平板由配置于防护薄膜组件壳体侧面的缓冲体的顶面所支撑。

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