JP2506317Y2 - マスク収納容器 - Google Patents
マスク収納容器Info
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- JP2506317Y2 JP2506317Y2 JP14362889U JP14362889U JP2506317Y2 JP 2506317 Y2 JP2506317 Y2 JP 2506317Y2 JP 14362889 U JP14362889 U JP 14362889U JP 14362889 U JP14362889 U JP 14362889U JP 2506317 Y2 JP2506317 Y2 JP 2506317Y2
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- Japan
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- mask
- container
- arrangement direction
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、容器内に収容した半導体関連のマスク原
板，フォトマスク板などの基板を損傷，汚染から防いで
安全に輸送又は保管するためにマスク容器に用いられる
マスク支持構造の改良、特にマスク端縁を担持するマス
ク収納容器に関するものである。
板，フォトマスク板などの基板を損傷，汚染から防いで
安全に輸送又は保管するためにマスク容器に用いられる
マスク支持構造の改良、特にマスク端縁を担持するマス
ク収納容器に関するものである。
一般に、半導体関連のフォトマスク原板などの基板
は、その取扱いが極めてクリーンな状態で要求され、ク
リーンルーム内での取扱いが普通で、このマスクを損
傷，汚染から守るために取扱上、運搬用の密閉容器内に
多数枚を安全に配列保持収容することが知られている。
は、その取扱いが極めてクリーンな状態で要求され、ク
リーンルーム内での取扱いが普通で、このマスクを損
傷，汚染から守るために取扱上、運搬用の密閉容器内に
多数枚を安全に配列保持収容することが知られている。
従来、この輸送用容器内では、多数枚の各マスクを互
いに接触しないように、一定間隔をおいて個別に収容す
るのに弾性片を持ったマスク収納容器などにより弾性的
に保持して、輸送中の振動によるマスクの破損やガタつ
き摩擦接触によって生ずる微粉によってマスクが汚染さ
れるのを防止していて使用されることが多いが、搬送中
に原板破損や損傷がないように適確に容器内で衝撃を吸
収して緩衝的に保持することが重要になって来ている。
いに接触しないように、一定間隔をおいて個別に収容す
るのに弾性片を持ったマスク収納容器などにより弾性的
に保持して、輸送中の振動によるマスクの破損やガタつ
き摩擦接触によって生ずる微粉によってマスクが汚染さ
れるのを防止していて使用されることが多いが、搬送中
に原板破損や損傷がないように適確に容器内で衝撃を吸
収して緩衝的に保持することが重要になって来ている。
ところが、従来の弾性部材のマスク収納容器は、通常
マスクへの汚染破損防止からプラスチック製内箱を入れ
たり、トレイをクッション材として介在配備しても、こ
れら保持部材とのクッション作用が充分でなくガタつき
によってフォトマスク面を汚したり、レジスト膜の破損
を来すおそれがあるし、輸送中の振動によってマスクと
絶えず滑りながら接触し微粉を生ずるため、或いは蓋体
開閉時の取扱いによる摩擦接触で微粉発生となるためマ
スクの汚染防止という点では完全なものではなく、しか
もマスクを個別に支持するものであるため、それぞれは
隣接する弾性片と所定の間隙を保って独立していること
が必要で、取扱上煩雑となるなどの問題があった。
マスクへの汚染破損防止からプラスチック製内箱を入れ
たり、トレイをクッション材として介在配備しても、こ
れら保持部材とのクッション作用が充分でなくガタつき
によってフォトマスク面を汚したり、レジスト膜の破損
を来すおそれがあるし、輸送中の振動によってマスクと
絶えず滑りながら接触し微粉を生ずるため、或いは蓋体
開閉時の取扱いによる摩擦接触で微粉発生となるためマ
スクの汚染防止という点では完全なものではなく、しか
もマスクを個別に支持するものであるため、それぞれは
隣接する弾性片と所定の間隙を保って独立していること
が必要で、取扱上煩雑となるなどの問題があった。
本考案では、これら従来の諸問題を解決しようとする
もので、マスクの安定した担持が可能で、マスクの容器
内での衝撃吸収保持が著しく向上でき、しかも担持させ
る取扱操作も簡便にできるマスク収納容器を構成容易で
安価に提供することを目的としたものである。
もので、マスクの安定した担持が可能で、マスクの容器
内での衝撃吸収保持が著しく向上でき、しかも担持させ
る取扱操作も簡便にできるマスク収納容器を構成容易で
安価に提供することを目的としたものである。
本考案は、マスクＭの多数枚を収容する容器Ａに蓋体
Ｂが開閉自在に嵌装され、該容器Ａの対向する面内側面
に各マスクＭをそれぞれ一定間隔において配列担持しう
る弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リブ1,1間にマ
スク収納溝２を形成したマスク収納容器であって、前記
蓋体Ｂにマスクの配列方向に沿って延在する凹溝軌条状
の係止部３を天壁内面に間隔をおいて一対配備し、この
係止部３にマスクの配列方向に沿って延在するリブ状の
係止片４の上端部を嵌挿、嵌脱し、リブ状の係止片４の
下端部はマスクの配列方向に沿って延在する平板状のマ
スク押え片５が設けられ、該マスク押え片５におけるマ
スク配列方向に沿った一端縁部には、各マスクの上端部
に当接する爪部６が多数垂直下方向に立設され、そして
前記マスク押え片５におけるマスク配列方向に沿った他
端縁部には、各マスク側面に当接する当接部７が垂直下
方向に立設され、さらに、該当接部７の先端には蓋体側
面内壁に当接する当接部８が水平方向に立設されている
ものである。
Ｂが開閉自在に嵌装され、該容器Ａの対向する面内側面
に各マスクＭをそれぞれ一定間隔において配列担持しう
る弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リブ1,1間にマ
スク収納溝２を形成したマスク収納容器であって、前記
蓋体Ｂにマスクの配列方向に沿って延在する凹溝軌条状
の係止部３を天壁内面に間隔をおいて一対配備し、この
係止部３にマスクの配列方向に沿って延在するリブ状の
係止片４の上端部を嵌挿、嵌脱し、リブ状の係止片４の
下端部はマスクの配列方向に沿って延在する平板状のマ
スク押え片５が設けられ、該マスク押え片５におけるマ
スク配列方向に沿った一端縁部には、各マスクの上端部
に当接する爪部６が多数垂直下方向に立設され、そして
前記マスク押え片５におけるマスク配列方向に沿った他
端縁部には、各マスク側面に当接する当接部７が垂直下
方向に立設され、さらに、該当接部７の先端には蓋体側
面内壁に当接する当接部８が水平方向に立設されている
ものである。
本考案のマスク収納容器では、蓋体Ｂをあけてマスク
Ｍを容器Ａの弾性リブ1,1間の収納溝２に沿って個別に
挿入し、そのマスク下面を載置する内底面にある曲面軌
条部９上に乗せたのち、蓋体Ｂを覆せると、蓋体Ｂの内
面にマスクの配列方向に沿ってあるマスク押え片５の爪
部６が、それぞれマスク上端面に嵌まり込んで押え、か
つ係止片４を支点として当接部7,8が移動してマスク側
面と蓋体側面内壁とに押圧されて、各マスクＭを上下及
び両側から弾性的に浮遊状態で担持し、緩衝性も良好と
なって容器内での間隙をおいての保持維持が適確で安定
した状態でマスクを収容でき、しかもマスクは収納溝の
隙間をおいてそれぞれ個別に支持されるため、輸送中に
おける振動に充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅
に高められ、マスクが底部から外れて他の部品と接触し
微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられる
し、マスクの出し入れや閉蓋などの取扱も簡便安全で収
納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるものであ
る。
Ｍを容器Ａの弾性リブ1,1間の収納溝２に沿って個別に
挿入し、そのマスク下面を載置する内底面にある曲面軌
条部９上に乗せたのち、蓋体Ｂを覆せると、蓋体Ｂの内
面にマスクの配列方向に沿ってあるマスク押え片５の爪
部６が、それぞれマスク上端面に嵌まり込んで押え、か
つ係止片４を支点として当接部7,8が移動してマスク側
面と蓋体側面内壁とに押圧されて、各マスクＭを上下及
び両側から弾性的に浮遊状態で担持し、緩衝性も良好と
なって容器内での間隙をおいての保持維持が適確で安定
した状態でマスクを収容でき、しかもマスクは収納溝の
隙間をおいてそれぞれ個別に支持されるため、輸送中に
おける振動に充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅
に高められ、マスクが底部から外れて他の部品と接触し
微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられる
し、マスクの出し入れや閉蓋などの取扱も簡便安全で収
