WO2004087535A1

WO2004087535A1 - 半導体ウエハの容器

Info

Publication number: WO2004087535A1
Application number: PCT/JP2004/004087
Authority: WO
Inventors: Masahiko Fuyumuro; Yoshitaka Nakayama
Original assignee: Achilles Corporation
Priority date: 2003-03-31
Filing date: 2004-03-24
Publication date: 2004-10-14
Also published as: JPWO2004087535A1

Abstract

１対の外殻３を底部１と蓋部２とに使い分けて半導体ウエハ１７を収納する容器Ｂである。外殻３は、板面に内側立上り部４と、外側立上り部５とを有している。内側立上り部４は、内部にウエハの収納空間を形成する部分であり、外側立上り部５は、容器Ｂの外壁として外殻３に開口を形成し、内側立上り部４内のウエハを容器の外壁から隔離する。容器Ｂの外面側となる外殻３の板面には、線対称位置にボス８とボス穴９の対を有している。対の外殻３の開口を互いに向き合わせた状態で一方の外殻のボス８を他方の外殻のボス穴９に差し込み、両外殻３，３の組合せの位置決めを行なう。

Description

体ウェハの容器

謹分野

本発明は、轉体ウェハの輸送、保管用の容器、特に 1枚の轉体ウェハを内する半導体ウェハの容器に関するものである。

背.

体ウエノ、（以下、単に「ウェハ」という）は、例えばシリコン単結晶インゴットを薄レヽ円板状に切り出したもので、その舰は例えば 2〜 1 2ィン^^まで各種の大きさのものがある。ウエノヽの表面には、の L S I等の回路が形成され、後に個々の回路ごとにチップに切断され、個々のチップはパッケージングされ、轉体装置に加ェされる。

ところで、上記インゴットをウェハに切り出す工程と、上記ウェハに回路を形成する工程と、このウェハをチップに切断してパッケージングする工程とは、通常、別の場所で行われることが多いため、ある工程が行われたのち、その場所から次の工程が行われる場所へウエノ、を適しなければならない。工程間でウエノヽを搬送するには、従来よりウェハに専用の容器が翻される。

ウエノ、の腿用の織には、複娄嫩のウェハが積み重ねて収frTる織と、ウェハを一枚かぎり収 ifrTる個別とがある。個別 «は、 L S Iチップ等の製造において、様々な最»品の tbi^要求性能に対応するために^される:^^ if製品の輸送のために棚されるがある。

このような目的に用レ、るウエノ、の個別容器として、底部とを ESiJする必要がないように設計されたもの力 S提案されている（例えば先行例 1 (特許第 3 2 1 3 9 6 8号 ) 公報参照）。先行例 1に記載の個別 «は、底部と譜 βとなる^ Jの部品の開口縁に鋸歯状の突出部分を形成し、突出部分を互、にかみ合 ^て底部に ¾ "る歸 |5の位置を言 j»i"fに底部にを力ぶせて中空 βとするものである。

先行例 1の明細書には、容器の部品に鋸歯状の突出部分を力み合て容器を施蓋するのは、ロボット等による取り扱いによって、容器を載せたり、おろしたりするときに、一方の部品の上に iteの部品を単に置くだけで部品の重さで突出部分のエツジに滑り込ませて両部品を組み合わせることができるからであると説明し、この容器がロボット等による取り扱いにはさせたものであること力 S強調されている。

確かに、先行例 1に記載の織によるときには、ロボット等による取り扱いによつて、両部品を組み合わせることができる点で優れた機能を備えているものである。しかし、容器の開閉だけがロボット操作によるすべてではなく、容器の開閉は人手によって行レヽ、の搬送をロボットハンドで行なう形式のものもあり、また、ロボット操作によるときの問題点は、底部と^ ¾の対応する位置を言纖するだけでなく、各^!の方向や、を揃えること、あるいは、織内に収容されたウェハの向き力 S統一されていることなども藤な鶴であると思われるが、先行例 1では、これらの点について考慮されているわけではない。

