JP3472685B2 - 半導体ウェハ収納容器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状の半導体ウ
エハ（以下、「ウエハ」と言う）を運搬、保管する際に
使用するウエハ用の容器に関し、詳しくは、ウエハの運
搬、保管、取出し作業に適するように改良されたウエハ
収納容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウエハの運搬、保管に使用する容器とし
て、従来、ＵＳＰ４，７８７，５０８に記載のものが知
られている。このウエハ収納容器は、図７に示すよう
に、円盤状のウエハを多数枚重ねて収納可能な有底円筒
状の容器本体ａと、この容器本体ａの円筒部ｂの外周を
覆う円筒部ｃを有する蓋体ｄとで構成されている。ここ
で、容器本体ａの底部ｅの上面には雄ねじｆが、蓋体ｄ
の円筒部ｃの先端内面には上記雄ねじｆに対応する雌ね
じｇがそれぞれ設けられており、両者のねじ嵌合により
容器本体ａと蓋体ｄとが着脱できるように構成されてい
る。そして、容器本体ａの底部ｅ外周面には連続した筋
状の凹凸からなる滑り止め用のローレットが形成され、
蓋体ｄの上面には同様のローレットを外周面に形成した
円形の着脱用凸部ｈが設けられており、上記着脱を容易
とするような構成が施されている。

【０００３】また、このような従来のウエハ収納容器に
おいては、容器本体ａの円筒部ｂに、その全長に亙る大
気開放用のスリットｉが複数条設けられ、円筒部ｂ内に
収納されたウエハを真空吸着等により取出すことができ
るように構成されている。さらに、蓋体ｄの上面には、
前記着脱用凸部ｈの周囲にリング状突起ｊが形成され、
その外周面が他の容器本体ａの底部ｅ下面側に嵌合する
ことで、多数のウエハ収納容器を相互に上下方向に積み
重ねて一体化できるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来の
ウエハ収納容器は、蓋体ｄの周面形状が円形であって横
置きすると転がるため、ウエハの運搬、保管にあたって
は縦置きせざるを得ない。

【０００５】また、容器本体ａと蓋体ｄとの着脱は、容
器本体ａ側の雄ねじｆと蓋体ｄ側の雌ねじｇとのねじ嵌
合により行うので、両者を少なくとも３６０°相対回転
させる必要があり、着脱作業が面倒である。しかも、こ
の着脱作業用として設けられたローレットを有する容器
本体ａの底部ｅ外周面は、例えば直径が１５０ｍｍもあ
り、通常、作業員が把持できない大きさとなっており、
この点からも容器本体ａと蓋体ｄとの着脱作業が面倒で
ある。このようなことから、容器本体ａから蓋体ｄを取
り外す場合には、ウエハ収納容器を空中に持ち上げ、全
体を抱え込むようにして容器本体ａに対して蓋体ｄを回
転せざるを得ず、ウエハは作業ミスによる落下の危険に
晒されるという問題がある。

【０００６】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたもので、縦置き横置き自在であり、容器本体と蓋体
との着脱作業を迅速かつ容易に行うことができるウエハ
収納容器を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のウエハ収納容器は、円盤状のウエハを多数
枚重ねて収納可能な有底円筒状の導電性または帯電防止
性容器本体と、この容器本体の円筒部外周を覆う筒部を
有する導電性または帯電防止性蓋体とで構成されてな
り、容器本体の底部を正方形状とし、蓋体の筒部を正四
角柱形状とし、蓋体が、容器本体を、容器本体の底部を
残して覆い、かつ容器本体の底部下面と蓋体の上面とを
嵌合可能に構成してなることを特徴とし、蓋体の四隅
で、容器本体の円筒部と蓋体の筒部との間に空間が形成
されてなることが好ましい。

