JPH0650395Y2 - 基板用収納容器 - Google Patents
基板用収納容器Info
- Publication number
- JPH0650395Y2 JPH0650395Y2 JP6492490U JP6492490U JPH0650395Y2 JP H0650395 Y2 JPH0650395 Y2 JP H0650395Y2 JP 6492490 U JP6492490 U JP 6492490U JP 6492490 U JP6492490 U JP 6492490U JP H0650395 Y2 JPH0650395 Y2 JP H0650395Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- wall portion
- case
- container
- lower case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Mounting Of Printed Circuit Boards And The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体関連のマスク原板，フォトマスク板，
ウェーハ，ハードディスクその他のディスク状媒体など
の基板を損傷，汚染から防いで安全に輸送又は保管する
ために用いられる容器構造の改良、特にディスクなどの
基板端縁を担持する収納容器に関するものである。
ウェーハ，ハードディスクその他のディスク状媒体など
の基板を損傷，汚染から防いで安全に輸送又は保管する
ために用いられる容器構造の改良、特にディスクなどの
基板端縁を担持する収納容器に関するものである。
一般に半導体関連のマスク原板などの基板は、その取扱
いが極めてクリーンな状態で要求され、クリーンルーム
内での取扱いが普通で、このマスクを損傷，汚染から守
るために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に
配列保持収容することが知られている。
いが極めてクリーンな状態で要求され、クリーンルーム
内での取扱いが普通で、このマスクを損傷，汚染から守
るために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に
配列保持収容することが知られている。
従来、この輸送用容器内では、多数枚の各基板を互いに
接触しないように一定間隔をおいて個別に収容するの
に、外箱の中に入れた弾性片を持った基板収納内箱など
により弾性的に保持して、輸送中の振動による基板の破
損やガタつき摩擦接触によって生ずる微粉によって基板
が汚染されないようにして使用されることが多い。
接触しないように一定間隔をおいて個別に収容するの
に、外箱の中に入れた弾性片を持った基板収納内箱など
により弾性的に保持して、輸送中の振動による基板の破
損やガタつき摩擦接触によって生ずる微粉によって基板
が汚染されないようにして使用されることが多い。
ところが、従来の基板収納容器は、外箱及び内箱の成形
時にはそれぞれ別の金型で製作され、さらに外箱の蓋側
と本体側ともそれぞれ別の金型で製作されていて、組合
せて用いられているので部品点数も多く、取扱上煩雑と
なるなどの欠点があり、殊に容器の密閉保持が不完全で
あると取扱上煩雑となるなどの欠点があり、殊に汚染防
止の精度の低下を惹起するおそれがあって、不経済かつ
コスト割り高となるなど問題があった。
時にはそれぞれ別の金型で製作され、さらに外箱の蓋側
と本体側ともそれぞれ別の金型で製作されていて、組合
せて用いられているので部品点数も多く、取扱上煩雑と
なるなどの欠点があり、殊に容器の密閉保持が不完全で
あると取扱上煩雑となるなどの欠点があり、殊に汚染防
止の精度の低下を惹起するおそれがあって、不経済かつ
コスト割り高となるなど問題があった。
本考案では、これら従来の諸問題を解決しようとするも
ので、ディスクなどの基板の安定した担持が可能で、収
納基板のクリーン状態維持が著しく向上でき、しかも担
持させる取扱操作も簡便にできる基板用収納容器を構成
容易で安価に提供することを目的としたものである。
ので、ディスクなどの基板の安定した担持が可能で、収
納基板のクリーン状態維持が著しく向上でき、しかも担
持させる取扱操作も簡便にできる基板用収納容器を構成
容易で安価に提供することを目的としたものである。
本考案は、基板を収納しうるトレー状の下ケースと、該
下ケースに突き合せ係合する上ケースとからなり、この
上下ケースの内壁面に基板を間隔を置いて挟持するリブ
を多数対向配列突設した容器であって、前記上ケースと
下ケースとの突き合せ周端面の対向位置に凸壁部と、該
凸壁部を嵌合する凹溝とをそれぞれ備えると共に、上下
ケースの基板並列方向両側の接合端面に窓孔を形成する
筒状突出壁部を設け、この筒状突出壁部に着脱嵌合する
グリップ用キャップを備えたことを特徴とする基板用収
納容器である。
下ケースに突き合せ係合する上ケースとからなり、この
上下ケースの内壁面に基板を間隔を置いて挟持するリブ
を多数対向配列突設した容器であって、前記上ケースと
下ケースとの突き合せ周端面の対向位置に凸壁部と、該
凸壁部を嵌合する凹溝とをそれぞれ備えると共に、上下
ケースの基板並列方向両側の接合端面に窓孔を形成する
筒状突出壁部を設け、この筒状突出壁部に着脱嵌合する
グリップ用キャップを備えたことを特徴とする基板用収
納容器である。
本考案のマスク等用収納容器では、下ケース１の内部に
嵌装された多数の基板Ｍをリブ3,3間及び31，31間の収
納溝に沿って個別に挿入したのち、下ケース２をかぶせ
て面上下ケースにある凸壁部４を凹溝５にそれぞれ嵌合
すればフランジ９のある筒状突出壁部７で窓孔６が囲繞
形成され、基板Ｍの座りが良く担持され、緩衝性も良好
となって容器内での保持維持が適確で安定した状態で収
容でき、しかも窓孔６のある筒状突出壁部７にグリップ
用キャップ８を嵌装係止すると基板Ｍは収納溝の隙間を
おいてそれぞれ個別に固定支持されるため、輸送中にお
ける振動に充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に
高められ基板がリブから外れて他の部品と接触し微粉を
発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられるし、キ
ャップ８を筒状突出壁部７から外せば窓孔６があき、窓
孔６から孔あき基板に棒を挿通して基板Ｍをケースより
一ぺんに取り出し、洗浄したり基板の出し入れや閉蓋な
どの取扱も簡便安全にできて上下ケースの取扱い並びに
基板の収納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるも
のである。
嵌装された多数の基板Ｍをリブ3,3間及び31，31間の収
納溝に沿って個別に挿入したのち、下ケース２をかぶせ
て面上下ケースにある凸壁部４を凹溝５にそれぞれ嵌合
すればフランジ９のある筒状突出壁部７で窓孔６が囲繞
形成され、基板Ｍの座りが良く担持され、緩衝性も良好
となって容器内での保持維持が適確で安定した状態で収
容でき、しかも窓孔６のある筒状突出壁部７にグリップ
用キャップ８を嵌装係止すると基板Ｍは収納溝の隙間を
おいてそれぞれ個別に固定支持されるため、輸送中にお
ける振動に充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に
高められ基板がリブから外れて他の部品と接触し微粉を
発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられるし、キ
ャップ８を筒状突出壁部７から外せば窓孔６があき、窓
孔６から孔あき基板に棒を挿通して基板Ｍをケースより
一ぺんに取り出し、洗浄したり基板の出し入れや閉蓋な
どの取扱も簡便安全にできて上下ケースの取扱い並びに
基板の収納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるも
のである。
本考案の詳細を第１〜７図に示す実施例に基づいて説明
すると、基板Ｍを収納しうるトレー状の下ケース１と、
該下ケース１に突き合せ係合する上ケース２とからな
り、この上下ケース1,2の内壁面に基板Ｍを間隔を置い
て挟持するリブ3,31を多数対向配列突設した容器であっ
て、前記上ケース２と下ケース１との突き合わせ周端面
の対向位置に凸壁部４と、該凸壁部４を嵌合する凹溝５
とをそれぞれ備えると共に、上下ケース1,2の基板並列
方向両側の接合端面に窓孔６を形成する筒状突出壁部７
を設け、この筒状突出壁部７に着脱嵌合するグリップ用
キャップ８を備えて基板用収納容器としてある。
すると、基板Ｍを収納しうるトレー状の下ケース１と、
該下ケース１に突き合せ係合する上ケース２とからな
り、この上下ケース1,2の内壁面に基板Ｍを間隔を置い
て挟持するリブ3,31を多数対向配列突設した容器であっ
て、前記上ケース２と下ケース１との突き合わせ周端面
の対向位置に凸壁部４と、該凸壁部４を嵌合する凹溝５
とをそれぞれ備えると共に、上下ケース1,2の基板並列
方向両側の接合端面に窓孔６を形成する筒状突出壁部７
を設け、この筒状突出壁部７に着脱嵌合するグリップ用
キャップ８を備えて基板用収納容器としてある。
この場合、前記上ケース１と下ケース２との突き合せ周
面の両側中央部に窓孔６の分割面をそれぞれ形成し、こ
の両分割面間の一方側の壁上接合面に凸壁部４を、また
他方側の壁上接合面に凹溝５を形成した上ケース１と下
ケース２とを対称的に構成としてある。
面の両側中央部に窓孔６の分割面をそれぞれ形成し、こ
の両分割面間の一方側の壁上接合面に凸壁部４を、また
他方側の壁上接合面に凹溝５を形成した上ケース１と下
ケース２とを対称的に構成としてある。
また、前記筒状突出壁部７が、略々Ｕ字形縁部の組合せ
で形成されるものであって、外端縁部に前記グリップ用
キャップ８を係止するフランジ９または突片を突設して
備えたもので、上下ケース1,2のグリップ機能をキャッ
プ８で適確に持つようにしてあり、さらに基板Ｍを支え
るリブ31は基板Ｍの上面又は下面を載置する受面に斜
面、例えば内方に行くに従って広がるＶ形斜面となるよ
うに対向配置し、基板Ｍを弾性的に保持し、輸送中の振
動に備えているが、ケースと一体成形したり着脱自在の
別部材でケース内に装備してもよい。
で形成されるものであって、外端縁部に前記グリップ用
キャップ８を係止するフランジ９または突片を突設して
備えたもので、上下ケース1,2のグリップ機能をキャッ
プ８で適確に持つようにしてあり、さらに基板Ｍを支え
るリブ31は基板Ｍの上面又は下面を載置する受面に斜
面、例えば内方に行くに従って広がるＶ形斜面となるよ
うに対向配置し、基板Ｍを弾性的に保持し、輸送中の振
動に備えているが、ケースと一体成形したり着脱自在の
別部材でケース内に装備してもよい。
なお、前記凸壁部４は、連続した突片としてあるが断続
して突設してもよく、これらに嵌合する凹溝５を対応し
て設けておけばよいし、凹溝５に代えて凸壁部４の外側
又は内側に重合沿設される凸壁部で接合面の係止部とし
てもよい。この場合、上下ケースでの対応位置は対称的
に設けて同一金型で上下ケースが構成されるようにする
のがよい。さらに、筒状突出壁部７とグリップ用キャッ
プ８との係止関係のフランジと係止凹部とは相対的に選
んで設けられる。
して突設してもよく、これらに嵌合する凹溝５を対応し
て設けておけばよいし、凹溝５に代えて凸壁部４の外側
又は内側に重合沿設される凸壁部で接合面の係止部とし
てもよい。この場合、上下ケースでの対応位置は対称的
に設けて同一金型で上下ケースが構成されるようにする
のがよい。さらに、筒状突出壁部７とグリップ用キャッ
プ８との係止関係のフランジと係止凹部とは相対的に選
んで設けられる。
しかも前記下ケース１及び上ケース２からなるケースの
それぞれ対向する内側面は二つとも互いに櫛状にリブ３
を設けて基板収納溝を形成し、基板Ｍの大小異なる寸法
のものを選んで収納できるようにしてあり、かつ基板Ｍ
が常に溝中央にセットされるように斜面のある基板係止
用突壁3,3が突設されていて、基板Ｍが片寄って担持さ
れることがないようにすることが配慮されている。
それぞれ対向する内側面は二つとも互いに櫛状にリブ３
を設けて基板収納溝を形成し、基板Ｍの大小異なる寸法
のものを選んで収納できるようにしてあり、かつ基板Ｍ
が常に溝中央にセットされるように斜面のある基板係止
用突壁3,3が突設されていて、基板Ｍが片寄って担持さ
れることがないようにすることが配慮されている。
図中、10は脚部で上ケース１と下ケース２の外面の対称
位置に間隔をあけて突設してあり、周囲に部分的に設け
て積み重ねの際のずれ防止に嵌合しやすくしてあるが、
全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにしてもよ
い。81は把手、10は外容器用脚部である。
位置に間隔をあけて突設してあり、周囲に部分的に設け
て積み重ねの際のずれ防止に嵌合しやすくしてあるが、
全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにしてもよ
い。81は把手、10は外容器用脚部である。
なお、前記ケースとしては、勾配例えば５〜10度の勾配
をつけた周壁とトレー状受壁とで凾形に形成してもよ
く、ケース内に装着される弾性部材の押え片（図示せ
ず）又はクッション部材についても可撓板状のものや、
異型板状のものなど各種の形状のものが形状のものが用
いられ、またこれらによる基板Ｍの上縁，下縁の支持手
段についても各基板Ｍを個別に係止するようにしたもの
でも、全体を一様に押圧支持するようにしたものでも任
意に採用することができる。
をつけた周壁とトレー状受壁とで凾形に形成してもよ
く、ケース内に装着される弾性部材の押え片（図示せ
ず）又はクッション部材についても可撓板状のものや、
異型板状のものなど各種の形状のものが形状のものが用
いられ、またこれらによる基板Ｍの上縁，下縁の支持手
段についても各基板Ｍを個別に係止するようにしたもの
でも、全体を一様に押圧支持するようにしたものでも任
意に採用することができる。
また、この容器は内外圧の変化に対応できるように突き
合せに全周にわたってフランジまたは肉厚リング部さら
には適所にリブを備えた強靱な構造体とし、その製作に
は同一金型で上下ケースを兼用させ、金型代の節約を
し、必要に応じ内容物が透視可能なポリエチレン，ポリ
プロピレン，アクリル樹脂などのプラスチックからなる
剛性の高い剛性樹脂材質のもので構成されるし、異色樹
脂で区別する構成とすることもできる。
合せに全周にわたってフランジまたは肉厚リング部さら
には適所にリブを備えた強靱な構造体とし、その製作に
は同一金型で上下ケースを兼用させ、金型代の節約を
し、必要に応じ内容物が透視可能なポリエチレン，ポリ
プロピレン，アクリル樹脂などのプラスチックからなる
剛性の高い剛性樹脂材質のもので構成されるし、異色樹
脂で区別する構成とすることもできる。
第８〜12図の具体例では、ケース内面に補強を兼ねたリ
ブ3,31を直交状態に突設してあり、基板Ｍの弾性的な保
持を容易にし、さらに外面に突設した脚部10を積み重ね
の際のずれ防止位置に配備したものである。この場合
も、上ケース１と下ケース２とは同一形態のもので上下
ケースを突き合せることで基板収納容器を構成するタイ
プとなっている。
ブ3,31を直交状態に突設してあり、基板Ｍの弾性的な保
持を容易にし、さらに外面に突設した脚部10を積み重ね
の際のずれ防止位置に配備したものである。この場合
も、上ケース１と下ケース２とは同一形態のもので上下
ケースを突き合せることで基板収納容器を構成するタイ
プとなっている。
本考案は、上ケースと下ケースとの突き合せ周端面の対
向位置に凸壁部と、該凸壁部を嵌合する凹溝とをそれぞ
れ備えると共に、上下ケースの基板並列方向両側の接合
端面に窓孔を形成する筒状突出壁部を設け、この筒状突
出壁部に着脱嵌合するグリップ用キャップを備えたこと
により、容器構成が迅速かつ容易で単純作業での多量処
理を安全に行うことが可能となり、基板は常にケース内
の中心にセットされて接触されるのは端縁の一部のみで
担持ができ、挿入時および挿入後の輸送中または保管中
において、基板が容器内の収納溝から外れたりすること
なく、かつガタつかないでグリップされ振動に耐え他の
部品との接触による微粉発生や損傷を受ける恐れがな
く、しかも上下ケースは同形金型で製作でき、金型代の
節約が可能で基板包装作業の簡素化，大きな衝撃に対し
ても安全で基板の損傷を防ぎ、容器との接触によって生
ずる微粉発生も少なく容器密閉維持も適確で汚染も可及
的に減少でき、基板の容器内における安定した担持が可
能で、精度を著しく向上でき、担持させる取扱操作も簡
便であるなどの実用上の効果がある。
向位置に凸壁部と、該凸壁部を嵌合する凹溝とをそれぞ
れ備えると共に、上下ケースの基板並列方向両側の接合
端面に窓孔を形成する筒状突出壁部を設け、この筒状突
出壁部に着脱嵌合するグリップ用キャップを備えたこと
により、容器構成が迅速かつ容易で単純作業での多量処
理を安全に行うことが可能となり、基板は常にケース内
の中心にセットされて接触されるのは端縁の一部のみで
担持ができ、挿入時および挿入後の輸送中または保管中
において、基板が容器内の収納溝から外れたりすること
なく、かつガタつかないでグリップされ振動に耐え他の
部品との接触による微粉発生や損傷を受ける恐れがな
く、しかも上下ケースは同形金型で製作でき、金型代の
節約が可能で基板包装作業の簡素化，大きな衝撃に対し
ても安全で基板の損傷を防ぎ、容器との接触によって生
ずる微粉発生も少なく容器密閉維持も適確で汚染も可及
的に減少でき、基板の容器内における安定した担持が可
能で、精度を著しく向上でき、担持させる取扱操作も簡
便であるなどの実用上の効果がある。
図面は本考案の実施例に係わり、第１図は平面図、第２
図は一部切断側面図、第３図は第２図Ｉ−Ｉ線の縦断面
図、第４図は一部切欠正面図、第５図はグリップの正面
図、第６図はその背面図、第７図は第６図II-II線にお
ける縦断面図、第８図は他の実施例の平面図、第９図は
一部切断側面図、第10図は正面図、第11図は第８図III-
III線における縦断面図、第12図はその底面図である。 Ｍ……基板、１……下ケース、２……上ケース、3,31…
…リブ、４……凸壁部、５……凹溝、６……窓孔、７…
…筒状突出壁部、８……キャップ、９……フランジ、10
……脚部。
図は一部切断側面図、第３図は第２図Ｉ−Ｉ線の縦断面
図、第４図は一部切欠正面図、第５図はグリップの正面
図、第６図はその背面図、第７図は第６図II-II線にお
ける縦断面図、第８図は他の実施例の平面図、第９図は
一部切断側面図、第10図は正面図、第11図は第８図III-
III線における縦断面図、第12図はその底面図である。 Ｍ……基板、１……下ケース、２……上ケース、3,31…
…リブ、４……凸壁部、５……凹溝、６……窓孔、７…
…筒状突出壁部、８……キャップ、９……フランジ、10
……脚部。
Claims (3)
- 【請求項１】基板を収納しうるトレー状の下ケースと、
該下ケースに突き合せ係合する上ケースとからなり、こ
の上下ケースの内壁面に基板を間隔を置いて挟持するリ
ブを多数対向配列突設した容器であって、前記上ケース
と下ケースとの突き合せ周端面の対向位置に凸壁部と、
該凸壁部を嵌合する凹溝とをそれぞれ備えると共に、上
下ケースの基板並列方向両側の接合端面に窓孔を形成す
る筒状突出壁部を設け、この筒状突出壁部に着脱嵌合す
るグリップ用キャップを備えたことを特徴とする基板用
収納容器。 - 【請求項２】前記上ケースと下ケースとの突き合せ周面
の両側中央部に窓孔の分割面をそれぞれ形成し、両分割
面間の一方側の壁上接合面に凸壁部を、また他方側の壁
上接合面に凹溝を形成した請求項１記載の容器。 - 【請求項３】前記筒状突出壁部が、略々Ｕ字形縁部の組
合せで形成されるものであって、外端縁部に前記グリッ
プ用キャップを係止するフランジを突設し、該フランジ
を嵌装する凹部をグリップ用キャップに備えたものであ
る請求項１または２記載の容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6492490U JPH0650395Y2 (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 基板用収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6492490U JPH0650395Y2 (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 基板用収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0423693U JPH0423693U (ja) | 1992-02-26 |
| JPH0650395Y2 true JPH0650395Y2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=31596292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6492490U Expired - Lifetime JPH0650395Y2 (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 | 基板用収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650395Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006193187A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 板状物収納容器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003012079A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | High Mold:Kk | 記憶ディスク収納ケース |
-
1990
- 1990-06-21 JP JP6492490U patent/JPH0650395Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006193187A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 板状物収納容器 |
| JP4485963B2 (ja) * | 2005-01-14 | 2010-06-23 | 信越ポリマー株式会社 | 板状物収納容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0423693U (ja) | 1992-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |