JP2002334923A - 電子部材用収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦置き横置き自在であり、容器本体と蓋体と
の着脱作業を容易かつ迅速に行うことができ、特に重量
の嵩む大径の半導体ウエハあるいはダイシングウエハ等
の円板状電子部材を収納して確実に搬送することができ
る電子部材用収納容器を提供する。 【解決手段】 容器本体２の内円筒部２Ａの切欠き２Ｃ
を通して半導体ウエハの外周部を把持できるため、内円
筒部２Ａ内に対する半導体ウエハの出し入れ作業が容易
となる。２組の部分ねじ機構により容器本体２と蓋体３
とを容易かつ迅速に着脱でき、特に両者の装着状態を確
実に維持することができる。容器本体２に蓋体３が装着
された状態では、底面が概略正方形の角柱状の形状とな
るため、縦置き横置き自在であり、スペース効率の良い
安定した状態で搬送および保管を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円板状の電子部
材、例えば、半導体ウエハ、あるいは半導体ウエハのダ
イシング工程で使用されるダイシングフレームにダイシ
ングフィルムを介して支持された状態の半導体ウエハ
（以下、ダイシングウエハという）を、それぞれ複数枚
まとめて収納する電子部材用収納容器に関し、詳しく
は、大径の半導体ウエハの収納および搬送に適するよう
に改良され電子部材用収納容器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インゴットからワイヤーソー等
によりスライスされたウエハは、両面が平面研削された
後、少なくとも片面が鏡面にポリッシング加工され、そ
の表面に回路パターンが形成される。このようなウエハ
は、例えば特許第２９４１１２５号公報に記載のような
専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状態
で製造工程の次工程へと搬送される。そして、この半導
体ウエハは、必要に応じて保管された後、この収納容器
から１枚づつ取り出され、例えば、ダイシング工程にお
いて、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介し
て支持されてダイシングウエハとなり、この状態で多数
のチップにダイシングされる。このダイシングウエハ
も、例えば、本発明者らにより特願２００１−４０８７
７として提案された専用の収納容器に複数枚積み重ねて
収納され、この状態で製造工程の次工程へと搬送され、
必要に応じて保管された後、この収納容器から１枚づつ
取り出される。（以下、半導体ウエハやダンシングウエ
ハをまとめて「半導体ウエハ」あるいは単に「ウエハ」
ということもある。）

【０００３】前記特許第２９４１１２５号公報に記載の
収納容器は、円板状の半導体ウエハを複数枚重ねて収納
可能な円筒部が略正方形の基底部上に突設された容器本
体と、この容器本体の円筒部に嵌合する円筒部が略正方
形の角筒部の内側に形成された蓋体とで構成されてお
り、容器本体に蓋体を装着した状態では、底面が概略正
方形の角柱状の輪郭を呈する。この収納容器において、
容器本体の円筒部には、内部に収納されたウエハの取出
しを可能とする大気開放口が設けられている。また、容
器本体の円筒部外面と蓋体の筒部内面との間には、１５
〜４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ部
が設けられており、容器本体に対する蓋体の着脱作業を
ワンタッチ操作で迅速かつ容易に行うことができるよう
になっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来の収納容器において、容器本体の円筒部外面と蓋体の
筒部内面との両者の間に設けられる部分ねじ部は、例え
ば両者の上部に配置して１組しか設けられていない。こ
のため、重量の嵩む大径の半導体ウエハやダンシングウ
エハを多数枚収納した状態で蓋体のみを把持して搬送し
た場合など、蓋体に多大な荷重が作用した場合には、蓋
体が弾性変形して前記部分ねじ部が外れ、容器本体が蓋
体から不用意に脱落する虞れがあり、大径のウエハを確
実に収納して搬送するには難点がある。

【０００５】本発明は前記問題点を解消するためになさ
れたものであり、縦置き横置き自在であって、容器本体
と蓋体との着脱作業をワンタッチで容易かつ迅速に行う
ことができるのは勿論のこと、特に重量の嵩む大径の半
導体ウエハやダイシングウエハ等の円板状の電子部材を
収納して確実に搬送することができる電子部材用収納容
器を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
手段として、本発明による電子部材用収納容器は、半導
体ウエハやダンシングウエハ等の円板状の電子部材を、
それぞれ複数枚重ねて収納可能な内円筒部が設けられた
容器本体と、この容器本体の内円筒部に嵌合する外円筒
部が設けられた蓋体とにより、底面が概略正方形の角柱
状の形状に構成される電子部材用収納容器であって、前
記内円筒部には、円板状の電子部材の外周部を把持して
出し入れ可能とする切欠きが設けられており、この内円
筒部と前記外円筒部との間には、１５〜４５°の相対回
動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が両者の上部と
下部とに離間して２組設けられていることを特徴とす
る。

【０００７】このような手段を採用した本発明による電
子部材用収納容器は、容器本体に蓋体が装着された状態
で、底面が概略正方形の角柱状の輪郭を呈するため、縦
置に限らず横置も可能である。このため、本発明による
電子部材用収納容器を複数個まとめて搬送し、保管する
際には、縦置および横置を交えて搬送用箱等にスペース
効率の良い安定した状態で収容することができる。ま
た、容器本体の内円筒部には、円板状の電子部材の外周
部を把持して出し入れ可能とする切欠きが設けられてい
るため、容器本体を定位置においた状態で半導体ウエハ
の外周部を把持することができ、円板状電子部材の収納
および取出し作業が容易となる。特に、ロボットハンド
等を使用して各円板状電子部材の収納および取出し作業
を行うことが可能となるため、自動化された加工工程に
好適である。

【０００８】ここで、容器本体の内円筒部と蓋体の外円
筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を
着脱できる部分ねじ機構が設けられているため、容器本
体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易かつ
迅速に行うことができる。そして、特に、この部分ねじ
機構は、前記内円筒部と外円筒部との間において、両者
の上部と下部とに分離して２組設けられているため、容
器本体に対して蓋体を確実に装着することができる。例
えば重量の嵩む大径の半導体ウエハを多数枚収納し、こ
の状態で蓋体のみを把持した場合においても、容器本体
が蓋体から不用意に脱落することがなく、大径の半導体
ウエハを確実に収納して搬送することができる。

【０００９】しかも、本発明において、前記下部の部分
ねじ機構を、前記蓋体の外円筒部の先端部内周に、円周
方向に少なくとも２等配した位置に、少なくとも２個の
突条体を部分オスネジとして１５〜４５°の右ネジリー
ド角を以ってそれぞれ突設し、一方、前記容器本体の内
円筒部の基端部外周に、蓋体の外円筒部の先端部が嵌合
する円形の嵌合台部を形成し、この嵌合台部の外周面
に、前記各突条体を嵌合してねじ込み可能とする少なく
とも２個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）を部分
メスネジとして円周方向に少なくとも２等配した位置に
それぞれ形成し、これらの突条体、嵌合台部および傾斜
溝によって構成する場合は、前記した容器本体に対して
蓋体の確実な装着を、簡単な操作によって実現すること
ができ、容器本体に重量の嵩む大径の半導体ウエハを多
数枚収納した場合であっても、この容器本体への蓋体の
装着を簡便に行うことができる。

【００１０】その上、本発明では、前記上・下部の部分
ねじ機構の位置合わせを容易にするために、容器本体の
内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部の外周面の
下端部にそれぞれ合いマークを形成している場合は、前
記の大重量の半導体ウエハを収納した後の容器本体への
蓋体の装着をより一層簡便に行うことができる。

【００１１】本発明による電子部材用収納容器におい
て、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを
素材として成形されている場合、静電気の帯電が防止さ
れるため、内部に収容された半導体ウエハの回路パター
ンを静電気ショックによる損傷から保護することができ
る。

【００１２】なお、前記容器本体の下面および蓋体の上
面に、片手で把持できる回動操作用突部、例えば、滑り
止め用のローレットまたは指掛け用の凹部等を有する円
形または円環状の突部が形成されていると、容器本体に
対する蓋体の着脱作業が一層容易となるので好ましい。
また、前記容器本体の下面および前記蓋体の上面に相互
に嵌合可能な凹凸部が設けられていると、複数の電子部
材用収納容器を上下方向に安定した状態で積み重ねるこ
とが可能となるので好ましい。この場合、容器本体に対
する蓋体の着脱作業を容易とするための前記回動操作用
突部は、前記凹凸部の一部として形成することができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る電子部材用収納容器の実施の形態を説明する。参照す
る図面において、図１は、円板状の電子部材として、ダ
イシングウエハではなく、半導体ウエハを収納するのに
適した本発明の一実施形態に係る収納容器の全体構造を
示す分解斜視図、図２は一実施形態に係る収納容器の半
截横断面図、図３は一実施形態に係る収納容器の半截縦
断面図、図４は収納容器のみを示す平面図である。

【００１４】図１に示すように、一実施形態に係る電子
部材用収納容器１は、例えば公称１２インチ程度の大径
のウエハを複数枚重ねて収納可能な容器である。このウ
エハ収納容器１は、複数枚のウエハを積み重ね状態で収
容する内円筒部２Ａが設けられた容器本体２と、この容
器本体２の内円筒部２Ａに嵌合する外円筒部３Ａが設け
られた蓋体３とで構成されている。なお、この電子部材
用収納容器１に収納されるウエハには、シリコン、Ｇａ
Ａｓ（ガリウム・ヒ素）、ＧａＰ（ガリウム・リン）な
どの各種の材質のウエハが含まれる。

【００１５】前記容器本体２に蓋体３が装着された状態
のウエハ収納容器１は、図２，図３に示すように、底面
が概略正方形の背の低い角柱状の輪郭形状を呈する。容
器本体２および蓋体３は、導電性フィラーを添加した導
電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイによる導
電性プラスチックスを素材として射出成形により一体成
形されている。なお、添加する導電性フィラーとして
は、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラフ
ァイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の
粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末およ
び繊維が使用できる。

【００１６】前記容器本体２は、図２〜図４に示すよう
に、角部が丸みを帯びた概略正方形のベース部２Ｂを有
し、このベース部２Ｂ上に前記内円筒部２Ａが一体的に
突設されている。この内円筒部２Ａには、ウエハの外周
部を把持して出し入れ可能とする例えば４つの切欠き２
Ｃが形成されている。各切欠き２Ｃは、内円筒部２Ａの
先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅で形成されて
おり、内円筒部２Ａの周方向に等間隔で配置されてい
る。そして、各切欠き２Ｃによって４分割された内円筒
部２Ａの各部分の外周面には、その幅方向両側に位置し
て上下方向に延びる２本のガイドリブ２Ｄがそれぞれ突
設されている。

【００１７】前記容器本体２のベース部２Ｂの上面にお
ける内円筒部２Ａの内側部分には、スペーサ・クッショ
ン（図示省略）を介してウエハを水平に載置するための
同心状の複数の支持筒部２Ｅが突設されている。また、
ベース部２Ｂの下面には、後述する蓋体３の円環状突部
３Ｅの外周を嵌合する放射状リブ２Ｆがベース部２Ｂの
角部付近に突設されており、複数の電子部材用収納容器
１を上下方向に積み重ねて一体化できるように構成され
ている。

【００１８】さらに、前記ベース部２Ｂの下面中央部に
は、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容
易にするため、片手で把持できる程度の大きさの回動操
作用突部２Ｇが形成され、その外周には滑り止め用のロ
ーレット２Ｈが形成されている。また、前記回動操作用
突部２Ｇの周囲には円環状突部２Ｉが形成され、両者の
間には円環状凹部２Ｊが形成されている。なお、前記回
動操作用突部２Ｇは、図示の例では、直径が１００ｍｍ
程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよ
い。また、回動操作用突部２Ｇの外周にはローレット２
Ｈの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。

【００１９】一方、前記蓋体３は、前記容器本体２の内
円筒部２Ａの外周面に突設されたガイドリブ２Ｄに嵌合
して内円筒部２Ａの外周を覆う外円筒部３Ａと、この外
円筒部３Ａに外接して一体に成形され、容器本体２のベ
ース部２Ｂの周縁上に下端が当接して容器本体２の全体
を覆う角筒部３Ｂとを有している。この蓋体３の上面中
央部には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作
業を容易にするため、前記容器本体２側の回動操作用突
部２Ｇと同様の回動操作用突部３Ｃが形成され、その外
周には滑り止め用のローレット３Ｄが形成されている。
また、前記回動操作用突部３Ｃの周囲には円環状突部３
Ｅが形成され、両者の間には円環状凹部３Ｆが形成され
ている。なお、前記回動操作用突部３Ｃは、図示の例で
は、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や
多角形状であってもよい。また、回動操作用突部３Ｃの
外周にはローレット３Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形
成してもよい。

【００２０】ここで、一実施形態のウエハ収納容器１に
おいては、図５〜図８に示すように、前記容器本体２と
蓋体３との間、具体的には容器本体２の内円筒部２Ａ
と、蓋体３の外円筒部３Ａとの間に、１５〜４５°の相
対回動角度の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角
度で両者を着脱できる部分ねじ機構４，５が両者の上部
と下部とに離間して２組設けられている。

【００２１】図５および図６に示すように、前記容器本
体２の各切欠き２Ｃにより４分割された内円筒部２Ａの
各部分の先端部外周には、その幅方向中央部に位置して
長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体４Ａが部分オ
スネジとして、１５〜４５°、本実施形態では約６．５
°の右ネジリード角を以ってそれぞれ突設されている。
一方、前記蓋体３の外円筒部３Ａの基端部内周側には、
容器本体２の内円筒部２Ａの先端部が嵌る円環状嵌合溝
４Ｂが段部４Ｃを介して形成され、この円環状嵌合溝４
Ｂの外側壁部には、前記各突条体４Ａを嵌合してねじ込
み可能とする長さ約６５ｍｍ程度の４個の傾斜溝（前記
リード角と同じ傾斜角）４Ｄが部分メスネジとして円周
方向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。ま
た、前記段部４Ｃには、各傾斜溝４Ｄの下端部に連続し
て前記突条体４Ａを各傾斜溝４Ｄに導入可能とする周長
約２５ｍｍ程度の突条体導入口４Ｅが形成されている。
そして、これらの突条体４Ａ、円環状嵌合溝４Ｂ、段部
４Ｃ、傾斜溝４Ｄおよび突条体導入口４Ｅによって、上
部の部分ねじ機構４が構成されている。

【００２２】また、図７および図８に示すように、前記
蓋体３の外円筒部３Ａの先端部内周には、円周方向に少
なくとも２等配、本例では４等配した位置に、長さ約２
０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の４個の突条体５Ａが部分オス
ネジとして、前記リード角と同じ１５〜４５°、本実施
形態では約６．５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ
突設されている。一方、前記容器本体２の内円筒部２Ａ
の基端部外周に臨むベース部２Ｂの上面には、蓋体３の
外円筒部３Ａの先端部が嵌合する円形の嵌合台部５Ｂが
形成され、この嵌合台部５Ｂの外周面には、前記各突条
体５Ａを嵌合してねじ込み可能とする長さ約２５ｍｍ程
度の４個の傾斜溝（前記リード角と同じ傾斜角）５Ｃが
部分メスネジとして円周方向に４等配した位置にそれぞ
れ形成されている。また、前記嵌合台部５Ｂの上面に
は、各傾斜溝５Ｃの上端部に連続して前記各突条体５Ａ
を各傾斜溝５Ｃに導入可能とする周長約６５ｍｍ程度の
突条体導入口５Ｄが形成されている。そして、これらの
突条体５Ａ、嵌合台部５Ｂ、傾斜溝５Ｃおよび突条体導
入口５Ｄによって、下部の部分ねじ機構５が構成されて
いる。

【００２３】前記容器本体２側の各突条体４Ａと蓋体３
側の各突条体導入口４Ｅとの位置合せを容易にし、か
つ、前記蓋体３側の各突条体５Ａと容器本体２側の各突
条体導入口５Ｄとの位置合わせを容易にするため、容器
本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面および前記蓋
体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部には、それぞれ矢印
等の合いマークｉが形成されている。そして、この合い
マークｉを合わせて前記各突条体導入口４Ｅに各突条体
４Ａを挿入すると同時に、前記各突条体導入口５Ｄに各
突条体５Ａを挿入し、この状態から容器本体２に対して
蓋体３を時計方向に３０°程度回動させると、蓋体３が
容器本体２に装着され、電子部材用収納容器１は概略正
方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。

【００２４】次に、以上のように構成された一実施形態
の電子部材用収納容器１の使用例を説明する。この収納
容器１は、例えば公称１２インチの大径の半導体ウエハ
を複数枚重ねて収容し、これを保管、搬送するために使
用される。前記ウエハを収容するには、容器本体２をテ
ーブル等の定位置に置き、帯電防止のクッションシート
等のクッション材（図示省略）を敷き、さらに導電性等
の静電防止対策スペーサシート（図示省略）を敷き、容
器本体２の４分割された内円筒部２Ａの各部分の内周に
各ウエハを水平に収納する。この収納作業においては、
内円筒部２Ａを４分割する各切欠き２Ｃがウエハの外周
を把持可能とするため、手作業による収納が容易に行え
ると共に、ロボットハンドを使用した収納作業も容易に
行うことができる。

【００２５】前記容器本体２の内円筒部２Ａ内に、前記
静電防止対策スペーサシートを間に挟みサンドイッチ状
態にして、所定数のウエハを積み重ねて収納したら、そ
の上部空間を塞ぐスペーサとして前記クッショシート等
のクッション材をウエハの上に載せ、容器本体２に蓋体
３を装着する。容器本体２に対して蓋体３を装着するに
は、容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面に形
成された合いマークｉと、蓋体３の角筒部３Ｂの外周面
の下端部に形成された合いマークｉとを合わせて容器本
体２の内円筒部２Ａに蓋体３の外円筒部３Ａを被せ、こ
の状態から容器本体２に対して蓋体３を時計方向に３０
°程度相対回動させる。この作業は、容器本体２をテー
ブル等の上に置き、容器本体２のベース部２Ｂの角部を
押さえて蓋体３の角筒部３Ｂを回すことによって容易に
行うことができる。また、容器本体２のベース部２Ｂの
下面に突設された回動操作用突部２Ｇと蓋体３の上面に
突設された回動操作用突部３Ｃとを把持することで、ワ
ンタッチ操作により一層容易に行うことができる。そし
て、この作業により、上部の部分ねじ機構４において
は、容器本体２側の各突条体４Ａが蓋体３側の各突条体
導入口４Ｅから各傾斜溝４Ｄへと相対的にねじ込まれ、
下部の部分ねじ機構５においては、蓋体３側の各突条体
５Ａが容器本体２側の各突条体導入口５Ｄから各傾斜溝
５Ｃへと相対的にねじ込まれるのであり、蓋体３の角筒
部３Ｂの下部が９ｍｍ程度下方に移動して容器本体２の
ベース部２Ｂの周縁上に当接し、こうして蓋体３が容器
本体２に確実に装着される。そして、この装着状態にお
いて、電子部材用収納容器１は、概略正方形の底面を有
する背の低い角柱状の輪郭を呈する。

【００２６】容器本体２に蓋体３が装着されて複数のウ
エハを収納した電子部材用収納容器１は、前述したよう
に概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈
するため、容器本体２のベース部２Ｂを下にした通常の
縦置に限らず蓋体３の角筒部３Ｂの外周面を下にした横
置も可能となる。このため、前記収納容器１は、縦置お
よび横置を交えて搬送箱等にスペース効率の良い安定し
た状態で収容することができる。また、複数の収納容器
１を上下に積み重ねる場合、下方の収納容器１の蓋体３
の上面に形成された円環状突部３Ｅの外周を上方の収納
容器１の容器本体２の下面に形成された放射状リブ２Ｆ
に嵌合させることで、複数の収納容器１を上下方向に安
定した状態で積み重ねることができる。そして、各収納
容器１に収容されたウエハは、容器本体２および蓋体３
が導電性プラスチックスを素材として成形されて静電気
の帯電が防止されているため、ＩＣ回路の静電気ショッ
クによる損傷が未然に防止されて保護される。

【００２７】前記電子部材用収納容器１に収容されたウ
エハを取り出すには、前述と反対の手順で蓋体３を容器
本体２に対して反時計方向に３０°程度相対回動させ、
この状態で容器本体２から蓋体３を引き離す。そして、
容器本体２の内円筒部２Ａ内に収容されたウエハを順次
取り出す。この取り出し作業は、内円筒部２Ａの各切欠
き２Ｃからウエハの外周を手作業または図示しないロボ
ットハンドにより把持して行うこともできる。

【００２８】本実施形態に係る電子部材用収納容器１で
は、前述のように、容器本体２に対して蓋体３を着脱自
在に装着する手段として、容器本体２の内円筒部２Ａ
と、蓋体３の外円筒部３Ａとの間に、１５〜４５°の相
対回動角度の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角
度で両者を着脱できる部分ねじ機構４，５を設けている
ため、容器本体２および蓋体３の射出成形の際には、成
形品を捩じりつつ脱型する工程を必要とせず、製造コス
トを低減することができる。そして特に、前記部分ねじ
機構４，５は、容器本体２の内円筒部２Ａと蓋体３の外
円筒部３Ａとの嵌合部における上部と下部に離間して設
けた上部の部分ねじ機構４と、下部の部分ねじ機構５と
で構成されているため、容器本体２に対して蓋体３を確
実に装着することができる。その結果、公称１２インチ
程度の重量の嵩む大径のウエハを多数枚収納し、この状
態で蓋体３のみを把持した場合においても、容器本体２
が蓋体３から不用意に脱落することがなく、大径のウエ
ハに収納して搬送することができる。

【００２９】なお、本実施形態に係る電子部材用収納容
器１では、容器本体２の内円筒部２Ａを４つの切欠き２
Ｃにより周方向に４分割したが、２つの切欠き２Ｃによ
り内円筒部２Ａを半円弧状に２分割するようにしてもよ
い。この２分割の実施形態を図９（容器本体の斜視
図）、図１０（Ａ），（Ｂ）（同側面図）、図１１（同
平面図）、図１２（同底面図）に示す。図９〜図１２
中、図１〜図５と同一符号は図１〜図５と同一機能部を
示す。

【００３０】図９〜図１２に示す実施形態では、容器本
体２のベース部２Ｂ上に、上記の２分割の内円筒部２１
Ａが一体的に突設されている。この２分割の内円筒部２
１Ａには、前記ウエハの外周を把持可能とする２つの切
欠き２１Ｃが形成されており、各切欠き２１Ｃは、内円
筒部２１Ａの先端部からベース部２Ｂに向かって所定幅
で形成され、内円筒部２１Ａの周方向を２（等）分割す
るように配置されている。図１０（Ａ）は一方の切欠き
２１Ｃが正面に位置し、従って他方の切欠き２１Ｃがこ
れと相対して位置する方向からの側面図であり、図１０
（Ｂ）は切欠き２１Ｃが両側面に位置するため図には現
れない方向からの側面図である。

【００３１】そして、この２分割された内円筒部２１Ａ
の各部分の外周面には、上下方向に延びる複数本（本実
施形態では２本）のガイドリブ２Ｄがそれぞれ平行に突
設されている。この２分割された容器本体２の平面は図
１１に示され、底面は図１２に示される。本実施形態の
場合、放射状リブ２Ｆと共に、底面（ベース部２Ｂ）の
各辺の中央部にも、蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌
合するためのリブ２Ｆ１、２Ｆ２が突設されている。

【００３２】ここで、図９〜図１２に示す実施形態にお
いても、前記上部の部分ねじ機構４および下部の部分ね
じ機構５がそれぞれ円周方向に２等分配置して設けられ
ており、また、容器本体２側の各突条体４Ａと蓋体３側
の各突条体導入口４Ｅとの位置合せと、蓋体３側の各突
条体５Ａと容器本体２側の各突条体導入口５Ｄとの位置
合わせを容易にするため、容器本体２のベース部２Ｂの
周辺部付近の上面および蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の
下端部に、それぞれ前記した矢印等の合いマークｉが形
成されている。

【００３３】さらに、本発明に係る電子部材用収納容器
を、円板状電子部材として、半導体ウエハではなく、ダ
イシングウエハを収納するのに適した一実施形態にした
場合について図１３を参照して説明する。図１３は、こ
のダイシングウエハ用の収納容器における容器本体２の
部分のみを示す斜視図である。この実施形態では、容器
本体２の内円筒部２Ａを、２つの切欠き２Ｃにより内円
筒部２Ａを半円弧状に２分割し、また２分割された内円
筒部２Ａの各部分の内周面には、ダイシングウエハの外
周を案内可能なガイドリブ２Ｋを突設している。このガ
イドリブ２Ｋは、内円筒部２Ａの２分割された各部分の
幅方向両側にそれぞれ２本づつ配置されて上下方向に延
びている。なお、容器本体２の他の部分の構成、蓋体の
構成は、前記した半導体ウエハ収納に適した電子部材用
収納容器１と全く同じである。

【００３４】このように構成された一実施形態のダイシ
ングウエハ収納に適した電子部材用収納容器の使用例を
説明する。この収納容器は、例えば公称１２インチの大
径の半導体ウエハをダイシングフィルムを介してダイシ
ングフレームに支持した状態のダイシングウエハを、複
数枚重ねて収容し、これを保管、搬送するために使用さ
れる。このダイシングウエハを収容するには、前記半導
体ウエハ収納の場合と同様に、容器本体２をテーブル等
の定位置に置き、帯電防止のクッションシート等のクッ
ション材（図示省略）を敷き、さらに導電性等の静電防
止対策スペーサシート（図示省略）を敷く。その後、容
器本体２の２分割された内円筒部２Ａの各部分の内周
に、各ダイシングウエハをガイドリブ２Ｋに沿って水平
に収納する。この収納作業は、内円筒部２Ａを２分割す
る各切欠き２Ｃがダイシングウエハの外周を把持可能と
するため、手作業による収納が容易に行えると共に、ロ
ボットハンドを使用した収納作業も容易に行うことがで
きる。

【００３５】そして、以上の半導体ウエハあるいはダイ
シングウエハの収納に適した各実施形態に係る電子部材
用収納容器１においては、導電性プラスチックスを素材
として電子部材用収納容器１の容器本体２および蓋体３
をそれぞれ一体成形したが、帯電防止剤を混入したプラ
スチックスを素材にして一体成形してもよい。ここで帯
電防止剤としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エス
テル、多価アルコール脂肪酸エステルなどの非イオン系
界面活性剤、第４級アンモニウム塩などの陽イオン系界
面活性剤、高級アルコールリン酸エステル塩、高級アル
コール硫酸エステル塩などの陰イオン系界面活性剤、ア
ルキルベタインなどの両性界面活性剤及びこれらの任意
の組合せ等、一般に合成樹脂に練り込み、又は塗布して
帯電防止剤として使用される界面活性剤であれば何でも
使用できる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電子
部材用収納容器は、容器本体に蓋体が装着された状態
で、底面が概略正方形の角柱状の輪郭を呈するため、縦
置に限らず横置も可能である。このため、電子部材用収
納容器を複数個まとめて搬送し、保管する際には、縦置
および横置を交えて搬送用箱等にスペース効率の良い安
定した状態で収容することができる。また、容器本体の
内円筒部には、半導体ウエハやダイシングウエハ等の円
板状電子部材の外周部を把持して出し入れ可能とする切
欠きが設けられているため、容器本体を定位置においた
状態で半導体ウエハやダイシングウエハの外周部を把持
することができ、円板状電子部材の収納および取出し作
業を容易に行うことができる。特に、ロボットハンド等
を使用して各円板状電子部材の収納および取出し作業を
行うことが可能となるため、自動化された加工工程に好
適である。

【００３７】ここで、容器本体の内円筒部と蓋体の外円
筒部との間には、１５〜４５°の相対回動角度で両者を
着脱できる部分ねじ機構が設けられているため、容器本
体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易かつ
迅速に行うことができる。特に、この部分ねじ機構は、
前記内円筒部と外円筒部との間において、両者の上部と
下部とに分離して２組設けられているため、容器本体に
対して蓋体を確実に装着することができる。例えば重量
の嵩む大径の半導体ウエハやダイシングウエハを多数枚
収納し、この状態で蓋体のみを把持した場合において
も、容器本体が蓋体から不用意に脱落することがなく、
大径の半導体ウエハやダイシングウエハを確実に収納し
て搬送することができる。

【００３８】そして、下部の部分ねじ機構として、蓋体
の外円筒部の先端部内周に、円周方向に少なくとも２等
配した位置に、少なくとも２個の突条体を部分オスネジ
として１５〜４５°の右ネジリード角を以ってそれぞれ
突設する一方で、容器本体の内円筒部の基端部外周に、
蓋体の外円筒部の先端部が嵌合する円形の嵌合台部を形
成し、この嵌合台部の外周面に、前記各突条体を嵌合し
てねじ込み可能とする少なくとも２個の傾斜溝（前記リ
ード角と同じ傾斜角）を部分メスネジとして円周方向に
少なくとも２等配した位置にそれぞれ形成し、これらの
突条体、嵌合台部および傾斜溝によって構成することに
より、重量の嵩む大径の半導体ウエハやダイシングウエ
ハを多数枚収納した容器本体への蓋体の確実な装着を、
簡単な操作によって実現することができる。特に、上・
下部の部分ねじ機構の位置合わせを容易にするために、
容器本体の内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部
の外周面の下端部にそれぞれ合いマークを形成しておけ
ば、この装着作業をより一層簡便にすることができる。

【００３９】本発明による電子部材用収納容器におい
て、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチックスを
素材として成形されている場合、静電気の帯電が防止さ
れるため、内部に収容された半導体ウエハやダイシング
ウエハの回路パターンを静電気ショックによる損傷から
保護することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体ウエハ収納に適した本発明の一実施形態
に係る電子部材用収納容器の全体構造を示す分解斜視図
である。

【図２】図１に示す電子部材用収納容器の半截横断面図
である。

【図３】図１に示す電子部材用収納容器の半截縦断面図
である。

【図４】図１に示す電子部材用収納容器の容器本体のみ
を示す平面図である。

【図５】図１に示す電子部材用収納容器の上部の部分ね
じ機構を容器の直径方向に破断して示す部分断面図であ
る。

【図６】図１に示す電子部材用収納容器の上部の部分ね
じ機構を容器の円周方向に破断して示す部分断面図であ
る。

【図７】図１に示す電子部材用収納容器の下部の部分ね
じ機構を容器の直径方向に破断して示す部分断面図であ
る。

【図８】図１に示す電子部材用収納容器の下部の部分ね
じ機構を容器の円周方向に破断して示す部分断面図であ
る。

【図９】半導体ウエハ収納に適した本発明の他の実施形
態に係る電子部材用収納容器の容器本体のみを示す斜視
図である。

【図１０】図９に示すに電子部材用収納容器の容器本体
のみを示す側面図で、（Ａ）が切欠きを正面に位置させ
た図、（Ｂ）が切欠きを側面に位置させた図である。

【図１１】図９に示すに電子部材用収納容器の容器本体
のみを示す平面図である。

【図１２】図９に示す電子部材用収納容器の容器本体の
みを示す底面図である。

【図１３】ダイシングウエハ収納に適した本発明の他の
実施形態に係る電子部材用収納容器の容器本体のみを示
す斜視図である。

【符号の説明】

１ ：電子部材用収納容器 ２ ：容器本体 ２Ａ：内円筒部 ２Ｂ：ベース部 ２Ｃ：切欠き ２Ｄ：ガイドリブ ２Ｅ：支持筒部 ２Ｆ：放射状リブ ２Ｇ：回動操作用突部 ２Ｈ：ローレット ２Ｉ：円環状突部 ２Ｊ：円環状凹部 ２Ｋ：ガイドリブ ３ ：蓋体 ３Ａ：外円筒部 ３Ｂ：角筒部 ３Ｃ：回動操作用突部 ３Ｄ：ローレット ３Ｅ：円環状突部 ３Ｆ：円環状凹部 ４ ：上部の部分ねじ機構 ４Ａ：突条体 ４Ｂ：円環状嵌合溝 ４Ｃ：段部 ４Ｄ：傾斜溝 ４Ｅ：突条体導入口 ５ ：下部の部分ねじ機構 ５Ａ：突条体 ５Ｂ：嵌合台部 ５Ｃ：傾斜溝 ５Ｄ：突条体導入口 ｉ ：合いマーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 冬室 昌彦 栃木県足利市今福町560−１ Ｆターム(参考） 3E084 AA06 AA12 CA01 DA01 DB12 FB01 GA02 GB02 LA16 3E096 AA05 BA16 BB04 CA02 CB03 DA03 DA23 DB04 FA28 GA04 5F031 CA01 CA02 DA08 EA03 EA04 EA12 EA19 EA20 PA21

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状の電子部材を複数枚重ねて収納可
   能な内円筒部が設けられた容器本体と、この容器本体の
   内円筒部に嵌合する外円筒部が設けられた蓋体とによ
   り、底面が概略正方形の角柱状の形状に構成される電子
   部材用収納容器であって、 前記内円筒部には、円板状の電子部材の外周部を把持し
   て出し入れ可能とする切欠きが設けられており、 この内円筒部と前記外円筒部との間には、１５〜４５°
   の相対回動角度で両者を着脱できる部分ねじ機構が両者
   の上部と下部とに離間して２組設けられていることを特
   徴とする電子部材用収納容器。
2. 【請求項２】 下部の部分ねじ機構が、 蓋体の外円筒部の先端部内周に、円周方向に少なくとも
   ２等配した位置に、少なくとも２個の突条体が部分オス
   ネジとして１５〜４５°の右ネジリード角を以ってそれ
   ぞれ突設され、 容器本体の内円筒部の基端部外周に、蓋体の外円筒部の
   先端部が嵌合する円形の嵌合台部が形成され、この嵌合
   台部の外周面に、前記各突条体を嵌合してねじ込み可能
   とする少なくとも２個の傾斜溝が部分メスネジとして円
   周方向に少なくとも２等配した位置にそれぞれ形成さ
   れ、 これらの突条体、嵌合台部および傾斜溝によって構成さ
   れることを特徴とする請求項１に記載の電子部材用収納
   容器。
3. 【請求項３】 上・下部の部分ねじ機構の位置合わせを
   容易にするために、 容器本体の内円筒部の基端部外周面および蓋体の角筒部
   の外周面の下端部にそれぞれ合いマークが形成されてい
   ることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部材
   用収納容器。