【０００８】なお、蓋体の上面や容器本体の下部底面に
は、蓋体と容器本体との着脱作業を容易にするための着
脱用凹凸部等を設けることができるし、これらの凹凸部
等にはローレットを形成することができる。また、上記
凹凸部は、相互に嵌合できるように構成してもよいし、
これとは別個に容器本体の下部底面および蓋体の上面に
相互に嵌合可能な凹凸部を設けることもできる。

【０００９】

【作用】このような手段を採用した本発明によるウエハ
収納容器は、容器本体を覆う蓋体の筒部が正四角柱形状
をなすので、従来同様に縦置きすることは勿論のこと、
横置きすることも自在であるため、安定した状態で多数
の収納容器の運搬や保管を行うことができる。

【００１０】容器本体の底部は正方形状に構成されてい
るため、この容器本体底部の角部を一方の手で挟み込
み、他方の手で蓋部を回動させることが容易となり、従
来のようにウエハ収納容器を空中に持ち上げ、全体を抱
え込むようにして容器本体ａに対して蓋体ｄを回転させ
なくても、テーブル等の上に収納容器を置いた状態で、
容器本体から蓋体を取り外すことができる。

【００１１】なお、蓋体の上面に着脱用凹凸部を設けた
場合には、上記蓋体の取り外しがより容易となる。勿
論、ウエハ収納容器を空中に持ち上げて蓋体を取り外す
こともでき、この場合には、下部底面に着脱用凹凸部が
形成された容器本体が好適に用いられる。

【００１２】容器本体の底部下面および蓋体の上面に相
互に嵌合可能な凹凸部が設けられている場合には、多数
のウエハ収納容器を相互に、上下方向に積み重ねて、あ
るいは横方向に連結して、一体化することができる。な
お、蓋部上面の嵌合用凹凸部は、上記蓋部上面に設けら
れる着脱用凹凸部と共用することもできるし、また容器
本体の底部下面に設けられる嵌合用凹凸を着脱用凹凸部
として使用することもできる。

【００１３】

【実施例】図１〜図３は、本発明のウエハ収納容器の一
実施例を示す図であり、図１は、その全体構造を一部断
面として示す分解斜視図、図２は同じく半断面として示
す平面図、図３は同じく半断面として示す側面図（図２
におけるＵ矢視図）である。図１〜図３において、ウエ
ハ収納容器１は、図示省略した円盤状のウエハ（公称５
インチ、６インチ、８インチ等のサイズがあるが、本実
施例では例えば６インチのものとする）を多数枚重ねて
収納可能な有底円筒状の容器本体２と、この容器本体２
に被せられる蓋体３とで構成されている。

【００１４】容器本体２は、正方形状の基底部２ａ上に
円筒部２ｂが突設されたもので、この円筒部２ｂには、
その先端部から基端部に亙る所定幅のスリット２ｃが円
周方向に４等配した位置に形成されている。通常、正方
形の一辺の長さは後述する角筒部３ａの側辺の長さと同
一とされる。

【００１５】上記基底部２ａは、図４に示すように円形
状とすることもできるが、本発明では、図１〜３に示す
ように正方形状に構成する。これにより、容器本体ａの
底部の角部を一方の手で挟み込み、他方の手で蓋部を回
動させることが容易となるので、ウエハ収納容器を空中
に持ち上げて蓋体の取外しを行う、と言った作業の必要
はなくなる。なお、図４中、図１〜３と同一機能部に
は、図１〜３と同一符号を付した。

【００１６】一方、蓋体３は、全体が正四角柱状をな
し、円筒部３ａと、この円筒部３ａに外接する角筒部３
ｂとにより構成されている。この円筒部３ａは、容器本
体２の円筒部２ｂを覆い、下端部が容器本体２の基底部
２ａの一部を残して覆っている。なお、円筒部３ａは、
本発明容器においては必須ではないが、本実施例では、
該円筒部３ａは、蓋体３と容器本体２との着脱の際の、
案内手段等としての役割をなしている。

【００１７】図３にも示すように、蓋体３の上面には、
円形台状の突起からなる着脱用凸部３ｃがそれぞれ形成
されている。着脱用凸部３ｃは、作業員が把持できるよ
うに直径が１００ｍｍ程度となっており、その外周面に
は滑り止め用のローレット２ｄが形成されている。さら
に、蓋体３の上面には、着脱用凸部３ｃと所定の間隔を
開けてその周囲にリング状突起３ｄが同心円をなして形
成されている。これに対応して容器本体２の基底部２ａ
の下面には、リング状突起３ｄの外周面が嵌合する外周
壁２ｅが形成されており、これらで多数のウエハ収納容
器１を相互に、上下方向に積み重ねて、あるいは横方向
に連結して一体化させる凹凸部が構成されている。

【００１８】容器本体２の基底部２ａ上面（容器側内
面）は同心円状の複数の補強リブが突出する凹凸形状と
なっているが、これらの上端は同一面上に位置してお
り、ウエハを水平に載置できるようになっている。ま
た、この基底部２ａの上面に対向する蓋体３の内面も同
様に構成されている。

【００１９】本発明における容器本体２と蓋体３との着
脱手段は、特に制限されず種々のものが使用でき、例え
ば、図５の要部拡大断面図および図６の同じく断面図
（図５のＶ矢視断面図）に示すように、容器本体２の円
筒部２ｂ外面と蓋体３の円筒部３ａ内面との間に構成さ
れた部分ねじ等がある。この部分ねじは、容器本体２の
スリット２ｃで４分割された円筒部２ｂの各部分におい
て、その外周面上端部の幅方向中央部には、部分雄ねじ
として長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体２ｆが
約６．５°の右ねじリード角を以ってそれぞれ突設され
ている。

【００２０】一方、蓋体３の円筒部３ａの上端部には、
容器本体２の円筒部２ｂの上端部が嵌まる小径部３ｅが
段部３ｆを介して形成され、この小径部３ｅ内周面に
は、上記４個の突条体２ｆがそれぞれ嵌合する部分雌ね
じとしての長さ約６５ｍｍの４個の傾斜溝３ｇが円周方
向に４等配した位置にそれぞれ形成されている。そし
て、各傾斜溝３ｇの下端部は、上記段部３ｆに開口した
周長約２５ｍｍの突条体導入口３ｈに連続しており、こ
の突条体導入口３ｈに導入された上記突条体２ｆは、容
器本体２と蓋体３とが約３０°相対回動することで傾斜
溝３ｇに沿ってウエハ収納容器１の高さ方向に約９ｍｍ
移動するようになっている。

【００２１】なお、部分ねじは、蓋体３の円筒部の外側
下端部に突条体を設け、容器本体の内側下端部に、図５
および図６で示される雌ねじ部を形成してもよいが、本
発明容器を金型成形する場合には、スライド金型を用い
るため、前述したように、本体筒部の上端部に突状体を
設ける場合の方が、金型が複雑にならず有利である。

【００２２】図５中符号３ｉで示すものは、容器本体２
の円筒部２ｂの上端部内周面を案内するように蓋体３の
内面に突設された円弧状突起３ｉであり、図２に示すよ
うに円周方向に４等配して設けられている。このような
構造を有するウエハ収納容器１の容器本体２および蓋体
３は、導電性プラスチックまたは帯電防止性プラスチッ
クを使用するが、本例では、導電性フィラーを添加した
導電性プラスチックス、あるいはポリマーアロイ処理し
た導電性プラスチックスを使用して、一体成形されてい
る。なお、添加する導電性フィラーとしては、カーボン
ブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素
繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コ
ートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維等が使
用できる。

【００２３】次に、上記ウエハ収納容器１について、そ
の作用を説明する。まず、ウエハを運搬あるいは保管す
る場合、ウエハは容器本体２の円筒部２ｂ内に収納す
る。その際、多数のウエハを収納する場合には、所定枚
数毎にクッションシートおよび導電シートを介在させる
のが好ましい。そして、収納されたウエハ上に隙間があ
る場合には、ウエハの踊りを防止する意味でクッション
シートを適当厚さ分載せ、この状態で容器本体２に蓋体
３を被ぶせて組み付ける。

【００２４】ここで、容器本体２に対する蓋体３の組み
付け作業は、まず容器本体２の円筒部２ｂに蓋体３の円
筒部３ａを被ぶせ、その上端部内面の段部３ｆに開口す
る各突条体導入口３ｈを円筒部２ｂ上端部の各突条体２
ｆに合致させ、両者を右ねじ方向に相対回動させる。こ
の作業は、テーブル等の平坦な場所に、容器本体２を置
いた状態で行うこともできるし、蓋体３の着脱用凸部３
ｃと容器本体２の下部側面とを両手にそれぞれ把持して
行うこともできる。容器本体２の基底部２ａが正方形状
であるため、この正方形の角部を一方の手で押さえ付け
ることで、容器本体２をテーブル等に固定でき、上記作
業を一層迅速かつ容易に行うことができる。なお、蓋体
３が、容器本体２の全体を覆うような場合には、すなわ
ち、作業者が容器本体２の下部側面を把持できないよう
な場合には、容器本体の底部下面にも、着脱用凸部を設
ける（嵌合用凹凸部と共用してもよい）こともできる。

【００２５】上記相対回動により、各突条体２ｆは、突
条体導入口３ｈから傾斜溝３ｇに沿ってウエハ収納容器
１の高さ方向に約９ｍｍ移動する。この移動は、３０°
程度の回動に伴って行われ、容器本体２に対する蓋体３
の組み付け作業が終了する。傾斜溝３ｇの先端の幅を、
突条体２ｆの幅と同じくする等の手段を講じることで、
組み付けの強度を強化することもできる。

【００２６】収納容器１内のウエハを取り出すべく、容
器本体２から蓋体３を取り外す作業は、上記と逆の手順
で行われる。このようにして、容器本体２と蓋体３との
着脱作業は極めて迅速かつ容易に行われる。

【００２７】ウエハを収納した収納容器１は、容器本体
２の基底部２ａを下にして縦置きすることができること
は勿論、蓋体３の角筒部３ｂにより周面形状が４角形を
なすので、角筒部３ｂの一面を下にして横置きすること
も自在である。多数のウエハを収納した収納容器１は、
横置きするのが好ましい場合もある。横置きすること
で、各ウエハは、垂直姿勢に保持されるので、多数のウ
エハが水平姿勢で積み重ねられる場合に発生するウエハ
の破壊を未然に防止することができる。

【００２８】このようにウエハ収納容器１は縦置き、横
置き自在であるので、運搬時に専用箱等へ収納する際に
は、縦置き、または横置きを任意に組み合わせることで
隙間なく収納することができ、収納スペースを有効に活
用できる。また、多数のウエハ収納容器１を縦置き（あ
るいは横置き）する場合には、下（あるいは隣り）に位
置するウエハ収納容器１の蓋体３に形成されたリング状
突起３ｄと上（あるいは隣り）に位置するウエハ収納容
器１の容器本体２に形成された外周壁２ｅとを嵌合させ
ることで、多数のウエハ収納容器１を相互に上下方向に
積み重ねて（あるいは横方向に連結して）一体化するこ
とができる。

【００２９】ウエハ収納容器１内に保管されたウエハを
取り出すには、前述のように容器本体２から蓋体３を取
り外し、適宜の吸着具を用いてウエハを容器本体２の円
筒部２ｂから取り出す。この場合、容器本体２の円筒部
２ｂにはその先端部から基端部に亙る所定幅の大気開放
用のスリット２ｃが形成されているので、ウエハは破損
することなく容易かつ確実に取り出される。

【００３０】また、ウエハ収納容器１の容器本体２およ
び蓋体３は導電性プラスチックスを素材として成形され
ているので、帯電した静電気の除去が容易である。した
がって、収納したウエハの静電気ショックによる損傷を
未然に防止することができる。

【００３１】上記実施例では、導電性プラスチックスを
素材としてウエハ収納容器１の容器本体２および蓋体３
を一体成形したが、帯電防止剤を混入した帯電防止性プ
ラスチックスを素材にして一体成形してもよい。この帯
電防止剤としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エス
テル、多価アルコール脂肪酸エステル等の非イオン系界
面活性剤、第４級アンモニウム塩等の陽イオン系界面活
性剤、高級アルコールリン酸エステル塩、高級アルコー
ル硫酸エステル塩等の陰イオン系界面活性剤、アルキル
ベタイン等の両性界面活性剤およびこれらの任意の組合
せ等、一般に合成樹脂に練り込み、または塗布して帯電
防止剤として使用される界面活性剤であればどのような
ものでも使用できる。

【００３２】なお、図７に示したような、従来のウエハ
収納容器を射出成形により製造する場合には、成形品を
捩じりつつ脱型する工程が必要となる。これに対し、本
発明のウエハ収納容器は、部分ねじを用いているので、
上記のような工程を必要としないので、製造コストを低
減することができる。

【００３３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、容
器本体を覆う蓋体の周面形状が四角形をなすので、ウエ
ハ収納容器は従来同様に縦置きすることは勿論のこと、
横置きすることも自在である。これにより、多数のウエ
ハを収納する場合にはウエハ収納容器を横置きし、各ウ
エハを垂直姿勢に保持することもできる。したがって、
多数のウエハが水平姿勢で積み重ねられる場合に発生す
るウエハの破壊を未然に防止することができる。また、
運搬時にウエハ収納容器を専用箱等へ収納する際には、
縦置き、または横置きを任意に組み合わせることで隙間
なく収納することができ、収納スペースを有効に活用で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウエハ収納容器の一実施例の全体
構造を一部断面として示す分解斜視図である。

【図２】図１のウエハ収納容器を半断面として示す平面
図である。

【図３】図１のウエハ収納容器を半断面として示す側面
図である。

【図４】参考のためのウエハ収納容器の全体構造を一部
断面として示す分解斜視図である。

【図５】図１〜図４に示すウエハ収納容器の要部拡大断
面図である。

【図６】図５のＶ矢視図である。

【図７】従来のウエハ収納容器の全体構造を一部断面と
して示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１ ウエハ収納容器 ２ 容器本体 ２ａ 基底部 ２ｂ 円筒部 ２ｃ スリット ２ｄ 着脱用ローレット ２ｅ 外周壁 ２ｆ 突条体 ３ 蓋体 ３ａ 円筒部 ３ｂ 角筒部 ３ｃ 着脱用凸部 ３ｄ リング状突起 ３ｅ 小径部 ３ｆ 段部 ３ｇ 傾斜溝 ３ｈ 突条体導入口 ３ｉ 円弧状突起

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−228349（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−63138（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−188444（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−191339（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−169034（ＪＰ，Ｕ)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
   納可能な有底円筒状の導電性または帯電防止性容器本体
   と、この容器本体の円筒部外周を覆う筒部を有する導電
   性または帯電防止性蓋体とで構成された半導体ウエハ収
   納容器であって、 容器本体の底部を正方形状とし、 蓋体の筒部を正四角柱形状とし、 蓋体が、容器本体を、容器本体の底部を残して覆い、か
   つ 容器本体の底部下面と蓋体の上面とを嵌合可能に構成し
   てなることを特徴とする半導体ウエハ収納容器。
2. 【請求項２】 蓋体の四隅で、容器本体の円筒部と蓋体
   の筒部との間に空間が形成されてなることを特徴とする
   請求項１記載の半導体ウエハ収納容器。