JP3292800B2 - 密封容器のクランプ構造 - Google Patents
密封容器のクランプ構造Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，磁気ディスク用ア
ルミディスク，フォトマスク石英ガラス，又は半導体シ
リコンウェーハ (以下，シリコンウェーハという) な
ど，輸送中に損傷したり汚染するのをきらう物品を収納
して保管する密封容器のクランプ構造に関するものであ
る。
ルミディスク，フォトマスク石英ガラス，又は半導体シ
リコンウェーハ (以下，シリコンウェーハという) な
ど，輸送中に損傷したり汚染するのをきらう物品を収納
して保管する密封容器のクランプ構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の密封容器のクランプ構造は，図示
しないが，例えば特開平５−６３０６６号，実公平６−
１３１１４号，および実公平６−１０６９０号公報に開
示されている。特開平５−６３０６６号や実公平６−１
３１１４号公報には，容器本体の開口周縁部に係止具
を，ふた体の開口周縁部には下方に伸びる一対のフック
をそれぞれ突出させて設け，係止具に一対のフックをガ
スケットやパッキンなどを介して係合させる構成が示さ
れている。さらに，実公平６−１０６９０号公報には，
容器本体の開口周縁部およびふた体の開口周縁部にあり
ほぞを備えた係止リブをそれぞれ突出させて設け，この
複数の係止リブに係止板を嵌め入れるとともに，各あり
ほぞと係止板のありみぞとを嵌め合わせてスライドさ
せ，容器本体とふた体を閉じて密閉する構成が示されて
いる。
しないが，例えば特開平５−６３０６６号，実公平６−
１３１１４号，および実公平６−１０６９０号公報に開
示されている。特開平５−６３０６６号や実公平６−１
３１１４号公報には，容器本体の開口周縁部に係止具
を，ふた体の開口周縁部には下方に伸びる一対のフック
をそれぞれ突出させて設け，係止具に一対のフックをガ
スケットやパッキンなどを介して係合させる構成が示さ
れている。さらに，実公平６−１０６９０号公報には，
容器本体の開口周縁部およびふた体の開口周縁部にあり
ほぞを備えた係止リブをそれぞれ突出させて設け，この
複数の係止リブに係止板を嵌め入れるとともに，各あり
ほぞと係止板のありみぞとを嵌め合わせてスライドさ
せ，容器本体とふた体を閉じて密閉する構成が示されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の密封容器のクラ
ンプ構造は，以上のように構成されているので，以下に
示す問題があった。まず，特開平５−６３０６６号や実
公平６−１３１１４号公報のフックを使用する方法で
は，容器本体とふた体を閉じるにはふた体に荷重を作用
させてガスケットなどを押圧変形させる必要があるた
め，ふた体を平均的に押し下げて係止具に一対のフック
を係合させなければならず，このため作業に体力，技
能，および熟練性を必要とするという問題があった。ま
た，係止具とフックの係合箇所が例えば４箇所あり，最
初の作業で２箇所の係合を解除し，その後，残り２箇所
の係合を解除する場合，最初に解除した２箇のフックが
復元作用で係止具に再び係合し，その結果，作業の困難
化，遅延化，又は煩雑化を招くという問題があった。
ンプ構造は，以上のように構成されているので，以下に
示す問題があった。まず，特開平５−６３０６６号や実
公平６−１３１１４号公報のフックを使用する方法で
は，容器本体とふた体を閉じるにはふた体に荷重を作用
させてガスケットなどを押圧変形させる必要があるた
め，ふた体を平均的に押し下げて係止具に一対のフック
を係合させなければならず，このため作業に体力，技
能，および熟練性を必要とするという問題があった。ま
た，係止具とフックの係合箇所が例えば４箇所あり，最
初の作業で２箇所の係合を解除し，その後，残り２箇所
の係合を解除する場合，最初に解除した２箇のフックが
復元作用で係止具に再び係合し，その結果，作業の困難
化，遅延化，又は煩雑化を招くという問題があった。
【０００４】次に，実公平６−１０６９０号公報の係止
板をスライドさせる方法では，係止板をスライドさせて
ガスケットやガスケットなどを押圧変形させることが困
難，又は不可能であるため，ふた体を平均的に押し下げ
て係止板をスライドさせなければならず，やはり作業性
が悪いという問題があった。さらに，係止板のスライド
に伴う摩擦で粉塵が発生し，磁気ディスク用アルミディ
スク，フォトマスク石英ガラス，フォトマスク，シリコ
ンウェーハ，又はマスク原板などの内容物が汚染される
おそれがあるという問題があった。
板をスライドさせる方法では，係止板をスライドさせて
ガスケットやガスケットなどを押圧変形させることが困
難，又は不可能であるため，ふた体を平均的に押し下げ
て係止板をスライドさせなければならず，やはり作業性
が悪いという問題があった。さらに，係止板のスライド
に伴う摩擦で粉塵が発生し，磁気ディスク用アルミディ
スク，フォトマスク石英ガラス，フォトマスク，シリコ
ンウェーハ，又はマスク原板などの内容物が汚染される
おそれがあるという問題があった。
【０００５】本発明は，上記問題に鑑みてなされたもの
で，作業性の向上や内容物の汚染のおそれを防止するこ
とのできる密封容器のクランプ構造を提供することを目
的としている。
で，作業性の向上や内容物の汚染のおそれを防止するこ
とのできる密封容器のクランプ構造を提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
目的を達成するため、容器本体とふた体との各開口周縁
部に相互に嵌合する囲繞帯状段部をそれぞれ形成し，こ
の囲繞帯状段部における上記容器本体と該ふた体との各
開口周縁部の左右および／または前後の対向位置に係止
みぞを備えた係止リブをそれぞれ対向して突出させると
ともに，樹脂製プレートの中央部に縦方向にコ字状の切
り欠き部を形成して該切り欠き部に囲まれた部分を挟持
片として区画形成した係止板を別に備え、該係止板の前
記切り欠き部の上部を支点部として上記ふた体の係止リ
ブの係止みぞに引っかけ、かつ前記切り欠き部の上部に
対向する前記挟持片の自由上端辺を作用部として前記容
器本体の係止リブの係止みぞに引っかかるように係止板
を撓ませて押し込み、上記係止板の最下位部の力点部が
上記支点部および上記作用点部を結ぶ直線の外側に位置
する状態から、上記力点部を容器本体の壁方向に倒し、
上記力点部が上記直線の内側に位置するようにしてクラ
ンプするように構成している。なお，上記囲繞帯状段部
に弾性部材係止凹部を形成し，この弾性部材係止凹部に
は弾性部材を介在させることが好ましい。また，上記係
止板のコ字状の切り欠き部の左右側方に位置する部分の
肉厚を薄くして薄肉部とすることが望ましい。
目的を達成するため、容器本体とふた体との各開口周縁
部に相互に嵌合する囲繞帯状段部をそれぞれ形成し，こ
の囲繞帯状段部における上記容器本体と該ふた体との各
開口周縁部の左右および／または前後の対向位置に係止
みぞを備えた係止リブをそれぞれ対向して突出させると
ともに，樹脂製プレートの中央部に縦方向にコ字状の切
り欠き部を形成して該切り欠き部に囲まれた部分を挟持
片として区画形成した係止板を別に備え、該係止板の前
記切り欠き部の上部を支点部として上記ふた体の係止リ
ブの係止みぞに引っかけ、かつ前記切り欠き部の上部に
対向する前記挟持片の自由上端辺を作用部として前記容
器本体の係止リブの係止みぞに引っかかるように係止板
を撓ませて押し込み、上記係止板の最下位部の力点部が
上記支点部および上記作用点部を結ぶ直線の外側に位置
する状態から、上記力点部を容器本体の壁方向に倒し、
上記力点部が上記直線の内側に位置するようにしてクラ
ンプするように構成している。なお，上記囲繞帯状段部
に弾性部材係止凹部を形成し，この弾性部材係止凹部に
は弾性部材を介在させることが好ましい。また，上記係
止板のコ字状の切り欠き部の左右側方に位置する部分の
肉厚を薄くして薄肉部とすることが望ましい。
【０００７】本発明によれば，係止板をセットしてクラ
ンプするには，まず，容器本体の囲繞帯状段部にふた体
の囲繞帯状段部を弾性部材を介して被せ，容器本体の係
止リブとふた体の係止リブとを重ね合わせた後，ふた体
の係止リブのみぞに係止板の上部又は下部を引っかけ
る。次に，係止板の最下部の裏側などに指などをかけて
一時的に支点とし，容器本体の係止リブのみぞに係止板
の下部又は上部を差し込み，その後，係止板をたわませ
て容器本体の係止リブのみぞに係止板の下部又は上部を
引っかける。次に，係止板の最下部などを容器本体の壁
面方向に回すと，係止板の上部又は下部がふた体の係止
リブを，係止板の下部又は上部が容器本体の係止リブを
接近させ，容器本体の係止リブとふた体の係止リブとが
接近する。そして，この状態から係止板の最下部などを
容器本体の壁面方向にさらに回すと，容器本体とふた体
とが弾性部材を介した密着状態で閉じることとなる。ま
た，請求項２記載の発明によれば，弾性部材係止凹部に
ガスケットやパッキンなどの弾性部材をセットできるの
で，密封性が向上し，その結果，ごみやほこりなどの侵
入を防止することができる。また，請求項３記載の発明
によれば，係止板の側部が薄肉部に成形されているの
で，係止板を円滑かつ簡単にたわませることができ，切
り欠き部の下部を容器本体における係止リブの係止みぞ
に引っかけることができる。
ンプするには，まず，容器本体の囲繞帯状段部にふた体
の囲繞帯状段部を弾性部材を介して被せ，容器本体の係
止リブとふた体の係止リブとを重ね合わせた後，ふた体
の係止リブのみぞに係止板の上部又は下部を引っかけ
る。次に，係止板の最下部の裏側などに指などをかけて
一時的に支点とし，容器本体の係止リブのみぞに係止板
の下部又は上部を差し込み，その後，係止板をたわませ
て容器本体の係止リブのみぞに係止板の下部又は上部を
引っかける。次に，係止板の最下部などを容器本体の壁
面方向に回すと，係止板の上部又は下部がふた体の係止
リブを，係止板の下部又は上部が容器本体の係止リブを
接近させ，容器本体の係止リブとふた体の係止リブとが
接近する。そして，この状態から係止板の最下部などを
容器本体の壁面方向にさらに回すと，容器本体とふた体
とが弾性部材を介した密着状態で閉じることとなる。ま
た，請求項２記載の発明によれば，弾性部材係止凹部に
ガスケットやパッキンなどの弾性部材をセットできるの
で，密封性が向上し，その結果，ごみやほこりなどの侵
入を防止することができる。また，請求項３記載の発明
によれば，係止板の側部が薄肉部に成形されているの
で，係止板を円滑かつ簡単にたわませることができ，切
り欠き部の下部を容器本体における係止リブの係止みぞ
に引っかけることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下，シリコンウェーハの収納用
の容器に本発明を適用した実施の形態を図面を参照して
説明する。この実施形態における密封容器は，図１０な
どに示すごとく，容器本体１の開口上面およびふた体１
３の開口下面に囲繞帯状段部５・１６をそれぞれ成形す
るとともに，容器本体１の囲繞帯状段部５からは容器本
体用係止リブ１０を，ふた体１３の囲繞帯状段部１６か
らはふた体用係止リブ２１をそれぞれ突出させ，これら
容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１とを係
止板２３でクランプするようにしている。
の容器に本発明を適用した実施の形態を図面を参照して
説明する。この実施形態における密封容器は，図１０な
どに示すごとく，容器本体１の開口上面およびふた体１
３の開口下面に囲繞帯状段部５・１６をそれぞれ成形す
るとともに，容器本体１の囲繞帯状段部５からは容器本
体用係止リブ１０を，ふた体１３の囲繞帯状段部１６か
らはふた体用係止リブ２１をそれぞれ突出させ，これら
容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１とを係
止板２３でクランプするようにしている。
【０００９】容器本体１は，その上面が開口した有底箱
形に成形され，底面の中央２が上げ底に成形されてお
り，ケース形のカセット３を収納するとともに，このカ
セット３に多数のシリコンウェーハ４を一列に整列させ
て収納する機能を有している。容器本体１の材料として
は，例えばポリカーボネート，ポリプロピレン，ポリエ
チレン，又はＰＢＴ樹脂などの熱可塑性樹脂が適宜使用
される。また，容器本体１の上面の周縁には囲繞帯状段
部５が成形され，この囲繞帯状段部５は，その内側起立
片６と外側起立片７とでほぼＵ字形のＵ字形凹部８を形
成し，外側起立片７の外側下方には下方フランジ９が設
けられている。また，容器本体１の左右および／または
前後の対向位置における下方フランジ９には，容器本体
用係止リブ１０がほぼ水平外方向にそれぞれ突出され，
この容器本体用係止リブ１０の下面には係止みぞ１２が
凹み形成されている。
形に成形され，底面の中央２が上げ底に成形されてお
り，ケース形のカセット３を収納するとともに，このカ
セット３に多数のシリコンウェーハ４を一列に整列させ
て収納する機能を有している。容器本体１の材料として
は，例えばポリカーボネート，ポリプロピレン，ポリエ
チレン，又はＰＢＴ樹脂などの熱可塑性樹脂が適宜使用
される。また，容器本体１の上面の周縁には囲繞帯状段
部５が成形され，この囲繞帯状段部５は，その内側起立
片６と外側起立片７とでほぼＵ字形のＵ字形凹部８を形
成し，外側起立片７の外側下方には下方フランジ９が設
けられている。また，容器本体１の左右および／または
前後の対向位置における下方フランジ９には，容器本体
用係止リブ１０がほぼ水平外方向にそれぞれ突出され，
この容器本体用係止リブ１０の下面には係止みぞ１２が
凹み形成されている。
【００１０】また，ふた体１３は，その下面が開口した
箱形に成形され，上面の中央１４が上方向にふくらんで
成形されており，ウェーハ押さえ１５を着脱自在に内蔵
するとともに，このウェーハ押さえ１５の下部における
多数のウェーハ押さえ片を多数のシリコンウェーハ４の
上部にそれぞれ接触させて保護する機能を有している。
ふた体１３の材料としては，例えばポリカーボネート，
ポリプロピレン，ポリエチレン，又はＰＢＴ樹脂などの
熱可塑性樹脂が適宜使用される。また，ふた体１３の下
面の周縁には囲繞帯状段部１６が成形され，この囲繞帯
状段部１６は，その内側起立片１７と外側起立片１８と
を備えており，この外側起立片１８が容器本体１の外側
起立片７の外面に接触するよう作用する。この接触の
際，内側起立片１７と容器本体１のＵ字形凹部８との間
に狭い空間が，言い換えれば，ガスケット係止凹部１９
が形成区画され，このガスケット係止凹部１９に密封保
持用の枠形のガスケット２０が介在配置されるようにな
っている (図４参照) 。また，ふた体１３の左右および
／または前後の対向位置における外側起立片１８には，
ふた体用係止リブ２１がほぼ水平外方向にそれぞれ突出
され，このふた体用係止リブ２１の下面には係止みぞ２
２がそれぞれ凹み形成されている。
箱形に成形され，上面の中央１４が上方向にふくらんで
成形されており，ウェーハ押さえ１５を着脱自在に内蔵
するとともに，このウェーハ押さえ１５の下部における
多数のウェーハ押さえ片を多数のシリコンウェーハ４の
上部にそれぞれ接触させて保護する機能を有している。
ふた体１３の材料としては，例えばポリカーボネート，
ポリプロピレン，ポリエチレン，又はＰＢＴ樹脂などの
熱可塑性樹脂が適宜使用される。また，ふた体１３の下
面の周縁には囲繞帯状段部１６が成形され，この囲繞帯
状段部１６は，その内側起立片１７と外側起立片１８と
を備えており，この外側起立片１８が容器本体１の外側
起立片７の外面に接触するよう作用する。この接触の
際，内側起立片１７と容器本体１のＵ字形凹部８との間
に狭い空間が，言い換えれば，ガスケット係止凹部１９
が形成区画され，このガスケット係止凹部１９に密封保
持用の枠形のガスケット２０が介在配置されるようにな
っている (図４参照) 。また，ふた体１３の左右および
／または前後の対向位置における外側起立片１８には，
ふた体用係止リブ２１がほぼ水平外方向にそれぞれ突出
され，このふた体用係止リブ２１の下面には係止みぞ２
２がそれぞれ凹み形成されている。
【００１１】また，係止板２３は，図２および図３に示
すように，その四隅が丸まった矩形の板状に成形され，
その中央部分に倒コ字形のみぞ孔２４が切り欠き成形さ
れており，このみぞ孔２４に囲まれた部分が舌形の挟持
片２５として区画成形されている。係止板２３の材料と
しては，例えばポリスチレン系，ポリオレフィン系，又
はポリエステル系などの適度な弾性係数を有する硬質な
熱可塑性樹脂が適宜使用される。ただし，大型の容器本
体１の場合には，カーボン繊維やガラス繊維などで強化
された樹脂を使用することもできる。また，係止板２３
は，その最上下端がそれぞれ丸く成形され，最下部付近
が力点部２６として利用される。また，みぞ孔２４の水
平部分の上方に位置する辺部分は，丸まった支点部２７
として形成され，この支点部２７がふた体用係止リブ２
１の係止みぞ２２に係合するよう作用する。また，みぞ
孔２４の左右両側に位置する部分，言い換えれば，挟持
片２５をみぞ孔２４を介して挟む両側部分は，それぞれ
薄肉部２８として肉厚が薄く成形され，たわみ量が増加
するようになっている。この薄肉部２８の下部２９は，
図３に示すように，テーパ状に成形され，たわみやすく
なっている。また，みぞ孔２４の水平部分の幅，言い換
えれば，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２
１とが入る幅Ｗ (図２参照) は，容器本体１にふた体１
３が被覆されるとともに，ガスケット２０が押圧変形さ
れ，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１と
が最接近した場合における係止みぞ１２と係止みぞ２２
の間の距離Ｄ (図４参照) と同一，又は僅かに短くなる
よう設定されている。さらに，挟持片２５は，支点部２
７と向き合うその自由上端辺が丸く成形されており，こ
の自由上端辺が容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２
に係合する作用点部３０として利用される。
すように，その四隅が丸まった矩形の板状に成形され，
その中央部分に倒コ字形のみぞ孔２４が切り欠き成形さ
れており，このみぞ孔２４に囲まれた部分が舌形の挟持
片２５として区画成形されている。係止板２３の材料と
しては，例えばポリスチレン系，ポリオレフィン系，又
はポリエステル系などの適度な弾性係数を有する硬質な
熱可塑性樹脂が適宜使用される。ただし，大型の容器本
体１の場合には，カーボン繊維やガラス繊維などで強化
された樹脂を使用することもできる。また，係止板２３
は，その最上下端がそれぞれ丸く成形され，最下部付近
が力点部２６として利用される。また，みぞ孔２４の水
平部分の上方に位置する辺部分は，丸まった支点部２７
として形成され，この支点部２７がふた体用係止リブ２
１の係止みぞ２２に係合するよう作用する。また，みぞ
孔２４の左右両側に位置する部分，言い換えれば，挟持
片２５をみぞ孔２４を介して挟む両側部分は，それぞれ
薄肉部２８として肉厚が薄く成形され，たわみ量が増加
するようになっている。この薄肉部２８の下部２９は，
図３に示すように，テーパ状に成形され，たわみやすく
なっている。また，みぞ孔２４の水平部分の幅，言い換
えれば，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２
１とが入る幅Ｗ (図２参照) は，容器本体１にふた体１
３が被覆されるとともに，ガスケット２０が押圧変形さ
れ，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１と
が最接近した場合における係止みぞ１２と係止みぞ２２
の間の距離Ｄ (図４参照) と同一，又は僅かに短くなる
よう設定されている。さらに，挟持片２５は，支点部２
７と向き合うその自由上端辺が丸く成形されており，こ
の自由上端辺が容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２
に係合する作用点部３０として利用される。
【００１２】したがって，係止板２３をセットしてクラ
ンプするには，まず，容器本体１の囲繞帯状段部５にふ
た体１３の囲繞帯状段部１６をガスケット２０を介して
覆い被せ，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ
２１とを位置合わせして重ね合わせ (図１参照) ，その
後，ふた体用係止リブ２１の係止みぞ１２に係止板２３
の支点部２７を引っかける (図５参照) 。この時点にお
いては，容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２に作用
点部３０を引っかけることができない。そこで，係止板
２３の力点部２６の裏側に指をかけて仮の支点 (図６の
矢印参照) とし，容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１
２に挟持片２５の作用点部３０を仮の力点として押し込
み (図６の矢印参照) ，その後，係止板２３の薄肉部２
８を弓状にたわませて容器本体用係止リブ１０の係止み
ぞ１２に作用点部３０を引っかける (図６参照) 。ここ
で，力点部２６，支点部２７，および作用点部３０は，
図７に示すように，一直線に並ぶことなく，おのおのが
あたかも三角形の頂点を形成するような形を区画する。
また，この際，力点部２６は，支点部２７および作用点
部３０を結ぶ直線の外側 (図７の右側) に位置する。
ンプするには，まず，容器本体１の囲繞帯状段部５にふ
た体１３の囲繞帯状段部１６をガスケット２０を介して
覆い被せ，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ
２１とを位置合わせして重ね合わせ (図１参照) ，その
後，ふた体用係止リブ２１の係止みぞ１２に係止板２３
の支点部２７を引っかける (図５参照) 。この時点にお
いては，容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２に作用
点部３０を引っかけることができない。そこで，係止板
２３の力点部２６の裏側に指をかけて仮の支点 (図６の
矢印参照) とし，容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１
２に挟持片２５の作用点部３０を仮の力点として押し込
み (図６の矢印参照) ，その後，係止板２３の薄肉部２
８を弓状にたわませて容器本体用係止リブ１０の係止み
ぞ１２に作用点部３０を引っかける (図６参照) 。ここ
で，力点部２６，支点部２７，および作用点部３０は，
図７に示すように，一直線に並ぶことなく，おのおのが
あたかも三角形の頂点を形成するような形を区画する。
また，この際，力点部２６は，支点部２７および作用点
部３０を結ぶ直線の外側 (図７の右側) に位置する。
【００１３】次いで，係止板２３の力点部２６を時計方
向に回して (図７の矢印参照) 容器本体１の壁面方向に
倒すと，支点部２７がふた体用係止リブ２１を，作用点
部３０が容器本体用係止リブ１０をそれぞれ押圧して接
近させ，力点部２６，支点部２７，および作用点部３０
が一直線に並び，容器本体用係止リブ１０とふた体用係
止リブ２１とが最も接近することとなる (図８参照) 。
そして，この状態から力点部２６を時計方向に回して
(図８の矢印参照) 容器本体１の壁面方向にさらに倒せ
ば，ガスケット２０が変形して反力を発生させるととも
に，この反力に基づいて力点部２６が支点部２７および
作用点部３０を結ぶ直線の内側 (図９の左側) に位置
し，てこの原理に基づき，容器本体１とふた体１３とが
ガスケット２０を介在させた密着状態で安定して閉じる
こととなる。
向に回して (図７の矢印参照) 容器本体１の壁面方向に
倒すと，支点部２７がふた体用係止リブ２１を，作用点
部３０が容器本体用係止リブ１０をそれぞれ押圧して接
近させ，力点部２６，支点部２７，および作用点部３０
が一直線に並び，容器本体用係止リブ１０とふた体用係
止リブ２１とが最も接近することとなる (図８参照) 。
そして，この状態から力点部２６を時計方向に回して
(図８の矢印参照) 容器本体１の壁面方向にさらに倒せ
ば，ガスケット２０が変形して反力を発生させるととも
に，この反力に基づいて力点部２６が支点部２７および
作用点部３０を結ぶ直線の内側 (図９の左側) に位置
し，てこの原理に基づき，容器本体１とふた体１３とが
ガスケット２０を介在させた密着状態で安定して閉じる
こととなる。
【００１４】上記作業の終了の際，容器本体用係止リブ
１０とふた体用係止リブ２１とは，図９の状態から僅か
ながらも離れてクリアランスを発生させる。しかしなが
ら，このクリアランスは，図８の場合よりも少ないの
で，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１と
が適度な力で押圧保持されることとなる。なお，この良
好な状態を実現するためには，以下の要件を具備するよ
う係止板２３，容器本体用係止リブ１０，およびふた体
用係止リブ２１を成形すればよい。まず，力点部２６が
支点部２７および作用点部３０を結ぶ直線の外側に位置
するクランプ前の状態において，直線と挟持片２５のな
す角度をθ1 (図７参照) とする。そして，力点部２６
が支点部２７および作用点部３０を結ぶ直線の内側に位
置するクランプ後の状態において，直線と挟持片２５の
なす角度をθ2 (図９参照) とした場合，係止板２３，
容器本体用係止リブ１０，およびふた体用係止リブ２１
の寸法が常時θ1 ＞θ2 となるよう，より好ましくはθ
2 ＋１０゜＞θ1 ＞θ2 ＋５゜の範囲内となるよう成形
すればよい。
１０とふた体用係止リブ２１とは，図９の状態から僅か
ながらも離れてクリアランスを発生させる。しかしなが
ら，このクリアランスは，図８の場合よりも少ないの
で，容器本体用係止リブ１０とふた体用係止リブ２１と
が適度な力で押圧保持されることとなる。なお，この良
好な状態を実現するためには，以下の要件を具備するよ
う係止板２３，容器本体用係止リブ１０，およびふた体
用係止リブ２１を成形すればよい。まず，力点部２６が
支点部２７および作用点部３０を結ぶ直線の外側に位置
するクランプ前の状態において，直線と挟持片２５のな
す角度をθ1 (図７参照) とする。そして，力点部２６
が支点部２７および作用点部３０を結ぶ直線の内側に位
置するクランプ後の状態において，直線と挟持片２５の
なす角度をθ2 (図９参照) とした場合，係止板２３，
容器本体用係止リブ１０，およびふた体用係止リブ２１
の寸法が常時θ1 ＞θ2 となるよう，より好ましくはθ
2 ＋１０゜＞θ1 ＞θ2 ＋５゜の範囲内となるよう成形
すればよい。
【００１５】なお，係止板２３を外して容器本体１から
ふた体１３を取り外すには，係止板２３の力点部２６を
反時計方向に回してクランプを解除し，薄肉部２８を弓
状にたわませて容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２
から作用点部３０を外した後，ふた体用係止リブ２１の
係止みぞ２２から係止板２３の支点部２７を外せばよ
い。
ふた体１３を取り外すには，係止板２３の力点部２６を
反時計方向に回してクランプを解除し，薄肉部２８を弓
状にたわませて容器本体用係止リブ１０の係止みぞ１２
から作用点部３０を外した後，ふた体用係止リブ２１の
係止みぞ２２から係止板２３の支点部２７を外せばよ
い。
【００１６】上記構成によれば，ふた体１３を押し下げ
てガスケットを押圧変形する必要がないので，ふた体１
３を平均的に押し下げて係止板２３にフックを係合させ
る必要性が全くない。したがって，体力，技能，および
熟練性の必要性を確実に軽減することができる。また，
これを通じて，作業の円滑化，簡素化，迅速化，および
容易化を図ることが可能となる。また，係止板２３をス
ライドさせてガスケット２０を押圧変形する必要性が全
くないので，作業性の大幅な向上が期待できるととも
に，スライド時の摩擦で粉塵が発生することがなく，ク
リーン度を維持してシリコンウェーハ４の汚染のおそれ
を確実に除去することができる。また，係止板２３がト
ッグル式操作なので，確実かつ容易に取り扱うことが可
能となる。さらにまた，薄肉部２８の肉厚がそれぞれ薄
く成形されているので，この薄肉部２８を大きくたわま
せることにより，係止みぞ１２に作用点部３０を円滑に
係合することができる。
てガスケットを押圧変形する必要がないので，ふた体１
３を平均的に押し下げて係止板２３にフックを係合させ
る必要性が全くない。したがって，体力，技能，および
熟練性の必要性を確実に軽減することができる。また，
これを通じて，作業の円滑化，簡素化，迅速化，および
容易化を図ることが可能となる。また，係止板２３をス
ライドさせてガスケット２０を押圧変形する必要性が全
くないので，作業性の大幅な向上が期待できるととも
に，スライド時の摩擦で粉塵が発生することがなく，ク
リーン度を維持してシリコンウェーハ４の汚染のおそれ
を確実に除去することができる。また，係止板２３がト
ッグル式操作なので，確実かつ容易に取り扱うことが可
能となる。さらにまた，薄肉部２８の肉厚がそれぞれ薄
く成形されているので，この薄肉部２８を大きくたわま
せることにより，係止みぞ１２に作用点部３０を円滑に
係合することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば，操作性の
向上や精密部品の汚染のおそれを防止することができる
という格別の効果がある。また，請求項２記載の発明に
よれば，弾性部材係止凹部に弾性部材をセットできるの
で，取り扱い，作業性，および操作性などが向上する。
さらに，請求項３記載の発明によれば，係止板を必要に
応じて容易にたわませることができ，これを通じて密封
作業の作業性が向上するという顕著な効果がある。
向上や精密部品の汚染のおそれを防止することができる
という格別の効果がある。また，請求項２記載の発明に
よれば，弾性部材係止凹部に弾性部材をセットできるの
で，取り扱い，作業性，および操作性などが向上する。
さらに，請求項３記載の発明によれば，係止板を必要に
応じて容易にたわませることができ，これを通じて密封
作業の作業性が向上するという顕著な効果がある。
【図１】本発明に係る密封容器のクランプ構造の実施の
形態を示す縦断面図である。
形態を示す縦断面図である。
【図２】本発明に係る密封容器のクランプ構造に使用す
る係止板を示す平面図である。
る係止板を示す平面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】図１の容器本体とふた体との嵌め合わせ部を示
す要部断面拡大図である。
す要部断面拡大図である。
【図５】密封容器のクランプ構造のクランプ操作開始時
の状態を示す断面図である。
の状態を示す断面図である。
【図６】図５のクランプ操作の次状態を示す断面図であ
る。
る。
【図７】図６のクランプ操作の次状態を示す断面図であ
る。
る。
【図８】図７のクランプ操作の次状態を示す断面図であ
る。
る。
【図９】図８の密封容器のクランプ構造のクランプ終了
時の状態を示す断面図である。
時の状態を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る密封容器のクランプ構造のクラ
ンプ終了時の状態を示す全体断面図である。
ンプ終了時の状態を示す全体断面図である。
１…容器本体 ５・１６…囲繞帯状段部 １０…容器本体用係止リブ (係止リブ) １２・２２…係止みぞ １３…ふた体 １９…ガスケット係止凹部 (弾性部材係止凹部) ２０…ガスケット (弾性部材) ２１…ふた体用係止リブ (係止リブ) ２３…係止板 ２４…みぞ孔 ２５…挟持片 ２６…力点部 ２７…支点部 (切り欠き部の上部) ２８…薄肉部 ３０…作用点部 (切り欠き部の下部)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86
Claims (3)
- 【請求項１】 容器本体とふた体との各開口周縁部に相
互に嵌合する囲繞帯状段部をそれぞれ形成し，この囲繞
帯状段部における上記容器本体と該ふた体との各開口周
縁部の左右および／または前後の対向位置に係止みぞを
備えた係止リブをそれぞれ対向して突出させるととも
に，樹脂製プレートの中央部に縦方向にコ字状の切り欠
き部を形成して該切り欠き部に囲まれた部分を挟持片と
して区画形成した係止板を別に備え、該係止板の前記切
り欠き部の上部を支点部として上記ふた体の係止リブの
係止みぞに引っかけ、かつ前記切り欠き部の上部に対向
する前記挟持片の自由上端辺を作用部として前記容器本
体の係止リブの係止みぞに引っかかるように係止板を撓
ませて押し込み、上記係止板の最下位部の力点部が上記
支点部および上記作用点部を結ぶ直線の外側に位置する
状態から、上記力点部を容器本体の壁方向に倒し、上記
力点部が上記直線の内側に位置するようにしてクランプ
するように構成したことを特徴とする密閉容器のクラン
プ構造。 - 【請求項２】 上記囲繞帯状段部に弾性部材係止凹部を
形成し，この弾性部材係止凹部には弾性部材を介在させ
た請求項１記載の密封容器のクランプ構造。 - 【請求項３】 上記係止板のコ字状の切り欠き部の左右
側方に位置する部分の肉厚を薄くして薄肉部とした請求
項１又は２記載の密封容器のクランプ構造。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28915795A JP3292800B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 密封容器のクランプ構造 |
| DE69631274T DE69631274T2 (de) | 1995-10-12 | 1996-10-08 | Klemmvorrichtung für einen luftdichten Behälter |
| EP96402136A EP0768706B1 (en) | 1995-10-12 | 1996-10-08 | Clamping structure in an air-tightly sealable container |
| MYPI96004183A MY114442A (en) | 1995-10-12 | 1996-10-09 | Clamping structure in air-tightly sealable container |
| TW087215028U TW392923U (en) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | Clamping structure in air-tightly sealable container |
| US08/730,010 US5722707A (en) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | Clamping structure in air-tightly sealable container |
| KR1019960045456A KR100352674B1 (ko) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | 기밀 시일링가능한 컨테이너의 클램핑 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28915795A JP3292800B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 密封容器のクランプ構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09107025A JPH09107025A (ja) | 1997-04-22 |
| JP3292800B2 true JP3292800B2 (ja) | 2002-06-17 |
Family
ID=17739506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28915795A Expired - Fee Related JP3292800B2 (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 密封容器のクランプ構造 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5722707A (ja) |
| EP (1) | EP0768706B1 (ja) |
| JP (1) | JP3292800B2 (ja) |
| KR (1) | KR100352674B1 (ja) |
| DE (1) | DE69631274T2 (ja) |
| MY (1) | MY114442A (ja) |
| TW (1) | TW392923U (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| JP3838786B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2006-10-25 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法 |
| US8083272B1 (en) * | 1998-06-29 | 2011-12-27 | Industrial Technology Research Institute | Mechanically actuated air tight device for wafer carrier |
| JP3998354B2 (ja) | 1998-11-24 | 2007-10-24 | 信越ポリマー株式会社 | 輸送容器及びその蓋体の開閉方法並びにその蓋体の開閉装置 |
| KR100711335B1 (ko) * | 2000-05-12 | 2007-04-27 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 운반 용기 및 운반 용기의 뚜껑을 개방 및 폐쇄시키는 방법 |
| JP4146718B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2008-09-10 | ミライアル株式会社 | 薄板支持容器 |
| US7357009B2 (en) * | 2003-11-13 | 2008-04-15 | Emerson Network Power, Energy Systems, North America, Inc. | Pedastal closure assembly having snag-free lock |
| JP4634772B2 (ja) * | 2004-10-14 | 2011-02-16 | ミライアル株式会社 | 収納容器 |
| CA2681430C (en) | 2008-10-01 | 2017-04-18 | Emerson Network Power, Energy Systems, North America, Inc. | Outdoor telecommunications equipment enclosures having slide lock assemblies |
| TWI363030B (en) * | 2009-07-10 | 2012-05-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | Wafer container with top flange structure |
| DE102014110562A1 (de) * | 2014-07-25 | 2016-02-11 | Huf Hülsbeck & Fürst Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Betätigen eines beweglichen Teils eines Kraftfahrzeuges sowie Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zum Betätigen eines beweglichen Teils eines Kraftfahrzeuges |
| CN107735856B (zh) * | 2015-07-03 | 2021-11-30 | 未来儿株式会社 | 基板收纳容器 |
| CN111003329B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-06-08 | 重庆电子工程职业学院 | 一种晶圆存放周转装置 |
| CN114743905B (zh) * | 2022-04-19 | 2023-11-17 | 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司 | 一种半导体晶片收纳容器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1620983A (en) * | 1922-04-13 | 1927-03-15 | Allis Chalmers Mfg Co | Transformer casing |
| US1547767A (en) * | 1925-02-13 | 1925-07-28 | Nat Enameling And Stamping Com | Oil stove |
| US1783598A (en) * | 1925-09-30 | 1930-12-02 | Hall C M Lamp Co | Lamp catch |
| US2246470A (en) * | 1937-05-26 | 1941-06-17 | Allis Chalmers Mfg Co | Receptacle closure |
| US2357246A (en) * | 1941-09-15 | 1944-08-29 | Roy H Whitmyer | Container |
| US2503222A (en) * | 1945-10-23 | 1950-04-04 | Pacific All Fiber Drums Inc | Cover holding clip |
| US3420399A (en) * | 1967-09-20 | 1969-01-07 | Raymond A Heisler | Lid retaining clip for eared containers |
| US3470589A (en) * | 1967-12-08 | 1969-10-07 | Rings Inc | Means for securing clamping rings |
| BE709859A (ja) * | 1968-01-25 | 1968-07-25 | ||
| US3905712A (en) * | 1973-09-27 | 1975-09-16 | Interlake Inc | Snap lock for quickly-detachable beam-to-post joint |
| JPS5872708A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-30 | トヨタ自動車株式会社 | ２つ割型樹脂カバ− |
| US4817799A (en) * | 1986-10-06 | 1989-04-04 | Empak, Inc. | Disk package |
| US4709834A (en) * | 1987-02-02 | 1987-12-01 | Empak Inc. | Storage box |
| JPH0563066A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ収納容器の係止構造 |
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1995
- 1995-10-12 JP JP28915795A patent/JP3292800B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-10-08 DE DE69631274T patent/DE69631274T2/de not_active Expired - Lifetime
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- 1996-10-09 MY MYPI96004183A patent/MY114442A/en unknown
- 1996-10-11 KR KR1019960045456A patent/KR100352674B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-10-11 US US08/730,010 patent/US5722707A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-10-11 TW TW087215028U patent/TW392923U/zh not_active IP Right Cessation
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