納，保管，運搬の各作業に良好に用いられるものであ
る。
本考案の詳細を第１〜６図に示す実施例に基づいて説
明すると、マスクＭの多数枚を収容する容器Ａに蓋体Ｂ
が開閉自在に嵌装し、該容器Ａの対向する両内側面に各
マスクＭをそれぞれ一定間隔において配列担持しうる弾
性リブ１を複数並列突設して各弾性リブ1,1間にマスク
収納溝２を形成し、前記蓋体Ｂにマスクの配列方向に沿
って延在する凹溝軌条状の係止部３を天壁内面に間隔を
おいて一対配備し、この係止部３にマスクの配列方向に
沿って延在するリブ状の係止片４の上端部を嵌挿、嵌脱
し、リブ状の係止片４の下端部はマスクの配列方向に沿
って延在する平板状のマスク押え片５が設けられ、該マ
スク押え片５におけるマスク配列方向に沿った一端縁部
には、各マスクの上端部に当接する爪部６が多数垂直下
方向に立設され、そして前記マスク押え片５におけるマ
スク配列方向に沿った他端縁部には、各マスク側面に当
接する当接部７が垂直下方向に立設され、さらに、該当
接部７の先端には蓋体側面内壁に当接する当接部８が水
平方向に立設されているマスク収納容器としてある。
明すると、マスクＭの多数枚を収容する容器Ａに蓋体Ｂ
が開閉自在に嵌装し、該容器Ａの対向する両内側面に各
マスクＭをそれぞれ一定間隔において配列担持しうる弾
性リブ１を複数並列突設して各弾性リブ1,1間にマスク
収納溝２を形成し、前記蓋体Ｂにマスクの配列方向に沿
って延在する凹溝軌条状の係止部３を天壁内面に間隔を
おいて一対配備し、この係止部３にマスクの配列方向に
沿って延在するリブ状の係止片４の上端部を嵌挿、嵌脱
し、リブ状の係止片４の下端部はマスクの配列方向に沿
って延在する平板状のマスク押え片５が設けられ、該マ
スク押え片５におけるマスク配列方向に沿った一端縁部
には、各マスクの上端部に当接する爪部６が多数垂直下
方向に立設され、そして前記マスク押え片５におけるマ
スク配列方向に沿った他端縁部には、各マスク側面に当
接する当接部７が垂直下方向に立設され、さらに、該当
接部７の先端には蓋体側面内壁に当接する当接部８が水
平方向に立設されているマスク収納容器としてある。
この場合、前記弾性リブ１のある容器Ａは、合成樹脂
材料で一体成形されたものであって、それぞれ対向する
内側面は、二つとも互いに櫛状にリブ１を設けてマスク
収納溝２を形成し、マスクＭの大小異なる寸法のものを
選んで収納できるようにしてあり、かつ前記容器Ａは、
周囲に隙間10をあけて外周壁11をリブ12で連設して内外
周壁で二重壁として、外力に対する衝撃を吸収できるよ
うにし、その内底面はマスクＭを載置する軌条部９が内
方に突出する曲面状に並設してあるが、中央に単数突設
してこれらの当接点で、マスクＭを空間に保持できるよ
うにすることもできる。また、上方外周縁には係止用段
部13を形成し、この段部13に蓋体Ｂを嵌装できるように
し、かつ蓋体Ｂに一対突設した係支舌片14を係止できる
係支凹部15を一対設け、指掛け凹部として活用して取扱
いやすい形態としてある。
材料で一体成形されたものであって、それぞれ対向する
内側面は、二つとも互いに櫛状にリブ１を設けてマスク
収納溝２を形成し、マスクＭの大小異なる寸法のものを
選んで収納できるようにしてあり、かつ前記容器Ａは、
周囲に隙間10をあけて外周壁11をリブ12で連設して内外
周壁で二重壁として、外力に対する衝撃を吸収できるよ
うにし、その内底面はマスクＭを載置する軌条部９が内
方に突出する曲面状に並設してあるが、中央に単数突設
してこれらの当接点で、マスクＭを空間に保持できるよ
うにすることもできる。また、上方外周縁には係止用段
部13を形成し、この段部13に蓋体Ｂを嵌装できるように
し、かつ蓋体Ｂに一対突設した係支舌片14を係止できる
係支凹部15を一対設け、指掛け凹部として活用して取扱
いやすい形態としてある。
さらに、蓋体Ｂに備えられるマスク押え片５は合成樹
脂系の弾性素材で構成され、第５〜６図に示すように、
マスクの配列方向に沿って延在する平板状のマスク押え
片５の片面にリブ状の係止片４を立設し、一端に各マス
クの上端部に当接する爪部６を折曲配備し、他端に直角
に折曲げ前記爪部６と平行な当接部７でマスク側面を押
えるようにし、さらに当接部７の先端に直角に折曲げた
当接部８を水平方向に立設して蓋体側面内壁に当たる構
成とし、前記爪部６は、櫛状に所定間隔をおいてスリッ
トを形成してマスク上縁を嵌装できる弧状、または二又
状乃至Ｖ字状の爪部６として備えてある。そして蓋体Ｂ
の天壁内面に対向して突設され、マスクＭの配列方向に
沿って延在した凹溝軌条状の係止部３にリブ状の係止片
４の上端部を着脱自在に嵌挿してマスク押え片５が、蓋
体内面に取付けられて用いられるようになっていて、第
