JPH10189704A

JPH10189704A - 半導体ウェハ包装容器

Info

Publication number: JPH10189704A
Application number: JP35141496A
Authority: JP
Inventors: Gen Nokawa; 玄能川; Tomoji Fujimoto; 智士藤本
Original assignee: KOMATSU KASEI KK
Current assignee: KOMATSU KASEI KK
Priority date: 1996-12-27
Filing date: 1996-12-27
Publication date: 1998-07-21

Abstract

(57)【要約】【課題】同一構造を有する蓋体をもって多様な種類の半
導体ウェハを適切な弾力と接触面積で押圧支持し得るた
めの異なる寸法形態をもつウェハ押圧部材を交換可能に
保持固定できる半導体ウェハ包装容器を提供する。【解決手段】ボトムケース体(12)と蓋体(14)とからなる
合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器(10)の前記蓋体の天
板部内壁面に、容器内部に収納された各ウェハの上縁を
弾性的に押圧する２以上の異なる種類のウェハ押圧部材
(15)を、それぞれ交換可能に嵌着固定するため、前記ウ
ェハ押圧部材(15)が矩形枠体(51)と同矩形枠体(51)の少
なくとも一対の対向する前記枠材(52a,52a;52b,52b) を
それぞれ交換可能に嵌着固定する左右対称に配された複
数組の２条の挟着リブ(44d) を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハを破
損、汚染することなく保管し、安全に輸送するための蓋
体と本体ケースとを備えた半導体ウェハ包装容器に関
し、詳しくは同一仕様の包装容器にて２種類以上の異な
る種類の半導体ウェハを上方から弾性的に押圧する異な
る種類のウェハ押圧部材を交換可能に固着できる固着構
造を備えた半導体ウェハの包装容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体ウェハ包装容器は、複数の
半導体ウェハを収容するウェハキャリア、ウェハキャリ
アを収納保持するボトムケース体、蓋体、ウェハ押圧部
材等から構成されている。そして、前記ウェハキャリア
及びボトムケース体の一般的な材質としては、ポリプロ
ピレンが使われており、蓋体はポリプロピレン又はポリ
カーボネートから構成されている。また、前記ウェハ押
圧部材にはポリプロピレン又はポリエステル等が使われ
る。

【０００３】前記半導体ウェハはシリコン等の単結晶を
薄くスライスして製造されるものであり、脆性が高い上
に汚染による物性への影響が大きいため、包装時はもと
より輸送中における破損や汚染を防止するための最大限
の努力が払われなければならない。前記半導体ウェハ包
装容器は、外部からの衝撃によるウェハの破損を防ぐば
かりでなく、容器内におけるウェハ押圧部材との摩擦な
どで発生するパーティクルによる汚染、或いは容器の内
外圧力差や変形による外気の侵入による汚染を避けるた
め、収容時のウェハ支持の安定性を確保するとともにウ
ェハ押圧部材等との接触摩擦を防ぐことや、ボトムケー
ス体及び蓋体からなる容器本体の強靱性、耐衝撃性及び
気密性を確保すること等が厳しく要求される。

【０００４】前記ウェハ押圧部材は、例えば特開平５−
６３０６７号公報や国際公表WO 94/225980号公報等に開
示されているように、略矩形状枠体の相対する一対の枠
材のほぼ全長にわたって多数の弾性片が櫛状に延設され
た形態を備えている。かかる形態をもつウェハ押圧部材
を固着するため、例えば前記一対の枠材に外方斜めに突
出する係着片を突設するとともに、前記蓋体の天板部の
内面には前記係着片に係合する係合フック片と前記各枠
材を同係合フック片との間で押圧挟持する一対のリブと
が突設されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかして、前記公報に
開示された半導体ウェハ包装容器に限らず、従来のこの
種の容器にあっては、蓋体の天板部におけるウェハ押圧
部材の固着部がウェハ押圧部材の少なくとも上記枠体の
形態・寸法に対応する単一の構造を備えているに過ぎな
い。一方、半導体ウェハの形態は略真円状をなす薄板体
であって一様ではあるが、その径や肉厚は多種類にわた
り、ウェハの種類が変更されても容器内に安定して且つ
摺接摩擦を少なく収容するには、ウェハの種類に対応さ
せて前記ウェハ押圧部材による弾性的な押圧力や接触面
積を変更することが必要である。その結果、前記ウェハ
押圧部材もウェハの種類に応じて多様な構造や寸法のも
のが製造されるようになっている。