さらに、ロボットによる取り扱いの問題だけでなく、壊れ付いウエノ、を収納する容器本来の機能として纖時に発生する力 ^知れな!纏からウェハを保護することが襲である。この点、先行例 1に記載の容器によれば、第 9図に示すようにウェハ Wは両部品 2 1、 2 1の開口縁に形成されたシ 3ルダ一 2 2 , 2 2間に挟んで働されることになるが、万一、容器の落下などによって部品 2 1 , 2 1の外周縁の突出部分 2 3に難力幼口わった^ \ その律摩はほとんど緩衝されることなくショルダー 2 2、 2 2の部分からウェハ wに sm¾口わり、ウェハ Wを確する虞があると考えられる。

また、ウェハが内された織の腿、保管などで容器を^ ^るがあるが、そのに安定性の問題、さらには、容器の材質に起因するねじれのによるウェハの,防止の問題など容器を実際にィ¾¾するに際しては、さまざまな問題があるが、これらの問題につ!/、ても先行例 1で《^军決のままに残されてレ、る。

なお、織の製造コストの点につ！/ヽてみれば、底部と譜とに同じ形状の部品を用いることは、容器の^^金型が 1應で良いという利点があるが、先行例 1にお、て、底部ととに同じ形状の部品を用いるのは、もっぱら口ポットによる操作のためだけであつて、先行例 1におレ、ては、この利点には気がつレ、てヽなレヽように思われる。発明の開示

発明力 S解決しょうとする翻

解決しょうとする問題点は、先行例 1に記載された織では、ロボットによるの底部と譜との組^:を容易に行なう点にのみにしカ谱目されていないが、実際にゥエノ、織として删するには、織として輸時に発生する力も知れない徤襻からゥェノ、を保護すること、の職みの問題、の材質に起因するねじれの景灣など実際に TOするさまざまな問題があるが、これらの問題にっレヽて «^军決になってレヽる点であ。 IS®を解決するための手段

本発明は、ウェハを内する容器の底部ととなる同じ开さ状の対の外殻を用レ、、一方の外殻を上下反転し、かつ両外殻をに組み合わせ、同じ形状の外殻を織の底部ととに使レヽ分けてウェハを iR frrる容器を構成するものである。外殻の板面には、内部にウェハの内空間を形る内側处り部と、その周睡こ織の外側处り部を設けて内側立上り部内に収容されたウエノ、を外部から Bit る点、容器の内面側となる外殻の板面には、外殻の β中心を通る軸の, ィ立置に位置決め用のボスとボス穴の対を設けた点を最もな顿敷とする。

そのほか、内側 iubり部を部分的に高さを異ならせ、 ^^に組み合わせたときに対の内側 iLbり部の合わせ目をウェハのの位置からずらせてに歪が生じても内側 iL_hり部の合わせ目からウエノヽの βがはみ出さないようにして！/、る点、回り止め用の突起ととその突起を船させる切欠きの対を内側处り部にの栖中心を通る軸の条麵オイ立置に設けた点、外殻の βには βを横切ってリブを付して艘を付与し、板面の麵匕を親する点、さらに、内側处り部と、外側处り部との間の板面には互レヽに船する凸部と凹部とを外殻の板面中心を通る軸のィ耀に形成し、容器の

^みの際には内側 i Lbり部と、外側 iE±り部を外側に向けて対の外殻を組み合わせ、凸部と凹部を相互に^ ^させて着座させる点が樹敫である。発明の効果

本発明は、同じ形状の外殻を底部ととに使ヽ分けるので^^の Ϊ»保有の面で辩 IJであり、合細旨の射出膨で «を ^するに^ M作費を肖贓できる。また、内側处り部内のウエノ、則处り部から隨 fTるため、両者の間に難吸収用の空間力 s形成されてウェハを容器に加えられる樓庫から保護することができる。さらに、外殻の栖に栖を横切って設けたリブは外殻の弓娘を増大させるため、容器の薄ィ匕が可能となる。

また、と底部との組^:の位置決めは外殻の！ ^"ィ立置に設けたボスとボス穴の対のによるため、位れが生、譜! 5と廳との組"^位置は自ずから決定され、さらに纖みの際には、上段の織の底部と、下段容器の識の凸部と凹部とを互いに^^させることによって、容器の方向を揃えて安定でき、各容器内に収容するウェハの方向を同じ方向に揃えておくことによって、赚みされた各段の容器内のすべてのウェハの方向を統一して行なうことができる。