４図（ａ）のように蓋体Ｂを容器Ａにかぶせるときは、
当接部８が蓋体Ｂの内側面に当接して保持されている
が、蓋体Ｂを下方に押し込まれて嵌着すると、第４図
（ｂ）の如く、爪部６がマスクＭの上端部に当接し、さ
らに当接部７がマスクＭの側端部に当って蓋体Ｂの内側
面から離れて浮いた状態で保持され振動に対して安全な
収納が維持される。
脂系の弾性素材で構成され、第５〜６図に示すように、
マスクの配列方向に沿って延在する平板状のマスク押え
片５の片面にリブ状の係止片４を立設し、一端に各マス
クの上端部に当接する爪部６を折曲配備し、他端に直角
に折曲げ前記爪部６と平行な当接部７でマスク側面を押
えるようにし、さらに当接部７の先端に直角に折曲げた
当接部８を水平方向に立設して蓋体側面内壁に当たる構
成とし、前記爪部６は、櫛状に所定間隔をおいてスリッ
トを形成してマスク上縁を嵌装できる弧状、または二又
状乃至Ｖ字状の爪部６として備えてある。そして蓋体Ｂ
の天壁内面に対向して突設され、マスクＭの配列方向に
沿って延在した凹溝軌条状の係止部３にリブ状の係止片
４の上端部を着脱自在に嵌挿してマスク押え片５が、蓋
体内面に取付けられて用いられるようになっていて、第
４図（ａ）のように蓋体Ｂを容器Ａにかぶせるときは、
当接部８が蓋体Ｂの内側面に当接して保持されている
が、蓋体Ｂを下方に押し込まれて嵌着すると、第４図
（ｂ）の如く、爪部６がマスクＭの上端部に当接し、さ
らに当接部７がマスクＭの側端部に当って蓋体Ｂの内側
面から離れて浮いた状態で保持され振動に対して安全な
収納が維持される。
また、この容器Ａ及び蓋体Ｂは、内外圧の変化に対応
できるように、適所に補強リブを備えた強靱な構造体と
し、その製作には内容物が透視可能なポリエチレン，ポ
リプロピレン，アクリル樹脂,ABS樹脂などのプラスチッ
クからなる剛性の高い合成樹脂材質を用いるのが好まし
い。
できるように、適所に補強リブを備えた強靱な構造体と
し、その製作には内容物が透視可能なポリエチレン，ポ
リプロピレン，アクリル樹脂,ABS樹脂などのプラスチッ
クからなる剛性の高い合成樹脂材質を用いるのが好まし
い。
本考案は、蓋体にマスクの配列方向に沿って延在する
凹溝軌条上の係止部を天壁内面に間隔をおいて一対配備
し、この係止部にマスクの配列方向に沿って延在するリ
ブ上の係止片の上端部を嵌挿、嵌脱し、リブ上の係止片
の下端部はマスクの配列方向に沿って延在する平板状の
マスク押え片が設けられ、該マスク押え片におけるマス
ク配列方向に沿った一端縁部には、各マスクの上端部に
当接する爪部が多数垂直下方向に立設され、そして前記
マスク押え片５におけるマスク配列方向に沿った他端縁
部には、各マスク側面に当接する当接部７が垂直下方向
に立設され、さらに、該当接部７の先端には蓋体側面内
壁に当接する当接部８が水平方向に立設されていること
により、マスクの容器へ挿入が迅速かつ容易で、単純作
業での多量処理を安全に行うことが可能となり、マスク
上端縁部は常に押え片の爪部により収納溝の中心にセッ
トされて接触されるのは、一部のみで担持ができ、挿入
時および挿入後の輸送中または保管中において、マスク
が容器内の収納溝から外れたりすることなく、かつガタ
つかないで振動に耐え、他の部品との接触による微粉発
生や損傷を受ける恐れがなく、しかもマスク押え片が所
定の間隙を保持して独立的に機能するため、マスクの輸
送中または取扱い中における振動への対応性に優れ、即
ち各マスクの寸法誤差をも吸収しうるし、弾性支持が柔
軟で大きな衝撃に対しても安全でマスクの損傷を防ぎ、
容器との接触によって生ずる微粉発生も少なく、マスク
の汚染も可及的に減少でき、マスクの振れ止めで容器内
における安定した担持が可能で、マスクの精度を著しく
向上でき、担持させる取扱操作も簡便での実用上の効果
がある。
凹溝軌条上の係止部を天壁内面に間隔をおいて一対配備
し、この係止部にマスクの配列方向に沿って延在するリ
ブ上の係止片の上端部を嵌挿、嵌脱し、リブ上の係止片
の下端部はマスクの配列方向に沿って延在する平板状の
マスク押え片が設けられ、該マスク押え片におけるマス
ク配列方向に沿った一端縁部には、各マスクの上端部に
当接する爪部が多数垂直下方向に立設され、そして前記
マスク押え片５におけるマスク配列方向に沿った他端縁
部には、各マスク側面に当接する当接部７が垂直下方向
に立設され、さらに、該当接部７の先端には蓋体側面内
壁に当接する当接部８が水平方向に立設されていること
により、マスクの容器へ挿入が迅速かつ容易で、単純作
業での多量処理を安全に行うことが可能となり、マスク
上端縁部は常に押え片の爪部により収納溝の中心にセッ
トされて接触されるのは、一部のみで担持ができ、挿入
時および挿入後の輸送中または保管中において、マスク
