KR100583482B1 - 정전기 방지용 웨이퍼 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전기 방지용 웨이퍼 카세트에 관한 것으로,

본 발명의 구성은, 내부에 수납되는 웨이퍼 또는 반도체소자를 정전기로부터 보호해주는 수납본체와; 상기 수납본체를 봉해주는 덮개를 포함하여 이루어지는 동시에 그 재질은 정전기 방지용 플라스틱인 것을 특징으로 한다.

본 발명은 재질을 정전기 방지용 플라스틱을 사용하여 수납되는 웨이퍼 또는 반도체소자를 정전기로부터 보호하는 효과가 있다.

또한, 수납본체의 하부와 덮개의 상부에 요철을 형성하여 적층할 수 있게 하여 보관시 공간을 절약해주는 효과가 있다.

웨이퍼 카세트, 정전기 방지

Description

정전기 방지용 웨이퍼 카세트{NON ESD WAFER CASSETTE}

도 1은 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임을 나타낸 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 웨이퍼 카세트의 분리 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 웨이퍼 카세트의 결합도이다.

도 4는 도 3의 윗면도이다.

도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이다.

도 6은 도 4의 B-B'선에 따른 단면도이다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 카세트가 적층된 상태를 나타내는 단면도이다.

도 8은 상기 수납본체의 내부에 링프레임이 삽입된 상태를 나타내는 사시도이다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트내에 링프레임이 삽입된 상태의 단면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 링프레임 11 : 테이프

13 : 프레임 30 : 수납본체

31 : 수용부 33 : 제1지지부

35 : 결합돌출부 35a : 바닥지지부

50 : 덮개 53 : 제2지지부

55 : 결합홈부 58 : 지지돌기

본 발명은 정전기 방지용 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 재질을 정전기 방지용 플라스틱을 사용하여 수납된 웨이퍼 및 반도체소자를 정전기로부터 보호할 수 있을 뿐아니라, 수납본체와 덮개를 요철로 형성하여 적층이 가능하게 해주는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

일반적으로 각종 반도체소자가 형성되는 웨이퍼는 운반, 보관 및 공정 진행동안에 시종일관 최고의 물리적, 화학적 상태가 유지되어야 한다. 만약, 상기 웨이퍼가 제한량 이상의 먼지나 기타 오염물에 노출되면, 상기 반도체소자의 불량율이 높아진다. 따라서, 반도체 제조현장에서는 상기 웨이퍼를 운반, 보관, 공정 진행동안에 상기 웨이퍼의 보호를 위해 별도의 웨이퍼 관리장치가 필요하게 된다.

도 1은 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임을 나타낸 사시도이다.

종래의 웨이퍼 보관용 링프레임(10)은 도 1에 도시된 바와 같이, 적어도 웨이퍼보다 큰 크기를 가지는 접착성 있는 테이프(11)와; 상기 테이프(11)가 부착되고 상기 테이프의 변형을 방지하기 위한 적어도 웨이퍼보다 크게 형성된 프레임(13)을 포함하여 이루어진다.

이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임(10)의 경우, 프레임(13)에 의해 평평하게 고정된 접착성 테이프(11) 위에 웨이퍼를 고정시킬 수 있어 웨이퍼를 수평을 유지한 상태로 보관 및 이동이 가능하게 된다.

하지만 이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임의 경우, 웨이퍼를 개별로 보관 및 이동이 가능하지만 구조상 적층이 어려워 개별로 보관시 많은 공간이 소요되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임은 다룰때 잡을 수 있는 부분이 테두리 부분인 프레임뿐이기 때문에 잡기가 불편하여 링프레임을 이동하거나 보관시 핸들링이 어렵다는 문제점이 있다.

또한, 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임은 웨이퍼를 놓은 후에 외부로 노출된 상태이므로 웨이퍼를 보호할 수 없어 품질이 저하될 수 있는 문제점 등이 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 재질을 정전기 방지용 플라스틱을 사용하여 내부에 수납되는 웨이퍼 및 반도체소자를 정전기로부터 보호할 수 있을 뿐아니라, 수납본체와 덮개를 요철로 형성하여 적층 이 가능하케하여 보관 공간을 줄여주는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트를 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 내부에 웨이퍼나 반도체소자 또는 링프레임을 수납하고 수납된 웨이퍼를 정전기로부터 보호해주는 수납본체와; 상기 수납본체를 봉해주는 덮개를 포함하여 이루어지는 동시에 그 재질은 정전기 방지용 플라스틱인 것을 특징으로 한다.

상기 수납본체는 내부에 웨이퍼 또는 반도체소자를 수납할 수 있도록 소정높이의 돌기가 원형으로 형성된 수용부와; 상기 덮개와 결합시 상기 덮개를 지지하고 공간을 확보해주는 제1지지부를 포함하여 이루어진다.

상기 덮개는 상기 수납본체와 결합시 상기 수납본체의 제1지지부와 맞닿아 상기 덮개의 가장자리를 지지해주고 공간을 확보해주는 제2지지부를 포함하여 이루어진다.

이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 웨이퍼 카세트의 분리 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 웨이퍼 카세트의 결합도이다.

본 발명의 구성은, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 내부에 웨이퍼나 반 도체소자 또는 링프레임을 수납하고 수납된 웨이퍼를 정전기로부터 보호해주는 수납본체(30)와; 상기 수납본체(30)를 봉해주는 덮개(50)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 수납본체(30)는 사각형의 통으로 형성되며, 내부 중심에서 소정거리 떨어져 위치하고 소정높이의 돌기가 원형으로 형성되어 내부에 웨이퍼를 수납할 수 있도록 해주는 수용부(31)와; 상기 수납본체(30)의 각 모서리에 위치하고 소정높이 위로 돌출되어 상기 덮개(50)와 결합시 상기 덮개(50)를 지지하고 공간을 유지해주는 수개의 제1지지부(33)를 포함하여 이루어진다.

상기 덮개(50)는 사각형으로 형성되어 있으며, 각 모서리에 위치하고 소정높이 아래로 돌출되는 동시에 상기 수납본체(30)와 결합시 제1지지부(33)와 맞닿게 위치한다. 또한, 상기 수납본체(30)와 결합시 상기 수납본체(30)의 제1지지부(33)에 의해 지지되면서 내부 공간을 유지해주는 동시에 제1지지부(33)와 같은 개수의 제2지지부(53)를 포함하여 이루어진다.

상기 수납본체(30)의 밑면에는 중심에서 위로 소정높이 올라간 결합돌출부(35)가 형성되고, 상기 덮개(50)의 윗면에는 상기 결합돌출부(35)와 일치한 형상으로 소정높이 돌출되는 결합돌출부(55)가 형성되어 적어도 두개 이상의 정전기 방지용 웨이퍼 카세트를 적층시 서로 요철결합이 가능케 하는 것이 바람직하다.(도 5 참조)

상기 덮개(50)의 제2지지부(53)의 사이에는 소정높이 아래로 돌출되어 링프레임(미도시)을 눌러주어 흔들림을 방지해주는 지지돌기(58)이 형성되어 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 의한 작용을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 도 3의 윗면도이고, 도 5는 도 4의 A-A'선에 따른 단면도이고, 도 6은 도 4의 B-B'선에 따른 단면도이다.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 상기 수납본체(30)의 수용부(31)내의 공간에 낱개의 웨이퍼나 반도체소자를 수용시키고, 상기 수납본체(30)의 상부에 상기 덮개(50)를 결합시킨다. 이때 수납본체(30)와 덮개(50)는 끼움결합되어 고정된다. 이때, 수납본체(30)의 제1지지부(33)와 덮개(50)의 제2지지부(53)가 서로 맞닿아 지지되어 적어도 두개이상의 정전기 방지용 웨이퍼 카세트가 적층시 위에서 가해지는 힘에 의해 덮개(33)의 상부 가장자리가 파손되는 것을 방지하여 형상을 유지하게 해주고 내부의 공간을 일정하게 유지해준다.

또한, 상기 수납본체(30)와 상기 덮개(50)의 재질은 정전기를 방지하는 재질로 되어 있어 외부에서 발생되는 정전기를 차단해주고 내부의 수납된 웨이퍼나 반도체소자내의 정전기를 외부로 빠져나가게하여 웨이퍼나 반도체소자를 정전기에 의해 파괴되는 것을 방지해준다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지용 카세트가 적층된 상태를 나타내는 단면도이다.

도 7을 참조하면, 상기 수납본체(30)의 결합돌출부(35)는 바닥이 닿아 수납본체(30)을 지지하는 다각형 모양인 동시에 소정의 넓이를 갖는 바닥지지부(35a)가 형성되어 있고, 상기 덮개(50)의 결합홈부(55)는 상기 바닥지지부(35a)와 같은 모양인 동시에 각각 크기가 다른 적어도 두개이상의 단(55a, 55b)이 형성되어 있다. 따라서, 바닥지지부(35a)가 접합부(55a)의 위에 올려지고, 삽입부(55b)는 결합돌출부(35)의 내부로 삽입되어 덮개(50)의 위에 수납본체(30)의 하부가 결합 및 고정된다.

도 8은 상기 수납본체의 내부에 링프레임이 삽입된 상태를 나타내는 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트내에 링프레임이 삽입된 상태의 단면도이다.

도 8 내지 도 9를 참조하면, 종래의 웨이퍼 보관용 링프레임(10)의 프레임(13)이 상기 수납본체(30)의 외측 테두리측에 걸쳐져 올려질 수 있다. 이어서 상기 수납본체(30)에 덮개(50)이 결합된다. 이때 상기 덮개(50)에 형성된 지지돌기(58)이 상기 링프레임(10)의 프레임(13)의 가장자리를 눌러주게 되어 링프레임(10)이 내부에서 상하로 흔들리는 것을 방지해준다. 따라서 상기 링프레임(10)이 웨이퍼 카세트 내부에 완전 고정되어 삽입이 가능하기 때문에 낱개로 잘려진 웨이퍼 및 반도체 소자외에도 절단가공되기전 상태의 웨이퍼도 내부에 수납이 가능해진다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 정전기 방지용 웨이퍼 카세트는 재질을 정전기 방지용 플라스틱을 사용하여 수납되는 웨이퍼 또는 반도체소자를 정전기로부터 보호하는 효과가 있다.

또한, 수납본체의 하부와 덮개의 상부에 요철을 형성하여 적층할 수 있게 하여 보관시 공간을 절약해주는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 삭제
2. 내부에 웨이퍼나 반도체소자 또는 링프레임을 수납하고 수납된 웨이퍼를 정전기로부터 보호해주도록 정전기 방지용 플락스틱으로 형성된 수납본체와,

   상기 수납본체를 봉해주는 동시에 정전기 방지용 플라스틱으로 형성된 덮개를 포함하고,

   상기 수납본체는 내부에 웨이퍼 또는 반도체소자를 수납할 수 있도록 소정높이의 돌기가 원형으로 형성된 수용부와와, 상기 덮개와 결합시 상기 덮개를 지지하고 공간을 확보해주는 제1지지부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 덮개는

   상기 수납본체와 결합시 상기 수납본체의 제1지지부와 맞닿아 상기 덮개의 가장자리를 지지해주고 공간을 확보해주는 제2지지부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트.
4. 제 3 항에 있어서, 제2지지부의 사이에는 소정깊이 아래로 돌출되어 링프레임을 눌러주어 흔들림을 방지해주는 지지돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 수납본체는

   밑면 중심에 위로 소정높이 들어간 결합홈부가 형성되고,

   상기 덮개는

   윗면에 상기 결합홈부과 일치한 형상으로 소정높이 돌출되는 결합돌출부가 형성되어 적어도 두개 이상의 정전기 방지용 웨이퍼 카세트를 적층시 서로 요철결합이 가능케 하는 것을 특징으로 하는 정전기 방지용 웨이퍼 카세트.

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