なお、ウェハの内空間の周睡こ形成される内側处り部の高さを部分的に異ならせて内側 i£ り部の合^:目をウエノヽの纖の位置からずらせるため、外殻に歪が生じても内側立上り部の合わせ目からウェハの «がはみ出すことがなく、したがってゥェハが、内側 5ϋり部の合わせ目にはさまれて義するような事態は回避できる。図面の簡単な説明

第 1図は、本発明のウェハ容器の # 見図である。

第 2図は、本発明のウェハ織の底部あるレ、はとなる外殻の # 見図である。第 3図は、外殻を^ Τもので、第 3図（a ) « ^殻を譜 15に用いたときの平面図、第 3図（b ) 〖殻をの底部に用いたときの平面図である。

第 4図は、位置決め用として外殻に形成されたボスとボス穴との隠系を示 1^器の断面の展開図である。第 5図は、回り止めとして外殻に形成された突起と切り欠きとの关¾罕、を^ ^器の断面の展開図である。

第 6図は、外殻に形成されたリブ状突状の形状を示 3図（b ) の A— A線断面図である。

第 7図は、容器を職みする要領を^ T略示図である。

第 8図は、対の «を組み合わせて ¾を構成し、 ^¾内にウェハを収#^ "る要領を示す図である。

第 9図は、先行例 1のウエノヽの織を示す図である。発明を ¾¾¾するための最良の形態

容器として輸送時に発生する力も知れなレからウエノ、を保護し、織を構成する部品相互の位置決めや回り止め職を簡晰匕するという目的を外殻の滅に、 «の外側 3Ϊ±り部とは別にその内側にウェハの H¾内空間を形成する内側 ίΕ り部を設け、内側 5t_Lり部内にウェハを収容して外側 izibり部から P赚し、対の外殻の組^:の際の位置決めは、一方の外殻のボスを fteの外殻のボス穴に差し込むことで無した。

以下、本発明の態 1について説明する。

第 1図に本発明によるウエノ、の織の建例を示す。第 1図において、本発明によるウェハの織 Bは、互いに膽可能に結合した底部 1と歸との組^:からなるものである。底部 1と譜 152とは、 1面が開放された同じ形状の対の外殻を用レヽたものであり、纏 Bは、底部 1として開口を上向きとした一方の外殻と、譜 2として上下反転して開口を下向きとした»の外殻とを組み合わせて密閉織に構成される。以下、外穀のを説明するときに《^¾3として説明するが、対の外殻が組み合わされて容器を構 j¾¾fるときには、必要により JS¾ 1に用レ、た外殻を 3 a、歸 2に用レ、た外殻を 3 bに使い分けて説明する。

第 2図に開口を上向きとした一方の外殻 3を示してレ、る。外殻 3 ('細胎戯脂製であり、外殻 3の 1面、対の外殻 3を組み合わせたときの内側となる面には、内部にウェハの 1|¾内空間を形成する内側处り部 4と、その周睡こ外側处り部 5とを有してレ、る。内側处り部 4は、その内部にウエノ、の Φ¾内空間を形る円環状の立上り部分であり、外側处り部 5〖器の外周壁を开 "る立上り部分である。

この^ 態にお！ヽては « 3のネ顾の平面形状が四角形であり、その四隅には面取りを施して滑らかな曲縁を形成しており、外側 i£_hり部 5は、四角形の板面形状をかたどり、四角形の觀に立ち上がらせて!/ヽる。

ウエノ、の収納空間を形财る内側处り部分 4は、外側处り部 5によって織の外部から議隹される。容器を形财る外殻 3の対は、第 1図に^ 1"スナップフィット 6 によって一体にされるものであり、スナップフィット 6は上下のの外側 iLhり部 5と、板面とに跨つて翻に形成された溝 7内に嵌め込まれる。

第 3図（a) に外殻の平面図、第 3図（b) に外殻の底面図を示す。外殻 3の板面 ί滅明合腿脂のため、その 1面に ίお及面を通して他面に付された形状が翻されるが、図形が擁になるので図示は省略してある。第 3図（a) において、対の外殻 3を組み合わせたときに織の内側となる面には、外殻の中心 Oを通る線、この雄形態にお V、ては、外殻 3の直角座標の 2軸、すなわち外殻 3の中心を通る直角座標の; ^由の X— X茅級ひ »由の Y—Y線をそれぞれ軸として内側 ώ±り部 4と外側 5Ϊ±り部 5との間の βの « ^ィ έ置に、第 4図に示すようにボス 8とボス穴 9の対が βに突出形成されている。

