JP2532084Y2 - マスク収納容器 - Google Patents
マスク収納容器Info
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- JP2532084Y2 JP2532084Y2 JP14275589U JP14275589U JP2532084Y2 JP 2532084 Y2 JP2532084 Y2 JP 2532084Y2 JP 14275589 U JP14275589 U JP 14275589U JP 14275589 U JP14275589 U JP 14275589U JP 2532084 Y2 JP2532084 Y2 JP 2532084Y2
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- Japan
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- elastic
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、容器内に収容した半導体関連のマスク原
板，フォトマスク板などの基板を損傷，汚染から防いで
安全に輸送又は保管するためにマスク容器に用いられる
マスク支持構造の改良、特にマスク端縁を担持するマス
ク収納内箱に関するものである。
板，フォトマスク板などの基板を損傷，汚染から防いで
安全に輸送又は保管するためにマスク容器に用いられる
マスク支持構造の改良、特にマスク端縁を担持するマス
ク収納内箱に関するものである。
一般に、半導体関連のマスク原板などの基板は、その
取扱いが極めてクリーンな状態で要求され、クリーンル
ーム内での取扱いが普通で、マスクの損傷，汚染から守
るために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に
配列保持収容することが知られている。
取扱いが極めてクリーンな状態で要求され、クリーンル
ーム内での取扱いが普通で、マスクの損傷，汚染から守
るために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全に
配列保持収容することが知られている。
従来、この輸送用容器内では、多数枚の各マスクを互
いに接触しないように一定間隔をおいて個別に収容する
のに弾性部材の合成樹脂製マスク収納内箱などにより弾
性的に担持して、輸送中の振動によるマスクの破損やガ
タつき摩擦接触によって生ずる微粉によってマスクが汚
染されるのを防止していて、収納内箱も使用前に特別な
洗浄をして使用されることが多い。
いに接触しないように一定間隔をおいて個別に収容する
のに弾性部材の合成樹脂製マスク収納内箱などにより弾
性的に担持して、輸送中の振動によるマスクの破損やガ
タつき摩擦接触によって生ずる微粉によってマスクが汚
染されるのを防止していて、収納内箱も使用前に特別な
洗浄をして使用されることが多い。
ところが、従来の弾性部材のマスク収納内箱は、多数
枚のマスク収納とマスク洗浄のほかに支持用の内箱の洗
浄をも考慮して多数の収納溝をリブで箱内側に設け、該
溝に水切りを良くするために貫通孔を設けて内箱側面を
格子状窓としてあるので、格子状窓からはみ出したマス
クの端面は容器の収納溝の裾エッジと接触してマスクや
フォトマスク面を汚したり、フォトマスクではレジスト
膜の破損を来すおそれがあるし、輸送中の振動によって
マスクと絶えず滑りながら接触し微粉を生ずるため、或
いは蓋体開閉時の取扱いによる摩擦接触で微粉発生とな
るため、マスクの汚染防止という点では完全なものでは
なく、しかもマスクを個別に担持するものであるため、
それぞれは隣接する弾性片と所定の間隙を保って独立し
ていることが必要で、これが狭すぎると成形時の金型の
強度が維持しにくくなり、また広すぎると容器内側にあ
る各リブの位置に対する寸法上の僅かな誤差や、収容す
るマスクの厚さムラ等により、マスクの下縁がこの間隙
にはまり込んでしまい、安全な支持ができず、取扱上煩
雑となるなどの欠点があり、殊に汚染防止の精度の低下
を惹起するおそれがあって、不経済かつコスト割り高と
なるなど問題があった。
枚のマスク収納とマスク洗浄のほかに支持用の内箱の洗
浄をも考慮して多数の収納溝をリブで箱内側に設け、該
溝に水切りを良くするために貫通孔を設けて内箱側面を
格子状窓としてあるので、格子状窓からはみ出したマス
クの端面は容器の収納溝の裾エッジと接触してマスクや
フォトマスク面を汚したり、フォトマスクではレジスト
膜の破損を来すおそれがあるし、輸送中の振動によって
マスクと絶えず滑りながら接触し微粉を生ずるため、或
いは蓋体開閉時の取扱いによる摩擦接触で微粉発生とな
るため、マスクの汚染防止という点では完全なものでは
なく、しかもマスクを個別に担持するものであるため、
それぞれは隣接する弾性片と所定の間隙を保って独立し
ていることが必要で、これが狭すぎると成形時の金型の
強度が維持しにくくなり、また広すぎると容器内側にあ
る各リブの位置に対する寸法上の僅かな誤差や、収容す
るマスクの厚さムラ等により、マスクの下縁がこの間隙
にはまり込んでしまい、安全な支持ができず、取扱上煩
雑となるなどの欠点があり、殊に汚染防止の精度の低下
を惹起するおそれがあって、不経済かつコスト割り高と
なるなど問題があった。
本考案では、これら従来の諸問題を解決しようとする
もので、マスクの安定した担持が可能で、マスクのクリ
ーン状態維持が著しく向上でき、しかも担持させる取扱
操作も簡便にできるマスク収納容器を構成容易で、安価
に提供することを目的としたものである。
もので、マスクの安定した担持が可能で、マスクのクリ
ーン状態維持が著しく向上でき、しかも担持させる取扱
操作も簡便にできるマスク収納容器を構成容易で、安価
に提供することを目的としたものである。
本考案は、外容器Ａ中に装入される合成樹脂製の内容
器Ｂに対向する内側面に、それぞれ一定間隔をおいて弾
性リブ１を多数並設してマスク嵌合用の収納溝２を複数
配列形成し、該収納溝２に外方に連通する開口窓３をそ
れぞれ備えたマスク収納容器であって、前記弾性リブ1,
1間の収納溝２の下方部にマスク下面を載置する底受面
４を形成し、該底受面４上に傾斜側面のある一対の弾性
マスク係止用突壁5,5をＶ字形斜面となるように対向配
置すると共に、弾性リブ１のマスク側面と接触する弾性
側受面２1を内方に突出する弯曲面に形成したものであ
る。
器Ｂに対向する内側面に、それぞれ一定間隔をおいて弾
性リブ１を多数並設してマスク嵌合用の収納溝２を複数
配列形成し、該収納溝２に外方に連通する開口窓３をそ
れぞれ備えたマスク収納容器であって、前記弾性リブ1,
1間の収納溝２の下方部にマスク下面を載置する底受面
４を形成し、該底受面４上に傾斜側面のある一対の弾性
マスク係止用突壁5,5をＶ字形斜面となるように対向配
置すると共に、弾性リブ１のマスク側面と接触する弾性
側受面２1を内方に突出する弯曲面に形成したものであ
る。
本考案のマスク収納容器では、外容器Ａの底部に嵌装
された内容器Ｂに多数のマスクＭを内容器Ｂのリブ1,1
間の収納溝２に沿って個別に挿入する際、そのマスク下
面を載置する底受面４のある一対の弾性マスク係止用突
壁5,5間にマスクＭが保持され収納溝２にある開口窓３
にはまり込み、マスク側面が突出する湾曲面の弾性側受
面２1で受けて、マスクＭの座りが良く担持され、緩衝
性も良好となって容器内での保持維持が適確で安定した
状態で収容でき、しかもマスクは収納溝の隙間をおいて
それぞれ個別に支持されるため、輸送中における振動に
充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に高められマ
スクが底部から外れてれ他の部品と接触し微粉を発生し
たり、損傷を受ける恐れがなく用いられるし、内容器Ｂ
を外容器Ａから取り出し、洗浄したりマスクの出し入れ
や閉蓋などの取扱も簡便安全で収納，保管，運搬の各作
業に良好に用いられるものである。
された内容器Ｂに多数のマスクＭを内容器Ｂのリブ1,1
間の収納溝２に沿って個別に挿入する際、そのマスク下
面を載置する底受面４のある一対の弾性マスク係止用突
壁5,5間にマスクＭが保持され収納溝２にある開口窓３