【０００６】従来は、こうしたウェハの種類毎に対応す
るウェハ押圧部材の種類が選定され、同ウェハ押圧部材
に適応する固着構造を備えた蓋体を個別に成形するもの
であったため、生産性が低くコストの増加の一因ともな
っていた。

【０００７】本発明はかかる課題を解決すべく開発され
たものであり、具体的には同一構造を有する蓋体をもっ
て多様な種類の半導体ウェハを適切な弾力と接触面積で
押圧支持し得る半導体ウェハ包装容器を提供することを
目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明の主
要な構成である内部に複数の半導体ウェハを起立状態で
並列支持するウェハキャリアが収納され、蓋体とボトム
ケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器
にあって、前記蓋体の天板内壁面に、容器内部に収納さ
れた各ウェハの上縁を弾性的に押圧する２以上の異なる
種類のウェハ押圧部材を、それぞれ交換可能に嵌着固定
する嵌着手段を有し、前記ウェハ押圧部材が、矩形枠体
と同矩形枠体の一対の対向する枠材に櫛歯状に延在する
多数の弾性片とを有しており、前記嵌着手段が、前記矩
形枠体の少なくとも一対の対向する前記枠材をそれぞれ
嵌着固定する左右対称に配された複数組の２条の挟着リ
ブからなることを特徴とする半導体ウェハ包装容器によ
り達成される。

【０００９】そして、好ましくは前記２条の各リブの一
部に間欠的な切り欠きを形成して液体通路を形成すれ
ば、クリーニング液が２条のリブ間に滞留することなく
液の蒸発が促進される。また、前記間欠的に突設された
一部のリブに代えて、先端に前記枠材の上面を未押圧係
止する膨出係止部を有する係止突起とすることもあり、
この場合は後述する他の枠材の上面を押圧する係止突起
と共働してウェハ押圧部材が蓋体の天板部に強く押付け
固定される。

【００１０】前記蓋体の天板内壁面に、更に他の相対す
る一対の枠材をそれぞれ位置決め固定するための前記係
止突起と同様の構成を含む固定手段を有していることが
好ましく、この各固定手段は前記一対の枠材の外側側面
にそれぞれ当接する一条の短尺リブと、同リブに隣接し
て突設され前記各枠材の上面の一部を押圧係止する膨出
係止部を有する係止突起とからなり、前記リブで枠材の
外側側面を内包に向けて圧接すると共に、前記係止突起
をもって各枠材が蓋体の天板部の内壁面に押し付けられ
るように構成すれば、ウェハ押圧部材を正確に位置決め
して強力に固定することを可能にする。

【００１１】また、前記各枠材を嵌着端に向けて漸次肉
薄に形成すると共に、前記各２条のリブを突出端に向け
て漸次肉薄に形成し、前記枠材の嵌着端の肉厚を前記リ
ブの基端の肉厚より僅かに厚く設定する場合には、ウェ
ハ押圧部材の各枠材を２条のリブ間に導入させやすくな
るとともに、同押圧部材を蓋体の天板部に向けて押圧す
ると、２条のリブによる枠材の挟持力が強くなり、強固
に固着できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図示実施例により具体的に説明する。図１は本発明
の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包装容器の組付け
前の分解斜視図である。本発明のウェハ包装容器１０は
ウェハキャリアに整然と収容支持される多数の半導体ウ
ェハを保管、移動、輸送させる際に使用される。図１に
おいて、符号１２はボトムケース体、１３はウェハキャ
リア、１４は蓋体、１５はウェハ押圧部材、１６はガス
ケットである。

【００１３】前記ウェハ包装容器１０は、蓋体１４とボ
トムケース体１２とからなり、ボトムケース体１２は内
部にウェハキャリア１３を遊嵌状態で収納できるような
内面形状を有している。前記蓋体１４は前記ボトムケー
ス体１２に外側から嵌合させるとともに、係着手段によ
って係着固定する。

【００１４】図示例にあって、前記ボトムケース体１
２、蓋体１４及びウェハキャリア１３は、一部を除いて
上記国際公表公報に開示された構造と実質的に異なると
ころがないため、以下の説明では実質的に一致する構成
部分に関してはその概略を簡単に説明するに止め、本発
明の特徴部分に関して詳細に説明する。

【００１５】先ず、上記ウェハキャリア１３は従来の構
成と実質的に同じであり、その構造について図１を参照
しながら簡単に説明すると、左右側板３１，３２、背板
３３及び前記左右の側板３１，３２の前端の略中央部を
連結する連結バー３４からなる、上下及び前方が開放し
たケース体からなり、前記左右側板３１，３２は前記連
結バー３４から上方が鉛直面部３１ａ、３２ａを構成
し、前記連結バー３４の下方は下端に向けて左右側板３
１，３２が漸次接近するように下方に湾曲した円弧面部
３１ｂ、３２ｂを構成している。

【００１６】そして、前記左右側板３１，３２の対向面
に沿って下方に垂直に延びる多数のウェハ支持溝３１
ｂ′，３２ｂ′が多数並列して形成されており、各ウェ
ハ支持溝３１ｂ′，３２ｂ′に半導体ウェハが挿入され
て、互いに接触することなく起立状に保持される。ま
た、前記キャリア形態だけでは多数の半導体ウェハを保
持して単独に載置する場合に不安定であるため、前記左
右側板３１，３２の下端部から同側板３１，３２に直交
させてリブ３１ｃ，３２ｃを外方に突設させている。

【００１７】かかる要部形態を有するウェハキャリア１
３は、上述のようにボトムケース体１２にガタツキがな
いように収容される。そのため、ボトムケース体１２の
内面形状は前記ウェハキャリア１３の外形に適合させて
形成されている。経済性を考慮しなければ、ボトムケー
ス体１２の内面形状だけをウェハケース体１３の外形に
合わせるだけで、外形を矩形のケース体として成形すれ
ば足りるが、従来から材料費等が考慮されてボトムケー
ス体１２の外形も可能な限り前記ウェハキャリア１３の
外形に沿わせるような形状としている。すなわち、ボト
ムケース体１２の主要部の形態は、図１〜図４に示すよ
うにウェハキャリア１３の上記左右側板３１，３２の形
態に対応する対向する左右側壁部２１，２２の中央を前
記左右側板３１，３２と同様に、上半部中央が鉛直面部
２１ａ，２２ａとされ、下半部中央が内側に湾曲する湾
曲面部２１ｂ，２２ｂとされている。

【００１８】また、前壁部２３の中央を上端部を残して
下端まで連続する凹み部２３ａが形成されており、他の
壁部は前記鉛直面部２１ａ，２２ａを含めて、全てが鉛
直壁部とされて、外形全体としては略矩形の箱体形態を
なしており、上部が開放されている。ボトムケース体１
２の底部２５は、前記前壁部２３と後壁部２４の各下端
中央部を結ぶ帯状部分２５ａが段部を介して上方に凹ん
だ状態で成形されており、従って前記底部２５の左右側
端部は、外側に開いたコ字型の基部２５ｂ，２５ｂを構
成する。本実施例においては、更に前記帯状部分２５ａ
の中央部２５ａ′は下方に突出する円筒体の一部をなし
ている。一方、前壁部２３における前記凹み部２３ａの
上端位置は、上記ウェハキャリア１３をボトムケース体
１２に収容したとき、上記連結バー３４の下面が前記凹
み部２３ａの上端に当接する位置である。

【００１９】なお、本発明にあってはボトムケース体１
２の上部開放端部を既述した上記国際公表公報に開示さ
れた開放端部と同様の構造としてもよいが、本実施例で
は、その全周にわたって略同一の長さをもって略３６０
°外側に折り曲げられて、本体部分２６ａと外側屈曲部
分２６ｂとが略逆Ｕ字状の形態となるよう成形される。
また、本実施例では前記開放端部の全周にわたり、その
本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間を所要の間
隔をおいて複数の補強リブ２７，２７，…により連結し
ている。かかる開放端部の形態を採ることにより、同端
部の耐衝撃強度が増加するばかりでなく、成形時のひけ
等による歪みが発生して同端部が波打ち状に変形するこ
とも防止され、蓋体１４を被せたときに、蓋体１４の開
放端縁が全周にわたって密着嵌合し、後述するガスケッ
トと相まって外気の侵入を確実に阻止する。これらの機
能は、前記逆Ｕ字状の形態を開放端部の全周にわたって
連続して形成する場合には、特に有効である。

【００２０】かかる観点から、本実施例では、更に蓋体
１４及びボトムケース体１２の各開放端が略矩形をなし
ており、図５及び図６に示すように前記蓋体１４の左右
側壁４１ａ，４１ｂの開放端中央からそれぞれ一対の矩
形状の係着片４２ａ，４２ｂが、各開放端部と略同一平
面上を延設されており、各係着片４２ａ，４２ｂの中央
にはそれぞれに矩形状の係着孔４２ａ′，４２ｂ′が形
成され、各係着片４２ａ，４２ｂはコ字状をなしてい
る。一方、蓋体１４を嵌合させたときの前記係着片４２
ａ，４２ｂに対応する前記ボトムケース体１２の外側屈
曲部分２６ｂは、図２に示すように前記係着片４２ａ，
４２ｂの肉厚に相当する深さの凹み部２６ｃ，２６ｃを
構成するように屈曲して成形されている。そして、この
凹み部２６ｃの前記係着孔４２ａ′，４２ｂ′に対応す
る部位には、同係着孔４２ａ′，４２ｂ′に嵌合係止す
るほぼ同一形状を有する嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′
を僅かに膨出させている。このようなボトムケース体１
２と蓋体１４との嵌合固定構造を採用することにより、
ボトムケース体１２の逆Ｕ字状断面からなる開放端部の
外側屈曲部分を同開放端部の全周にわたり欠落する部分
がなく連続させて成形することが可能である。