また、第 5図において、内側立ち上り部 4には、外殻の中心を通る線の線纖ィ置、この^ ¾开態においては、 X— X線及び Υ— Ύ線の 2軸の線¾ ^位 ·置に内側立ち上り部 4の ^^一部に立ち上がる突起 1 0とその突起 1 0を嵌させる切欠き 1 1との対が形成されている。

さらに、容器の外面側となる外殻 3の他の面には、腿状のリブ状突条 1 2および同心状のリプ状突条 1 3を第 6図のように板面より立ち上げて形成し、外殻 3の四隅には、凸部 1 4と凹部 1 5との対を第 3図に示す X— X舰ぴ Υ— Υ線の 2軸の H¾尔ィ立置に形成して!/、る。凸部 1 4は、第 7図に示すよう面の ~¾を立ち上げた部分であり、凹き 151 5は、凸咅 4を^^させる凹所である。凸部 1 4と凹部 1 5とは、第 7図のよう i ^B l、 Β 2， Β 3 · 'を 2段以上難みしたときに相互に船させるためのものである。なお、凸部 1 4と凹部 1 5とは対をなし、その対は四角形の外殻 3の板面の対角 ,乎肚の霸立置に形成されて！/、る。

3には、静^ ^を施しておくことが望ましヽ。外殻 3に静電を施すには、導電性ブイラ一を^]卩した導電性（帯電防止 tt) プラスチックス、あるいはポリマーァロイ処理した導電' |·生（帯電防止' [4) プラスチックス、帯電防止剤を^]卩したブラスチックスを素材に用いて射出膨によって一体に J¾¾ すればよレ、。ポリピロ一ノポリアユリンなどの導電 ["生のポリマーで、全面を覆うことが帯電防止性、透明性の点で有利である。

第 8図において、容器 Bの底部に用いる外殻 3 aの内側立ち上り部 5内に、対のシート 1 6、 1 6間に挟んでウェハ 1 7を内し、外殻 3 bで; ^する。外殻 3 aと外殻 3 bとは、 X— X軸又は、 Y—Y軸に H ^尔に組み合わされ、第 4図に示すように外殻 3 aのボス 8が外殻 3 bのボス穴 9に嵌合し、外殻 3 bのボス 8が外殻 3 aのボス穴 9 にして底部 1と、 2との位置決めがされ、同時に第 5図のように爐 3 aの突起 1 0力 S外殻 3 bの切欠き 1 1に船し、 3 bの突起 1 0力 S外殻 3 aの切欠き 1 1 に^^して容器 Bの底部 1と、蓋 2との回り止めとなる。底部 1と、

は前述のようにスナップフィット 6によって一体に結合される。

本発明において、外側立上り部 5は、内側立上り部 4内のウェハを外部から隨るバリアとなり、外側处り部 5と内側立上り部 4との間に形成される空間は、容器 B を誤って落下させた容器 Bに不測の種摩が加えられたの律摩 P及収空間として機能する。

なお、本発明において、容器 B内に収容するウェハ 1 7の厚みは 0. 2 mm鍵であり、その上下面をはさむシート 1 6には、厚さ 1 . 4 mm の発泡ポリエチレンが用いられられる。したがって理論上、内側立上り部 4の高さは輔嶋さの 1 /2とされ、この ^は 1 . 5 mm@¾ (発泡ポリエチレンの績面を纖とされる。仮にゥェハ 1 7の厚みが 0. 2 mmg¾、シート 1 6の厚みが 1 . 4 mm@¾であるとば、外側处り部 5の厚みは自ずから 1 . 5 mm@gに設定される。

なお、対の外殻 3を容器 Bに,袓み合わせるだけであれば、内側立上り部 4の立ち上力 Sり高さは、 ¾φ:的には外側 iLbり部 5と同じ高さに設定されていれば良いが、本発明におレ、ては、特に第 5図に示すようになだらかな曲縁にて部分的に高さを異ならせてレヽる。しかし、対の外殻 3をに組み合 ¾：たときに外殻 3 aと 3 bとの組^:による両内側 iLhり部 4 , 4の合計高さは一定である。これは、対の爐 3を綱称に組み 1 U

合わせたときに対の内側处り部 4 , 4の合わせ目にウエノ、 1 7の纖カ立置しなレ、ようにするためである。

内側 iLhり部 4の立上り高さに関しては、外殻 3の板面を X— X線、 Y— Y線で区画された 4つの分割域のうち、例えば 2つの分割域の高さを 1 . O mmとすれば残りの 2つの分割域の高さを 2. 0 mmとすることにより理論上底部と、底部と同 ^^状の蓋部とは隙間無く組^:ることができ、両内側立上り部 4の合わせ目にウェハ 1 7の錄力 S挟み込まれることがなレ、。

本発明において、容器 Bの開閉は人手によって行われ、容器 B内にウェハ 1 7を収糸 frTるび容器 B内からウェハ 1 7を取り出すは主として手^、あるいは口ボットを用いて行なわれる。織 Bの搬送に際しては、 2個以上の容器 Bを積み重ねて腿することができる。第 7図において、 ^^を 2個以上積み重ねるときには、容器 B 1， B 2の関係では、上段容器 B 1の下面の凸部 1 4と下段容器 B 2の上面の凹咅 1 5 および上段容器 B 1の T®の凹咅 1 5と下段容器 B 2の上面の凸咅 β 1 4とを相互に^ させることにより _b¾織 Β 1は下段容器 B 2上に安定に着座し、織の ¾®がずれることはない。

なお、凸部 1 4と凹部 1 5との組を^^ 3のネ顾の X— X軸、又は Υ— Υ軸のレ、ずれか 1軸にのみを選定して線 ¾ ィ立置に設けたときには、下段 ^t B 2に ¾f "る _b¾容器 B 1の齡位置は一義的に決定されるが、凸部 1 4と凹部 1 5との組を X— X軸およぴ Y— Y軸の 2軸の文^ f立置に設けたときには下段^ B 2にる容器 B 1の嵌合位置は、 ΙΕ^向と逆方向との 2方向の組^:が可能となる。

本発明において、外殻 3の形状は四角形に限らず、任意の多角形、円形、楕円形その他の定型の形状に設定するだけでなく、さらには不定形に形ることは可能である I I

、 βにボス 8とボス穴 9およぴ¾¾みのための t¾|51 4および凹部 1 5の形成空間を確保し、しかもできる限り、外殻の瓶の/ j葡匕を難するには、四角形は辩 IJである。

例えばウェハのォリェンテーシヨンフラットの ί立置を各容器の外殻の特定の 1辺に合わせて ϋ¾衲しておけば、上下段〖¾iされた各容器内のウエノヽの方向を統一することができる。

また、外殻の成开才料に透明合鐘旨を用いることは觀である。の細才料に透明合細脂が用レ、られてレ、ると、容器の歸 βまたは底部を通して織内のウェハの有無、収納状態、置や収納角度のずれは一目目燃である。以下〖発明の雄例を示す。

(鐘列 1 )

ポリカーボネート樹脂 1 0 0重量部に帯電防止剤 1 5重量部を勸卩した帯電防止性プラスチックスのペレツトを用い、射出藤にて第 3図に示す透明な外殻を形成した。その際、滅はほぼ全体に渡って肉厚 2 mmとし、底部（あるいは譜にゆがみが発生しな!/ヽょうに、リブ状突状としてその外側面側の βに中心近傍を凹状の溝とし中心より ¾W状に延びた 8本の溝と当該溝間にそれぞれ円周方向に曲がった溝を 4列形成した。これらの溝の深さはすべて 2 mmとした。内側面は、 filtBf冓に対応する突条が形成されることになりこの突条にウェハ糧面（実際には、シートに用いる発泡ポリェチレンをる面）となる。内側处り部は、ウェハ纏面を難として高さ 1 . 5 mm とし肉厚 2 mmで形成し、外側立ち上がり部もウェハ續面を »として高さ 1 . 5 m mとし肉厚 2 mmで形成した。以上のようにして膨された対の外殻の対を用レ、て鎌めしたときに厚さ 1 l mmとなる織を藤した。また、廳己底部または歸には、 4 1 Z

つのコーナ^ ¾近傍には趣み用として直径 2 O mmの突条と溝（i∑±り高さ（凹部の深さ) 2 mm) の組とボスおよびボス穴を形成し、さらに 2箇戸 j fつスナップフィットの嵌込み部を設け得られた外殻の 2個を容器の歸歸 βに用い、底部中に、発泡ポリエチレン ( 1 . 4 mm厚) 、ウエノ、 ( 0. 2 mm) 、発泡ポリエチレン ( 1 . 4 m m) を ¾gして ¾で施蓋し、嵌込み部にスナップフィットを嵌め込んで固定した。

得られた^^通明でウエノ、の ϋχ内状況を藤でき、外殻の対の組^:により垂直方向、水平方向にウェハの械赔器として十分に耐えうる弓艘を有し、防聽果があり

、長期間の使用後もねじれはほとんど生じな力た。また、 ^^は 2段以上を ^みして安定して積み重ねることができ、取り扱レ、中に織の隅に少の酵カ幼口えられた離では、内部のウェハに損傷を受けることはなかつた。産業上の利用可能性

ィンゴットから切り出された状態のウェハから表面に L S I、 I Cなどの回路が形成されたウェハに至るまで工程間にウェハを搬送するウェハ械内用の容器として、あるいは轉体装置の製造工程において、各工程内で、あるいは工程間で保管するウエノ、の保管用 ¾として広く用いることができる。

Claims

請求の範囲

1. 一対の外殻を iS¾と^ ¾とに使レ、分けて轉体ウェハを収納する^ ifを構成する半導体ウェハの容器であつて、

外殻は、板面に内側 iZLbり部と、外側立上り部とを有し、

内側处り部は、内部にウェハの棚空間を形成する部分であり、

外側 ϋり部は、織の外側: i±り部として外殻に開口を形成し、内側立ち上り部内のウェハを容器の外側 izihり部から p融る^^のであり、

内側处り部と、外側处り部との間の外殻の板面には、外殻の中心を通る線の線立置にボスとボス穴の対を有し、

ボスとボス穴は対の外殻立置決め用であり、対の;^の開口を互レ、に向き合わせた状態で一方の外殻のボスをの外殻のボス穴に差し込まれるものであることを榭敷とする体ウェハの。

2. ボスとボス穴との対は、外殻の中心を原点とする直角座標の 2軸の « ィ立置に設けられて！/、るものであることを糊敫とする請求の範囲第 1項記載の体ウエノ、の

3. 内側 5t±り部の; i±り高さを部分的に互いに異ならせ、対の外殻をに組み合わせたときに両内側 izihり部の合計高さは一定であることを糊敷とする請求の範囲第 1項記載の本ウェハの容器。

4. 内側处り部には^^ィ立置に突起と切欠きと力 S付され、

突起は、内側 ir_hり部のを ±^に立ち上らせた部分であり、

切欠きは、内側立上り部のを切り欠レ、て形成された溝の部分であり、突起と切欠きとは、対の外殻を容器の底部と魏として向き合わせに組み合わせたときに互レヽに嚙み合わされて両外殻の組^:の回り止めとして機能するものであることを ί敷とする請求の範囲第 1項言識の体ウェハの

5. 突起と切欠きとは、外殻の中心を原点とする直角座標の 2軸の H¾¾ ^置に設けられているものであることを樹敫とする請求の範囲第 4項記載の轉体ウエノ、の容器

6. 容器の外面側となる ΙίίΙΒ^穀の βには凸部と凹部とを外穀の中心を通る線の維置に有し、

凸部と凹部とは、容器を 2段以上赚みするに、織と、下段容器の凸部と凹部と力 s互レヽに^して下段容器上に上段 ^^を安定に着座させるものであることを擀敷とする請求の範囲第 1項雄の轉体ウェハの織。

7. 凸部と凹部とは、外殻の中心を原点とする直角座標の 2軸の « f 置に設けられてレ、るものであることを榭敫とする請求の範囲第 6項記載の^^体ウェハの^^。

8. 織の外面側となる外殻の板面には、外殻に強度を付与するリブ状突条を立ち上げて形成されてレ、ることを糊敷とする請求の範囲第 1項記載の轉体ウェハの^^。 1 0

9. スナップフイツトを有し、

スナップフィットは上下に組み合わされた外殻の外側立上り部と、板面とに跨って麵に形成された溝内に嵌め込み、対の外殻を一体に結合するものであることを特徴とする請求の範囲第 1項 |¾の ^体ウエノヽの容器。

1 0 , 外殻は、透明合戯脂材にて一体離されたものであることを樹敷とする請求の範囲第 1項記載の本ウェハの織。