TWI697979B - 基板收容容器 - Google Patents

Abstract

一種基板收容容器(1)，係具備：容器本體(10)，其在一端具有開口部(11)，在另一端具有與開口部(11)對向且可供基板(W)重疊收容的搭載部(12)；以及蓋體(20)，用以堵塞開口部(11)；蓋體(20)係具有：蓋體部(21)，用以堵塞開口部(11)；以及在蓋體部(21)的至少二個部位所具有的按壓構件(22)，係朝向蓋體部(21)之中心方向擺動，並且將收容重疊於容器本體(10)的基板(W)之外側予以壓緊；容器本體(10)係具有導槽(13)，該導槽(13)係使按壓構件(22)之前端部(22a)從搭載部(12)之外側朝向內側移動且被導引至壓緊基板(W)之外側的位置；導槽(13)係形成為比搭載部(12)之表面還凹下。

Description

基板收容容器

本發明係關於一種基板收容容器。

作為收容基板的基板收容容器，例如有專利文獻1所揭示之收容半導體晶圓(wafer)的容器。

專利文獻1所揭示的基板收容容器，係在容器本體上具備筒狀的基板收容部。在基板收容部的最上層和最下層設置有緩衝材料(cushion material)等。使晶圓(基板)和層間紙(合成樹脂製薄片(sheet)或無塵紙或合成樹脂製成形品等)交替地夾設並收容於上下的緩衝材料之間，且將蓋體予以蓋上。

〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕

專利文獻1：日本特開平09-129719號公報。

在專利文獻1的基板收容容器中，係為了收容晶圓，而有必要對應於晶圓的外徑事先加大基板收容部的內徑。為此，由於基板收容部與晶圓的間隙，晶圓會因輸送中的震動、衝擊等而於水平方向移動。

因為如此的晶圓之水平方向的移動，而會有與晶圓直接接觸的層間紙等之摩擦、因傷痕或裂痕等所引起的破損、揚塵、或是因化學成分而帶給晶圓之汙染等的問題。

本發明係有鑒於此種先前技術的問題點而開發完成，其目的在於提供一種可以抑制所收容的基板之移動的基板收容容器。

為了達成上述目的，本發明的基板收容容器，係具備：容器本體，其在一端具有開口部，在另一端具有與前述開口部對向且可供基板重疊收容的搭載部；以及蓋體，用以堵塞前述開口部；前述蓋體係具有：蓋體部，用以堵塞前述開口部；以及在前述蓋體部的至少二個部位所具有的按壓構件，係朝向前述蓋體部之中心方向擺動，並且將收容重疊於前述容器本體的前述基板之外側予以壓緊；前述容器本體係具有導槽(guidc groove)，該導槽係使前述按壓構件之前端部從前述搭載部之外側朝向內側移動且被導引至 壓緊前述基板之外側的位置；前述導槽係形成為比前述搭載部之表面還凹下。

前述容器本體較佳是在前述搭載部隔開間隔地形成有將收容前述基板的收容部予以劃分的固定側壁部，且在前述固定側壁部之間的前述搭載部形成有前述導槽；前述蓋體係在與前述固定側壁部之間隔對應的位置之前述蓋體部形成有前述按壓構件。

前述按壓構件較佳是與前述蓋體一體成型，或是前述按壓構件較佳是沿著所擺動的擺動軸部而形成有促進擺動的槽部。

依據本發明的基板收容容器，可以抑制所收容的基板之移動。

1:基板收容容器

10:容器本體

11:開口部

12:搭載部

12a:基板搭載部

13:導槽

13a:傾斜面

13b:垂直面

14:固定側壁部

15:密封面

15a:突出片

16:密封面

17:卡止片

17a:爪部

20:蓋體

21:蓋體部

21a:凹部

22:按壓構件

22a:前端部

22b:基端部

23:圓筒部

24:外壁部

25:卡止孔

25a:卡止面

26:擺動軸部

27:槽部

28:上部壓緊部

31:緩衝材料

32:層間紙

L:間隔

S:收容部

W:基板

圖1中的(a)係顯示本發明的基板收容容器之一實施形態的容器本體之俯視圖。圖1中的(b)係圖1中的(a)之A-A剖視圖。

圖2中的(a)係顯示本發明的基板收容容器之一實施形態的卡止片，且為圖1中的(a)之B箭視圖。圖2中的(b)係圖1中的(a)之C-C剖視圖。

圖3中的(a)係顯示本發明的基板收容容器之一實施形態的前視圖。圖3中的(b)係蓋體的俯視圖。

圖4係本發明的基板收容容器之一實施形態的蓋體之仰視圖。

圖5係本發明的基板收容容器之一實施形態的蓋體與容器本體之一部分之圖3中的(b)之D-D剖視圖。

圖6係本發明的基板收容容器之一實施形態的蓋體之圖3中的(b)之E-E剖視圖。

圖7係本發明的基板收容容器之一實施形態的按壓構件之動作的說明圖。

圖8係本發明的基板收容容器之一實施形態的基板之收容步驟的說明圖。

以下，基於圖式就本發明的基板收容容器之一實施形態加以詳細說明。

本發明的基板收容容器1係具備：容器本體10，其在一端具有開口部11，在另一端具有與開口部11對向且可供基板W重疊收容的搭載部12；以及蓋體20，用以堵塞開口部11；蓋體20係具有：蓋體部21，用以堵塞開口部11；以及在蓋體部21的至少二個部位所具有的按壓構件22，係朝向蓋體部21之中心方向擺動，並且將收容重疊於容器本體10的基板W之外側予以壓緊；容器本體10係具 有導槽13，該導槽13係使按壓構件22之前端部22a從搭載部12之外側朝向內側移動且被導引至壓緊基板W之外側的位置；導槽13係形成為比搭載部12之表面還凹下。

藉此，當將蓋體20蓋上容器本體10時，按壓構件22之前端部22a就會藉由容器本體10之導槽13從外側朝向內側移動。此時，前端部22a係藉由在至少二個部位壓緊已被重疊的基板W之外側來防止基板W之移動。

在本實施形態中，係以容器本體10之開口部11朝向上方開口，且在搭載部12上重疊收容呈水平之基板W的情況為例來加以說明。再者，在將基板W重疊收容於基板收容容器1且完成將蓋體20予以蓋上的收容作業之後，則無論基板W在任何的狀態(無論基板W的方向是例如水平或垂直等)下皆可進行搬運等。

容器本體10係具備成為底面板的搭載部12。如圖1中的(a)所示，搭載部12係形成為使正方形之四角隅帶有切口的八角形狀。搭載部12係分割設置於中央部上表面的平面，且包含可供基板W重疊收容的基板搭載部12a。再者，搭載部12亦可形成為四角形狀。

在搭載部12係以朝向上方突出的方式形成有用以劃分基板W之收容部S的固定側壁部14。固定側壁部14係 配合基板W之形狀而形成為構成圓筒之一部分的複數個(例如四個)圓弧狀，並沿著圓周隔開間隔L所形成。固定側壁部14係與搭載部12一體成型。藉此，固定側壁部14的上端部就成為容器本體10的開口部11，而由固定側壁部14所劃分出的空間則成為基板W的收容部S。

固定側壁部14之內徑係形成為不妨礙基板W之收容或取出的大小。固定側壁部14之內徑係形成比基板W之大小(直徑)，例如比5吋、6吋、8吋、12吋等的尺寸還大(例如，直徑大1mm至2mm左右)。固定側壁部14之間隔L係形成為基板W之取出時的機械手臂(robot arm)之插入口。

在容器本體10，係如圖2中的(b)所示，在固定側壁部14之下端部外周形成有與蓋體20進行密封的密封面15。在密封面15之外側係圓弧狀地形成有朝向上方突出之突出片15a。在固定側壁部14之間的間隔L部分係如圖1中的(b)所示，以從搭載部12朝向上方突出的方式形成有密封面16。密封面16係與密封面15連續而成為環狀。在密封面16之外側係省略了突出片15a。

