JPS58158437U - ウエハ−容器 - Google Patents

ウエハ−容器

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JPS58158437U
JPS58158437U JP5429382U JP5429382U JPS58158437U JP S58158437 U JPS58158437 U JP S58158437U JP 5429382 U JP5429382 U JP 5429382U JP 5429382 U JP5429382 U JP 5429382U JP S58158437 U JPS58158437 U JP S58158437U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bottom plate
wafer
upper wall
container
fitting
Prior art date
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Granted
Application number
JP5429382U
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English (en)
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JPS6240435Y2 (ja
Inventor
前田　正彦
渡辺　直敏
斉藤　泰旻
員也 永田
Original Assignee
昭和電工株式会社
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Publication date
Application filed by 昭和電工株式会社 filed Critical 昭和電工株式会社
Priority to JP5429382U priority Critical patent/JPS58158437U/ja
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  • Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
  • Packaging For Recording Disks (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案に係るウェハー容器を例示するもので、第
１図はウェハーの斜視図、第２図は容器本体の斜視図、
第３図はウェハーを収容した状態における嵌合用突起を
備えた複数の容器本体の縦断面図である。 １・・・・・・容器本体、２・・・・・・ウェハー、１
１・・・・・・底板、１２・・・・・・上側壁、１３・
・・・・・ウェハー収容部、１４・・・・・・底板の中
央部、１５・・・・・・下側壁、１６・・・・・・段部
、１７・・・・・・固定用リブ、１８・・・・・・固定
用リブ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 底板の周辺に内径がウェハー外径よりも若干大径の上側
    壁を突設してウェハー収容部となし、そのウェハー収容
    部の底板中央部を低く形成して上側壁と接する底板周囲
    をウェハーの受座とし、かつ上側壁の外側に段部を設け
    て嵌合用の下側壁を突設した容器において、底板周囲の
    上面及び下面にリブを放射状に突設し、同様な一対の容
    器相互の嵌合によりウェハーを周辺にて底板周囲の上面
    及び下面に突設した放射状リブ間に保持固定するように
    なしたウェハー容器。
JP5429382U 1982-04-16 1982-04-16 ウエハ−容器 Granted JPS58158437U (ja)

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JP5429382U JPS58158437U (ja) 1982-04-16 1982-04-16 ウエハ−容器

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58158437U true JPS58158437U (ja) 1983-10-22
JPS6240435Y2 JPS6240435Y2 (ja) 1987-10-16

Family

ID=30064920

Family Applications (1)

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Publication number Publication date
JPS6240435Y2 (ja) 1987-10-16

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