にはまり込み、マスク側面が突出する湾曲面の弾性側受
面２1で受けて、マスクＭの座りが良く担持され、緩衝
性も良好となって容器内での保持維持が適確で安定した
状態で収容でき、しかもマスクは収納溝の隙間をおいて
それぞれ個別に支持されるため、輸送中における振動に
充分に対応し、緩衝的保持で安全性が大幅に高められマ
スクが底部から外れてれ他の部品と接触し微粉を発生し
たり、損傷を受ける恐れがなく用いられるし、内容器Ｂ
を外容器Ａから取り出し、洗浄したりマスクの出し入れ
や閉蓋などの取扱も簡便安全で収納，保管，運搬の各作
業に良好に用いられるものである。
本考案の詳細を第１〜12図に示す実施例に基づいて説
明すると、外容器Ａには上蓋Ａ1が嵌装され、それぞれ
の開口周縁には互いに係合閉止するための段部が形成さ
れている。この外容器Ａは内底部に内容器Ｂを係止する
支持用リブ10が突設され、上蓋Ａ1にはマスクＭを押え
る弾性押え片11が着脱自在に備えられている。前記内容
器Ｂは合成樹脂製で、その内側部にマスクＭの配列方向
に多数の弾性リブ１が互いに対向突設されていて、それ
ぞれの隣接するリブ1,1間に各マスクＭを個別に、その
左右両側縁において嵌合支持し得るように収納溝２が複
数配列形成され、該収納溝２に外方に連通する開口窓３
をそれぞれ備え、このマスク収納溝２の下方部にマスク
下面を載置する底受面４を形成し、該底受面４上に斜面
のある弾性マスク係止用突壁５を一対間隙が上方に行く
に従って広がるＶ字形斜面となるように対向配置すると
共に、マスク側面と接触する弾性側受面２1を凸状の湾
曲面に形成しマスクＭを弾性的に保持し、輸送中の振動
に備えている。
明すると、外容器Ａには上蓋Ａ1が嵌装され、それぞれ
の開口周縁には互いに係合閉止するための段部が形成さ
れている。この外容器Ａは内底部に内容器Ｂを係止する
支持用リブ10が突設され、上蓋Ａ1にはマスクＭを押え
る弾性押え片11が着脱自在に備えられている。前記内容
器Ｂは合成樹脂製で、その内側部にマスクＭの配列方向
に多数の弾性リブ１が互いに対向突設されていて、それ
ぞれの隣接するリブ1,1間に各マスクＭを個別に、その
左右両側縁において嵌合支持し得るように収納溝２が複
数配列形成され、該収納溝２に外方に連通する開口窓３
をそれぞれ備え、このマスク収納溝２の下方部にマスク
下面を載置する底受面４を形成し、該底受面４上に斜面
のある弾性マスク係止用突壁５を一対間隙が上方に行く
に従って広がるＶ字形斜面となるように対向配置すると
共に、マスク側面と接触する弾性側受面２1を凸状の湾
曲面に形成しマスクＭを弾性的に保持し、輸送中の振動
に備えている。
この場合、前記弾性リブ１のある内容器Ｂは、合成樹
脂材料で一体成形されたものであって、該内容器Ｂのそ
れぞれ対向する内側面は、二つとも互いに櫛状にリブ１
を設けてマスク収納溝２を形成し、マスクＭの大小異な
る寸法のものを選んで収納できるようにしてあり、かつ
底部は孔あきとして必要に応じて付設した連結リブ６で
籠形としてあって、水はけをよくして側面にはマスク収
納溝２に連通するスリット状の開口窓３が格子状に配列
されている。またマスク収納溝２のマスク下面を載置す
る底受面４には、マスクＭが常に溝中央にセットされる
ように、斜面のある一対の弾性マスク係止用突壁5,5が
突設されていて、マスクＭが片寄って担持されることが
ないようにすると共に、マスクＭの側面を押える湾曲状
の弾性側受面２1で横方向のずれがなく保持され、かつ
マスクＭの下方部分の内容器Ｂからのはみ出しをできる
だけ少なくするか、或いははみ出しをなくして担持する
ことができるように、特にマスク側端面を大きな湾曲面
で受けてマスクに傷がつかないようにし、収納溝２のエ
ッジとの接触を防ぐことが配慮されている。
脂材料で一体成形されたものであって、該内容器Ｂのそ
れぞれ対向する内側面は、二つとも互いに櫛状にリブ１
を設けてマスク収納溝２を形成し、マスクＭの大小異な
る寸法のものを選んで収納できるようにしてあり、かつ
底部は孔あきとして必要に応じて付設した連結リブ６で
籠形としてあって、水はけをよくして側面にはマスク収
納溝２に連通するスリット状の開口窓３が格子状に配列
されている。またマスク収納溝２のマスク下面を載置す
る底受面４には、マスクＭが常に溝中央にセットされる
ように、斜面のある一対の弾性マスク係止用突壁5,5が
突設されていて、マスクＭが片寄って担持されることが
ないようにすると共に、マスクＭの側面を押える湾曲状
の弾性側受面２1で横方向のずれがなく保持され、かつ
マスクＭの下方部分の内容器Ｂからのはみ出しをできる
だけ少なくするか、或いははみ出しをなくして担持する
ことができるように、特にマスク側端面を大きな湾曲面
で受けてマスクに傷がつかないようにし、収納溝２のエ
ッジとの接触を防ぐことが配慮されている。
この場合、弾性マスク係止用突壁5,5の一組によって
形成される対称側面が、略Ｖ字状になる斜面からなって
マスクＭを常時中心位置に配置できるようにしている。
形成される対称側面が、略Ｖ字状になる斜面からなって
マスクＭを常時中心位置に配置できるようにしている。
なお、前記底受面４は、水はけが良好となるように、
外方又は内方に向かって若干傾斜した底受面にし、該底
受面４上に傾斜側面のある一対の弾性マスク係止用突壁
5,5がＶ字形斜面となるように対向配備されている。ま
た、前記上蓋Ａ1に備えられるマスク押え片11は、合成
樹脂系の弾性素材で構成され、第７〜12図に示すよう
に、取付孔13のある取付片14と、この取付片14と直角に
折曲げたマスク側面を押える折曲片15とを持ち、櫛状に
所定間隔をおいてスリット16を形成してマスク上縁を嵌
装できる断面Ｖ字形押え面17を備えている。そして上蓋
Ａ1の内底面に突設した凸部18及び係止リブ19,20で押え
片11が着脱自在に取付けられて用いられるようになって
いる。
外方又は内方に向かって若干傾斜した底受面にし、該底
受面４上に傾斜側面のある一対の弾性マスク係止用突壁
5,5がＶ字形斜面となるように対向配備されている。ま
た、前記上蓋Ａ1に備えられるマスク押え片11は、合成
樹脂系の弾性素材で構成され、第７〜12図に示すよう
に、取付孔13のある取付片14と、この取付片14と直角に
折曲げたマスク側面を押える折曲片15とを持ち、櫛状に
所定間隔をおいてスリット16を形成してマスク上縁を嵌
装できる断面Ｖ字形押え面17を備えている。そして上蓋
Ａ1の内底面に突設した凸部18及び係止リブ19,20で押え
片11が着脱自在に取付けられて用いられるようになって
いる。
図中、７は脚部で外容器Ａと内容器Ｂとの間に隙間を
あけてマスクＭを空間部に保持しやすくしてあり、周囲
に部分的に設けて外容器Ａ内に嵌合しやすくしてある
が、全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにしても
よい。８はフランジ部で把手として活用する。９は外容
器用脚部である。
あけてマスクＭを空間部に保持しやすくしてあり、周囲
に部分的に設けて外容器Ａ内に嵌合しやすくしてある
が、全周囲に備えた脚片として剛性を保つようにしても
よい。８はフランジ部で把手として活用する。９は外容
器用脚部である。
なお、前記内容器Ｂとしては、外容器Ａ内に入れる中
枠（図示せず）としてもよく、上蓋Ａ1に装着される弾
性部材の押え片11についても可撓板状のものや、異型板
状のものなど各種の形状のものが用いられ、またこれら
によるマスクＭの上縁の支持手段についても各マスクＭ
を個別に係止するようにしたものでも、また全体を一様
に押圧支持するようにしたものでも任意に採用すること
ができる。
枠（図示せず）としてもよく、上蓋Ａ1に装着される弾
性部材の押え片11についても可撓板状のものや、異型板
状のものなど各種の形状のものが用いられ、またこれら
によるマスクＭの上縁の支持手段についても各マスクＭ
を個別に係止するようにしたものでも、また全体を一様
に押圧支持するようにしたものでも任意に採用すること
ができる。
また、この外容器Ａは、内外圧の変化に対応できるよ
うに適所にリブを備えた強靱な構造体とし、その製作に
は内容物が好ましくは透視可能なポリエチレン，ポリプ
ロピレン，アクリル樹脂などのプラスチックからなる剛
性の高い合成樹脂材質のものが内容器Ｂと同様に採用さ
れる。
うに適所にリブを備えた強靱な構造体とし、その製作に
は内容物が好ましくは透視可能なポリエチレン，ポリプ
ロピレン，アクリル樹脂などのプラスチックからなる剛
性の高い合成樹脂材質のものが内容器Ｂと同様に採用さ
れる。
本考案は、マスク収納溝の下方部にマスク下面を載置
する底受面を形成し、該底受面に斜面のある一対の弾性
マスク係止用突壁をＶ字形斜面となるように対向配置す
ると共に、弾性リブのマスク側面と接触する弾性側受面
を内方に突出する湾曲面に形成したことにより、マスク
の容器へ挿入が迅速かつ容易で、単純作業での多量処理
を安全に行うことが可能となり、マスク下端縁部は、常
に傾斜突壁間の中心にセットされて接触されるのは下端
の一部のみで担持ができ、挿入時および挿入後の輸送中
または保管中において、マスクが容器内の収納溝から外
れたりすることなく、かつガタつかない振動に耐え、他
の部品との接触による微粉発生や損傷を受ける恐れがな
く、しかもマスクのサイズ相違でも十分安定した状態で
対応でき、この収納溝が所定の間隙を保持して独立的に
機能するため、マスクの輸送中または取扱い中における
振動への対応性に優れ、即ち各マスクの寸法誤差をも吸
収しうるし、弾性支持が柔軟で大きな衝撃に対しても安
全でマスクの損傷を防ぎ、容器との接触によって生ずる
微粉発生も少なくマスクの汚染も可及的に減少でき、マ
スク側面を大きな湾曲受面で受けるので、マスク下端の
振れ止めと開口窓からのはみ出しがあっても、収納溝の
格子エッジと接触を防ぎ、容器内における安定した担持
が可能であり、マスクの精度を著しく向上でき、担持さ
せる取扱操作も簡便での実用上の効果がある。
する底受面を形成し、該底受面に斜面のある一対の弾性
マスク係止用突壁をＶ字形斜面となるように対向配置す
ると共に、弾性リブのマスク側面と接触する弾性側受面
を内方に突出する湾曲面に形成したことにより、マスク
の容器へ挿入が迅速かつ容易で、単純作業での多量処理
を安全に行うことが可能となり、マスク下端縁部は、常
に傾斜突壁間の中心にセットされて接触されるのは下端
の一部のみで担持ができ、挿入時および挿入後の輸送中
または保管中において、マスクが容器内の収納溝から外
れたりすることなく、かつガタつかない振動に耐え、他
の部品との接触による微粉発生や損傷を受ける恐れがな
く、しかもマスクのサイズ相違でも十分安定した状態で
対応でき、この収納溝が所定の間隙を保持して独立的に
機能するため、マスクの輸送中または取扱い中における
振動への対応性に優れ、即ち各マスクの寸法誤差をも吸
収しうるし、弾性支持が柔軟で大きな衝撃に対しても安
全でマスクの損傷を防ぎ、容器との接触によって生ずる
微粉発生も少なくマスクの汚染も可及的に減少でき、マ
スク側面を大きな湾曲受面で受けるので、マスク下端の
振れ止めと開口窓からのはみ出しがあっても、収納溝の
格子エッジと接触を防ぎ、容器内における安定した担持
が可能であり、マスクの精度を著しく向上でき、担持さ
せる取扱操作も簡便での実用上の効果がある。
図面は本考案の実施例に係わり、第１図は上蓋を除いた
平面図、第２図は切断側面図、第３図は内容器の斜視
図、第４図は第１図Ｉ−Ｉ線の内容器の縦断面図、第５
図は第１図II-II線の断面図、第６図は第４図III-III線
の拡大断切断平面図、第７図は上蓋の内部を示す底面
図、第８図は上蓋の使用状態の一部切断正面図、第９図
は第７図Ｖ−Ｖ線における拡大縦断面図、第10図は押え
片の正面図、第11図はその平面図、第12図はその底面図
である。 Ａ……外容器、Ａ1……上蓋、Ｂ……内容器、１……リ
ブ、２……マスク収納溝、２1……側受面、３……開口
窓、４……底受面、５……マスク係止用突壁、６……連
結リブ、7,9……脚部、８……フランジ部。
平面図、第２図は切断側面図、第３図は内容器の斜視
図、第４図は第１図Ｉ−Ｉ線の内容器の縦断面図、第５
図は第１図II-II線の断面図、第６図は第４図III-III線
の拡大断切断平面図、第７図は上蓋の内部を示す底面
図、第８図は上蓋の使用状態の一部切断正面図、第９図
は第７図Ｖ−Ｖ線における拡大縦断面図、第10図は押え
片の正面図、第11図はその平面図、第12図はその底面図
である。 Ａ……外容器、Ａ1……上蓋、Ｂ……内容器、１……リ
ブ、２……マスク収納溝、２1……側受面、３……開口
窓、４……底受面、５……マスク係止用突壁、６……連
結リブ、7,9……脚部、８……フランジ部。
Claims (1)
- 【請求項１】外容器（Ａ）中に装入される合成樹脂製の
内容器（Ｂ）に対向する内側面に、それぞれ一定間隔を
おいて弾性リブ（１）を多数並設してマスク嵌合用の収
納溝（２）を複数配列形成し、該収納溝（２）に外方に
連通する開口窓（３）をそれぞれ備えたマスク収納容器
であって、前記弾性リブ（１）（１）間の収納溝（２）
の下方部にマスク下面を載置する底受面（４）を形成
し、該底受面（４）上に傾斜側面のある一対の弾性マス
ク係止用突壁（５）（５）をＶ字形斜面となるように対
向配置すると共に、弾性リブ（１）のマスク側面と接触
する弾性側受面（２1）を内方に突出する弯曲面に形成
したことを特徴とするマスク収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14275589U JP2532084Y2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | マスク収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14275589U JP2532084Y2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | マスク収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0381945U JPH0381945U (ja) | 1991-08-21 |
| JP2532084Y2 true JP2532084Y2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=31689571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14275589U Expired - Lifetime JP2532084Y2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | マスク収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2532084Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140001788A (ko) * | 2012-06-28 | 2014-01-07 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005274724A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | フォトマスクブランクの収納容器及び支持方法 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP14275589U patent/JP2532084Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140001788A (ko) * | 2012-06-28 | 2014-01-07 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체 |
| KR102125579B1 (ko) * | 2012-06-28 | 2020-07-07 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크 수납체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0381945U (ja) | 1991-08-21 |
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