が容器内の収納溝から外れたりすることなく、かつガタ
つかないで振動に耐え、他の部品との接触による微粉発
生や損傷を受ける恐れがなく、しかもマスク押え片が所
定の間隙を保持して独立的に機能するため、マスクの輸
送中または取扱い中における振動への対応性に優れ、即
ち各マスクの寸法誤差をも吸収しうるし、弾性支持が柔
軟で大きな衝撃に対しても安全でマスクの損傷を防ぎ、
容器との接触によって生ずる微粉発生も少なく、マスク
の汚染も可及的に減少でき、マスクの振れ止めで容器内
における安定した担持が可能で、マスクの精度を著しく
向上でき、担持させる取扱操作も簡便での実用上の効果
がある。
第１図は分離状態の斜視図、第２図（ａ），（ｂ）は展
開分離状態の平面図、第３図は使用状態の縦断面図、第
４図a,bは押え片の作用状態の拡大縦断面図、第５図は
押え片の分離斜視図、第６図はその正面図である。 Ａ……容器、Ｂ……蓋体、Ｍ……マスク、１……弾性リ
ブ、２……マスク収納溝、３……係止部、４……係止
片、５……マスク押え片、６……爪部、7,8……当接
部。
開分離状態の平面図、第３図は使用状態の縦断面図、第
４図a,bは押え片の作用状態の拡大縦断面図、第５図は
押え片の分離斜視図、第６図はその正面図である。 Ａ……容器、Ｂ……蓋体、Ｍ……マスク、１……弾性リ
ブ、２……マスク収納溝、３……係止部、４……係止
片、５……マスク押え片、６……爪部、7,8……当接
部。
Claims (1)
- 【請求項１】マスクＭの多数枚を収容する容器Ａに蓋体
Ｂが開閉自在に嵌装され、該容器Ａの対向する両内側面
に各マスクＭをそれぞれ一定間隔において配列担持しう
る弾性リブ１を複数並列突設して各弾性リブ1,1間にマ
スク収納溝２を形成したマスク収納容器であって、前記
蓋体Ｂにマスクの配列方向に沿って延在する凹溝軌条状
の係止部３を天壁内面に間隔をおいて一対配備し、この
係止部３にマスクの配列方向に沿って延在するリブ状の
係止片４の上端部を嵌挿、嵌脱し、リブ状の係止片４の
下端部はマスクの配列方向に沿って延在する平板状のマ
スク押え片５が設けられ、該マスク押え片５におけるマ
スク配列方向に沿った一端縁部には、各マスクの上端部
に当接する爪部６が多数垂直下方向に立設され、そして
前記マスク押え片５におけるマスク配列方向に沿った他
端縁部には、各マスク側面に当接する当接部７が垂直下
方向に立設され、さらに、該当接部７の先端には蓋体側
面内壁に当接する当接部８が水平方向に立設されている
ことを特徴とするマスク収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14362889U JP2506317Y2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | マスク収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14362889U JP2506317Y2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | マスク収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383946U JPH0383946U (ja) | 1991-08-26 |
| JP2506317Y2 true JP2506317Y2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=31690391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14362889U Expired - Lifetime JP2506317Y2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | マスク収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506317Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5393298B2 (ja) * | 2009-07-06 | 2014-01-22 | 大日商事株式会社 | マスクケース |
-
1989
- 1989-12-14 JP JP14362889U patent/JP2506317Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0383946U (ja) | 1991-08-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |