JPS5846437U - ウエハ−容器 - Google Patents

ウエハ−容器

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Publication number
JPS5846437U
JPS5846437U JP14118981U JP14118981U JPS5846437U JP S5846437 U JPS5846437 U JP S5846437U JP 14118981 U JP14118981 U JP 14118981U JP 14118981 U JP14118981 U JP 14118981U JP S5846437 U JPS5846437 U JP S5846437U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
bottom plate
upper wall
container
fitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14118981U
Other languages
English (en)
Inventor
前田　正彦
保田　哲男
一幸 小田
金子　元治
Original Assignee
昭和電工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 昭和電工株式会社 filed Critical 昭和電工株式会社
Priority to JP14118981U priority Critical patent/JPS5846437U/ja
Publication of JPS5846437U publication Critical patent/JPS5846437U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案に係るウェハー容器を例示するもので、第
１図はウェハーと容器本体との斜視図、第２図は他の実
施例からなる容器本体の斜視図、第３図はウェハーを収
容した状態における複数の容器本体の縦断面図、第４図
は嵌合用突起を備えた複数の容器本体の縦断面図である
。 １・・・・・・容器本体、２・・・・・・ウェハー、１
１・・・・・・底板、１２・・・・・・上側壁、１３・
・・・・・ウェハー収容部、１４・・・・・・底板の中
央部、１５・・・・・・下側壁、１６・・・　　　゛・
・・段部、１７・・・・・・固定子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 底板の周辺に内径がウェハー外径よりも若干大径の上側
    壁を突設してウェハー収容部となし、そのウェハー収容
    部の底板中央部を低く形成して上側壁と接する底板周囲
    をウェハーの受座とし、かつ上側壁の外側に段部を設け
    て嵌合用の下側壁を突設した容器において、上記底板の
    下面中英にウェハーの固定子を突設し、同様な一対の容
    器相互の嵌合によりウェハーを周辺と中央とにて弾力的
    に保持固定するようになしたウェハー容器。
JP14118981U 1981-09-22 1981-09-22 ウエハ−容器 Pending JPS5846437U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14118981U JPS5846437U (ja) 1981-09-22 1981-09-22 ウエハ−容器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14118981U JPS5846437U (ja) 1981-09-22 1981-09-22 ウエハ−容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5846437U true JPS5846437U (ja) 1983-03-29

Family

ID=29934306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14118981U Pending JPS5846437U (ja) 1981-09-22 1981-09-22 ウエハ−容器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5846437U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004087535A1 (ja) * 2003-03-31 2004-10-14 Achilles Corporation 半導体ウエハの容器
JP2008512855A (ja) * 2004-09-04 2008-04-24 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 高さを減じた基板キャリア

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004087535A1 (ja) * 2003-03-31 2004-10-14 Achilles Corporation 半導体ウエハの容器
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