藉此，當後面所述的蓋體20被蓋上時，就能藉由蓋體20之圓筒部23的內側面接觸密封面15、16來密封。藉由用突出片15a來壓緊蓋體之圓筒部23的外側面，就能保持 密封狀態。

如圖1及圖2所示，容器本體10係在位於搭載部12之四角隅的四個固定側壁部14之外側，分別形成有卡止片17。卡止片17係具備已設置於前端內側的爪部17a。卡止片17係與搭載部12朝向上方突出而形成為一體。藉由將卡止片17之爪部17a卡止於蓋體20就可以保持容器本體10與蓋體20的連結狀態。有關蓋體20的詳細內容將於後述。

如圖1所示，容器本體10係具備導槽13。導槽13係形成於搭載部12的固定側壁部14之間隔L的四個部位。導槽13係以使已設置於後面所述的蓋體20之蓋體部21的按壓構件22用基端部22b擺動且使前端部22a從搭載部12之外側朝向內側(中心側)移動的方式來導引。

導槽13係與成為底面板的搭載部12之中心方向正交而形成為直線狀。導槽13係形成為比基板搭載部12a之表面還凹下。導槽13係由容器本體10之外側較高而中心側較低的傾斜面13a、以及連續於傾斜面13a之中心側的垂直面13b構成為大致V字狀的剖面形狀。

再者，如圖1及圖2所示，容器本體10係在搭載部12、固定側壁部14等的構件上，為了進行補強或其他步驟 之裝卸(handling)等，依需要而形成有凹凸部或肋條(rib)等。上面所述的容器本體10之各部亦可全部由一體所成形。

如圖3至圖5所示，蓋體20係以堵塞容器本體10之開口部11的方式蓋上。蓋體20係具備外形與搭載部12同一形狀之八角形狀之成為頂面板的蓋體部21。

蓋體部21係從八角形的端緣部突出而形成有外壁部24，且與容器本體10的搭載部12之表面周圍的唇(lip)部接觸。在蓋體部21之外壁部24的內側係從成為頂面部的蓋體部21突出而形成有圓筒狀的圓筒部23。圓筒部23係與容器本體10的搭載部12之密封面15及密封面16接觸而密封成為密封狀態。

在為蓋體部21之四角隅且亦與容器本體10的卡止片17之配置成對應的四個部位形成有卡止孔25。在從容器本體10之搭載部12朝向上方突出的卡止片17之爪部17a越過卡止孔25之後，爪部17a之下端水平面會被卡止。

如圖6所示，卡止孔25係形成於在蓋體部21之上表面所形成的凹部21a。如圖5所示，凹部21a係具有使卡止片17插通卡止孔25之後能夠以不從蓋體部21之表面突出的方式收容爪部17a的深度。可供爪部17a卡止的卡止孔 25之卡止面25a，係在使中央部凹下並解除卡止狀態時容易回推卡止片17。

藉此，在將蓋體20蓋上容器本體10時，能藉由使四個部位的容器本體10側的卡止片17之爪部17a越過蓋體20側的卡止孔25而使爪部17a卡止於卡止面25a。

在該卡止狀態下係成為能藉由容器本體10和蓋體20使基板W之收容部S以密閉狀態成為被密封的狀態。

另一方面，卡止狀態之解除係利用蓋體20的卡止面25a之中央部的凹部。藉此，可以確實地將卡止片17從中心側回推至外側，且可以簡單地進行。

蓋體20係在基板W之外側部的至少二個部位，例如四個部位具備按壓構件22。

按壓構件22係形成為平板狀。按壓構件22係從成為頂面部的蓋體部21之內側朝向下方突出，且配置於與蓋體部21之中心方向正交的位置。按壓構件22係形成為能夠以基端部22b之擺動軸部26作為中心來擺動，且藉由與蓋體20形成為一體，而使擺動軸部26成為鉸鏈構造。

在此，按壓構件22係在擺動軸部26之外側部分形成 有槽部27。藉此，按壓構件22之鉸鏈構造部分就能藉由形成於擺動軸部26的槽部27而成為薄壁。從而，容易進行以槽部27作為中心的按壓構件22之擺動，並可以順利地進行藉由導槽13而致使的按壓構件22之導引。

按壓構件22之內側面(基板W之中心側的面)係以成為與所重疊收容的基板W之外徑一致的位置的方式設定有擺動軸部26之位置。按壓構件22之突出長度係定為如下。按壓構件22係在將蓋體20蓋上容器本體10的情況下，於開始蓋上的初期(參照圖7中的(a))，使前端部(圖示例中為下端部)22a位於容器本體10之導槽13內。之後，按壓構件22係能隨著將蓋體20予以蓋上而由導槽13所導引。在完全將蓋體20蓋上容器本體10的終期(參照圖7中的(b))，按壓構件22的突出長度為已定，以便能導引至按壓構件22之內側面接觸導槽13之垂直面13b的狀態為止。

亦即，在將蓋體20蓋上容器本體10並予以密封卡止的狀態下，按壓構件22之前端部22a係位於導槽13之槽前端，且成為因傾斜面13a而不會回到外側的狀態。

藉此，在將蓋體20蓋上容器本體10並予以密封卡止的狀態下，四個部位的按壓構件22係能保持於與基板W之外徑對應的位置。從而，可以用四個部位的按壓構件22來壓緊已被重疊的基板W之外側(外側面)，且可以確實地 防止基板W之水平移動。

按壓構件22係位於從蓋體部21至導槽13之間，該蓋體部21係成為蓋體20之頂面部，該導槽13係朝向成為容器本體10之底面部的搭載部12凹下。藉此，可以壓緊被堆疊於基板搭載部12a上之全部的基板W，且即便是最下層的基板W仍可以確實地壓緊。

又，按壓構件22係不存在於已將蓋體20卸下的容器本體10內。從而，基板W對容器本體10之收容，係不受按壓構件22妨礙而可以按照至今為止的方式來進行。

再者，如圖3至圖5所示，蓋體20係為了進行補強或其他步驟之裝卸等而在蓋體部21、圓筒部23、外壁部24等的構件依需要而形成有凹凸部或肋條等。又，上部壓緊部28係一體地形成於蓋體部21之頂面部，上部壓緊部28係用以上下壓緊已收容於容器本體10之基板搭載部12a的基板W。上部壓緊部28係與至今為止同樣地在與基板搭載部12a之間從上下壓緊已被重疊的基板W。上面所述的蓋體20之各部亦可全部由一體所成形。

在基板收容容器1中，容器本體10及蓋體20，較佳是藉由導電性塑膠所形成。作為導電性塑膠，係可列舉添加有導電性填料(filler)的塑膠或經聚合物合金(polymer alloy)處理過的塑膠等。作為導電性填料，係可列舉碳黑(carbon black)、石墨碳(graphite carbon)、石墨、碳纖維、金屬粉末、金屬纖維、金屬氧化物之粉末、金屬塗布後的無機質微粉末、有機質微粉末或纖維等。

如圖8所示，在如此所構成的基板收容容器1中，係在由容器本體10之四個固定側壁部14所包圍的基板搭載部12a上，配置最下層的緩衝材料31，且在其上交替地重疊基板W和層間紙32，在最上層配置收容緩衝材料31。

在容器本體10重疊收容預定片數的基板W之後，將蓋體20予以蓋上。

如圖7中的(a)所示，當被蓋上直至蓋體20的圓筒部23之前端接觸容器本體10之密封面16的狀態為止時，蓋體20的按壓構件22之前端部22a就會位於容器本體10之導槽13。

更且，當將蓋體20蓋上容器本體10時，按壓構件22之前端部22a就會由容器本體10的導槽13之傾斜面13a所導引並從外側朝向中心側移動。按壓構件22係以基端部22b之擺動軸部26作為中心來擺動。

然後，在蓋體20完全蓋上容器本體10的狀態下，如 圖7中的(b)所示，按壓構件22係接觸導槽13之中心側的垂直面13b。此時，按壓構件22之內側面成為基板W之外徑的位置。

藉此，能用四個部位的按壓構件22，來壓緊已被重疊的基板W之外側(外側面)，且可以防止水平方向的移動。

又，已被重疊的基板W係被容器本體10的基板搭載部12a之上表面和蓋體20的蓋體部21之上部壓緊部28所壓緊，且上下方向之移動亦被壓緊。

更且，在將該蓋體20完全蓋上容器本體10的狀態下，係成為蓋體20的圓筒部23已接觸容器本體10之密封面15、16的密封狀態。

又，在容器本體10的卡止片17之爪部17a越過蓋體20之卡止孔25之後，會卡止於卡止面25a，且保持蓋體20與容器本體10的連結狀態。

在如此地將基板W重疊收容於容器本體10，且將蓋體20予以蓋上之後，已收容於收容部S的基板W係從上下方向及左右方向被壓緊。藉此，即便將基板收容容器1以任意的方向搬運，基板W仍不會移動，且可以防止與基板W直接接觸的層間紙32等摩擦、因傷痕或裂痕等所引起的 破損、揚塵、或是因化學成分而帶給基板W之汙染等的問題。

依據本發明的基板收容容器1，由於基板收容容器1係具備：容器本體10，其在一端具有開口部11，在另一端具有與開口部11對向且可供基板W重疊收容的搭載部12；以及蓋體20，用以堵塞開口部11；蓋體20係具有：蓋體部21，用以堵塞開口部11；以及在蓋體部21的至少二個部位所具有的按壓構件22，係朝向蓋體部21之中心方向擺動，並且將收容重疊於容器本體10的基板W之外側予以壓緊；容器本體10係具有導槽13，該導槽13係使按壓構件22之前端部22a從搭載部12之外側朝向內側移動且被導引至壓緊基板W之外側的位置；導槽13係形成為比搭載部12之表面還凹下，所以可以用按壓構件22從兩側壓緊以防止收容於容器本體10的基板W之移動。

又，由於是用使朝向搭載部12凹下的導槽13來導引按壓構件22之前端部22a並予以壓緊，所以可以壓緊搭載部12上之全部的基板W之外側(外側面)。藉此，即便基板W之厚度較薄，仍可以確實地壓緊並防止移動。

又，依據本發明的基板收容容器1，容器本體10係在搭載部12隔開間隔L地形成有將收容基板W的收容部S予以劃分的固定側壁部14，且在固定側壁部14之間的搭 載部12形成有導槽13；蓋體20係在與固定側壁部14之間隔L對應的位置之蓋體部21形成有按壓構件22。為此，藉由利用固定側壁部14的間隔L設置導槽13和按壓構件22，就能在於容器本體10收容或取出基板W時，完全不受導槽13或按壓構件22的妨礙，而可以與至今為止同樣地進行收容或取出。

習知的收容容器係形成為可以在固定側壁部內使可動側壁繞垂直軸擺動的鉸鏈構造，且將蓋體予以蓋上，藉此將可動側壁朝向中心側推出來壓緊基板。在此情況下，在可動側壁與容器本體的搭載部之表面之間需要容許可動的間隙。為此，恐有可動側壁以離開搭載部之表面達間隙量的方式往上方移動的情形，視基板的厚度而有無法壓緊最下層之基板W等的問題。

相對於此，在本案發明的基板收容容器1中，由於按壓構件22之前端部22a係位於比搭載部12之表面還凹下的位置，所以不受基板W的厚度影響而可以壓緊全部的基板W。

又，在習知的可動側壁中，係在將基板收容於容器本體時可動側壁並未回到原來的狀態的情況下，恐有發生與收容的基板干涉之虞。

相對於此，在本案發明的基板收容容器1中，由於按壓構件22係設置於蓋體20，所以在進行基板W之收容時不會存在於容器本體10內，且完全不會發生與基板W的干涉，而可如同至今為止般地進行作業。