【００２１】前記蓋体１４は既述したように矩形箱状を
なしており、図５〜図８に示すように下方に開放端部を
有している。開放端部は段部を介した拡大フランジ部４
３から構成され、その左右フランジ部４３ａ，４３ｂか
らは略同一平面上を上記係着片４２ａ，４２ｂが垂設さ
れている。蓋体１４の天板部４４の上面は平坦ではな
く、その上面の複数部位には方形をなすブロック状の突
出部４４ａ〜４４ｃが突設され、本発明の包装容器１０
を積み重ねる際に、上記ボトムケース体１２の基部２５
ｂ，２５ｂなどの間に形成される嵌合凹部に嵌合する。
本実施例では、前記突出部４４ａは前記ボトムケース体
１２の底部中央の帯状部分２５ａに嵌合するため、同様
に帯状をなしており、その表面の更に中央部を帯状に円
筒体の一部をなす円弧状の凹み面４４ａ′としている。
また、前記突出部４４ｂ，４４ｃは前記帯状部分２５ａ
を挟んで左右の端部中央から上方に突設された方形ブロ
ック状をなし、ボトムケース体１２の上記左右の各コ字
型基部２５ｂ，２５ｂの間に形成される空間部２５
ｂ′，２５ｂ′を本発明の嵌合凹部の一部として利用
し、同空間部２５ｂ′，２５ｂ′に遊嵌する。ボトムケ
ース体１２及び蓋体１４に形成される嵌合凹部と突設部
は、いずれも容器内部に収納されるウェハの周縁と干渉
しない部位であることが肝要である。また、本実施例で
は前記嵌合凹部の一部としてボトムケース体１２の外形
により形成される空間部２５ｂ′，２５ｂ′を利用して
いるが、これに限るものではなく別途独立させて形成す
るようにしてもよいことは勿論である。

【００２２】また、蓋体１４の上記天板部４４の内面に
は、ウェハキャリア１３に保持されて容器内部に収納さ
れた各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材
１５を、ウエハの種類に応じてそれぞれ交換可能に嵌着
固定する本発明の特徴部をなす嵌着手段を有している。
前記ウェハ押圧部材１５は、例えば図１及び図９に示す
ように、矩形枠体１５ａと、同矩形枠体５１の長辺を構
成する一対の枠材５２ａ，５２ａ；５２ｂ，５２ｂのそ
れぞれに多数の弾性片５３；５４が各枠材５２ａ，５２
ａ；５２ｂ，５２ｂに直交して櫛歯状に延設される基本
構造を有している。これらのウェハ押圧部材１５はボト
ムケース体と同様にポリプロピレンから成形されるが、
他の素材、例えばポリエステルエラストマー樹脂等も使
われる。いずれにしても、ウェハに直接接触するため、
摩耗が少なく揮発成分の発生が少ない材質を使用するこ
とが好ましい。

【００２３】図１に示すウェハ押圧部材１５は、従来か
ら一般的に採用されている形態であって、前記弾性片５
３，５３は各枠材５２ａ，５２ａに左右対称に配され、
それぞれが各枠材５２ａ，５２ａを挟んでほぼ直角をな
して左右に延設される第１弾性片５３ａと第２弾性片５
３ｂからなる。左右の枠材５２ａ，５２ａに直交して同
一直線上に配された左右の第１及び第２弾性片５３ａ，
５３ｂの各先端には、ウェハを４点で弾性的に押圧する
ウェハ押圧部５３ａ′，５３ｂ′が形成されており、前
記ウェハ押圧部５３ａ′は図示せぬウェハの円周面に接
触し、ウェハ押圧部５３ｂ′はウェハ上端のオリエンテ
ーションフラット部に接触する。

【００２４】図９に示すウェハ押圧部材１５は、長辺を
構成する一対の枠材５２ｂ，５２ｂの長さは前述の枠材
５２ａ，５２ａの長さに等しいが、短辺を構成する枠材
５２ｄ，５２ｄの長さは前述の枠材５２ｃ，５２ｃの長
さよりも長く、従って、正方形に近い形状をなしてい
る。このウェハ押圧部材１５も、前記長辺を構成する各
枠材５２ｂ，５２ｂには、左右対称で各枠材５２ｂ，５
２ｂから略垂直に延びる短片部分に続いて湾曲部分を介
して互いに接近する方向に延びる水平に延びる長片部分
からなる略横Ｊ字状をなす弾性片５３ｃ，５３ｃが櫛歯
状に列設されており、各弾性片５３ｃ，５３ｃの先端に
は図１に示すウェハ押圧部材１５と同様の形態からなる
ウェハ押圧部５３ｃ′，５３ｃ′を有している。本実施
例では、前記ウェハ押圧部５３ｃ′，５３ｃ′はジグザ
グに曲折されて各弾性片５３ｃ，５３ｃに連結されてい
る。また、このウェハ押圧部材１５では上述のオリエン
テーションフラット部を押圧する左右の弾性片５３ｄ，
５３ｄに代わり、前記短辺を構成する枠材５２ｄ，５２
ｄの中央部を連結する連結板材５４の長さ方向に並設さ
れた２条の突片５４ａから構成され、各突片５４ａの端
縁は多数の鋸刃状に形成されており、その起立姿勢を僅
かに外側に傾斜させている。なお、同図中の符号５５は
ウェハ押圧部材１５の前部を示すマーカーの機能を有し
ている凸片であり、符号５６は取付作業用リブである。

【００２５】この図９に示すウェハ押圧部材１５にあっ
ては、前述のように枠体５１自体の寸法が大きいばかり
でなく、その枠材５２ｄ，５２ｄ及び弾性片５３ｃ，５
３ｃの太さも太く、図１に示すウェハ押圧部材１５と比
較して全体に剛直なものであって上述のウェハ押圧部材
より弾性は低い。これはウェハの肉厚に応じて成形され
るものであり、このようにウェハの種類によりウェハ押
圧部材１５の形態及び機械的性質も変更される。

【００２６】しかして、従来は包装容器１０の天板部内
面に形成されるウェハ押圧部材の固定構造は、例えばウ
ェハ押圧部材の枠体を挟持し或いは係合させるべく、各
枠体とほぼ同一形態をもつ複数条のリブやフック片から
なり、しかも種類の異なる各ウェハに対応するように成
形された異なる形態や機械的性質をもつウェハ押圧部材
に適合するウェハ押圧部材固定構造を備えた蓋体を、そ
れぞれ個別に成形している。従って、生産性に乏しく、
当然にコストアップにつながっていた。

【００２７】そこで、本発明では多様な種類のウェハに
同一構造の蓋体で対応できるように、異なる種類のウェ
ハ押圧部材に対する交換固定を可能にしている。図５〜
図８に示した実施例にあっては、上述の２種類のウェハ
押圧部材１５を同一の蓋体１４をもって嵌着固定できる
ように、上記長辺を構成する各一対の枠材５２ａ，５２
ａ；枠材５２ｂ，５２ｂに対応する天板部４４の内面部
位に、それぞれ前記枠材５２ａ，５２ａ；５２ｂ，５２
ｂのほぼ全長にわたって挟着する都合４組の２条の挟着
リブ４４ｄ，４４ｄを平行に突設している。図示例で
は、左右側壁部４１ａ，４１ｂに近い各一対の前記２条
の挟着リブ４４ｄ，４４ｄのそれぞれ外側に位置する挟
着リブ４４ｄの一部が切り欠かれ、液体流路４４ｄ′を
形成している。こうして、液体流路４４ｄ′を形成する
と、ウェハを容器ごと洗浄・乾燥するとき、前記２条の
挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に洗浄液が滞留することな
く、洗浄液の蒸発を促進させる。また、その液体流路４
４ｄ′間に挟まれる部分に相当する位置に起立片４４ｅ
を突設し、同起立片４４ｅの先端部にウェハ押圧部材１
５を固着させたとき、前記枠材５２ａ，５２ａ；５２
ｂ，５２ｂの端縁に係止して押圧するための膨出係止部
４４ｅ′を形成している。

【００２８】そして本実施例では、更に前記長辺を構成
する各一対の枠材５２ａ，５２ａ及び枠材５２ｂ，５２
ｂは同一の長さであることから、上記短辺を構成する各
一対の枠材５２ｃ，５２ｃ；枠材５２ｄ，５２ｄに対応
する天板部４４の内面部位には、各枠材５２ｃ，５２
ｃ；５２ｄ，５２ｄの外側面に当接するように短尺のリ
ブ４４ｆと、同短尺リブ４４ｆに隣接させて前記各枠材
５２ｃ，５２ｃ；５２ｄ，５２ｄの上面の一部を押圧係
止する係止突起４４ｇとを突設している。この係止突起
４４ｆの先端の各枠材５２ｃ，５２ｃ；５２ｄ，５２ｄ
の上面を押圧する位置には略半球をなす膨出頭部４４
ｇ′が形成されている。しかし、前記短尺のリブ４４ｆ
及び係止突起４４ｇは必ずしも必須ではない。

【００２９】そして、前記各枠材５２ａ〜５２ｄは、そ
の端部に向けて漸次肉薄に形成されるとともに、前記各
リブや起立片及び係止突起を先端に向けて肉厚を漸次増
加させている。しかも、図示例によれば前記各枠材５２
ａ〜５２ｄの嵌着端の肉厚を前記リブ等のの基端の肉厚
より僅かに厚く設定してある。そのため、種類の異なる
ウェハ押圧部材１５であっても、容易に嵌着位置が決め
やすく、同時に嵌着操作を容易にし、矩形枠体５１の長
辺をなす枠材５２ａ，５２ａ又は枠材５２ｂ，５２ｂを
対応する部位にある前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄ
の間に押し込むとともに、短辺をなす各枠材５２ｃ，５
２ｃ；５２ｄ，５２ｄを各一対の短尺リブ４４ｆ及び係
止突起４４ｇの内面に沿わせて押し込むにつれて、挟着
リブ４４ｄ，４４ｄによる挟持力が増加し、また短尺リ
ブ４４ｅによる短辺をなす各枠材５２ｃ，５２ｃ；５２
ｄ，５２ｄに対する外側からの当接力が増加し、同時に
前記係止突起４４ｇの膨出頭部４４ｇ′が同枠材５２
ｃ，５２ｃ；５２ｄ，５２ｄに係合し、上記起立片４４
ｅの膨出係止部４４ｅ′による押圧係止と相まって枠体
５１を蓋体１４の天板部内面に強く押し付けて強力に固
定する。

【００３０】ボトムケース体１２の開放端部及び上記蓋
体１４の各開放端部の頂部にはＵ字状のガスケット挿入
溝２８, ４５が全周にわたって形成されている。本実施
例にあっては、前記ガスケット挿入溝２８, ４５は互い
に同一の断面形状に形成されており、前記ボトムケース
体１２のガスケット挿入溝２８は前記蓋体１４のガスケ
ット挿入溝４５よりも深く形成されている。

【００３１】各ガスケット挿入溝２８, ４５に挿入され
るガスケット１６は、前記ボトムケース体１２及び蓋体
１４に形成された前記ガスケット挿入溝２８, ４５の開
放端と同一の矩形環状体からなり、その材質は揮発性成
分が非常に少ない樹脂であることが好ましく、機械的性
質並びに成形性等からポリエステルエラストマー等が採
用される。このガスケット１６は、全周にわたって外側
面の中央部になだらかな膨出部１６ａを有すると共に、
その内側面の中央部には略矩形断面を有する突部１６ｂ
が同内側面に対して直角に突出している。なお、このガ
スケット構造は従来の一般的な形態をなすものであって
も良いことは勿論である。

【００３２】更に、本実施例にあっては、図１０に破線
で示すようにガスケット１６の上下端縁部における前記
内側面はほぼ平坦面１６ｅを呈しているが、前記外側面
は内側面の端縁に向けて傾斜する円弧面１６ｄとされて
おり、各端縁部ともに先細状に形成され、上下対称の断
面形状をなしている。前記ガスケット１６の縦方向（上
下）の長さは、前記ボトムケース体１２及び蓋体１４に
形成された各ガスケット挿入溝２８, ４５の深さの和よ
りも大きく設定されており、同ガスケット１６の中央部
における膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚は略同一に
設定され、更に同膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚を
含む中央部の全肉厚は前記ボトムケース体１２のガスケ
ット挿入溝２８の溝幅よりも僅かに大きく設定されてい
る。

【００３３】このガスケット１６を前記ボトムケース体
１２のガスケット挿入溝２８に、前記突部１６ｂが同溝
２７内に完全に嵌着されるまで押し込む。このとき、同
ガスケット１６の中央部は前記溝２８の幅よりも僅かに
大きな厚みを有しているため多少の弾性抵抗を感じる。
そのため、ガスケット１６がボトムケース体１２のガス
ケット挿入溝２８内に保持され、容易に抜け出すことが
ない。本実施例にあっては、上述したように前記ガスケ
ット１６は上下対称の形状をなすため上下方向の確認が
不要であるばかりでなく、従来のようにボトムケース体
と蓋体とのガスケット挿入溝の端面間で挟持される突条
がないため、前記ガスケット挿入溝２８の溝端面に係合
させる必要もなく、その挿入作業は格段に簡素化され
る。

【００３４】ところで、前記ガスケット挿入溝２８内に
嵌入されたガスケット１６は、上述したようにその上下
の高さが前記ボトムケース体１２及び蓋体１４の各ガス
ケット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定さ
れているため、同ガスケット１６の中央に形成された前
記膨出部１６ａ及び突条１６ｂが前記ガスケット挿入溝
２８内に完全に挿入されるまで同ガスケット１６を押し
込むと、図１０に実線で示すように、その下端部１６ｃ
の円弧面１６ｄがガスケット挿入溝２７の底面に沿って
案内され、必然的にボトムケース体１２の内側方向に湾
曲する。

【００３５】上述のようにガスケット１６が装着された
前記ボトムケース体１２に半導体ウェハを起立して並列
支持されている前記ウェハキャリア１３を収容し、同ケ
ース体１２に蓋体１４を被せると、前記ガスケット１６
の上端部１６ｃが蓋体１４のガスケット挿入溝４５に嵌
入する。このとき、前記蓋体１４を上面からボトムケー
ス体１２に向けて強く押し付けると、蓋体１４の前後中
央部に垂設された係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形しな
がらボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６
ｃ′に乗り上がり、更に押されると前記係着片４２ａ，
４２ｂに形成されている係着孔４２ａ′，４２ｂ′が前
記ボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′
と嵌着して原形に復帰し、ボトムケース体１２と蓋体１
４との嵌合固定を更に強力なものとする。

【００３６】このとき、前記ガスケット１６の上端部１
６ｃは、前述のように前記蓋体１４のガスケット挿入溝
４５内に嵌入されるが、前記上端部１６ｃの厚みは前記
挿入溝４５の溝幅よりも小さいため、その嵌入に手間取
ることもなく確実に嵌入する。前記蓋体１４のガスケッ
ト挿入溝４５内に嵌入されたガスケット１６の上端部１
６ｃは、同上端部１６ｃの断面形状が下端部のそれと同
一であるため、前記ボトムケース体１２のガスケット挿
入溝２７内に嵌入された下端部１６ｃと同様に必然的に
内側に湾曲した状態となり、同挿入溝４５の底面に密着
する。また、本実施例ではガスケット１６の上記膨出部
１６ａ及び突条１６ｂの中央に上下端部１６ｃを延設さ
せているため、嵌入時の同ガスケット１６は各ガスケッ
ト挿入溝２８，４５の底部中央に嵌入させられ、上下端
部１６ｃが必ず容器内方に湾曲する。

【００３７】このように、前記ガスケット１６はその上
下端部１６ｃが湾曲して前記ボトムケース体１２及び蓋
体１４のガスケット挿入溝２７, ４５の底面にそれぞれ
密接されるため、通常の状態では前記ボトムケース体１
２と蓋体１４は確実に密閉シールされ、外気の侵入が完
全に遮断され、空気中の微細な塵芥や湿気の容器内への
侵入が阻止される。

【００３８】また、上述のように密閉シールされたウェ
ハ包装容器１０は、保管中に内外気圧の変化に伴って容
器内の外部に対して気圧が上昇すると、図１０に矢印で
示す方向に内圧が作用し、ボトムケース体１２と蓋体１
４とが離間する方向に僅かに移動するが、前記湾曲長さ
を十分に設定しておけば、前記ガスケット１６の上端部
１６ｃの湾曲側内面で前記内圧を受けることになり、同
上端部１６ｃはより強く前記ガスケット挿入溝４５の底
面に押し付けられ、その密閉性を確保する。また、前述
のように容器のない外圧の変化に限らず、外部からウェ
ハ包装容器１０に衝撃力が加わって、容器が僅かに変形
しても前記ガスケット１６は前記ボトムケース体１２及
び蓋体１４のガスケット挿入溝３７, ４５の底部に接近
分だけ大きく湾曲し、更に密閉性を高めるため、外気の
侵入による容器内の空気汚染の恐れはない。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る半導体ウェハ包装容器における蓋体構造によれ
ば、異なる種類のウェハであっても、同ウェハに対応す
る形態を有するウェハ押圧部材を簡単に交換することが
できるようになり、同一の蓋体をもって多様な種類のウ
ェハを適切な弾力で押圧することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包
装容器の分解斜視図である。

【図２】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材であるボ
トムケース体の半部を断面で示す側面図である。

【図３】同正面図である。

【図４】同ボトムケース体の底面図である。

【図５】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材である蓋
体の半部を断面で示す側面図である。

【図６】同正面図である。

【図７】同蓋体の上面図である。

【図８】同底面図である。

【図９】同蓋体の天板部内面に係着されるウェハ押圧部
材の一例を示す斜視図である。

【図１０】前記ボトムケース体と蓋体との間の密閉シー
ル構造を示す要部の断面図である。

【符号の説明】

１０半導体ウェハ包装容器１２ボトムケース体１３ウェハキャリア１４蓋体１５ウェハ押圧部材１６ガスケット１６ａ膨出部１６ｂ突部１６ｃ上下端部１６ｄ円弧面２１，２２左右側壁部２１ａ，２２ａ鉛直面部２１ｂ，２２ｂ湾曲面部２３前壁部２３ａ凹み部２４後壁部２５底部２５ａ帯状部分２５ａ′ 中央部２５ｂ基部２５ｂ′ 空間部２６ａ本体部分２６ｂ外側屈曲部分（外側面部
分）２６ｃ凹み部２６ｃ′ 嵌合膨出部２７補強リブ２８ガスケット挿入溝３１，３２左右側板３１ａ，３２ａ鉛直面部３１ｂ，３２ｂ円弧面部３１ｂ′，３２ｂ′ ウェハ支持溝３１ｃ，３２ｃリブ３３背板３４連結バー４１ａ，４１ｂ左右側壁４２ａ，４２ｂ矩形状係着片４２ａ′，４２ｂ′ 矩形状係着孔４３ａ，４３ｂ左右フランジ部４４天板部４４ａ〜４４ｃブロック状突出部４４ａ′ 凹み面４４ｄ挟着リブ４４ｄ′ 液体流路４４ｅ起立片４４ｅ′ 膨出係止部４４ｆ短尺リブ４４ｇ係止突起４４ｇ′ 膨出係止部４５ガスケット挿入溝５１矩形枠体５２ａ〜５２ｄ枠材５３，５４弾性片５３ａ，５３ｂ第１及び第２弾性片５３ａ′，５３ｂ′，５３ｃ′ウェハ押圧部５３ｃＪ字状弾性片５３ｄ弾性片５４連結板材５４′ 突片５５凸片５６取付作業用リブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に複数の半導体ウェハを起立状態で
並列支持するウェハキャリアが収納される蓋体とボトム
ケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器
にあって、前記蓋体の天板内壁面に、容器内部に収納された各ウェ
ハの上縁を弾性的に押圧する２以上の異なる種類のウェ
ハ押圧部材を、それぞれ交換可能に嵌着固定する嵌着手
段を有し、前記ウェハ押圧部材が、矩形枠体と同矩形枠体の一対の
対向する枠材に櫛歯状に延在する多数の弾性片とを有し
ており、前記嵌着手段が、前記矩形枠体の少なくとも一対の対向
する前記枠材をそれぞれ嵌着固定する左右対称に配され
た複数組の２条の挟着リブからなる、ことを特徴とする
半導体ウェハ包装容器。
【請求項２】前記２条の各リブの一部が間欠的に切り
欠かれ液体通路を形成してなる請求項１記載の半導体ウ
ェハ包装容器。
【請求項３】前記間欠的な一部のリブに代えて、先端
に枠材の上面の一部を押圧係止する膨出係止部を有する
係止突起とされ、同係止突起により各枠材を蓋体の天板
部の内壁面に押し付ける請求項２記載の半導体ウェハ包
装容器。
【請求項４】前記蓋体の天板内壁面に、更に他の相対
する一対の枠材をそれぞれ位置決め固定する固定手段を
有しており、各固定手段は前記一対の枠材の外側側面に
それぞれ当接する一条の短尺リブと、同リブに隣接して
突設され、先端に前記各枠材の上面の一部を押圧係止す
る膨出係止部を有する係止突起とからなり、前記リブで
枠材の外側側面を内方に向けて圧接すると共に、前記係
止突起をもって各枠材が蓋体の天板部の内壁面に押し付
けられる請求項１又は２記載の半導体ウェハ包装容器。
【請求項５】前記各枠材は嵌着端に向けて漸次肉薄に
形成されると共に、前記各リブは突出端に向けて漸次肉
薄に形成されてなり、前記枠材の嵌着端の肉厚が前記リ
ブの基端の肉厚より僅かに厚く設定されてなる請求項１
乃至３のいずれかに記載の半導体ウェハ包装容器。