又，亦可以利用固定側壁部14的間隔L作為機械手臂的插入口，且利用於基板W之取出。

依據本發明的基板收容容器1，按壓構件22係與蓋體20一體成型。藉此，就不需要組裝按壓構件22或調整位置，且可以確實地壓緊被重疊收容的基板W。

依據本發明的基板收容容器1，按壓構件22係在擺動軸部26形成有促進擺動的槽部27。藉此，按壓構件22的鉸鏈構造部分會成為薄壁，且容易進行以槽部27作為中心的按壓構件22之擺動，並可以順利地進行藉由導槽13而致使的按壓構件22之導引。

在上述實施形態中，係已說明以將按壓構件22設置於四個部位的情況為例。除了上述以外，只要至少設置於對角位置之二個部位即可。更且，藉由在三個部位以上設置按壓構件22，就可以確實地壓緊基板W。

又，在上述實施形態中，係假設在一個部位設置一個平板狀的按壓構件22。除了上述以外，亦可以將一個部位的按壓構件22作為分割構造而將複數個平板狀的按壓構件22分別正交於中心來擺動。藉由如此，就可以用各自被分割後的按壓構件22來壓緊基板W。

更且，藉由在按壓構件22之表面將朝向基板W側突出的突條設置於寬度方向兩側等，則不僅在按壓構件22之中央部的突條，就連兩側的突條亦可以壓緊基板W。或是，亦可以使平板狀的按壓構件22之表面凹下並使兩側相對地突出，且用所突出的部分來壓緊基板W，且凹部亦可形成一個或複數個。或是，亦可在與平板狀的按壓構件22之基板W接觸的表面，形成與基板W之外周形狀大致同等的曲面，且利用該曲面來壓緊基板W。

本發明係在未脫離本發明之廣義的精神和範圍內，能夠進行各種的實施形態及變化。又，上面所述的實施形態係用以說明本發明，而非限定本發明的範圍。亦即，本發明的範圍並非是藉由實施形態所揭露，而是藉由申請專利範圍所揭示。而且，在申請專利範圍內以及與該範圍同等的發明之意義的範圍內所實施的各種變化，係被視為本發明的範圍內。

(產業可利用性)

本發明的基板收容容器係較佳地被使用作為例如收容半導體晶圓的基板收容容器。

1‧‧‧基板收容容器

10‧‧‧容器本體

11‧‧‧開口部

12‧‧‧搭載部

12a‧‧‧基板搭載部

13‧‧‧導槽

13a‧‧‧傾斜面

16‧‧‧密封面

20‧‧‧蓋體

21‧‧‧蓋體部

22‧‧‧按壓構件

22a‧‧‧前端部

22b‧‧‧基端部

23‧‧‧圓筒部

24‧‧‧外壁部

26‧‧‧擺動軸部

27‧‧‧槽部

28‧‧‧上部壓緊部

31‧‧‧緩衝材料

32‧‧‧層間紙

S‧‧‧收容部

W‧‧‧基板

Claims (4)

1. 一種基板收容容器，係具備：容器本體，係在一端具有開口部，在另一端具有與前述開口部對向且可供基板重疊收容的搭載部；以及蓋體，用以堵塞前述開口部；前述蓋體係具有：蓋體部，用以堵塞前述開口部；以及在前述蓋體部具有至少二個部位的按壓構件，係朝向前述蓋體部之中心方向擺動，並且將收容重疊於前述容器本體的前述基板之外側予以壓緊；前述容器本體係具有：導槽，係使前述按壓構件之前端部從前述搭載部之外側朝向內側移動且被導引至壓緊前述基板之外側的位置；前述導槽係形成為比前述搭載部之表面還凹下。
2. 如請求項1所記載之基板收容容器，其中前述容器本體係在前述搭載部隔開間隔地形成有將收容前述基板的收容部予以劃分的固定側壁部，且在前述固定側壁部之間的前述搭載部形成有前述導槽；前述蓋體係在與前述固定側壁部之間隔對應的位置之前述蓋體部形成有前述按壓構件。
3. 如請求項1或2所記載之基板收容容器，其中前述按壓構件係與前述蓋體一體成型。
4. 如請求項1或2所記載之基板收容容器，其中前述按壓構件係沿著所擺動的擺動軸部而形成有促進擺動的槽部。

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